JP2005062093A - 対象音検出方法及びその装置 - Google Patents

対象音検出方法及びその装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005062093A
JP2005062093A JP2003295244A JP2003295244A JP2005062093A JP 2005062093 A JP2005062093 A JP 2005062093A JP 2003295244 A JP2003295244 A JP 2003295244A JP 2003295244 A JP2003295244 A JP 2003295244A JP 2005062093 A JP2005062093 A JP 2005062093A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acoustic radiation
sound
radiation surface
reflected light
sound pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003295244A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3874749B2 (ja
Inventor
Yoshihiro Hirao
善裕 平尾
Kentaro Nakamura
中村  健太郎
Sadayuki Ueha
貞行 上羽
Noriji Yoshikawa
教治 吉川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rion Co Ltd
Kobayashi Institute of Physical Research
Rikogaku Shinkokai
Original Assignee
Rion Co Ltd
Kobayashi Institute of Physical Research
Rikogaku Shinkokai
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rion Co Ltd, Kobayashi Institute of Physical Research, Rikogaku Shinkokai filed Critical Rion Co Ltd
Priority to JP2003295244A priority Critical patent/JP3874749B2/ja
Publication of JP2005062093A publication Critical patent/JP2005062093A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3874749B2 publication Critical patent/JP3874749B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

