JP6247752B2 - 距離差を取得するための光学測定装置および光学測定方法 - Google Patents
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Description
既に上述したように、測定ヘッド140、141は、デュアルビームガイド15とともに光学測定ヘッド14内に配置され、それによってデュアル測定ヘッドを形成する。これを達成するために、測定ヘッド140、141は、測定ヘッドガイド装置20内に並んで配置され、互いに機械的に接続される。したがって、距離差が測定されることになる、測定対象物体付近の光学測定装置は、特に堅牢でスペースをとらない設計にすることができる。
3 光学測定装置(第3の実施形態)
4 光学測定装置(第2の実施形態)
5 光学測定装置(第4の実施形態)
6 段高さ
8 支持体
10 エッジ領域
12 物体
14,14´ 測定ヘッド
15 デュアルビームガイド
16 第1の測定用ビーム
18 第2の測定用ビーム
20 測定ヘッドガイド装置
22 光源
23 第1の光ビーム
24 第2の光ビーム
26,26´ 測定ヘッド光学系
28 第1の測定点(支持体上)
30 第2の測定点(物体)
32 評価ユニット
34 多チャネル測定装置
36 光ファイバ
38 光ファイバ
39 分光計
40 マルチプレクサ
42 光ガイド
44 電子フィルタ
46 光ガイド
48 分光計
50 薄研削盤
52 研削ディスク
54 研削ディスクの表面
56 層
58 研削ディスクの軸線
60 測定対象物体用のホルダ
62 センサライン
64 接続ライン
66 ディスプレイユニット
70 多チャネル測定装置入力部
71 多チャネル測定装置入力部
72 分光計ライン
75 合焦レンズ
76 光源
77 Yカプラ
78 光ファイバコネクタ用のホルダ
79 光ガイド
80 光ガイド
81 スペクトル方向のオフセット
140 単一測定ヘッド
141 単一測定ヘッド
A 回転方向
B 回転方向
C 回転方向
c 距離
D 測定対象物体の直径
d 厚さ
e 距離
R 研削ディスクの半径
Claims (21)
- 距離差を取得するための光学測定装置、特に、支持体(8)と物体(12)のエッジ領域(10)との間の段高さ(6)をin−situ取得するための光学測定装置であって、
第1の測定ヘッド(140)および第2の測定ヘッド(141)を有するデュアル測定ヘッドとして構成された、デュアルビームガイド(15)を有する光学測定ヘッド(14、14’)と、
前記第1の測定ヘッド(140)および前記第2の測定ヘッド(141)がその中に並んで配置されかつ機械的に接続される、測定ヘッドガイド装置(20)と、
第1の測定用ビーム(16)および第2の測定用ビーム(18)の光(23、24)を生成するための少なくとも1つのスペクトル広帯域光源(22)であって、前記第1の測定ヘッド(140)が、前記第1の測定用ビーム(16)を、例えば支持体(8)上に位置する第1の測定点(28)の方へ向け、前記第2の測定ヘッド(141)が、前記第2の測定用ビーム(18)を、例えば前記物体(12)のエッジ領域(10)上に位置する第2の測定点(30)の方へ向ける、少なくとも1つのスペクトル広帯域光源(22)と、
前記第1の測定点(28)の方へ向けられた前記第1の測定用ビーム(16)の反射スペクトルと前記第2の測定点(30)の方へ向けられた前記第2の測定用ビーム(18)の反射スペクトルとを取得し形成する、前記第1の測定ヘッド(140)および第2の測定ヘッド(141)内に配置された手段と、
前記第1の測定用ビーム(16)からの反射光および前記第2の測定用ビーム(18)からの反射光をそれぞれ、複数の測定入力部を有する多チャネル測定装置(34)の異なる測定入力部内へ結合するための第1の光ファイバ(38)および第2の光ファイバ(36)と、
前記第1の測定用ビーム(16)の前記反射スペクトルおよび前記第2の測定用ビーム(18)の前記反射スペクトルを測定できるようにする前記多チャネル測定装置(34)内に配置され、単一の分光計ライン(72)を有する分光計(48)と、
前記分光計ライン(72)によって測定された前記第1の測定用ビーム(16)および前記第2の測定用ビーム(18)の前記反射スペクトルから距離ピークを形成できるようにするとともに、前記距離ピークを距離差の尺度として評価できるようにする、センサライン(62)を介して前記分光計ライン(72)に接続された評価ユニット(32)と、を備え、
前記光学測定装置は、前記多チャネル測定装置(34)の入力部(70、71)当たり少なくとも1つの光ファイバYカプラを有し、前記分光計(48)の入力側には、光ファイバコネクタ用のホルダ(78)が設けられており、前記光ファイバ(38、36)は、第1の光ガイド(79)および第2の光ガイド(80)を通じ前記光ファイバYカプラを介して前記ホルダ(78)まで経路付けられており、前記第1の光ガイド(79)および前記第2の光ガイド(80)は、前記分光計ライン(72)の方向に沿ってスペクトル方向に互いに対してオフセットされている
光学測定装置。 - 前記光学測定装置が、前記デュアルビームガイド(15)を有する多数の前記光学測定ヘッド(14、14’)を備え、前記光学測定ヘッド(14、14’)がそれぞれ、第1の測定ヘッド(140)および第2の測定ヘッド(141)を有するデュアル測定ヘッドとして構成される
請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記第1の測定ヘッド(140)のそれぞれおよび前記第2の測定ヘッド(141)のそれぞれが、光ファイバによって前記多チャネル測定装置(34)の異なる測定入力部に接続され、したがって、前記第1の測定ヘッド(140)のそれぞれおよび前記第2の測定ヘッド(141)のそれぞれの反射スペクトルを前記多チャネル測定装置(34)内に配置された前記分光計ライン(72)で評価することができる
請求項2に記載の光学測定装置。 - 前記光学測定装置には、前記距離差(6)のin−situクロマティック共焦点取得のために、前記第1の測定ヘッド(140)の少なくとも1つおよび前記第2の測定ヘッド(141)の少なくとも1つが設けられる
請求項1〜3の一項に記載の光学測定装置。 - 前記光学測定装置(2)には、前記距離差(6)のin−situ干渉取得のために、少なくとも1つの第1の測定ヘッド(140)および少なくとも1つの第2の測定ヘッド(141)が設けられる
請求項1〜4の一項に記載の光学測定装置。 - 前記多チャネル測定装置(34)が、好ましくは各対の1つの第1の測定ヘッド(140)と1つの第2の測定ヘッド(141)とを切り替える少なくとも1つのマルチプレクサ(40)を有する
