JP2002131139A - 光ファイバセンサ並びに光ファイバの調節方法及び装置 - Google Patents
光ファイバセンサ並びに光ファイバの調節方法及び装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の光路を伝搬するレーザ光同士の偏光状
態の差をできるだけ小さくし、偏光状態が安定した光フ
ァイバセンサ等を得る。 【解決手段】 複数の光路を伝搬したレーザ光が干渉等
により合成したときに、復屈折の強さを表す指数である
光路のリターゼーションの差が２πの整数倍になるよう
に調節した光ファイバを用いて物理量を測定する。
態の差をできるだけ小さくし、偏光状態が安定した光フ
ァイバセンサ等を得る。 【解決手段】 複数の光路を伝搬したレーザ光が干渉等
により合成したときに、復屈折の強さを表す指数である
光路のリターゼーションの差が２πの整数倍になるよう
に調節した光ファイバを用いて物理量を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は干渉型光ファイバ
センサ及びその製造装置に関するものである。
センサ及びその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開平８−７９２８号公報及び特開平９
−１９６７４８号には、測定する物理量に基づいて光フ
ァイバの長さが変化し、位相差も変化するレーザ光同士
を干渉させ、その位相差に基づいて物理量を測定する干
渉型光ファイバセンサ及びその復調装置に関する一般的
なものが記載されている。
−１９６７４８号には、測定する物理量に基づいて光フ
ァイバの長さが変化し、位相差も変化するレーザ光同士
を干渉させ、その位相差に基づいて物理量を測定する干
渉型光ファイバセンサ及びその復調装置に関する一般的
なものが記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】単一モードファイバを
用いて干渉型光ファイバセンサを構成した場合、光ファ
イバの歪み（機械的な変形）等で復屈折の強さが変化す
る。そのため、干渉する２つのレーザ光の偏光状態がそ
れぞれ異なってしまう。これは２つの被干渉光の偏光状
態が一致していない状態である。このとき干渉度が低下
してセンサの感度及び信号対雑音比（ＳＮＲ）が低下す
る。また、偏光状態の差に変動がある場合には、その変
動に関連したノイズが発生してしまう。
用いて干渉型光ファイバセンサを構成した場合、光ファ
イバの歪み（機械的な変形）等で復屈折の強さが変化す
る。そのため、干渉する２つのレーザ光の偏光状態がそ
れぞれ異なってしまう。これは２つの被干渉光の偏光状
態が一致していない状態である。このとき干渉度が低下
してセンサの感度及び信号対雑音比（ＳＮＲ）が低下す
る。また、偏光状態の差に変動がある場合には、その変
動に関連したノイズが発生してしまう。
【０００４】特開平９−１９６７４８号に示す位相復調
器では感度の変化を抑えることはできるが、信号対雑音
比が低下する問題と偏光状態の差の変動に関連したノイ
ズの発生問題等は残されたままである。ここで、定偏波
ファイバを用いれば被干渉光の偏光状態を常に一致させ
ることができるが、そのために高いコストを費やすこと
になる。
器では感度の変化を抑えることはできるが、信号対雑音
比が低下する問題と偏光状態の差の変動に関連したノイ
ズの発生問題等は残されたままである。ここで、定偏波
ファイバを用いれば被干渉光の偏光状態を常に一致させ
ることができるが、そのために高いコストを費やすこと
になる。
【０００５】そこで、複数の光路を伝搬するレーザ光同
士の偏光状態の差をできるだけ小さくし、偏光状態が安
定した光ファイバセンサ等の実現が望まれていた。
士の偏光状態の差をできるだけ小さくし、偏光状態が安
定した光ファイバセンサ等の実現が望まれていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光ファイバ
センサは、複数の光路を伝搬したレーザ光が合成したと
きに、復屈折の強さを表す指数である光路のリターゼー
ションの差が２πの整数倍になるように調節した光ファ
イバを用いて物理量を測定するものである。本発明にお
いては、物理量を測定するための光ファイバセンサにお
いて、干渉等により複数の光路を伝搬したレーザ光が合
成したときに、光路のリターゼーションの差が２πの整
数倍になるように調節した光ファイバを用いてＳＮＲを
高くし、雑音発生を抑えるものである。
センサは、複数の光路を伝搬したレーザ光が合成したと
きに、復屈折の強さを表す指数である光路のリターゼー
ションの差が２πの整数倍になるように調節した光ファ
イバを用いて物理量を測定するものである。本発明にお
いては、物理量を測定するための光ファイバセンサにお
いて、干渉等により複数の光路を伝搬したレーザ光が合
成したときに、光路のリターゼーションの差が２πの整
数倍になるように調節した光ファイバを用いてＳＮＲを
高くし、雑音発生を抑えるものである。
【０００７】また、本発明に係る光ファイバの調節方法
は、複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最
大値を全ての偏光状態に対して算出する工程と、復屈折
の強さを表す指数である光路のリターゼーションの差が
２πの整数倍にするため、偏光状態の差の最大値が０と
なるように光路となる光ファイバを調節する工程とを有
している。本発明においては、全ての偏光状態に対し
て、複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最
大値を算出する。そして、その最大値が０となるように
光路となる光ファイバを調節することで、光路のリター
ゼーションの差が２πの整数倍になるようにする。
は、複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最
大値を全ての偏光状態に対して算出する工程と、復屈折
の強さを表す指数である光路のリターゼーションの差が
２πの整数倍にするため、偏光状態の差の最大値が０と
なるように光路となる光ファイバを調節する工程とを有
している。本発明においては、全ての偏光状態に対し
て、複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最
大値を算出する。そして、その最大値が０となるように
光路となる光ファイバを調節することで、光路のリター
ゼーションの差が２πの整数倍になるようにする。
【０００８】また、本発明に係る光ファイバの調節装置
は、レーザ光を送出する光源部と、レーザ光の全ての偏