【課題】 計測対象物が通常使用または稼動状態において、計測対象物の音響放射面から放射される音の検出装置を提供する。
【解決手段】 振動物体13の音響放射面12から放射される可聴周波数域の音を検出する対象音検出装置であって、音響放射面12近傍の音圧を検出する半反射薄膜鏡5と、音響放射面12及び半反射薄膜鏡5に向けて波長掃引レーザ光を照射するレーザ発振器2と、音響放射面12及び半反射薄膜鏡5からの反射光を波長掃引レーザ光と干渉させるビームスプリッタ3と全反射鏡4と、音響放射面12及び半反射薄膜鏡5からの反射光と波長掃引レーザ光との干渉強度を同時に検出するレーザ受光器6と、ドップラシフトによる周波数変化を音響放射面12及び半反射薄膜鏡5の振動速度に変換する周波数−電圧変換器7,8と、音響放射面12及び半反射薄膜鏡5の振動速度のクロススペクトルを求めるクロススペクトル演算部11を備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、振動する物体の特定の音響放射面から放射される音だけを検出する対象音検出方法及びその装置に関する。
従来、振動する物体の特定の音響放射面から放射される音を検出するために、2マイクロホン法による音響インテンシティ計測が用いられている。これは、ある距離だけ隔てて設置された2つのマイクロホンによって計測された音圧から空気粒子速度ベクトルと音圧を近似し、その積から空間を通過する音響エネルギーを表すベクトル量を算出する方法であり、そのベクトルの大きさおよび向きにより音を放射している放射面を特定することで振動する物体の特定の音響放射面から放射される音を検出する方法である(例えば、非特許文献1参照)。
F.J.Fahy 著、橘 秀樹訳「サウンドインテンシティ理論と応用」オーム社
しかし、2マイクロホン法による音響インテンシティ計測によって振動する物体の特定の音響放射面から放射される音を検出する場合、下記のような問題がある。
(1)空間を通過するすべての音響エネルギーを計測するため、対象とする特定の放射面以外の放射面から放射される音の音響エネルギーを除去することができない。従って、特定の放射面からの放射音の音響エネルギーが、それ以外の放射面からの放射音の音響エネルギーと同等あるいは小さい場合、特定の放射面からの放射音を検出できない。
(2)空間を通過するすべての音響エネルギーを計測するため、対象とする物体以外の物体からの放射音の音響エネルギーを除去することができない。従って、計測対象の物体からの放射音の音響エネルギーが、それ以外の物体からの放射音の音響エネルギーと同等あるいは小さい場合、計測対象の物体からの放射音を検出できない。
(3)空間を通過するすべての音響エネルギーを計測するため、対象とする特定の放射面からの放射音が他の物体で反射して伝搬する反射音の音響エネルギーを除去することができない。従って、正確な放射音の音響エネルギーを算出できず、放射面の特定に誤差が生じるため、振動する物体の特定の音響放射面から放射される音を検出することができない。
(4)放射面からある距離はなれた2次元計測平面上の多数の点において、音響インテンシティを算出する必要があり、その上、1点の音響インテンシティを算出するためにマイクロホン、マイクロホンアンプおよび分析器などが2系列必要となる。従って、計測点数が増えるほど計測器に対するコストが増加する。
これらの問題を解決するためには、高い防音性能を有する無響室内に計測対象物体のみを設置し、音響インテンシティを計測する必要がある。従って、計測対象物が通常の使用状態または稼動状態での計測は不可能であり、複数の機器が組み合わされて使用または稼動している場合には、その一部の機器を対象とした計測は不可能である。また、計測器に対するコストを軽減するには、多数点での計測を少数のマイクロホンおよび分析器などで数回に分けて計測するなどの多大な作業と時間を必要とする。
本発明は、従来の技術が有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、計測系の簡素化によりコストを軽減し、計測対象物が通常使用または稼動している状態において、計測対象物の特定の音響放射面から放射される音の検出方法及びその装置を提供しようとするものである。
上記課題を解決すべく請求項1に係る発明は、振動する物体の特定の音響放射面から放射される可聴周波数域の音を検出する対象音検出方法であって、前記特定の音響放射面及びこの音響放射面近傍に設けた音圧検出手段に向けて波長掃引レーザ光を放射し、前記特定の音響放射面からの反射光及び前記音圧検出手段からの反射光を前記波長掃引レーザ光と干渉させ、前記特定の音響放射面からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度及び前記音圧検出手段からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度を同時に検出し、次いで前記特定の音響放射面からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記特定の音響放射面の振動速度に変換すると共に、前記音圧検出手段からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記音圧検出手段の振動速度に変換し、次いで前記特定の音響放射面の振動速度と前記音圧検出手段の振動速度のクロススペクトルを求め、前記特定の音響放射面からの可聴周波数域の放射音が他の物体で反射して伝搬する反射音と、前記特定の音響放射面以外の音響放射面及び前記振動物体以外の物体からの可聴周波数域の放射音を除去して前記特定の音響放射面から放射される可聴周波数域の音だけを検出するようにした。
請求項2に係る発明は、振動する物体の特定の音響放射面から放射される可聴周波数域の音を検出する対象音検出装置であって、前記特定の音響放射面近傍の音圧を検出する音圧検出手段と、前記特定の音響放射面及び前記音圧検出手段に向けて波長掃引レーザ光を照射するレーザ照射手段と、前記特定の音響放射面からの反射光及び前記音圧検出手段からの反射光を夫々前記波長掃引レーザ光と干渉させる干渉手段と、前記特定の音響放射面からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度及び前記音圧検出手段からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度を同時に検出する干渉強度検出手段と、この干渉強度検出手段が検出した前記特定の音響放射面からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記特定の音響放射面の振動速度に変換すると共に、前記音圧検出手段からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記音圧検出手段の振動速度に変換する変換手段と、前記特定の音響放射面の振動速度と前記音圧検出手段の振動速度のクロススペクトルを求める演算手段を備える。