請求項2〜5の一項に記載の光学測定装置。 - 前記多チャネル測定装置(34)がマルチライン検出器を有する
請求項6に記載の光学測定装置。 - 前記少なくとも1つのスペクトル広帯域光源(22)が、各前記第1の測定ヘッド(140)および各前記第2の測定ヘッド(140)用の光源(76)を有する
請求項1〜7の一項に記載の光学測定装置。 - 前記光学測定装置(2)が、前記支持体(8)の方へ向けられた前記第1の測定用ビーム(16)の反射スペクトルと前記物体(12)の前記エッジ領域(10)の方へ向けられた前記第2の測定用ビーム(18)の反射スペクトルとをデジタル化するための手段を有する
請求項1〜8の一項に記載の光学測定装置。 - 前記光学測定装置(2)が、前記支持体(8)と前記物体(12)の前記エッジ領域(10)との間の前記距離差(6)を取得するためのデジタル化反射スペクトル用の評価ユニット(32)を有する
請求項9に記載の光学測定装置。 - 前記光学測定装置(2)が少なくとも4kHzの光走査速度を有する
請求項1〜10の一項に記載の光学測定装置。 - 前記光学測定装置(2)が前記評価ユニット(32)内に電子フィルタ(44)を有する
請求項1〜11の一項に記載の光学測定装置。 - 少なくとも1つの距離差を取得する方法、特に、支持体(8)と物体(12)のエッジ領域(10)との間の段高さ(6)をin−situ取得する光学測定方法であって、
1つの第1の測定ヘッド(140)および1つの第2の測定ヘッド(141)を有するデュアル測定ヘッドとして構成された、デュアルビームガイド(15)を有する光学測定ヘッド(14、14’)を備える測定装置を測定ヘッドガイド装置(20)内に設けるステップであって、前記第1の測定ヘッド(140)および前記第2の測定ヘッド(141)が前記測定ヘッドガイド装置(20)内に並んで配置されかつ機械的に接続される、ステップと、
少なくとも1つのスペクトル広帯域光源を用いて、前記第1の測定ヘッドで第1の測定用ビーム(16)を生成し、前記第2の測定ヘッドで第2の測定用ビーム(18)を生成するステップであって、前記第1の測定ヘッド(140)が前記第1の測定用ビーム(16)を第1の測定点(28)の方へ向け、前記第2の測定ヘッド(141)が前記第2の測定用ビーム(18)を第2の測定点(30)の方へ向けて、それぞれの場合に反射スペクトルが形成される、ステップと、
前記第1の測定用ビーム(16)からの反射光を第1の光ファイバ(38)を通じて、前記第2の測定用ビーム(18)からの反射光を第2の光ファイバ(36)を通じて、複数の測定入力部を有する多チャネル測定装置(34)の異なる測定入力部内へ結合するステップと、
単一の分光計ライン(72)を有する分光計(48)および前記分光計ラインの下流側に接続された評価ユニットを用いて前記反射スペクトルを測定するステップであって、前記分光計(48)は前記多チャネル測定装置内(34)に配置されており、前記スペクトル広帯域光源(22)の光が光ファイバYカプラによって前記測定ヘッド(14)の方へ2つの光ファイバ(36、38)内へ分離され、前記分光計(48)の入力側には光ファイバコネクタ用のホルダ(78)が設けられており、前記光ファイバ(36、38)は第1の光ガイド(79)および第2の光ガイド(80)を通じ前記光ファイバYカプラを介して前記ホルダ(78)まで経路付けられており、前記第1の光ガイド(79)および前記第2の光ガイド(80)は前記分光計ライン(72)の方向に沿ってスペクトル方向に互いに対してオフセットされており、距離ピークが前記第1の測定点と前記第1の測定ヘッドとの間の距離および前記第2の測定点と前記第2の測定ヘッドとの間の距離に従って形成され、前記距離ピークが距離差の尺度として評価される、ステップと
を含む光学測定方法。 - 測定プロセス時に、前記測定ヘッド(14)が前記測定ヘッドガイド装置(20)内の定位置に保持され、前記支持体(8)および前記物体(12)が、前記光学測定ヘッド(14、14’)の下で相対する方向(A、B)に回転して動く
請求項13に記載の光学測定方法。 - 測定時に、第1の測定点(28)が前記支持体(8)上に構成され、第2の測定点(30)が前記物体(12)の前記エッジ領域(10)上に構成され、前記光学測定ヘッド(14、14’)から前記第1の測定点(28)および前記第2の測定点(30)までのそれぞれの距離(c、e)が取得される
請求項13または14に記載の光学測定方法。 - 減少する前記物体の厚さ(d)が、前記取得済み距離値(c、e)の差を計算することによってin−situで記録に残される
請求項13〜15の一項に記載の光学測定方法。 - クロマティック共焦点測定法が前記距離差(6)を取得するために用いられる
請求項13〜16の一項に記載の光学測定方法。 - 干渉測定法が前記距離差(6)を取得するために用いられる
請求項13〜16の一項に記載の光学測定方法。 - 前記支持体(8)の方へ向けられた前記第1の測定用ビーム(16)の前記反射スペクトルと前記物体(12)の前記エッジ領域(10)の方へ向けられた前記第2の測定用ビーム(18)の前記反射スペクトルとが評価のためにデジタル化される
請求項13〜18の一項に記載の光学測定方法。 - 前記物体(12)の前記エッジ領域(10)の表面および前記支持体(8)の表面が、4kHzを超える走査速度で走査される
請求項13〜19の一項に記載の光学測定方法。 - 測定誤差が、前記評価ユニット(32)内の電子デジタルフィルタ(44)によって除去される
請求項13〜20の一項に記載の光学測定方法。
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JP6768500B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2020-10-14 | 株式会社キーエンス | 光走査高さ測定装置 |
JP6829992B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2021-02-17 | 株式会社キーエンス | 光走査高さ測定装置 |
JP6831700B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2021-02-17 | 株式会社キーエンス | 光走査高さ測定装置 |
EP3387919B1 (en) * | 2017-04-12 | 2020-01-29 | Sodim S.A.S. | Method and system for determining the track of origin of products of the tobacco processing industry, cigarette inspection station |
