JPH11183263A - 多点レーザ干渉計 - Google Patents
多点レーザ干渉計Info
- Publication number
- JPH11183263A JPH11183263A JP35756797A JP35756797A JPH11183263A JP H11183263 A JPH11183263 A JP H11183263A JP 35756797 A JP35756797 A JP 35756797A JP 35756797 A JP35756797 A JP 35756797A JP H11183263 A JPH11183263 A JP H11183263A
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- JP
- Japan
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- laser
- light
- measurement
- photorefractive crystal
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 産業機械分野等において、機械等の振動、位
置の変動、その他種々の変位等を計測する多点レーザ干
渉計として、小型で簡単な構成を備え、干渉計の点数も
減少させて使用に際し計測時間が増加する心配もない好
適な多点レーザ干渉計を提供することを課題とする。 【解決手段】 レーザ光を計測レーザ光と参照レーザ光
に分け、計測レーザ光を多点計測レーザ光に変換すると
共に参照レーザ光を多点参照レーザ光に変換し、フォト
リフラクティブ結晶中において、被検体で反射した前記
多点計測レーザ光に所定の角度で多点参照レーザ光を交
差させて干渉させ、この干渉光を電気信号に変換して処
理、評価する多点レーザ干渉計により、小型、簡単な構
成で、使用に際して計測時間の増加も来さずに好適に機
能する多点レーザ干渉計を得ることができた。
置の変動、その他種々の変位等を計測する多点レーザ干
渉計として、小型で簡単な構成を備え、干渉計の点数も
減少させて使用に際し計測時間が増加する心配もない好
適な多点レーザ干渉計を提供することを課題とする。 【解決手段】 レーザ光を計測レーザ光と参照レーザ光
に分け、計測レーザ光を多点計測レーザ光に変換すると
共に参照レーザ光を多点参照レーザ光に変換し、フォト
リフラクティブ結晶中において、被検体で反射した前記
多点計測レーザ光に所定の角度で多点参照レーザ光を交
差させて干渉させ、この干渉光を電気信号に変換して処
理、評価する多点レーザ干渉計により、小型、簡単な構
成で、使用に際して計測時間の増加も来さずに好適に機
能する多点レーザ干渉計を得ることができた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業機械分野等に
おいて、機械等の振動、位置の変動、その他種々の変位
等を計測する多点レーザ干渉計に関するものである。
おいて、機械等の振動、位置の変動、その他種々の変位
等を計測する多点レーザ干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ干渉技術は、多くの分野におい
て、機械等の物体の振動の計測、同物体の移動する距離
の計測、その他物理的、化学的条件の変化による同物体
の変位の計測等にしばしば用いられている。
て、機械等の物体の振動の計測、同物体の移動する距離
の計測、その他物理的、化学的条件の変化による同物体
の変位の計測等にしばしば用いられている。
【０００３】その結果、計測の高速化および計測精度の
向上には多点計測技術が必要であることが一般的に認知
され、このため昨今では多点レーザ干渉計の開発に精力
が注がれている状況にある。
向上には多点計測技術が必要であることが一般的に認知
され、このため昨今では多点レーザ干渉計の開発に精力
が注がれている状況にある。
【０００４】従来のこの種干渉計はおおよそ２つのタイ
プに分類できる。すなわち、図３および図４にそれぞれ
示した並列干渉計を備えた形式のものと、図５に示した
光スイッチによる切り替え形式のものとであり、以下同
図３ないし図５に基づいて従来のこの種干渉計の概要に
ついて説明する。
プに分類できる。すなわち、図３および図４にそれぞれ
示した並列干渉計を備えた形式のものと、図５に示した
光スイッチによる切り替え形式のものとであり、以下同
図３ないし図５に基づいて従来のこの種干渉計の概要に
ついて説明する。