以上説明したように本発明によれば、従来技術が必要とする高い防音性能を有する無響室などを用いることなく、計測対象物が通常使用または稼動している状態において、計測対象物の特定の音響放射面から放射される音を検出することができる。
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図1は本発明に係る対象音検出装置の実施例1の構成図、図2は信号発生器からレーザ発振器へ注入される電流の変化図、図3はレーザ発振器が照射するレーザ光の周波数の変化図、図4はレーザ受光器に入射する全反射鏡及び半反射薄膜鏡からのレーザ光の周波数の変化図、図5はレーザ受光器に入射する全反射鏡、半反射薄膜鏡及び音響反射面からのレーザ光の周波数の変化図、図6はレーザ受光器に入射する全反射鏡、半反射薄膜鏡及び音響反射面からのレーザ光の干渉によるビート信号の強度分布図、図7は本発明に係る対象音検出装置の実施例2の構成図、図8は本発明に係る対象音検出装置の実施例3の構成図である。
本発明に係る対象音検出装置の実施例1は、図1に示すように、信号発生器1、レーザ発振器2、ビームスプリッタ3、全反射鏡4、半反射薄膜鏡5、レーザ受光器6、周波数−電圧変換器7,8、A/D変換器9,10およびクロススペクトル演算部11からなる。
信号発生器1は、レーザ発振器2への注入電流を時々刻々に変化させる電気信号を発生する。レーザ発振器2は、信号発生器1によって注入された電流の大きさに比例して周波数が変化するレーザ光(波長掃引レーザ光)を半反射薄膜鏡5及び音響放射面12に照射する。
ビームスプリッタ3は、レーザ発振器2が照射したレーザ光を全反射鏡4の方向と半反射薄膜鏡5の方向に分ける機能と、全反射鏡4によって反射されたレーザ光をレーザ受光器6の方向に透過する機能と、半反射薄膜鏡5によって反射されたレーザ光をレーザ受光器6の方向に反射する機能を有している。全反射鏡4は、ビームスプリッタ3からのレーザ光をビームスプリッタ3の方向に完全反射する。ビームスプリッタ3と全反射鏡4により、音響放射面12及び半反射薄膜鏡5からの反射光は、夫々レーザ発振器2からのレーザ光と干渉する。
音圧検出手段としての半反射薄膜鏡5は、ビームスプリッタ3からのレーザ光のうち半分を透過し、残りの半分をビームスプリッタ3の方向に反射すると共に、音響放射面12から放射される音波の音圧に比例して振動する。なお、半反射薄膜鏡5は、例えば高分子膜に金属を蒸着させて形成される。
そして、レーザ発振器2、ビームスプリッタ3、全反射鏡4およびレーザ受光器6は、振動しないように固定される。半反射薄膜鏡5は、振動物体13の音響放射面12の近傍に、音響放射面12とは非接触で設置される。
この時、ビームスプリッタ3と全反射鏡4の距離、ビームスプリッタ3と半反射薄膜鏡5の距離、ビームスプリッタ3と音響放射面12の距離には、差を設けておく。
レーザ受光器6は、入射したレーザ光の強度に比例した電気信号を出力する。例えば、2つのレーザ光を干渉させてレーザ受光器6に入射させれば、レーザ受光器6は2つのレーザ光の周波数の差に等しい周波数のビート信号を出力する。周波数−電圧変換器7,8は、レーザ受光器6から出力される電気信号のうち、特定周波数範囲の周波数変化に比例した電圧を出力する。
A/D変換器9,10は、周波数−電圧変換器7,8が出力したアナログ電気信号を、ある一定時間間隔のデジタル信号に変換する。クロススペクトル演算部11は、A/D変換器9,10から出力されるデジタル信号を演算処理してクロススペクトルを算出する。
以上のように構成した本発明に係る対象音検出装置の実施例1の動作及び対象音検出方法について説明する。
信号発生器1は、図2に示すように、一定振幅で一定周期の鋸波になるように制御された電流をレーザ発振器2へ注入する。すると、レーザ発振器2は、注入された電流の変化に伴って、図3に示すように、照射するレーザ光の周波数を変化させる。
次いで、ビームスプリッタ3は、レーザ発振器2が照射したレーザ光を全反射鏡4の方向と半反射薄膜鏡5の方向に分配する。半反射薄膜鏡5の方向に分配されたレーザ光は、半反射薄膜鏡5によってビームスプリッタ3の方向に反射するレーザ光と、振動物体13の音響放射面12へ照射するレーザ光に分けられる。また、音響放射面12へ照射されたレーザ光は、音響放射面12でビームスプリッタ3の方向に反射する。
この時、半反射薄膜鏡5は、音響放射面12から放射される音波の音圧に比例して振動しており、半反射薄膜鏡5からの反射光の周波数は、ドップラ効果により、半反射薄膜鏡5の振動速度に比例して変化する。また、音響放射面12も振動しているので、音響放射面12からの反射光の周波数も、ドップラ効果により、音響放射面12の振動速度に比例して変化する。
次いで、半反射薄膜鏡5からの反射光は、ビームスプリッタ3で反射し、レーザ受光器6に入射する。この時、ビームスプリッタ3と全反射鏡4の距離と、ビームスプリッタ3と半反射薄膜鏡5の距離の差によって、レーザ発振器2から照射されたレーザ光が全反射鏡4を経てレーザ受光器6に到達するまでの時間と、半反射薄膜鏡5を経てレーザ受光器6に到達するまでの時間に差が生じる。
例えば、ビームスプリッタ3と全反射鏡4の距離よりも、ビームスプリッタ3と半反射薄膜鏡5の距離の方が長い場合には、図4に示すように、半反射薄膜鏡5からの反射光L2が全反射鏡4からの反射光L1よりも遅れてレーザ受光器6に入射する。
そこで、全反射鏡4からの反射光L1と半反射薄膜鏡5からの反射光L2を干渉させてレーザ受光器6に入射させることによって、図6に示すように、2つの反射光L1,L2の周波数の差に等しい周波数のビート信号B1がレーザ受光器6から出力される。
レーザ受光器6から出力されたビート信号B1は、ドップラ効果により、半反射薄膜鏡5の振動速度に比例して周波数が変化している。更に、周波数−電圧変換器7により、周波数の変化を電圧値の変化に変換することで、半反射薄膜鏡5の振動速度に比例した電気信号が得られる。