US11022094B2 (en) * | 2017-05-24 | 2021-06-01 | General Electric Company | Modular blade structure and method of assembly |
CN107478180B (zh) * | 2017-07-19 | 2019-12-13 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种柔性基板检测系统及方法 |
TWI668413B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-08-11 | 財團法人國家實驗研究院 | 可撓性光學測距裝置 |
DE102017126310A1 (de) | 2017-11-09 | 2019-05-09 | Precitec Optronik Gmbh | Abstandsmessvorrichtung |
DE102018130901A1 (de) | 2018-12-04 | 2020-06-04 | Precitec Optronik Gmbh | Optische Messeinrichtung |
DE102019102873B4 (de) | 2019-02-06 | 2022-01-20 | Carl Mahr Holding Gmbh | Sensorsystem und Verfahren zur Bestimmung von geometrischen Eigenschaften eines Messobjekts sowie Koordinatenmessgerät |
CN110160450B (zh) * | 2019-05-13 | 2020-12-25 | 天津大学 | 基于白光干涉光谱的大台阶高度的快速测量方法 |
DE102019114167A1 (de) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | Precitec Optronik Gmbh | Optische Messvorrichtung und Verfahren |
JP6875489B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2021-05-26 | 株式会社キーエンス | 共焦点変位計 |
US20220049951A1 (en) * | 2020-08-13 | 2022-02-17 | Optipro Systems, LLC | Surface metrology systems and methods thereof |
CN112525073B (zh) * | 2020-11-19 | 2022-06-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于布里渊增益谱特征参数的结构裂缝识别方法 |
US11463250B2 (en) | 2020-12-14 | 2022-10-04 | Kyndryl, Inc. | Sharing data among different service providers at edge level through collaboration channels |
JP2022112634A (ja) * | 2021-01-22 | 2022-08-03 | 株式会社ディスコ | 計測装置 |
US11619594B2 (en) * | 2021-04-28 | 2023-04-04 | Applied Materials, Inc. | Multiple reflectometry for measuring etch parameters |
JP2023012630A (ja) * | 2021-07-14 | 2023-01-26 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ、および光ファイバの製造方法 |
US11885609B2 (en) * | 2021-11-22 | 2024-01-30 | Wojciech Jan Walecki | Wafer thickness, topography, and layer thickness metrology system |
CN115096212B (zh) * | 2022-07-14 | 2022-11-18 | 儒众智能科技(苏州)有限公司 | 一种三维形貌测量装置与方法 |
Family Cites Families (105)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3431298A (en) | 1965-01-05 | 1969-03-04 | Asahi Chemical Ind | Process for the preparation of oxadicarboxylic acids |
FR2615279B1 (fr) * | 1987-05-11 | 1990-11-02 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de deplacement a fibres optiques decalees |
US6099522A (en) | 1989-02-06 | 2000-08-08 | Visx Inc. | Automated laser workstation for high precision surgical and industrial interventions |
DE59007272D1 (de) * | 1990-03-28 | 1994-10-27 | Landis & Gyr Business Support | Verfahren zur selbsttätigen Eichung oder Nacheichung von Messungen einer physikalischen Grösse. |
JP3208682B2 (ja) | 1992-08-20 | 2001-09-17 | 清水建設株式会社 | コアウォールと鉄骨梁との接合構造 |
US5392124A (en) | 1993-12-17 | 1995-02-21 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for real-time, in-situ endpoint detection and closed loop etch process control |