【０００５】図３は従来の典型的な多点干渉計の一例を
示し、被検体９からの多点レーザ計測光７1 、７2 ・・
７n の振幅、位相、波長等には被検体９に固有の情報が
含まれている。
示し、被検体９からの多点レーザ計測光７1 、７2 ・・
７n の振幅、位相、波長等には被検体９に固有の情報が
含まれている。
【０００６】この多点レーザ計測光７1 、７2 ・・７n
は、それぞれに対応するレーザ干渉計１６において前記
被検体９からの情報を干渉により増幅させ、次いでこれ
を光検出器１７で電気信号に変換し、最終的に信号処理
装置１５において評価・処理する。
は、それぞれに対応するレーザ干渉計１６において前記
被検体９からの情報を干渉により増幅させ、次いでこれ
を光検出器１７で電気信号に変換し、最終的に信号処理
装置１５において評価・処理する。
【０００７】なお、この様なレーザ干渉計としては、フ
ァブリペロー干渉計（ファブリ氏とペロー氏によって考
案された干渉計で、２枚の平面板の間の繰返反射による
等傾角干渉を利用するもの）、マイケルソン干渉計（マ
イケルソン氏によって考案された二光線束干渉計）、お
よびマッハツェンダー干渉計（マッハ氏とツェンダー氏
によって考案された二光線束干渉計）等が一般に用いら
れている。
ァブリペロー干渉計（ファブリ氏とペロー氏によって考
案された干渉計で、２枚の平面板の間の繰返反射による
等傾角干渉を利用するもの）、マイケルソン干渉計（マ
イケルソン氏によって考案された二光線束干渉計）、お
よびマッハツェンダー干渉計（マッハ氏とツェンダー氏
によって考案された二光線束干渉計）等が一般に用いら
れている。
【０００８】図４には従来の多点干渉計の他の例を示
し、多点レーザ計測光７1 、７2 ・・７n のうち複数の
ものを複数のレンズ１８でそれぞれ集約し、各レンズ１
８に対応する光ファイバ１９に導入してレーザ干渉計１
６、光検出器１７を経て信号処理装置１５で評価・処理
するものである。
し、多点レーザ計測光７1 、７2 ・・７n のうち複数の
ものを複数のレンズ１８でそれぞれ集約し、各レンズ１
８に対応する光ファイバ１９に導入してレーザ干渉計１
６、光検出器１７を経て信号処理装置１５で評価・処理
するものである。
【０００９】また、図５に示した光スイッチによる切り
替え形式の多点レーザ干渉計は、被検体９からの多点レ
ーザ計測光７1 、７2 ・・７n をレンズ１８で光ファイ
バ１９に導入し、これを光ファイバ切換スイッチ２０に
導いて各光ファイバ１９に対応するもの毎に接続を切換
え、順次レーザ干渉計１６に接続して被検体９の情報を
干渉により増幅させ、その後光検出器１７で電気信号に
変換し、最後に信号処理装置１５において処理、評価す
るものである。
替え形式の多点レーザ干渉計は、被検体９からの多点レ
ーザ計測光７1 、７2 ・・７n をレンズ１８で光ファイ
バ１９に導入し、これを光ファイバ切換スイッチ２０に
導いて各光ファイバ１９に対応するもの毎に接続を切換
え、順次レーザ干渉計１６に接続して被検体９の情報を
干渉により増幅させ、その後光検出器１７で電気信号に
変換し、最後に信号処理装置１５において処理、評価す
るものである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前記した様に構成され
た従来のもののうち図３、図４に示した多点レーザ干渉
計では、各レーザ光毎に干渉計を備えているので並列計
測が可能であるが、システム全体が大型化し高価になる
という問題がある。
た従来のもののうち図３、図４に示した多点レーザ干渉
計では、各レーザ光毎に干渉計を備えているので並列計
測が可能であるが、システム全体が大型化し高価になる
という問題がある。
【００１１】他方、前記した従来のもののうち図５に示
した光スイッチ型の多点レーザ干渉計では、各計測光毎
にシーリズ処理を行うので計測に長時間を費やすという
問題がある。
した光スイッチ型の多点レーザ干渉計では、各計測光毎
にシーリズ処理を行うので計測に長時間を費やすという
問題がある。
【００１２】本発明は前記した従来のものの問題点を解
消し、小型で簡単な構成そ備え、干渉計の点数も減少さ
せて使用に際し計測時間が増加する心配もない好適な多
点レーザ干渉計を提供することを課題とするものであ
る。
消し、小型で簡単な構成そ備え、干渉計の点数も減少さ
せて使用に際し計測時間が増加する心配もない好適な多
点レーザ干渉計を提供することを課題とするものであ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記した課題