光状態をつくりだすための偏波回転部と、複数の光路を
伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最大値を算出する偏
光状態演算部とを備え、復屈折の強さを表す指数である
光路のリターゼーションの差が２πの整数倍にするた
め、偏光状態の差の最大値が０となるように光路となる
光ファイバを調節するものである。本発明においては、
偏波回転部が光源部から送出されたレーザ光から全ての
偏光状態をつくりだし、それらの偏光状態の差の最大値
を偏光状態演算部が算出する。その最大値が０となるよ
うに光路となる光ファイバを調節し、光路のリターゼー
ションの差が２πの整数倍になるようにする。
は、レーザ光を送出する光源部と、レーザ光の全ての偏
光状態をつくりだすための偏波回転部と、複数の光路を
伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最大値を算出する偏
光状態演算部とを備え、復屈折の強さを表す指数である
光路のリターゼーションの差が２πの整数倍にするた
め、偏光状態の差の最大値が０となるように光路となる
光ファイバを調節するものである。本発明においては、
偏波回転部が光源部から送出されたレーザ光から全ての
偏光状態をつくりだし、それらの偏光状態の差の最大値
を偏光状態演算部が算出する。その最大値が０となるよ
うに光路となる光ファイバを調節し、光路のリターゼー
ションの差が２πの整数倍になるようにする。
【０００９】
【発明の実施の形態】実施形態１．図１は本発明の第１
の実施の形態に係る光ファイバセンサの構成図である。
図において、１は光源であり、例えばＦＭ変調を施した
レーザ光を送出する。２はサーキュレータである。サー
キュレータ２にあるそれぞれのポートは、ある特定の方
向に光を伝達する。３はセンサヘッド部である。センサ
ヘッド部３は、反射器３１ａ、３１ｂ、センシングファ
イバ３２、リファレンスファイバ３３、合分波器３４で
構成されている。合分波器３４で分岐されたレーザ光
が、それぞれセンシングファイバ３２及びリファレンス
ファイバ３３を伝搬する。ここで、センシングファイバ
３２の長さが測定対象の物理量に基づいて変化するた
め、反射器３１ａにより反射される光もそれにより位相
が変化する。そのため、反射器３１ａ、反射器３１ｂに
より反射され、センシングファイバ３２及びリファレン
スファイバ３３を通過して、合分波器３４により再度合
成された干渉光も変化する。
の実施の形態に係る光ファイバセンサの構成図である。
図において、１は光源であり、例えばＦＭ変調を施した
レーザ光を送出する。２はサーキュレータである。サー
キュレータ２にあるそれぞれのポートは、ある特定の方
向に光を伝達する。３はセンサヘッド部である。センサ
ヘッド部３は、反射器３１ａ、３１ｂ、センシングファ
イバ３２、リファレンスファイバ３３、合分波器３４で
構成されている。合分波器３４で分岐されたレーザ光
が、それぞれセンシングファイバ３２及びリファレンス
ファイバ３３を伝搬する。ここで、センシングファイバ
３２の長さが測定対象の物理量に基づいて変化するた
め、反射器３１ａにより反射される光もそれにより位相
が変化する。そのため、反射器３１ａ、反射器３１ｂに
より反射され、センシングファイバ３２及びリファレン
スファイバ３３を通過して、合分波器３４により再度合
成された干渉光も変化する。
【００１０】４はＯ／Ｅ変換器である。Ｏ／Ｅ変換器４
は、干渉光の強さ（以下、干渉出力という）を電気信号
に変換する。５は位相復調器である。位相復調器５は電
気信号に基づいて復調を行い、位相差を算出する。
は、干渉光の強さ（以下、干渉出力という）を電気信号
に変換する。５は位相復調器である。位相復調器５は電
気信号に基づいて復調を行い、位相差を算出する。
【００１１】第１の実施の形態においては、偏光状態が
安定した光ファイバセンサを得るために、センシングフ
ァイバにおける光路のリターゼーションとリファレンス
ファイバ３３における光路のリターゼーションとの差を
２πの整数倍（又はそれに近い状態）にし、干渉度を大
きくした干渉出力が得られるようにする。
安定した光ファイバセンサを得るために、センシングフ
ァイバにおける光路のリターゼーションとリファレンス
ファイバ３３における光路のリターゼーションとの差を
２πの整数倍（又はそれに近い状態）にし、干渉度を大
きくした干渉出力が得られるようにする。
【００１２】次に第１の実施の形態の光ファイバセンサ
の動作について説明する。光ファイバ等の復屈折性を有
する光路を伝搬した光の偏光状態は、ジョーンズベクト
ルにより次式（１）で表される。ここで、ＥXI及びＥYI
は、入力光電界のＸ成分とＹ成分であり、ＥXO及びＥYO
は、出力光電界のＸ成分とＹ成分である。また、δはリ
ターゼーションである。リターゼーションとは復屈折の
強さを表す指数のことである。
の動作について説明する。光ファイバ等の復屈折性を有
する光路を伝搬した光の偏光状態は、ジョーンズベクト
ルにより次式（１）で表される。ここで、ＥXI及びＥYI
は、入力光電界のＸ成分とＹ成分であり、ＥXO及びＥYO
は、出力光電界のＸ成分とＹ成分である。また、δはリ
ターゼーションである。リターゼーションとは復屈折の
強さを表す指数のことである。
【００１３】
【数１】
【００１４】本実施の形態では、センシングファイバ３
２側の光路のリターゼーションδSとリファレンスファ
イバ３３側の光路のリターゼーションδR とが、次式
（２）で表される式を満たすように調節する。この調節
は第３の実施の形態以降で説明するが、センシングファ
イバ３２の一部分に対して変化を加えることで調整を行
ってもよいし、全体に対して変化を加えて調節を行って
もよい。 δS−δR≒２πＮ （Ｎは整数） …（２）
２側の光路のリターゼーションδSとリファレンスファ
イバ３３側の光路のリターゼーションδR とが、次式
（２）で表される式を満たすように調節する。この調節
は第３の実施の形態以降で説明するが、センシングファ
イバ３２の一部分に対して変化を加えることで調整を行
ってもよいし、全体に対して変化を加えて調節を行って
もよい。 δS−δR≒２πＮ （Ｎは整数） …（２）
【００１５】したがって、干渉する２つのレーザ光の偏
光状態がほぼ一致し（Ｎが奇数の場合には位相が反転す
るものの偏光状態は同一である）、干渉度がほぼ最大で
安定した干渉出力が得られる。したがってＳＮＲが大き
くなる。この干渉出力がＯ／Ｅ変換部４に入力され電気
信号に変換される。そして、その電気信号に基づいて復
調部５が、測定対象の物理量を算出する。
光状態がほぼ一致し（Ｎが奇数の場合には位相が反転す