US5532815A (en) | 1994-06-17 | 1996-07-02 | Kdy Associates, Inc. | System and method for aligning a first surface with respect to a second surface |
DE19525770C1 (de) | 1995-07-14 | 1996-08-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen der Verbindungen gebondeter Wafer |
JP3624476B2 (ja) | 1995-07-17 | 2005-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体レーザ装置の製造方法 |
US6087615A (en) | 1996-01-23 | 2000-07-11 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung | Ion source for an ion beam arrangement |
US5691540A (en) | 1996-04-30 | 1997-11-25 | Ibm Corporation | Assembly for measuring a trench depth parameter of a workpiece |
US5905572A (en) | 1997-08-21 | 1999-05-18 | Li; Ming-Chiang | Sample inspection using interference and/or correlation of scattered superbroad radiation |
US5956142A (en) | 1997-09-25 | 1999-09-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Method of end point detection using a sinusoidal interference signal for a wet etch process |
JP2000205833A (ja) | 1999-01-06 | 2000-07-28 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 陥凹材料の深さを測定するための非破壊的方法および装置 |
US6396069B1 (en) | 1999-06-25 | 2002-05-28 | Macpherson David C. | Topographer for real time ablation feedback having synthetic wavelength generators |
US6897964B2 (en) | 2000-01-21 | 2005-05-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Thickness measuring apparatus, thickness measuring method, and wet etching apparatus and wet etching method utilizing them |
US6368881B1 (en) | 2000-02-29 | 2002-04-09 | International Business Machines Corporation | Wafer thickness control during backside grind |
JP4486217B2 (ja) | 2000-05-01 | 2010-06-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 厚み計測装置、及びそれを用いたウエットエッチング装置、ウエットエッチング方法 |
JP3854810B2 (ja) * | 2000-06-20 | 2006-12-06 | 株式会社日立製作所 | 発光分光法による被処理材の膜厚測定方法及び装置とそれを用いた被処理材の処理方法及び装置 |
US9295391B1 (en) | 2000-11-10 | 2016-03-29 | The General Hospital Corporation | Spectrally encoded miniature endoscopic imaging probe |
US6672943B2 (en) | 2001-01-26 | 2004-01-06 | Wafer Solutions, Inc. | Eccentric abrasive wheel for wafer processing |
US6720567B2 (en) | 2001-01-30 | 2004-04-13 | Gsi Lumonics Corporation | Apparatus and method for focal point control for laser machining |
US6532068B2 (en) | 2001-07-17 | 2003-03-11 | National Research Council Of Canada | Method and apparatus for depth profile analysis by laser induced plasma spectros copy |
JP2003097935A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Nippei Toyama Corp | 距離検出装置および厚さ検出装置 |
US6806969B2 (en) | 2001-10-19 | 2004-10-19 | Agilent Technologies, Inc. | Optical measurement for measuring a small space through a transparent surface |
JP3761444B2 (ja) | 2001-10-23 | 2006-03-29 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7329611B2 (en) | 2002-04-11 | 2008-02-12 | Nec Corporation | Method for forming finely-structured parts, finely-structured parts formed thereby, and product using such finely-structured part |