同時に、ビームスプリッタ3と全反射鏡4の距離及びビームスプリッタ3と半反射薄膜鏡5の距離よりも、ビームスプリッタ3と振動物体13の音響放射面12の距離が長い場合には、図5に示すように、音響放射面12からの反射光L3が全反射鏡4及び半反射薄膜鏡5からの反射光L1,L2よりも遅れてレーザ受光器6に入射する。
そこで、全反射鏡4からの反射光L1と音響放射面12からの反射光L3を干渉させてレーザ受光器6に入射させることによって、図6に示すように、2つの反射光L1,L3の周波数の差に等しい周波数のビート信号B2がレーザ受光器6から出力される。
ここで、音響放射面12からの反射光L3と全反射鏡4からの反射光L1の周波数の差は、半反射薄膜鏡5からの反射光L2と全反射鏡4からの反射光L1の周波数の差よりも大きいため、半反射薄膜鏡5によるビート信号B1よりも高い周波数のビート信号B2がレーザ受光器6から出力される。
レーザ受光器6から出力されたビート信号B2は、ドップラ効果により、音響放射面12の振動速度に比例して周波数が変化している。更に、周波数−電圧変換器8により、周波数の変化を電圧値の変化に変換することで、音響放射面12の振動速度に比例した電気信号が得られる。
このように、2つのビート信号B1,B2の周波数の変化は、2つの周波数−電圧変換器7,8を用いて、別々に電圧の変化に変換されるので、半反射薄膜鏡5の振動速度に比例した電気信号と音響放射面12の振動速度に比例した電気信号を別々に取り出すことができる。
周波数−電圧変換器7,8から出力されたアナログ電気信号は、2つのA/D変換器9,10によって、別々に、ある一定時間間隔のデジタル信号に変換され、それらのクロススペクトルがクロススペクトル演算部11において算出される。このような演算処理により、振動物体13の音響放射面12近傍の音圧に比例した半反射薄膜鏡5の振動速度に含まれるスペクトル成分うち、音響放射面12の振動速度には含まれていないスペクトル成分が除去される。
また、計測対象の音響放射面12の近傍で計測しているため、計測対象の音響放射面12からの放射音が他の物体に反射して伝搬する反射音と、計測対象の音響放射面12の振動速度との間には、大きな時間差が生じるため、クロススペクトル演算時に反射音は除去される。
従って、計測対象の音響放射面12からの放射音が他の物体に反射して伝搬する反射音と、計測対象の音響放射面12以外の放射面および振動物体13以外の物体からの放射音を除去し、計測対象の音響放射面12が振動することにより放射されている音だけを検出することができる。
また、ビームスプリッタ3からのレーザ光を光ファイバで半反射薄膜鏡5まで導くと共に、半反射薄膜鏡5を光ファイバの先端に装着してセンサプローブを構成することができる。このセンサプローブを産業用ロボットに把持させて計測対象物の特定の音響放射面に位置決めすることにより、家電製品などの製造ラインにおいて行うオンライン検査に適用することができる。
次に、本発明に係る対象音検出装置の実施例2では、図7に示すように、レーザ受光器6からのアナログ電気信号をA/D変換器14によって、ある一定時間間隔のデジタル信号に変換する。更に、デジタル処理を行う周波数−電圧変換部15,16によって、半反射薄膜鏡5の振動速度に比例したデジタル信号と音響放射面12の振動速度に比例したデジタル信号を抽出する。
このように、周波数−電圧変換部15,16をデジタル信号処理技術によって実現することで、クロススペクトル演算部11を含めて1台の計算機で処理を行うことができ、計測器に対するコストの軽減が実現できる。なお、図1と同符号の構成要素については、実施例1と同様なので説明を省略する。
次に、本発明に係る対象音検出装置の実施例3では、図8に示すように、実施例2の構成に加えて、ビームスプリッタ3と半反射薄膜鏡5の間にビームスプリッタ17を設置し、更に全反射鏡18と半反射薄膜鏡19を設けている。また、半反射薄膜鏡19及びこれに対向する音響放射面12の振動速度を夫々算出する周波数−電圧変換部20,21と、これらの振動速度のクロススペクトルを算出するクロススペクトル演算部22を設けている。
半反射薄膜鏡19及びこれに対向する音響放射面12の振動速度を、周波数−電圧変換部20,21により、夫々算出し、これらの振動速度のクロススペクトルをクロススペクトル演算部22により求める。このような周波数−電圧変換部とクロススペクトル演算部の組み合わせを増やすことで、一組のレーザ発振器2とレーザ受光器6によって音響放射面12の多点の同時計測が可能になる。なお、図1と同符号の構成要素については、実施例1と同様なので説明を省略する。
本発明は、従来技術が必要とする高い防音性能を有する無響室などを使用することなく、計測対象物が通常使用または稼動している状態において、計測対象物の特定の音響放射面から放射される音を検出することができる。
また、半反射薄膜鏡を光ファイバの先端に装着してセンサプローブを構成し、このセンサプローブを産業用ロボットに把持させて計測対象物の特定の音響放射面に位置決めすることにより、家電製品などの製造ラインにおいて行うオンライン検査に適用することができる。
また、周波数−電圧変換部をデジタル信号処理技術によって実現することで、クロススペクトル演算部を含めて1台の計算機で処理を行うことができ、計測器に対するコストの軽減が実現できる。
更に、周波数−電圧変換部とクロススペクトル演算部の組み合わせを増やすことで、一組のレーザ発振器とレーザ受光器によって音響放射面の多点の同時計測が可能になる。
本発明に係る対象音検出装置の実施例1の構成図 信号発生器からレーザ発振器へ注入される電流の変化図 レーザ発振器が照射するレーザ光の周波数の変化図 レーザ受光器に入射する全反射鏡及び半反射薄膜鏡からのレーザ光の周波数の変化図 レーザ受光器に入射する全反射鏡、半反射薄膜鏡及び音響反射面からのレーザ光の周波数の変化図 レーザ受光器に入射する全反射鏡、半反射薄膜鏡及び音響反射面からのレーザ光の干渉によるビート信号の強度分布図 本発明に係る対象音検出装置の実施例2の構成図 本発明に係る対象音検出装置の実施例3の構成図
符号の説明
1…信号発生器、2…レーザ発振器、3…ビームスプリッタ、4,18…全反射鏡、5,19…半反射薄膜鏡、6…レーザ受光器、7,8,15,16,20,21…周波数−電圧変換器、9,10,14…A/D変換器、11,22…クロススペクトル演算部、12…音響放射面、13…振動物体。