るものの偏光状態は同一である）、干渉度がほぼ最大で
安定した干渉出力が得られる。したがってＳＮＲが大き
くなる。この干渉出力がＯ／Ｅ変換部４に入力され電気
信号に変換される。そして、その電気信号に基づいて復
調部５が、測定対象の物理量を算出する。
【００１６】以上のように第１の実施の形態によれば、
センシングファイバにおける光路のリターゼーションと
リファレンスファイバ３３における光路のリターゼーシ
ョンとの差を２πの整数倍にできるだけ近い状態にし、
干渉度を大きくした干渉出力が得られるようにしたの
で、ノイズの発生を抑え、ＳＮＲを大きくすることがで
き、精度の高い物理量の測定を行うことができる。
センシングファイバにおける光路のリターゼーションと
リファレンスファイバ３３における光路のリターゼーシ
ョンとの差を２πの整数倍にできるだけ近い状態にし、
干渉度を大きくした干渉出力が得られるようにしたの
で、ノイズの発生を抑え、ＳＮＲを大きくすることがで
き、精度の高い物理量の測定を行うことができる。
【００１７】実施形態２．図２は本発明の第２の実施の
形態に係る光ファイバセンサの構成図である。図２にお
いて、図１と同じ図番を付しているものは、第１の実施
の形態で説明したことと同様の動作を行うので説明を省
略する。図において、光源１Ａはパルス状のレーザ光を
送出する。リファレンスファイバ３３Ａは、リファレン
スファイバ３３と同様の光ファイバであるが、センサヘ
ッド部３にはなく、光源１とサーキュレータ２との間に
設けられている。そして、分波器６により分波された光
源１Ａからのレーザ光を通過させ、遅延させる。そし
て、合波器７において光源１Ａから送出されたレーザ光
とリファレンスファイバ３３Ａを伝搬して遅延したレー
ザ光とが合成される。ここで、合波器７で合成される２
つのレーザ光の偏光状態がほぼ一致するように構成す
る。
形態に係る光ファイバセンサの構成図である。図２にお
いて、図１と同じ図番を付しているものは、第１の実施
の形態で説明したことと同様の動作を行うので説明を省
略する。図において、光源１Ａはパルス状のレーザ光を
送出する。リファレンスファイバ３３Ａは、リファレン
スファイバ３３と同様の光ファイバであるが、センサヘ
ッド部３にはなく、光源１とサーキュレータ２との間に
設けられている。そして、分波器６により分波された光
源１Ａからのレーザ光を通過させ、遅延させる。そし
て、合波器７において光源１Ａから送出されたレーザ光
とリファレンスファイバ３３Ａを伝搬して遅延したレー
ザ光とが合成される。ここで、合波器７で合成される２
つのレーザ光の偏光状態がほぼ一致するように構成す
る。
【００１８】また、３Ａはセンサヘッド部である。図２
のように部分反射器３６、センシングファイバ３２、反
射器３１ａの順に設けられている。部分反射器３６は、
入力されるレーザ光の一部を反射し、残りを透過する素
子である。このような部分反射器として、例えばファイ
バ・ブラッグ・グレーティング（ＦＢＧ）がある。ここ
でセンシングファイバ３２を往復する光路におけるリタ
ーゼーションが、２π（ｒａｄ）（１波長分）の整数倍
になるように調節する。また、図２に記載している英字
は光路を表す。
のように部分反射器３６、センシングファイバ３２、反
射器３１ａの順に設けられている。部分反射器３６は、
入力されるレーザ光の一部を反射し、残りを透過する素
子である。このような部分反射器として、例えばファイ
バ・ブラッグ・グレーティング（ＦＢＧ）がある。ここ
でセンシングファイバ３２を往復する光路におけるリタ
ーゼーションが、２π（ｒａｄ）（１波長分）の整数倍
になるように調節する。また、図２に記載している英字
は光路を表す。
【００１９】第２の実施の形態においては、２つの光路
を通過するレーザ光を合成する場合に、それぞれのレー
ザ光の偏光状態を一致させておくようにあらかじめ調節
しておくようにしてものである。
を通過するレーザ光を合成する場合に、それぞれのレー
ザ光の偏光状態を一致させておくようにあらかじめ調節
しておくようにしてものである。
【００２０】次に第２の実施の形態の光ファイバセンサ
の動作について説明する。光電部１Ａから送出されたパ
ルス状のレーザ光は、分波器６において、２つの光路を
伝搬してサーキュレータ２に入力される。１つは、合波
器７、サーキュレータ２を伝搬する光路である（光路Ａ
−Ｂ−Ｄ）。もう１つは、リファレンスファイバ３３
Ａ、合波器７、サーキュレータ２を伝搬する光路である
（光路Ａ−Ｃ−Ｄ）。この光路はリファレンスファイバ
３３Ａを伝搬する分だけ光路が長くなり、遅延すること
になる。これらは合波器７で合成され、サーキュレータ
２に入力されることになる。
の動作について説明する。光電部１Ａから送出されたパ
ルス状のレーザ光は、分波器６において、２つの光路を
伝搬してサーキュレータ２に入力される。１つは、合波
器７、サーキュレータ２を伝搬する光路である（光路Ａ
−Ｂ−Ｄ）。もう１つは、リファレンスファイバ３３
Ａ、合波器７、サーキュレータ２を伝搬する光路である
（光路Ａ−Ｃ−Ｄ）。この光路はリファレンスファイバ
３３Ａを伝搬する分だけ光路が長くなり、遅延すること
になる。これらは合波器７で合成され、サーキュレータ
２に入力されることになる。
【００２１】サーキュレータ２はセンサヘッド３にその
レーザ光を透過する。そのレーザ光は、一部（リファレ
ンスファイバ３３Ａを伝搬して遅延したパルス部分）は
部分反射器３６で反射され、サーキュレータ２に入力さ
れる（光路Ｅ−Ｆ−Ｅ）。残りは、センシングファイバ
３２を伝搬し、反射器３１ａで反射され、サーキュレー
タ２に入力される（光路Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｆ−Ｅ）。センシ
ングファイバ３２を伝搬しても、リターゼーションが２
π（ｒａｄ）の整数倍であるので、偏光状態を同一にす
ることができる。
レーザ光を透過する。そのレーザ光は、一部（リファレ
ンスファイバ３３Ａを伝搬して遅延したパルス部分）は
部分反射器３６で反射され、サーキュレータ２に入力さ
れる（光路Ｅ−Ｆ−Ｅ）。残りは、センシングファイバ
３２を伝搬し、反射器３１ａで反射され、サーキュレー
タ２に入力される（光路Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｆ−Ｅ）。センシ
ングファイバ３２を伝搬しても、リターゼーションが２
π（ｒａｄ）の整数倍であるので、偏光状態を同一にす
ることができる。
【００２２】サーキュレータ２は、Ｏ／Ｅ変換器４にそ
のレーザ光を透過する。Ｏ／Ｅ変換器４には、光路Ａ−