を解決すべくなされたもので、レーザ光を計測レーザ光
と参照レーザ光に分ける装置、計測レーザ光を多点計測
レーザ光に変換する装置、参照レーザ光を多点参照レー
ザ光に変換する装置を有し、被検体で反射した前記多点
計測レーザ光に所定の角度で交差する多点参照レーザ光
をその中で干渉させるフォトリフラクティブ結晶と、同
フォトリフラクティブ結晶を出た干渉光を電気信号に変
換して処理、評価する装置を設けた多点レーザ干渉計を
提供するものである。
を解決すべくなされたもので、レーザ光を計測レーザ光
と参照レーザ光に分ける装置、計測レーザ光を多点計測
レーザ光に変換する装置、参照レーザ光を多点参照レー
ザ光に変換する装置を有し、被検体で反射した前記多点
計測レーザ光に所定の角度で交差する多点参照レーザ光
をその中で干渉させるフォトリフラクティブ結晶と、同
フォトリフラクティブ結晶を出た干渉光を電気信号に変
換して処理、評価する装置を設けた多点レーザ干渉計を
提供するものである。
【００１４】すなわち、本発明によれば、フォトリフラ
クティブ結晶を採用し、同フォトリフラクティブ結晶の
性状を利用してその内部において計測レーザ光と参照レ
ーザ光の複数の異なる干渉を同時に生じさせ、干渉計の
増加も計測時間の増加もなしにコンパクトな装置構成の
下で効率的な計測を行うものである。
クティブ結晶を採用し、同フォトリフラクティブ結晶の
性状を利用してその内部において計測レーザ光と参照レ
ーザ光の複数の異なる干渉を同時に生じさせ、干渉計の
増加も計測時間の増加もなしにコンパクトな装置構成の
下で効率的な計測を行うものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図１およ
び図２に基づいて説明する。
び図２に基づいて説明する。
【００１６】１はレーザ光を発射するレーザ、２はレー
ザ光を分けるビームスプリッタ、５はこれを拡大するビ
ームエキスパンダ、６はレンズアレイ、８はレーザ光を
通過し又は反射するビームスプリッタ、９は被検体、１
０は多数の面を有した多面結晶体であるフォトリフラク
ティブ結晶、１１はレーザ光を反射して経路を設定する
ミラー、１２はレーザ光を拡大するビームエキスパン
ダ、１３はフォトリフラクティブ結晶１０にバイアスを
架けるＤＣ電源、１４は光検出器アレイ、１５は信号処
理装置である。
ザ光を分けるビームスプリッタ、５はこれを拡大するビ
ームエキスパンダ、６はレンズアレイ、８はレーザ光を
通過し又は反射するビームスプリッタ、９は被検体、１
０は多数の面を有した多面結晶体であるフォトリフラク
ティブ結晶、１１はレーザ光を反射して経路を設定する
ミラー、１２はレーザ光を拡大するビームエキスパン
ダ、１３はフォトリフラクティブ結晶１０にバイアスを
架けるＤＣ電源、１４は光検出器アレイ、１５は信号処
理装置である。
【００１７】レーザ１を出射したレーザ光はビームスプ
リッタ２で計測光３と参照光４とに分けられ、このうち
計測光３はビームエキスパンダ５で拡大された後、レン
ズアレイ６によって並列の多点レーザ計測光７1 、７2
・・・７n に変換される。
リッタ２で計測光３と参照光４とに分けられ、このうち
計測光３はビームエキスパンダ５で拡大された後、レン
ズアレイ６によって並列の多点レーザ計測光７1 、７2
・・・７n に変換される。
【００１８】この多点レーザ計測光７1 、７2 ・・・７
n はビームスプリッタ８を透過した後、被検体９に至
り、同被検体９に衝突して反射される。
n はビームスプリッタ８を透過した後、被検体９に至
り、同被検体９に衝突して反射される。
【００１９】この様にして被検体９で反射された多点レ
ーザ計測光７1 、７2 ・・・７n 中には、それぞれの位
相に被検体９の振動、変位、距離等の情報が含められ、
ビームスプリッタ８で反射されてフォトリフラクティブ
結晶１０に入射される。
ーザ計測光７1 、７2 ・・・７n 中には、それぞれの位
相に被検体９の振動、変位、距離等の情報が含められ、
ビームスプリッタ８で反射されてフォトリフラクティブ
結晶１０に入射される。
【００２０】他方、前記ビームスプリッタ２で計測光３
と分けられた参照光４は、ミラー１１で反射され、次い
でビームエキスパンダ１２により拡大された後、前記多
点レーザ計測光７1 、７2 ・・・７n と角度θで交差す
る様にフォトリフラクティブ結晶１０に入射される。
と分けられた参照光４は、ミラー１１で反射され、次い
でビームエキスパンダ１２により拡大された後、前記多
点レーザ計測光７1 、７2 ・・・７n と角度θで交差す