Claims (2)

  1. 振動する物体の特定の音響放射面から放射される可聴周波数域の音を検出する対象音検出方法であって、前記特定の音響放射面及びこの音響放射面近傍に設けた音圧検出手段に向けて波長掃引レーザ光を放射し、前記特定の音響放射面からの反射光及び前記音圧検出手段からの反射光を前記波長掃引レーザ光と干渉させ、前記特定の音響放射面からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度及び前記音圧検出手段からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度を同時に検出し、次いで前記特定の音響放射面からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記特定の音響放射面の振動速度に変換すると共に、前記音圧検出手段からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記音圧検出手段の振動速度に変換し、次いで前記特定の音響放射面の振動速度と前記音圧検出手段の振動速度のクロススペクトルを求め、前記特定の音響放射面からの可聴周波数域の放射音が他の物体で反射して伝搬する反射音と、前記特定の音響放射面以外の音響放射面及び前記振動物体以外の物体からの可聴周波数域の放射音を除去して前記特定の音響放射面から放射される可聴周波数域の音だけを検出することを特徴とする対象音検出方法。
  2. 振動する物体の特定の音響放射面から放射される可聴周波数域の音を検出する対象音検出装置であって、前記特定の音響放射面近傍の音圧を検出する音圧検出手段と、前記特定の音響放射面及び前記音圧検出手段に向けて波長掃引レーザ光を照射するレーザ照射手段と、前記特定の音響放射面からの反射光及び前記音圧検出手段からの反射光を夫々前記波長掃引レーザ光と干渉させる干渉手段と、前記特定の音響放射面からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度及び前記音圧検出手段からの反射光と前記波長掃引レーザ光との干渉強度を同時に検出する干渉強度検出手段と、この干渉強度検出手段が検出した前記特定の音響放射面からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記特定の音響放射面の振動速度に変換すると共に、前記音圧検出手段からの反射光のドップラシフトによる周波数変化を前記音圧検出手段の振動速度に変換する変換手段と、前記特定の音響放射面の振動速度と前記音圧検出手段の振動速度のクロススペクトルを求める演算手段を備えることを特徴とする対象音検出装置。
JP2003295244A 2003-08-19 2003-08-19 対象音検出方法及びその装置 Expired - Fee Related JP3874749B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003295244A JP3874749B2 (ja) 2003-08-19 2003-08-19 対象音検出方法及びその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003295244A JP3874749B2 (ja) 2003-08-19 2003-08-19 対象音検出方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005062093A true JP2005062093A (ja) 2005-03-10
JP3874749B2 JP3874749B2 (ja) 2007-01-31