Ｂ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｆ−Ｅ−Ｈを伝搬したレーザ光と
光路Ａ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｅ−Ｈを伝搬したレーザ光と
が干渉出力として入力され、電気信号に変換される。そ
して、その電気信号に基づいて復調部５が、測定対象の
物理量を算出する。
のレーザ光を透過する。Ｏ／Ｅ変換器４には、光路Ａ−
Ｂ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｆ−Ｅ−Ｈを伝搬したレーザ光と
光路Ａ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｅ−Ｈを伝搬したレーザ光と
が干渉出力として入力され、電気信号に変換される。そ
して、その電気信号に基づいて復調部５が、測定対象の
物理量を算出する。
【００２３】以上のように第２の実施の形態によれば、
分波器６と合波器７との間及び部分反射器３６及び反射
器３１ａとの間のレーザ光の偏光状態を一致させておく
ようにあらかじめ調節しておくようにしたので、ノイズ
の発生を抑え、ＳＮＲを大きくすることができ、精度の
高い物理量の測定を行うことができる。
分波器６と合波器７との間及び部分反射器３６及び反射
器３１ａとの間のレーザ光の偏光状態を一致させておく
ようにあらかじめ調節しておくようにしたので、ノイズ
の発生を抑え、ＳＮＲを大きくすることができ、精度の
高い物理量の測定を行うことができる。
【００２４】実施形態３．図３は本発明の第３の実施の
形態に係る光ファイバ調節装置を表すブロック図であ
る。図３において、図１又は図２と同じ図番を付してい
るものは、第１の実施の形態又は第２の実施の形態で説
明したことと同様の動作を行うので説明を省略する。図
において、１０は測定部であり、光ファイバの偏光状態
調節するための測定を行う。測定部１０は、光電部１
Ａ、サーキュレータ２、偏波回転器１１、偏波分光器１
２、Ｏ／Ｅ変換器４及び偏光状態演算器１３で構成され
る。偏波回転器１１は、光源１Ａから送出されるレーザ
光を回転させ、偏光状態を調節するためのものである。
偏波分光器１２はサーキュレータ２からの干渉出力に基
づいて、偏光状態演算器１３が演算を行うのに必要なパ
ラメータを出力する。偏光状態演算器１３は偏光状態を
算出し、２つのパルス状レーザ光の偏光状態の差を算出
する。ここで、センシングファイバ３２については、反
射器３１ａと部分反射器３６との間の長さを変えられる
ものとする。
形態に係る光ファイバ調節装置を表すブロック図であ
る。図３において、図１又は図２と同じ図番を付してい
るものは、第１の実施の形態又は第２の実施の形態で説
明したことと同様の動作を行うので説明を省略する。図
において、１０は測定部であり、光ファイバの偏光状態
調節するための測定を行う。測定部１０は、光電部１
Ａ、サーキュレータ２、偏波回転器１１、偏波分光器１
２、Ｏ／Ｅ変換器４及び偏光状態演算器１３で構成され
る。偏波回転器１１は、光源１Ａから送出されるレーザ
光を回転させ、偏光状態を調節するためのものである。
偏波分光器１２はサーキュレータ２からの干渉出力に基
づいて、偏光状態演算器１３が演算を行うのに必要なパ
ラメータを出力する。偏光状態演算器１３は偏光状態を
算出し、２つのパルス状レーザ光の偏光状態の差を算出
する。ここで、センシングファイバ３２については、反
射器３１ａと部分反射器３６との間の長さを変えられる
ものとする。
【００２５】ここで、第２の実施の形態で説明した分波
器６と合波器７との間の光ファイバ（光路Ｂ及びＣの光
ファイバ）やマッハ・ツェンダ干渉計のようにレーザ光
の入出力の位置が異なる場合がある。このような場合、
サーキュレータ２、センサヘッド３Ａの代わりに、偏波
回転器１１からのレーザ光をリターゼーション調節対象
の光干渉計に直接入力するようにする。また、リターゼ
ーション調節対象の光干渉計を伝搬したレーザ光を直接
偏波分光器１２に入力するようにする。そして、少なく
とも一方の（両方でもよい）干渉計のアームとなる光フ
ァイバの長さを変えられるようにしておく。
器６と合波器７との間の光ファイバ（光路Ｂ及びＣの光
ファイバ）やマッハ・ツェンダ干渉計のようにレーザ光
の入出力の位置が異なる場合がある。このような場合、
サーキュレータ２、センサヘッド３Ａの代わりに、偏波
回転器１１からのレーザ光をリターゼーション調節対象
の光干渉計に直接入力するようにする。また、リターゼ
ーション調節対象の光干渉計を伝搬したレーザ光を直接
偏波分光器１２に入力するようにする。そして、少なく
とも一方の（両方でもよい）干渉計のアームとなる光フ
ァイバの長さを変えられるようにしておく。
【００２６】第３の実施の形態は、光路が２つ以上のレ
ーザ光を合成させる場合に、リターゼーションが２π
（ｒａｄ）の整数倍になるように調節装置により、あら
かじめ調節し、上述の実施の形態のような偏光状態が安
定した光ファイバセンサを製造しようとするものであ
る。
ーザ光を合成させる場合に、リターゼーションが２π
（ｒａｄ）の整数倍になるように調節装置により、あら
かじめ調節し、上述の実施の形態のような偏光状態が安
定した光ファイバセンサを製造しようとするものであ
る。
【００２７】次に調節動作について説明する。光源１Ａ
から送出されるパルス状のレーザ光を偏波回転器１１で
回転させ、ほぼ全ての偏光状態を表すようにする。部分
反射器３６で反射された分のパルス及びセンシングファ
イバ３２を伝搬して反射器３１ａで反射され、再度セン
シングファイバ３２を伝搬した分のパルスとの２つのパ
ルス光が偏波分光器１２に入力される。そして、このパ
ルス光に基づいて最終的に偏光状態演算器１３では偏光
状態の差を算出し、その最大値を決定する。そして、こ
の最大値が０に近い値となるようにセンシングファイバ
３２の長さを調節する。このとき、センシングファイバ
３２を往復する光路（部分反射器３６と反射器３１ａと
の間）におけるリターゼーションが、２π（ｒａｄ）の
整数倍になる。
から送出されるパルス状のレーザ光を偏波回転器１１で
回転させ、ほぼ全ての偏光状態を表すようにする。部分
反射器３６で反射された分のパルス及びセンシングファ
イバ３２を伝搬して反射器３１ａで反射され、再度セン
シングファイバ３２を伝搬した分のパルスとの２つのパ
ルス光が偏波分光器１２に入力される。そして、このパ
ルス光に基づいて最終的に偏光状態演算器１３では偏光
状態の差を算出し、その最大値を決定する。そして、こ
の最大値が０に近い値となるようにセンシングファイバ
３２の長さを調節する。このとき、センシングファイバ
３２を往復する光路（部分反射器３６と反射器３１ａと