る様にフォトリフラクティブ結晶１０に入射される。
【００２１】なおここで参照光４はフォトリフラクティ
ブ結晶１０の全体に亘って照射することが可能となる様
に、前記ビームエキスパンダ１２において拡大を調節さ
れている。
ブ結晶１０の全体に亘って照射することが可能となる様
に、前記ビームエキスパンダ１２において拡大を調節さ
れている。
【００２２】他方、フォトリフラクティブ結晶１０にお
いては、前記多点レーザ計測光７1、７2 ・・・７n と
参照光４の入射面と垂直方向にＤＣ電源１３により電界
を架けている。
いては、前記多点レーザ計測光７1、７2 ・・・７n と
参照光４の入射面と垂直方向にＤＣ電源１３により電界
を架けている。
【００２３】従ってこの時、多点レーザ計測光７1 、７
2 ・・・７n と参照光４の間のパワー比、多点レーザ計
測光７1 、７2 ・・・７n と参照光４のなす角度θ及び
ＤＣ電源１３のバイアス等の条件の適正化により、多点
レーザ計測光７1 、７2 ・・・７n と参照光４の間で干
渉が生じ、多点レーザ計測光７1 、７2 ・・・７n に含
まれる被検体９の情報が増幅される。
2 ・・・７n と参照光４の間のパワー比、多点レーザ計
測光７1 、７2 ・・・７n と参照光４のなす角度θ及び
ＤＣ電源１３のバイアス等の条件の適正化により、多点
レーザ計測光７1 、７2 ・・・７n と参照光４の間で干
渉が生じ、多点レーザ計測光７1 、７2 ・・・７n に含
まれる被検体９の情報が増幅される。
【００２４】そしてこの様にしてフォトリフラクティブ
結晶１０を出た多点レーザ計測光７ 1 、７2 ・・・７n
は光検出器アレイ１４でそれぞれ電気信号に変換されて
信号処理装置１５において処理、評価される。
結晶１０を出た多点レーザ計測光７ 1 、７2 ・・・７n
は光検出器アレイ１４でそれぞれ電気信号に変換されて
信号処理装置１５において処理、評価される。
【００２５】なおここでＤＣ電源１３により電界を架け
られるフォトリフラクティブ結晶１０における作用の状
態の詳細を図２により説明する。
られるフォトリフラクティブ結晶１０における作用の状
態の詳細を図２により説明する。
【００２６】フォトリフラクティブ結晶１０に入射する
レーザ光を、計測光３側の多点レーザ計測光７1 、７2
・・・７n 中から１本、また参照光４側から１本それぞ
れ代表として選出し、この２本のレーザ光の中計測光３
側のもの I1(Z)と、参照光４側のもの I2(Z)が互いに干
渉すると、フォトリフラクティブ結晶１０の非線形光学
効果により、この２本のレーザ光 I1(Z)、 I2(Z)の間で
パワーの増減が生じる。
レーザ光を、計測光３側の多点レーザ計測光７1 、７2
・・・７n 中から１本、また参照光４側から１本それぞ
れ代表として選出し、この２本のレーザ光の中計測光３
側のもの I1(Z)と、参照光４側のもの I2(Z)が互いに干
渉すると、フォトリフラクティブ結晶１０の非線形光学
効果により、この２本のレーザ光 I1(Z)、 I2(Z)の間で
パワーの増減が生じる。
【００２７】ここでＺはフォトリフラクティブ結晶１０
のＺ軸方向の厚みであり、この厚みＺの値が０の位置、
即ちフォトリフラクティブ結晶１０の入口端部における
レーザ光を、計測光３側、および参照光４側それぞれ I
1(O)、 I2(O)とし、 I1(O)＜I2(O)の場合、フォトリフ
ラクティブ結晶１０から出射されるレーザ光 I1(Z)は次
の式で表される。
のＺ軸方向の厚みであり、この厚みＺの値が０の位置、
即ちフォトリフラクティブ結晶１０の入口端部における
レーザ光を、計測光３側、および参照光４側それぞれ I
1(O)、 I2(O)とし、 I1(O)＜I2(O)の場合、フォトリフ
ラクティブ結晶１０から出射されるレーザ光 I1(Z)は次
の式で表される。
【００２８】
【数１】
【００２９】そして前記フォトリフラクティブ結晶１０
の増幅係数：Γは、次の式で表される。
の増幅係数：Γは、次の式で表される。
【００３０】
【数２】
【００３１】また、φはレーザ光 I1(Z)、 I2(Z)がフォ
トリフラクティブ結晶１０内で形成した干渉縞とその干
渉によって形成されるフォトリフラクティブ結晶の屈折
率の周期分布（グレーティング）間の位相差である。
トリフラクティブ結晶１０内で形成した干渉縞とその干
渉によって形成されるフォトリフラクティブ結晶の屈折
率の周期分布（グレーティング）間の位相差である。
【００３２】そしてΔφはレーザ光 I1(Z)、 I2(Z)の位
相差にΔψの変化が生じたときに発生する同レーザ光 I