US20050140981A1 (en) | 2002-04-18 | 2005-06-30 | Rudolf Waelti | Measurement of optical properties |
US7133137B2 (en) | 2002-06-27 | 2006-11-07 | Visx, Incorporated | Integrated scanning and ocular tomography system and method |
US6686270B1 (en) | 2002-08-05 | 2004-02-03 | Advanced Micro Devices, Inc. | Dual damascene trench depth monitoring |
US7306696B2 (en) | 2002-11-01 | 2007-12-11 | Applied Materials, Inc. | Interferometric endpoint determination in a substrate etching process |
US7271916B2 (en) | 2002-11-14 | 2007-09-18 | Fitel Usa Corp | Characterization of optical fiber using Fourier domain optical coherence tomography |
JP2004233163A (ja) | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法およびその装置 |
US7474407B2 (en) | 2003-02-20 | 2009-01-06 | Applied Science Innovations | Optical coherence tomography with 3d coherence scanning |
US7106454B2 (en) | 2003-03-06 | 2006-09-12 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7049156B2 (en) | 2003-03-19 | 2006-05-23 | Verity Instruments, Inc. | System and method for in-situ monitor and control of film thickness and trench depth |
WO2004090195A1 (en) | 2003-04-07 | 2004-10-21 | Fuji Photo Film Co. Ltd. | Crystalline-si-layer-bearing substrate and its production method, and crystalline si device |
DE10319843A1 (de) | 2003-05-03 | 2004-12-02 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Bestimmen der Tiefe einer vergrabenen Struktur |
US6927860B2 (en) | 2003-05-19 | 2005-08-09 | Oti Ophthalmic Technologies Inc. | Optical mapping apparatus with optimized OCT configuration |
US7443511B2 (en) | 2003-11-25 | 2008-10-28 | Asml Netherlands B.V. | Integrated plane mirror and differential plane mirror interferometer system |
DE102004011189B4 (de) | 2004-03-04 | 2011-05-05 | Carl Mahr Holding Gmbh | Optischer Messkopf |
US7177030B2 (en) | 2004-04-22 | 2007-02-13 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Determination of thin film topography |
JP2006058056A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Opto One Kk | 分光膜厚測定装置 |
US7433046B2 (en) | 2004-09-03 | 2008-10-07 | Carl Ziess Meditec, Inc. | Patterned spinning disk based optical phase shifter for spectral domain optical coherence tomography |
DE102004052205A1 (de) | 2004-10-20 | 2006-05-04 | Universität Stuttgart | Interferometrischer Multispektral-Sensor und interferometrisches Multispektral-Verfahren zur hochdynamischen Objekt-Tiefenabtastung oder Objekt-Profilerfassung |
US7477401B2 (en) | 2004-11-24 | 2009-01-13 | Tamar Technology, Inc. | Trench measurement system employing a chromatic confocal height sensor and a microscope |
US7705995B1 (en) | 2004-12-20 | 2010-04-27 | J.A. Woollam Co., Inc. | Method of determining substrate etch depth |
JP4761774B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2011-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度/厚さ測定装置,温度/厚さ測定方法,温度/厚さ測定システム,制御システム,制御方法 |