の間）におけるリターゼーションが、２π（ｒａｄ）の
整数倍になる。
【００２８】以上のように第３の実施の形態によれば、
偏光状態演算器１３が算出した偏光状態の差の最大値を
０にするようにセンシングファイバ３２の長さを調節す
るようにし、部分反射器３６と反射器３１ａとの間にお
けるリターゼーションが２π（ｒａｄ）の整数倍となる
ように調整するようにしたので、偏光状態が安定した光
ファイバセンサを得ることができる。
偏光状態演算器１３が算出した偏光状態の差の最大値を
０にするようにセンシングファイバ３２の長さを調節す
るようにし、部分反射器３６と反射器３１ａとの間にお
けるリターゼーションが２π（ｒａｄ）の整数倍となる
ように調整するようにしたので、偏光状態が安定した光
ファイバセンサを得ることができる。
【００２９】実施形態４．図４は本発明の第４の実施の
形態に係る光ファイバ調節装置の構成図である。図４に
おいて、図３と同じ図番を付しているものは、第３の実
施の形態で説明したことと同様の動作を行うので説明を
省略する。図４において、センシングファイバ３２Ａ
は、反射器３１ａと部分反射器３６との間の長さを変え
られない代わりに光ファイバの形を変形できるもの（例
えば曲げ半径をかえる）とする。
形態に係る光ファイバ調節装置の構成図である。図４に
おいて、図３と同じ図番を付しているものは、第３の実
施の形態で説明したことと同様の動作を行うので説明を
省略する。図４において、センシングファイバ３２Ａ
は、反射器３１ａと部分反射器３６との間の長さを変え
られない代わりに光ファイバの形を変形できるもの（例
えば曲げ半径をかえる）とする。
【００３０】調節動作については、第３の実施の形態と
ほぼ同じであるので説明を省略する。ただ、第３の実施
の形態と異なる点は、センシングファイバ３２Ａの変形
によって偏光状態の差の最大値が０に近い値となるよう
に調節する点である。
ほぼ同じであるので説明を省略する。ただ、第３の実施
の形態と異なる点は、センシングファイバ３２Ａの変形
によって偏光状態の差の最大値が０に近い値となるよう
に調節する点である。
【００３１】以上のように第４の実施の形態によれば、
偏光状態演算器１３が算出した偏光状態の差の最大値を
０にするようにセンシングファイバ３２の形を変形する
ようにし、部分反射器３６と反射器３１ａとの間におけ
るリターゼーションが２π（ｒａｄ）の整数倍となるよ
うに調整するようにしたので、偏光状態が安定した光フ
ァイバセンサを得ることができる。
偏光状態演算器１３が算出した偏光状態の差の最大値を
０にするようにセンシングファイバ３２の形を変形する
ようにし、部分反射器３６と反射器３１ａとの間におけ
るリターゼーションが２π（ｒａｄ）の整数倍となるよ
うに調整するようにしたので、偏光状態が安定した光フ
ァイバセンサを得ることができる。
【００３２】実施形態５．図５は本発明の第５の実施の
形態に係る光ファイバ調節装置の構成図である。図５に
おいて、図３と同じ図番を付しているものは、第３の実
施の形態で説明したことと同様の動作を行うので説明を
省略する。図５において、２０は紫外線光源部である。
紫外線光線部２０は、光ファイバの屈折率を変化させる
ことができる紫外線をセンシングファイバ３２Ｂに照射
するためのものである。また、センシングファイバ３２
Ｂは、反射器３１ａと部分反射器３６との間で、紫外線
を照射されることで屈折率が変化する。
形態に係る光ファイバ調節装置の構成図である。図５に
おいて、図３と同じ図番を付しているものは、第３の実
施の形態で説明したことと同様の動作を行うので説明を
省略する。図５において、２０は紫外線光源部である。
紫外線光線部２０は、光ファイバの屈折率を変化させる
ことができる紫外線をセンシングファイバ３２Ｂに照射
するためのものである。また、センシングファイバ３２
Ｂは、反射器３１ａと部分反射器３６との間で、紫外線
を照射されることで屈折率が変化する。
【００３３】調節動作については、第３の実施の形態と
ほぼ同じであるので説明を省略する。ただ、第３の実施
の形態と異なる点は、センシングファイバ３２Ａに紫外
線光源２０からの紫外線を照射して屈折率を変え、偏光
状態の差の最大値が０に近い値となるように調節する点
である。
ほぼ同じであるので説明を省略する。ただ、第３の実施
の形態と異なる点は、センシングファイバ３２Ａに紫外
線光源２０からの紫外線を照射して屈折率を変え、偏光
状態の差の最大値が０に近い値となるように調節する点
である。
【００３４】以上のように第５の実施の形態において
は、偏光状態演算器１３が算出した偏光状態の差の最大
値を０にするようにセンシングファイバ３２の屈折率を
変化するよう紫外線を照射し、部分反射器３６と反射器
３１ａとの間におけるリターゼーションが２π（ｒａ
ｄ）の整数倍となるように調整するようにしたので、偏
光状態が安定した光ファイバセンサを得ることができ
る。
は、偏光状態演算器１３が算出した偏光状態の差の最大
値を０にするようにセンシングファイバ３２の屈折率を
変化するよう紫外線を照射し、部分反射器３６と反射器
３１ａとの間におけるリターゼーションが２π（ｒａ
ｄ）の整数倍となるように調整するようにしたので、偏
光状態が安定した光ファイバセンサを得ることができ
る。
【００３５】実施形態６．図６は本発明の第６の実施の
形態に係る光ファイバ調節装置の構成図である。図６に
おいて、図１、図３及び図５と同じ図番を付しているも
のは、第１、第３及び第５の実施の形態で説明したこと
と同様の動作を行うので説明を省略する。図６におい
て、測定部１０Ａは、偏波分光器１２及び偏光状態演算
器１３の代わりに波形測定器１４を設けた点で測定部１
０とは異なる。１４は例えば波形測定器である。Ｏ／Ｅ
変換器４が変換した干渉出力の電気信号に基づいて干渉
出力の測定を行う。２１は応力発生器である。応力発生
器２１は、センシングファイバ３２Ｂに対して径方向に
不均一な歪みを加えるものである。その歪みを加えた状
態で紫外線を照射すると光ファイバの屈折率分布が変わ
る。
形態に係る光ファイバ調節装置の構成図である。図６に
おいて、図１、図３及び図５と同じ図番を付しているも
のは、第１、第３及び第５の実施の形態で説明したこと
と同様の動作を行うので説明を省略する。図６におい
て、測定部１０Ａは、偏波分光器１２及び偏光状態演算
器１３の代わりに波形測定器１４を設けた点で測定部１
０とは異なる。１４は例えば波形測定器である。Ｏ／Ｅ
変換器４が変換した干渉出力の電気信号に基づいて干渉
出力の測定を行う。２１は応力発生器である。応力発生
器２１は、センシングファイバ３２Ｂに対して径方向に
不均一な歪みを加えるものである。その歪みを加えた状