1(Z)、 I2(Z)がフォトリフラクティブ結晶１０内で形成
した干渉縞とその干渉によって形成されるフォトリフラ
クティブ結晶の屈折率の周期分布（グレーティング）間
の位相差であり、次の式で表される。
相差にΔψの変化が生じたときに発生する同レーザ光 I
1(Z)、 I2(Z)がフォトリフラクティブ結晶１０内で形成
した干渉縞とその干渉によって形成されるフォトリフラ
クティブ結晶の屈折率の周期分布（グレーティング）間
の位相差であり、次の式で表される。
【００３３】
【数３】
【００３４】前記した式、、およびより示され
る様に、フォトリフラクティブ結晶内において、計測レ
ーザ光と参照レーザ光を干渉させる計測レーザ光の位相
変化に応じて、計測レーザ光のパワーが変化し、このパ
ワー変化を検出することにより被検査体の情報が得られ
る。
る様に、フォトリフラクティブ結晶内において、計測レ
ーザ光と参照レーザ光を干渉させる計測レーザ光の位相
変化に応じて、計測レーザ光のパワーが変化し、このパ
ワー変化を検出することにより被検査体の情報が得られ
る。
【００３５】なお参照光４はフォトリフラクティブ結晶
１０の全体に照射するために、計測光が入射するフォト
リフラクティブ結晶の任意の位置で干渉が生じて信号が
増幅される。従って同計測光が複数の点で入射した場合
には、それぞれの点で独立に干渉、増幅が生じ、多点計
測が可能となる。
１０の全体に照射するために、計測光が入射するフォト
リフラクティブ結晶の任意の位置で干渉が生じて信号が
増幅される。従って同計測光が複数の点で入射した場合
には、それぞれの点で独立に干渉、増幅が生じ、多点計
測が可能となる。
【００３６】この様にして本実施の形態によれば、１個
のフォトリフラクティブ結晶１０内で複数の異なる干渉
を同時に生じさせることが可能であり、従来の干渉計に
比べて小型で簡単な多点レーザ干渉計を得ることが出来
るものである。
のフォトリフラクティブ結晶１０内で複数の異なる干渉
を同時に生じさせることが可能であり、従来の干渉計に
比べて小型で簡単な多点レーザ干渉計を得ることが出来
るものである。
【００３７】また、干渉計の点数の増加が必要な場合に
あっては、入射計測ビーム光径の縮小およびフォトリフ
ラクティブ結晶１０のサイズの拡大で対応可能となるの
で、干渉計を増加しないことにより点数の増加による計
測時間の増加という不具合も無くなることになる。
あっては、入射計測ビーム光径の縮小およびフォトリフ
ラクティブ結晶１０のサイズの拡大で対応可能となるの
で、干渉計を増加しないことにより点数の増加による計
測時間の増加という不具合も無くなることになる。
【００３８】以上、本発明を図示の実施の形態について
説明したが、本発明はかかる実施の形態に限定されず、
本発明の範囲内でその具体的構造に種々の変更を加えて
よいことはいうまでもない。
説明したが、本発明はかかる実施の形態に限定されず、
本発明の範囲内でその具体的構造に種々の変更を加えて
よいことはいうまでもない。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ーザ光を計測レーザ光と参照レーザ光に分ける装置、計
測レーザ光を多点計測レーザ光に変換する装置、参照レ
ーザ光を多点参照レーザ光に変換する装置を有し、被検
体で反射した前記多点計測レーザ光に所定の角度で交差
する多点参照レーザ光をその中で干渉させるフォトリフ
ラクティブ結晶と、同フォトリフラクティブ結晶を出た
干渉光を電気信号に変換して処理、評価する装置を設け
て多点レーザ干渉計を構成しているので、フォトリフラ
クティブ結晶の性状を利用してその内部において計測レ
ーザ光と参照レーザ光の複数の異なる干渉を同時に生じ
させ、干渉計の増加も計測時間の増加もなしにコンパク
トな装置構成の下で効率的な計測を行い、以て小型で簡
単な構成により、使用に際し計測時間の増加もない好適
な多点レーザ干渉計を得ることができたものである。
ーザ光を計測レーザ光と参照レーザ光に分ける装置、計
測レーザ光を多点計測レーザ光に変換する装置、参照レ
ーザ光を多点参照レーザ光に変換する装置を有し、被検
体で反射した前記多点計測レーザ光に所定の角度で交差
する多点参照レーザ光をその中で干渉させるフォトリフ
ラクティブ結晶と、同フォトリフラクティブ結晶を出た
干渉光を電気信号に変換して処理、評価する装置を設け
て多点レーザ干渉計を構成しているので、フォトリフラ
クティブ結晶の性状を利用してその内部において計測レ
ーザ光と参照レーザ光の複数の異なる干渉を同時に生じ
させ、干渉計の増加も計測時間の増加もなしにコンパク