WO2006084279A2 (en) | 2005-02-04 | 2006-08-10 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Single fiber endoscopic full-field optical coherence tomography (oct) imaging probe |
CN1329766C (zh) * | 2005-06-17 | 2007-08-01 | 哈尔滨工业大学 | 超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法 |
DE102005036719A1 (de) | 2005-07-28 | 2007-02-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Korrigieren von Interpolationsfehlern einer Maschine, insbesondere eines Koordinatenmessgerätes |
GB2429522A (en) | 2005-08-26 | 2007-02-28 | Univ Kent Canterbury | Optical mapping apparatus |
TWI279606B (en) | 2005-09-06 | 2007-04-21 | Univ Nat Cheng Kung | Method and device for automatic focusing of optical fiber type optical coherence tomography |
US20070148792A1 (en) | 2005-12-27 | 2007-06-28 | Marx David S | Wafer measurement system and apparatus |
US7289220B2 (en) | 2005-10-14 | 2007-10-30 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Broadband cavity spectrometer apparatus and method for determining the path length of an optical structure |
DE102005052743B4 (de) | 2005-11-04 | 2021-08-19 | Precitec Optronik Gmbh | Messsystem zur Vermessung von Grenz- oder Oberflächen von Werkstücken |
GB0523722D0 (en) | 2005-11-22 | 2005-12-28 | Taylor Hobson Ltd | Trench measurement |
US7893410B2 (en) | 2005-12-21 | 2011-02-22 | 3M Innovative Properties Company | Method and apparatus for processing multiphoton curable photoreactive compositions |
JP5192395B2 (ja) | 2006-01-19 | 2013-05-08 | オプトビュー,インコーポレーテッド | フーリエドメイン光コヒーレンス断層撮影装置 |
US7368207B2 (en) | 2006-03-31 | 2008-05-06 | Eastman Kodak Company | Dynamic compensation system for maskless lithography |
EP2012653B1 (en) | 2006-05-01 | 2012-12-12 | Physical Sciences, Inc. | Hybrid spectral domain optical coherence tomography line scanning laser ophthalmoscope |
US7791734B2 (en) | 2006-05-02 | 2010-09-07 | Lawrence Livermore National Security, Llc | High-resolution retinal imaging using adaptive optics and Fourier-domain optical coherence tomography |
WO2008010996A2 (en) | 2006-07-17 | 2008-01-24 | Bioptigen, Inc. | Methods, systems and computer program products for removing undesired artifacts in fourier domain optical coherence tomography (fdoct) systems using continuous phase modulation and related phase modulators |
DE102006034244A1 (de) * | 2006-07-21 | 2008-01-31 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Dickenmessung großflächiger Glassubstrate |
JP4810411B2 (ja) | 2006-11-30 | 2011-11-09 | 東京応化工業株式会社 | 処理装置 |
JP4959318B2 (ja) | 2006-12-20 | 2012-06-20 | 株式会社ディスコ | ウエーハの計測装置およびレーザー加工機 |
DE102007016444A1 (de) | 2007-04-05 | 2008-10-16 | Precitec Optronik Gmbh | Bearbeitungseinrichtung |
EP2149067A1 (en) | 2007-04-19 | 2010-02-03 | D.V.P. Technologies Ltd. | Imaging system and method for use in monitoring a field of regard |
