JP2005057220A - 半導体光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板1から剥離されたn型GaN層5の下面7を、ボイド6と、凸部3を構成していたGaN層2の一部を基板1から剥離してなる剥離面3bとにより構成する。下面7は、略平坦面とされる剥離面3bと剥離面3bに対して窪んだ形状を有するボイド6とによって構成される非平坦面であることから、発光層とされるInGaN層8で発生した光が下面7によって殆ど全反射されることがなく、素子の光取り出し効率を高めることが可能となる。
【選択図】 図2
Description
[第1の実施の形態]
[第2の実施の形態]
[第3の実施の形態]
[第4の実施の形態]
3,13,23,25,53,73 凸部
4,54,55,74,75 凹部
6,16,28,58,78 ボイド
21,70 サファイア基板
22,52,72 マスク層
24 窓部
30,59,79 多重量子井戸層
84 樹脂層
85 支持基板
86 素子分離溝
Claims (20)
- 基板上に結晶層を成長させることによって形成される半導体光素子であって、
前記基板に形成された凹部で前記結晶層が会合することによって当該結晶層に形成される欠陥部を含む非平坦面を有すること
を特徴とする半導体光素子。 - 前記非平坦面は、前記結晶層が前記基板から剥離されることにより形成されること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記欠陥部のサイズは、前記結晶層の上側に形成される発光層で発生する光の波長より大きいこと
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記結晶層の上側に発光層が形成され、
前記非平坦面は前記発光層で発生する光の光取り出し面であること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記発光層に対して前記非平坦面の反対側には光反射膜が形成されていること
を特徴とする請求項4記載の半導体光素子。 - 前記光反射膜は、電極と兼用されること
を特徴とする請求項5記載の半導体光素子。 - 前記結晶層の上側に発光層が形成され、
前記非平坦面は前記発光層で発生する光の光取り出し面に対して略対向する対向面であること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記欠陥部が形成される前記結晶層の裏面側は略平坦面であり、
当該結晶層の裏面側の略平坦面に所要の結晶層を重ねて形成することによって素子構造を形成すること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記凹部は、前記基板を選択的に除去して形成され、
前記結晶層は、前記基板を選択的に除去して形成される凸部から選択成長されることによって形成されること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記凸部の平面形状は略六角形であること
を特徴とする請求項9記載の半導体光素子。 - 前記凸部の側面は、前記結晶層の成長方向に対して略垂直な面であること
を特徴とする請求項9記載の半導体光素子。 - 前記結晶層は、前記基板に形成された緩衝層を介して形成されること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記緩衝層の一部を除去して開口部が形成され、
前記凹部は、前記開口部に臨む前記基板の一部を除去して形成されること
を特徴とする請求項12記載の半導体光素子。 - 前記緩衝層の表面には当該緩衝層に形成されるマスク層の一部が除去されてなる窓部が形成され、
前記凹部は、前記窓部に臨む前記緩衝層とともに前記基板の一部を除去して形成されること
を特徴とする請求項12記載の半導体光素子。 - 前記欠陥部のピッチに合わせて前記結晶層が分離されて素子本体が形成されること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記基板はサファイア基板、又はSiC基板であること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 前記結晶層、及び当該結晶層の上側に形成される所要の結晶層は、GaN系半導体を主たる材料として形成されること
を特徴とする請求項1記載の半導体光素子。 - 基板上に形成される緩衝層から結晶層を成長させることによって形成される半導体光素子であって、
前記緩衝層に形成された凹部で前記結晶層が会合することによって当該結晶層に形成される欠陥部を含む非平坦面を有すること
を特徴とする半導体光素子。 - 基板の主面に対して略垂直な側面を有する凸部から結晶層を成長させ、
前記凸部に隣り合う凹部で前記結晶層を会合させることによって当該結晶層に所要の欠陥部を形成すること
を特徴とする半導体光素子の製造方法。 - 前記結晶層の結晶成長面が結晶成長方向に対して略垂直となるように当該結晶層を成長させ、
前記結晶層が会合する際に当該結晶層の結晶成長が行われる装置内の成長圧力を減圧すること
を特徴とする請求項19記載の半導体光素子の製造方法。
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