トな装置構成の下で効率的な計測を行い、以て小型で簡
単な構成により、使用に際し計測時間の増加もない好適
な多点レーザ干渉計を得ることができたものである。
【図１】本発明の実施の一形態に係る多点レーザ干渉計
の概要を示す説明図である。
の概要を示す説明図である。
【図２】図１の要部であるフォトリフラクティブ結晶を
抜粋してその概要を示す説明図である。
抜粋してその概要を示す説明図である。
【図３】従来の多点レーザ干渉計の一例を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】従来の多点レーザ干渉計の他の例を示す説明図
である。
である。
【図５】従来の多点レーザ干渉計の更に他の例を示す説
明図である。
明図である。
１ レーザ ２ ビームスプリッタ ３ 計測光 ４ 参照光 ５ ビームエキスパンダ ６ レンズアレイ ７1 多点レーザ計測光 ７2 多点レーザ計測光 ７n 多点レーザ計測光 ８ ビームスプリッタ ９ 被検体 １０ フォトリフラクティブ結晶 １１ ミラー １２ ビームエキスパンダ １３ ＤＣ電源 １４ 光検出器アレイ １５ 信号処理装置 １６ レーザ干渉計 １７ 光検出器 １８ レンズ １９ 光ファイバ ２０ 光ファイバ切換スイッチ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年３月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】
【数１】
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光を計測レーザ光と参照レーザ光
に分ける装置、計測レーザ光を多点計測レーザ光に変換
する装置、参照レーザ光を多点参照レーザ光に変換する
装置を有し、被検体で反射した前記多点計測レーザ光に
所定の角度で交差する多点参照レーザ光をその中で干渉
させるフォトリフラクティブ結晶と、同フォトリフラク
ティブ結晶を出た干渉光を電気信号に変換して処理、評
価する装置を設けたことを特徴とする多点レーザ干渉
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35756797A JPH11183263A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 多点レーザ干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35756797A JPH11183263A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 多点レーザ干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183263A true JPH11183263A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18454790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35756797A Withdrawn JPH11183263A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 多点レーザ干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183263A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005062193A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Robert Bosch Gmbh | 表面の幾何形状データを検出するための干渉測定装置 |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP35756797A patent/JPH11183263A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005062193A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Robert Bosch Gmbh | 表面の幾何形状データを検出するための干渉測定装置 |
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