US7853429B2 (en) * | 2007-04-23 | 2010-12-14 | Kla-Tencor Corporation | Curvature-based edge bump quantification |
JP4892401B2 (ja) * | 2007-04-24 | 2012-03-07 | 株式会社山武 | 光干渉式測定装置 |
WO2008157790A2 (en) | 2007-06-20 | 2008-12-24 | The Trustees Of Dartmouth College | Pulsed lasers in frequency domain diffuse optical tomography and spectroscopy |
KR101327492B1 (ko) | 2007-06-21 | 2013-11-08 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 이면 연삭 장치 |
DE102007035519B4 (de) * | 2007-07-26 | 2011-12-08 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zur Korrektur der aufgrund der Durchbiegung eines Substrats bedingten Messwerte |
US7823216B2 (en) | 2007-08-02 | 2010-10-26 | Veeco Instruments Inc. | Probe device for a metrology instrument and method of fabricating the same |
US7812966B2 (en) | 2007-08-30 | 2010-10-12 | Infineon Technologies Ag | Method of determining the depth profile of a surface structure and system for determining the depth profile of a surface structure |
US7800766B2 (en) | 2007-09-21 | 2010-09-21 | Northrop Grumman Space & Mission Systems Corp. | Method and apparatus for detecting and adjusting substrate height |
DE102008041062A1 (de) | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Carl Zeiss Smt Ag | Meßvorrichtung und Verfahren zum Vermessen einer Oberfläche |
TWI358538B (en) | 2008-02-22 | 2012-02-21 | Ind Tech Res Inst | Apparatus for measuring defects in semiconductor w |
US8049873B2 (en) | 2008-03-19 | 2011-11-01 | Carl Zeiss Meditec Ag | Surgical microscopy system having an optical coherence tomography facility |
US8199321B2 (en) | 2008-05-05 | 2012-06-12 | Applied Spectra, Inc. | Laser ablation apparatus and method |
JP5473265B2 (ja) | 2008-07-09 | 2014-04-16 | キヤノン株式会社 | 多層構造計測方法および多層構造計測装置 |
EP2159535B1 (en) | 2008-08-28 | 2010-08-18 | Optopol Technology S.A. | Apparatus for optical coherence tomography and non-interferometric imaging |
DE102008049821B4 (de) | 2008-10-01 | 2018-11-22 | Volkswagen Ag | Abstandssensor und Verfahren zur Ermittlung eines Abstands und/oder von Abstandsschwankungen zwischen einem Bearbeitungslaser und einem Werkstück |
CN101393015B (zh) | 2008-10-17 | 2010-06-16 | 华中科技大学 | 一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置 |
CN102197298A (zh) | 2008-10-29 | 2011-09-21 | 柯尼卡美能达精密光学株式会社 | 光断层图像形成方法 |
US8500279B2 (en) | 2008-11-06 | 2013-08-06 | Carl Zeiss Meditec, Inc. | Variable resolution optical coherence tomography scanner and method for using same |
US20100321671A1 (en) | 2009-06-23 | 2010-12-23 | Marx David S | System for directly measuring the depth of a high aspect ratio etched feature on a wafer |
US8649016B2 (en) | 2009-06-23 | 2014-02-11 | Rudolph Technologies, Inc. | System for directly measuring the depth of a high aspect ratio etched feature on a wafer |
JP2011017552A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Oputouea Kk | 多点変位検出装置 |
FR2950441B1 (fr) * | 2009-09-23 | 2012-05-18 | Sabban Youssef Cohen | Capteur optique dote de champ lateral pour la numerisation 3d |