態で紫外線を照射すると光ファイバの屈折率分布が変わ
る。
【００３６】第６の実施の形態においては、センシング
ファイバ３２Ｂを伝搬したレーザ光とリファレンスファ
イバ３３を伝搬したレーザ光とによる干渉出力の変動幅
を０にするように、応力発生器２１によりセンシングフ
ァイバ３２Ｂに対して径方向に不均一な歪みを加え、紫
外線光源２０により紫外線を照射して光ファイバの屈折
率分布を変えるようにしたものである。
ファイバ３２Ｂを伝搬したレーザ光とリファレンスファ
イバ３３を伝搬したレーザ光とによる干渉出力の変動幅
を０にするように、応力発生器２１によりセンシングフ
ァイバ３２Ｂに対して径方向に不均一な歪みを加え、紫
外線光源２０により紫外線を照射して光ファイバの屈折
率分布を変えるようにしたものである。
【００３７】次に調節動作について説明する。光源１Ａ
から送出されるレーザ光を偏波回転器１１で回転させ、
ほぼ全ての偏光状態を表すようにする。合分波器３４で
分岐されたレーザ光が、それぞれセンシングファイバ３
２及びリファレンスファイバ３３を伝搬する。波形測定
器１４は、反射器３１ａ、反射器３１ｂにより反射さ
れ、センシングファイバ３２Ｂ及びリファレンスファイ
バ３３を通過して、光カプラ３４により再度合成された
干渉出力振幅の変動幅を測定する。その測定結果とし
て、応力測定器２１によりセンシングファイバ３２Ｂの
径方向に不均一な歪みを加える。そこに紫外線を光源２
０により照射して光ファイバの屈折率分布を変え、干渉
出力振幅の変動幅をほぼ０にする。このとき、センシン
グファイバ３２Ｂとリファレンスファイバ３３の光路に
おけるリターゼーションの差が２π（ｒａｄ）の整数倍
になる。
から送出されるレーザ光を偏波回転器１１で回転させ、
ほぼ全ての偏光状態を表すようにする。合分波器３４で
分岐されたレーザ光が、それぞれセンシングファイバ３
２及びリファレンスファイバ３３を伝搬する。波形測定
器１４は、反射器３１ａ、反射器３１ｂにより反射さ
れ、センシングファイバ３２Ｂ及びリファレンスファイ
バ３３を通過して、光カプラ３４により再度合成された
干渉出力振幅の変動幅を測定する。その測定結果とし
て、応力測定器２１によりセンシングファイバ３２Ｂの
径方向に不均一な歪みを加える。そこに紫外線を光源２
０により照射して光ファイバの屈折率分布を変え、干渉
出力振幅の変動幅をほぼ０にする。このとき、センシン
グファイバ３２Ｂとリファレンスファイバ３３の光路に
おけるリターゼーションの差が２π（ｒａｄ）の整数倍
になる。
【００３８】以上のように第６の実施の形態において
は、センシングファイバ３２Ｂを伝搬したレーザ光とリ
ファレンスファイバ３３を伝搬したレーザ光とによる干
渉出力の変動幅を０にするように、応力発生器２１によ
りセンシングファイバ３２Ｂに対して径方向に不均一な
歪みを加え、紫外線光源２０により紫外線を照射して光
ファイバの屈折率分布を変えるようにしたので、偏光状
態が安定した光ファイバセンサを得ることができる。
は、センシングファイバ３２Ｂを伝搬したレーザ光とリ
ファレンスファイバ３３を伝搬したレーザ光とによる干
渉出力の変動幅を０にするように、応力発生器２１によ
りセンシングファイバ３２Ｂに対して径方向に不均一な
歪みを加え、紫外線光源２０により紫外線を照射して光
ファイバの屈折率分布を変えるようにしたので、偏光状
態が安定した光ファイバセンサを得ることができる。
【００３９】実施形態７．上述の第１の実施の形態で
は、センサヘッド部３にマイケルソン型光ファイバ干渉
計を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば
マッハ・ツェンダ型干渉計、ファブリ・ペロー型干渉計
等を用いてもよい。
は、センサヘッド部３にマイケルソン型光ファイバ干渉
計を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば
マッハ・ツェンダ型干渉計、ファブリ・ペロー型干渉計
等を用いてもよい。
【００４０】実施形態８．また、上述の第２の実施の形
態では、センサヘッド部３Ａとしてファブリ・ペロー型
干渉計を用いたが、これに限定されるものではなく、例
えばマッハ・ツェンダ型干渉計、マイケルソン型干渉計
等を用いてもよい。また、リファレンスファイバ３３Ａ
の部分については、マッハ・ツェンダ型を用いたが、こ
れに限定されるものではなく、マイケルソン型、ファブ
リ・ペロー型等を用いてもよい。
態では、センサヘッド部３Ａとしてファブリ・ペロー型
干渉計を用いたが、これに限定されるものではなく、例
えばマッハ・ツェンダ型干渉計、マイケルソン型干渉計
等を用いてもよい。また、リファレンスファイバ３３Ａ
の部分については、マッハ・ツェンダ型を用いたが、こ
れに限定されるものではなく、マイケルソン型、ファブ
リ・ペロー型等を用いてもよい。
【００４１】実施形態９．上述の第２の実施の形態で
は、リファレンスファイバ３３Ａ、分波器６及び合波器
７については、光源１Ａとサーキュレータ２との間に設
けるようにしたが、これをサーキュレータ２とＯ／Ｅ変
換器４との間に設けるようにしてもよい。
は、リファレンスファイバ３３Ａ、分波器６及び合波器
７については、光源１Ａとサーキュレータ２との間に設
けるようにしたが、これをサーキュレータ２とＯ／Ｅ変
換器４との間に設けるようにしてもよい。
【００４２】実施形態１０．上述の第３の実施の形態〜
第６の実施の形態では、それぞれ長さ、形状、屈折率、
屈折率分布の調節による光ファイバ調節について述べた
が、これらを組み合わせて調節を行ってもよい。
第６の実施の形態では、それぞれ長さ、形状、屈折率、
屈折率分布の調節による光ファイバ調節について述べた
が、これらを組み合わせて調節を行ってもよい。
【００４３】実施形態１１．上述の第３の実施の形態〜
第５の実施の形態において、測定部１０の代わりに測定
部１０Ａを用いてもよい。また、第６の実施の形態にお
いて、測定部１０Ａの代わりに測定部１０を用いてもよ
い。
第５の実施の形態において、測定部１０の代わりに測定
部１０Ａを用いてもよい。また、第６の実施の形態にお
いて、測定部１０Ａの代わりに測定部１０を用いてもよ
い。
【００４４】実施形態１２．また、上述の実施の形態で
は、センシング用の光ファイバを調節してリターゼーシ
ョンの調節を行うようにしたが、これをリファレンス用
の光ファイバを調節することにより行うようにしてもよ
い。また、双方の光ファイバを調節してリターゼーショ
ンの調節を行ってもよい。
は、センシング用の光ファイバを調節してリターゼーシ
ョンの調節を行うようにしたが、これをリファレンス用
の光ファイバを調節することにより行うようにしてもよ