Family

ID=34371551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003295244A Expired - Fee Related JP3874749B2 (ja) 2003-08-19 2003-08-19 対象音検出方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3874749B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008008898A (ja) * 2006-05-31 2008-01-17 Kansai Electric Power Co Inc:The 振動検出装置
CN108282230A (zh) * 2018-01-22 2018-07-13 中国科学院半导体研究所 语音信息的获取装置及方法
JPWO2021149097A1 (ja) * 2020-01-20 2021-07-29

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7278979B2 (ja) * 2020-01-06 2023-05-22 株式会社東芝 非接触振動計測装置および非接触振動計測方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008008898A (ja) * 2006-05-31 2008-01-17 Kansai Electric Power Co Inc:The 振動検出装置
CN108282230A (zh) * 2018-01-22 2018-07-13 中国科学院半导体研究所 语音信息的获取装置及方法
JPWO2021149097A1 (ja) * 2020-01-20 2021-07-29
JP7324980B2 (ja) 2020-01-20 2023-08-14 日本電信電話株式会社 測定装置および測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3874749B2 (ja) 2007-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6034468B1 (ja) テラヘルツ波を用いたリアルタイム非接触非破壊厚さ測定装置
JP3671805B2 (ja) 振動計測装置及び方法
WO2017187510A1 (ja) 距離計測装置、距離計測方法、及び形状計測装置
CN106704835B (zh) 一种管道泄漏检测单点定位方法
JP3491337B2 (ja) 半導体厚非接触測定装置
JPH03162645A (ja) 非接触オンライン形紙強度測定装置
JP2011189407A (ja) レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法
CN105092013A (zh) 声音识别系统及声音识别方法
JP6674263B2 (ja) 変状検出装置
JP3874749B2 (ja) 対象音検出方法及びその装置
CN110617890A (zh) 一种具有强抗干扰能力的频域f-p型测速系统及其测速方法
WO2019224982A1 (ja) 光測距装置及び加工装置
JPH10246782A (ja) レーザ距離計
Amin et al. Improved displacement sensing by spectral processing of laser self-mixing interferometry signal phase
JP2016130683A (ja) 振動計測装置
US5285260A (en) Spectroscopic imaging system with ultrasonic detection of absorption of modulated electromagnetic radiation
RU2658112C1 (ru) Способ измерения наноперемещений
JPH06186337A (ja) レーザ測距装置
JP4471714B2 (ja) 結晶粒径分布測定方法および装置
JP2001074637A (ja) 動的光散乱式粒径分布測定システム
JP3894887B2 (ja) 対象音検出方法及びその装置
Piper et al. Sensing sound pressure in an anechoic chamber using backscattered laser light
Renhorn et al. Coherent laser radar for vibrometry: robust design and adaptive signal processing
JP2016080390A (ja) 共振周波数測定システム、共振周波数測定方法
JP2000171232A (ja) 超音波計測装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050624

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060628

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061024

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061024

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3874749

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees