JP4471714B2 - 結晶粒径分布測定方法および装置 - Google Patents
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Description
本発明では、先ず、測定対象物内にレーザ光線を用いて超音波を発生させて、その超音波の特定周波数での減衰率を測定することにより、測定対象物の平均結晶粒径を測定する(ステップS10)。次いで、測定された平均結晶粒径に基づいて、結晶粒径分布が特定の分布、以下に説明する実施形態では対数正規分布に従うと仮定して、分布幅を変化させて、各分布幅における超音波の周波数の変化に対する減衰率の変化を示す曲線データを作成する(ステップS12)。次いで、特定周波数領域、例えば0−20MHzの領域で、周波数の変化に対する減衰率の変化を実測値とステップS12で求めた演算データとを比較する(ステップS14)。次いで、ステップS14における比較の結果、曲線の一致度が最良の場合を判定し、結晶粒径分布を決定する(ステップS16)。
先ず、図1を参照すると、本実施形態による結晶粒径分布測定装置は、超音波発生用レーザ源10と、超音波検出用レーザ源20と、ヘッド部30と、干渉計50と、光検出器60と、コンピュータ(演算手段)70とを備える。また、この結晶粒径分布測定装置には、光学部品として、光ファイバ91a、91b、91c、および、集光レンズ92等が設けられている。
先ず、超音波検出用レーザ源20から連続レーザビームが、超音波検出用レーザビームL2として照射され、光ファイバ91bを介してヘッド部30へ伝えられる。ヘッド部30では、超音波測定用レーザビームL2は、フォトカプラ31の射出ポート31aから集光レンズ32へ向けて射出され、集光レンズ32により測定対象物2の表面2aに焦点を結ぶように集光される。測定対象物2の表面2aへ向けて連続的に照射される超音波測定用レーザビームL2は、表面2aにおいて乱反射するが、その一部が反射レーザビームL3としてハーフミラー33により反射され、成形レンズ34により平行ビームとなって、光ファイバ91cへ導かれる。
コンピュータ70は、取り込んだ波形データを高速フーリエ変換する。
A(f)i=A(f)i-1×exp(−2dα)
このように、コンピュータ70は、前記波形データを高速フーリエ変換して、周波数毎の超音波減衰率の実測値αexpを演算する(図4)。
上述した非特許文献2には、多結晶材料中を伝播する超音波の減衰率について記載されている。非特許文献2によれば、多結晶材料中の結晶粒径分布と多結晶材料を伝播する超音波の減衰率は以下の式(1)により示される。
f(x):求めるべきある関数
α:超音波減衰率
D:結晶粒径
λ:超音波パルスの波長
である。
20…超音波検出用レーザ源
30…ヘッド部
31…オプティカルカプラ
32…集光レンズ
33…ハーフミラー
34…成形レンズ
50…干渉計
60…光検出器
70…コンピュータ(演算手段)
91a…光ファイバ
91b…光ファイバ
91c…光ファイバ
92…集光レンズ
Claims (5)
- 多結晶材料の結晶粒径分布測定方法において、
多結晶材料から成る測定対象物内に超音波を発生する段階と、
前記超音波の減衰率を測定して実測減衰率を得る段階と、
仮定した結晶粒径分布に基づいて理論的に超音波減衰率を演算して理論減衰率を得る段階と、
前記実測減衰率を理論減衰率と比較する段階と、
比較結果に基づいて前記測定対象物の結晶粒径分布を決定する結晶粒径分布測定方法。 - 前記仮定した結晶粒径分布は正規分布または対数正規分布であり、
前記理論減衰率を得る段階は、前記実測減衰率に基づいて測定対象物の平均結晶粒径を求める段階と、
前記正規分布の広がり幅に関して複数の異なる値を仮定して、前記平均結晶粒径および前記広がり幅の値の各々に関して結晶粒径分布を求める段階と、
前記求めた結晶粒径分布の各々に関して減衰率を演算して複数の理論減衰率を得る段階を含み、
前記比較する段階は、前記実測減衰率を、前記複数の理論減衰率の各々と比較する段階を含み、
前記方法は、前記比較の結果、最良の一致度を示した理論減衰率を与える結晶粒径分布を前記測定対象物の結晶粒径分布として選択する段階を含む請求項1に記載の方法。 - 多結晶材料の結晶粒径分布測定装置において、
多結晶材料から成る測定対象物内に超音波を発生する手段と、
前記超音波の減衰率を測定して実測減衰率を得る手段と、
仮定した結晶粒径分布に基づいて理論的に超音波減衰率を演算して理論減衰率を得る手段と、
前記実測減衰率を理論減衰率と比較する手段とを具備し、
比較結果に基づいて前記測定対象物の結晶粒径分布を決定するようにした結晶粒径分布測定装置。 - 前記超音波を発生する手段は、前記測定対象物へ向けて超音波測定用レーザビームをパルス状に照射する超音波測定用レーザビーム源を具備し、
前記超音波の減衰率を測定して実測減衰率を得る手段は、前記測定対象物へ向けて測定用レーザビームを連続的に照射する測定用レーザビーム源と、前記測定用レーザビームの反射レーザビームを受光して反射レーザビームの光強度の変化を電気信号に変換する手段と、前記電気信号を波形データとして取り込んで、該波形データを高速フーリエ変換することにより、各周波数毎に減衰率を演算する手段とを具備する請求項3に記載の装置。 - 前記理論減衰率を得る手段は、前記実測減衰率に基づいて測定対象物の平均結晶粒径を求め、結晶粒径分布に関して分布関数を仮定し、該分布関数の広がり幅に関して複数の異なる値を仮定して、前記平均結晶粒径および前記広がり幅の値の各々に関して結晶粒径分布を求め、前記求めた結晶粒径分布の各々に関して減衰率を演算して複数の理論減衰率を得るようになっており、
前記比較する手段は、前記実測減衰率を、前記複数の理論減衰率の各々と比較し、
前記装置は、前記比較の結果、最良の一致度を示した理論減衰率を与える結晶粒径分布を前記測定対象物の結晶粒径分布として選択する手段を更に具備する請求項4に記載の装置。
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