い。また、双方の光ファイバを調節してリターゼーショ
ンの調節を行ってもよい。
【００４５】実施形態１３．また、上述の実施の形態で
はサーキュレータ２を用いて説明しているが、これを光
カプラを代用することも可能である。
はサーキュレータ２を用いて説明しているが、これを光
カプラを代用することも可能である。
【００４６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、干渉等に
より複数の光路を伝搬したレーザ光が合成したときに、
光路のリターゼーションの差が２πの整数倍になるよう
に調節した光ファイバを用いてＳＮＲが高く、雑音発生
が抑えられた光ファイバセンサにより物理量を測定する
ようにしたので、精度の高い測定を行うことができる。
より複数の光路を伝搬したレーザ光が合成したときに、
光路のリターゼーションの差が２πの整数倍になるよう
に調節した光ファイバを用いてＳＮＲが高く、雑音発生
が抑えられた光ファイバセンサにより物理量を測定する
ようにしたので、精度の高い測定を行うことができる。
【００４７】本発明においては、ほぼ全ての偏光状態に
対して、複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差
の最大値を算出し、その最大値が０となるように光路と
なる光ファイバを調節することで、光路のリターゼーシ
ョンの差が２πの整数倍になるようにしたので、ＳＮＲ
が高く、雑音発生が抑えられた光ファイバを得ることが
でき、精度の高い光ファイバセンサを得ることができ
る。
対して、複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差
の最大値を算出し、その最大値が０となるように光路と
なる光ファイバを調節することで、光路のリターゼーシ
ョンの差が２πの整数倍になるようにしたので、ＳＮＲ
が高く、雑音発生が抑えられた光ファイバを得ることが
でき、精度の高い光ファイバセンサを得ることができ
る。
【００４８】また、本発明によれば、偏光状態演算部が
算出した偏光状態の差の最大値が０となるように光路と
なる光ファイバを調節し、光路のリターゼーションの差
が２πの整数倍になるようにしたので、ＳＮＲが高く、
雑音発生が抑えられた光ファイバを得ることができ、精
度の高い光ファイバセンサを得ることができる。
算出した偏光状態の差の最大値が０となるように光路と
なる光ファイバを調節し、光路のリターゼーションの差
が２πの整数倍になるようにしたので、ＳＮＲが高く、
雑音発生が抑えられた光ファイバを得ることができ、精
度の高い光ファイバセンサを得ることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光ファイバセ
ンサの構成図である。
ンサの構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る光ファイバセ
ンサの構成図である。
ンサの構成図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係る光ファイバ調
節装置の構成図である。
節装置の構成図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態に係る光ファイバ調
節装置の構成図である。
節装置の構成図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態に係る光ファイバ調
節装置の構成図である。
節装置の構成図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態に係る光ファイバ調
節装置の構成図である。
節装置の構成図である。
１、１Ａ 光源 ２ サーキュレータ ３、３Ａ センサヘッド部 ３１ａ、３１ｂ 反射器 ３２、３２Ａ、３２Ｂ センシングファイバ ３３、３３Ａ リファレンスファイバ ３４ 合分波器 ３６ 部分反射器 ４ Ｏ／Ｅ変換器 ５ 位相復調器 １０ 測定部 １１ 偏波回転器 １２ 偏波分光器 １３ 偏光状態演算器 １４ 波形測定器 ２０ 紫外線光源 ２１ 応力発生器
Claims (15)
- 【請求項１】 複数の光路を伝搬したレーザ光が合成し
たときに、復屈折の強さを表す指数である光路のリター
ゼーションの差が２πの整数倍になるように調節した光
ファイバを用いて物理量を測定することを特徴とする光
ファイバセンサ。 - 【請求項２】 前記光ファイバの長さを調節してリター
ゼーションの差を調節することを特徴とする請求項１記
載の光ファイバセンサ。 - 【請求項３】 前記光ファイバの形を変形してリターゼ
ーションの差を調節することを特徴とする請求項１記載
の光ファイバセンサ。 - 【請求項４】 前記光ファイバの屈折率を調節してリタ
ーゼーションの差を調節することを特徴とする請求項１
記載の光ファイバセンサ。 - 【請求項５】 前記光ファイバの屈折率分布を調節して
リターゼーションの差を調節することを特徴とする請求
項１記載の光ファイバセンサ。 - 【請求項６】 変調したレーザ光を送出する光源部と、 測定対象の物理量に応じて、光路となる長さを変化させ
るセンシング用光ファイバを有し、該センシング用光フ
ァイバを伝搬したレーザ光の光路と基準のレーザ光の光
路とのリターゼーションの差が２πの整数倍になるよう
に調節しておき、前記光源部から送出されたレーザ光を
前記センシング用光ファイバに透過し、基準のレーザ光
と干渉させるセンサ部と、 前記干渉させたレーザ光を電気信号に変換する光−電気
変換部と、 前記電気信号に基づいて前記物理量を算出する復調部と
を備えたことを特徴とする光ファイバセンサ。 - 【請求項７】 複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状
態の差の最大値をほぼ全ての偏光状態に対して算出する
工程と、 復屈折の強さを表す指数である光路のリターゼーション
の差が２πの整数倍にするため、前記偏光状態の差の最
大値が０となるように前記光路となる光ファイバを調節
する工程とを有することを特徴とする光ファイバの調節
方法。 - 【請求項８】 レーザ光を送出する光源部と、 前記レーザ光のほぼ全ての偏光状態をつくりだすための
偏波回転部と、 複数の光路を伝搬したレーザ光の偏光状態の差の最大値
を算出する偏光状態演算部とを備え、 復屈折の強さを表す指数である光路のリターゼーション
の差が２πの整数倍にするため、前記偏光状態の差の最
大値が０となるように前記光路となる光ファイバを調節
することを特徴とする光ファイバの調節装置。 - 【請求項９】 レーザ光を送出する光源部と、 前記レーザ光のほぼ全ての偏光状態をつくりだすための