DE102010015944B4 (de) | 2010-01-14 | 2016-07-28 | Dusemund Pte. Ltd. | Dünnungsvorrichtung mit einer Nassätzeinrichtung und einer Überwachungsvorrichtung sowie Verfahren für ein in-situ Messen von Waferdicken zum Überwachen eines Dünnens von Halbleiterwafern |
US8478384B2 (en) | 2010-01-19 | 2013-07-02 | Lightlab Imaging, Inc. | Intravascular optical coherence tomography system with pressure monitoring interface and accessories |
US8525073B2 (en) | 2010-01-27 | 2013-09-03 | United Technologies Corporation | Depth and breakthrough detection for laser machining |
KR20110095823A (ko) | 2010-02-19 | 2011-08-25 | 엘지전자 주식회사 | 무선 통신 시스템에서 복수의 레이어들을 복수의 안테나 포트들에 맵핑하는 방법 및 장치 |
DE102010016862B3 (de) | 2010-05-10 | 2011-09-22 | Precitec Optronik Gmbh | Materialbearbeitungsvorrichtung mit in-situ Messen des Bearbeitungsabstands |
CN101929848B (zh) * | 2010-06-30 | 2012-04-25 | 北京理工大学 | 具有高空间分辨力的乘积共焦扫描检测方法 |
US8194251B2 (en) * | 2010-08-26 | 2012-06-05 | Mitutoyo Corporation | Method for operating a dual beam chromatic point sensor system for simultaneously measuring two surface regions |
GB2489722B (en) | 2011-04-06 | 2017-01-18 | Precitec Optronik Gmbh | Apparatus and method for determining a depth of a region having a high aspect ratio that protrudes into a surface of a semiconductor wafer |
US9714825B2 (en) | 2011-04-08 | 2017-07-25 | Rudolph Technologies, Inc. | Wafer shape thickness and trench measurement |
DE102011051146B3 (de) | 2011-06-17 | 2012-10-04 | Precitec Optronik Gmbh | Prüfverfahren zum Prüfen einer Verbindungsschicht zwischen waferförmigen Proben |
US8520222B2 (en) * | 2011-11-08 | 2013-08-27 | Strasbaugh | System and method for in situ monitoring of top wafer thickness in a stack of wafers |
DE102011055735A1 (de) * | 2011-11-25 | 2013-05-29 | Precitec Optronik Gmbh | Multimesskopfvorrichtung zum Prüfen von Materialdicken oder Profilverläufen eines Objektes |
DE102012111008B4 (de) | 2012-11-15 | 2014-05-22 | Precitec Optronik Gmbh | Optisches Messverfahren und optische Messvorrichtung zum Erfassen einer Oberflächentopographie |
JP5966982B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2016-08-10 | オムロン株式会社 | 共焦点計測装置 |
TWI638131B (zh) | 2013-06-17 | 2018-10-11 | 普雷茨特光電有限公司 | 用於獲取距離差之光學量測裝置及光學量測方法 |
-
2014
- 2014-06-17 TW TW103120880A patent/TWI638131B/zh active
- 2014-06-17 AT ATA50423/2014A patent/AT514500B1/de active
- 2014-06-17 KR KR1020167000139A patent/KR101882591B1/ko active IP Right Grant
- 2014-06-17 WO PCT/IB2014/062290 patent/WO2014203161A1/de active Application Filing
- 2014-06-17 US US14/307,481 patent/US9500471B2/en active Active
- 2014-06-17 CN CN201480034685.XA patent/CN105324629B/zh active Active
- 2014-06-17 JP JP2016518636A patent/JP6247752B2/ja active Active
- 2014-06-17 DE DE102014008584.8A patent/DE102014008584B4/de active Active
Also Published As
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