JP4783263B2 - 超音波多重エコー計測装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る超音波多重エコー計測装置の第1実施形態を示す構成図である。
[数7]
1<パラメータs<10
の場合には、超音波の伝播は境界領域となり、超音波の伝播挙動は複雑となる。
図4は、本発明に係る超音波多重エコー計測装置の第2実施形態を示す構成図である。
図5は、本発明に係る超音波多重エコー計測装置の第3実施形態を示す構成図である。
図7は、本発明に係る超音波多重エコー計測装置の第4実施形態を示す構成図である。
図8は、本発明に係る超音波多重エコー計測装置の第5実施形態を示す図である。
超音波多重エコー計測装置20,20A,20Bと全体的な構成を同じくするので、図1,図4および図5を参照し、同じ構成には同一符号を付して重複説明および図示を省略する。第5実施形態に示された超音波多重エコー計測装置20Dは、第1実施形態ないし第3実施形態で説明されたレーザ超音波法を利用した超音波多重エコー計測装置において、特に信号処理状態31が多重エコー信号の減衰率を測定する機能を具備していることが特徴である。
21 送信レーザ光源
22 受信レーザ光源
23 照射光学系
24 被測定物(測定対象物)
25 照射・集光光学系
26 光ファイバケーブル
27 光学ヘッド(超音波受信用光学手段)
28 光ファイバケーブル
29 共焦点ファブリペロー干渉計
30 超音波信号検出手段(光電変換手段)
31 信号処理手段
35 送信照射光学系
36 光ファイバ入射用光学系
37 光ファイバケーブル
38 ビームエキスパンダ
39 レンズアレイ
40 レンズ
44 AD変換手段
45 前処理手段
46 ゲート手段
47 自己相関計算手段
48 データ補間手段
49 伝播時間計測手段
51 周波数分析手段
52 積算減衰量算出手段
53 減衰量算出手段
Claims (6)
- 被測定物の材料に照射することで材料中に超音波を発生せしめる送信レーザ光源と、
前記送信レーザ光源から発振した送信レーザ光を被測定物の材料に照射する照射光学系と、
前記被測定物の材料を伝播した超音波を検出する受信レーザ光源と、
前記受信レーザ光源から発振した受信レーザ光を前記送信レーザ光の照射位置と同位置もしくはその近傍に照射し、その反射光を捕集する照射・集光光学系と、
前記照射・集光光学系で補集した前記受信レーザ光の反射成分から超音波信号成分を検出するための超音波受信用光学手段と、
前記超音波受信用光学手段で光学的に検出された超音波信号を電気信号に変換する光電変換手段と、
前記光電変換手段の出力信号を入力信号とし、前記被測定物の材料中を伝播した超音波信号の信号変換処理、信号処理、特徴量抽出処理、表示処理および記録処理の少なくとも一つの処理機能を有する信号処理手段とから構成され、
前記照射光学系および照射集光光学系の少なくとも一方は、前記被測定物の材料表面に対して前記照射光学系によって照射される前記送信レーザ光のスポット口径a、前記被測定物の材料表面に対して前記照射・集光光学系によって照射される前記受信レーザ光のスポット口径b、前記被測定物の材料の板厚d、利用する超音波波長λ0として、
- 被測定物の材料に照射することで材料中に超音波を発生せしめる送信レーザ光源と、
前記送信レーザ光源から発振した送信レーザ光を前記被測定物の材料に照射する照射光学系と、
前記材料を伝播した超音波を検出する受信レーザ光源と、
前記受信レーザ光源から発振した受信レーザ光を前記送信レーザ光の照射位置における前記被測定物の材料表面垂線と前記送信レーザ光を照射した材料表面の裏面との交点位置もしくはその近傍に照射し、その反射光を捕集する照射・集光光学系と、
前記照射・集光光学系で補集した前記受信レーザ光の反射成分から超音波信号成分を検出する超音波受信用光学手段と、
前記超音波受信用光学手段で光学的に検出された超音波信号を電気信号に変換する光電変換手段と、
前記光電変換手段の出力信号を入力信号とし、前記被測定物の材料中を伝播した超音波信号の信号変換処理、信号処理、特徴量抽出処理、表示処理および記録処理の少なくとも一つの処理機能を有する信号処理手段とから構成され、
前記照射光学系および照射集光光学系の少なくとも一方は、前記被測定物の材料表面に対して前記照射光学系によって照射される前記送信レーザ光のスポット口径a、前記被測定物の材料裏面に対して前記照射・集光光学系によって照射される前記受信レーザ光のスポット口径b、前記被測定物の材料の板厚d、利用する超音波波長λ0として、
- 前記送信レーザ光源から発振した前記送信レーザ光の空間的なエネルギ密度分布を平坦化するエネルギ密度分布平坦化光学系と、前記エネルギ密度分布平坦化光学系を通過した送信レーザ光を前記照射光学系まで伝送するための光ファイバケーブルとを具備する請求項1または2記載の超音波多重エコー計測装置。
- 前記照射光学系および前記照射・集光光学系の少なくとも一方に、照射位置を調整するための照射位置調整機構を具備する請求項1、2または3記載の超音波多重エコー計測装置。
- 前記信号処理手段は、超音波信号波形をデジタル信号に変換する信号変換手段と、変換されたデジタル信号を前処理する前処理手段と、前記前処理手段の出力信号の任意の一部または全部の領域を抽出するゲート手段と、前記ゲート手段で切り出されたデジタル信号の自己相関を求める自己相関計算手段と、前記自己相関計算手段の出力信号を補間するデータ補間手段と、前記データ補間手段の出力信号から多重エコー信号のピーク間時間を算出する伝播時間計測手段と、を具備する請求項1、2または3記載の超音波多重エコー計測装置。
- 前記信号処理手段は、超音波信号波形をデジタル信号に変換する信号変換手段と、変換されたデジタル信号を前処理する前処理手段と、前記前処理手段の出力信号の少なくとも2部分以上の任意幅領域を抽出するゲート手段と、前記ゲート手段で抽出された各領域の周波数分布を求める周波数分析手段と、前記周波数分析手段の出力信号を比較することで伝播距離全体にわたる積算減衰量の周波数分布を求める積算減衰量算出手段と、前記積算減衰量算出手段の出力信号から減衰率を求める減衰率算出手段と、を具備する請求項1、2または3記載の超音波多重エコー計測装置。
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