偏波回転部と、 複数の光路を伝搬したレーザ光が干渉した光の波形を監
視するための波形測定部とを備え、 復屈折の強さを表す指数である光路のリターゼーション
の差が２πの整数倍にするため、前記干渉した光の波形
の振幅変動幅が０となるように前記光路となる光ファイ
バを調節することを特徴とする光ファイバの調節装置。 - 【請求項１０】 前記光ファイバの長さを調節して前記
光ファイバの調節を行うことを特徴とする請求項８又は
９記載の光ファイバの調節装置。 - 【請求項１１】 前記光ファイバの形を変形して前記光
ファイバの調節を行うことを特徴とする請求項８又は９
記載の光ファイバの調節装置。 - 【請求項１２】 前記光ファイバの屈折率を調節して前
記光ファイバの調節を行うことを特徴とする請求項８又
は９記載の光ファイバの調節装置。 - 【請求項１３】 前記光ファイバの屈折率を調節するた
めに紫外線を照射することを特徴とする請求項１２記載
の光ファイバの調節装置。 - 【請求項１４】 前記光ファイバの屈折率分布を調節し
て前記光ファイバの調節を行うことを特徴とする請求項
８又は９記載の光ファイバの調節装置。 - 【請求項１５】 前記光ファイバの屈折率分布を調節す
るために、前記光ファイバに応力を加えて歪ませ、紫外
線を照射することを特徴とする請求項１４記載の光ファ
イバの調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000324211A JP4329256B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 干渉型光ファイバセンサの調節方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000324211A JP4329256B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 干渉型光ファイバセンサの調節方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002131139A true JP2002131139A (ja) | 2002-05-09 |
| JP4329256B2 JP4329256B2 (ja) | 2009-09-09 |
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ID=18801777
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|---|---|---|---|
| JP2000324211A Expired - Fee Related JP4329256B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 干渉型光ファイバセンサの調節方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP4329256B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005047840A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | The Tokyo Electric Power Company, Incorporated | トルク計測装置 |
| CN106969845A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-07-21 | 南京理工大学 | 光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置 |
| KR20190029416A (ko) * | 2017-09-11 | 2019-03-20 | 한국전자통신연구원 | 펄스 레이저 장치 |
| KR20210061932A (ko) * | 2019-11-20 | 2021-05-28 | 한국전자통신연구원 | 극초단 레이저 장치 |
| US11646541B2 (en) | 2019-11-20 | 2023-05-09 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Femtosecond laser device |
-
2000
- 2000-10-24 JP JP2000324211A patent/JP4329256B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005047840A1 (ja) * | 2003-11-14 | 2005-05-26 | The Tokyo Electric Power Company, Incorporated | トルク計測装置 |
| CN106969845A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-07-21 | 南京理工大学 | 光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置 |
| CN106969845B (zh) * | 2017-03-28 | 2019-05-31 | 南京理工大学 | 光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置 |
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| JP4329256B2 (ja) | 2009-09-09 |
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Legal Events
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| A621 | Written request for application examination |
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| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
| A02 | Decision of refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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