JP2005057015A - レジスト剥離方法及び剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プロセス処理後における残存レジストを基体から剥離するためのレジスト剥離方法において、
該残存レジスト内に、水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに水蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
該残存レジスト内に、水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに水蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とする。
該残存レジストに対し、該残存レジストの基体側の層中に水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに水蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とする。
該残存レジストに対し、該残存レジストの基体側の層中に水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とする。
該残存レジストに、露光に用いる光を照射する露光工程、
前記残存レジストを加熱する工程、
水蒸気の噴射を行うことにより該レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とする。
レジスト剥離の動作原理を説明する前にレジストの露光・現像の動作原理について説明する。露光・現像の動作原理については非特許文献1に記載されており、この記載に基づき説明する。ポジ型フォトレジストを例にとって行う。
硬化膜の上から光を当て光化学反応によりケテンを発生させることは容易にできるが、ここで問題なのは硬化膜が疎水性であるために、水の拡散や浸透が困難であることである。レジスト表面を水や蒸気と接触させただけでは、硬化膜の下のケテンに水を付加させることはできない。
1記載技術においてはb層への水分の供給はなされる。
親水性物質形成後におけるレジストの剥離は水蒸気の噴射により行うことが好ましいが、アルカリ水溶液その他のレジスト剥離液を用いて行っても好い。
レジストはプロセス経由後のレジストである。プロセスは特に限定されない。イオン打ち込みプロセス、エッチングプロセス等のプラズマプロセスを経由したレジストが対象とできる。。特に、イオン打ち込みプロセス経由したレジストは従来からその剥離が困難であったが本発明によればかかるレジストであっても容易に剥離することが可能である。イオン打ち込みプロセス以外のプロセスを経由したレジストはより容易に剥離を行うことができる。
本発明では、水蒸気噴射に先立ち、光照射を行う。レジストに架橋等が生じない条件で光照射を行う。
なお、エネルギーの高い光を照射した場合には熱の発生を伴い架橋等が生じてしまうおそれがある。そのため、光照射時にレジストを冷却しておくことが好ましい。これによりレジストの温度が架橋等が生じる温度に上昇しないようにすることが好ましい。また、レジストと光源(例えば高圧水銀ランプ)との距離を離してレジストの温度が上昇しないようにすることも好ましい。
本発明では、光照射に代えてあるいは光照射とともに加熱によって前駆物質を形成してもよい。また、加熱に際しては、レジスト中において架橋等が生じない温度において加熱を行う。
レジストの剥離装置としては図2に示す装置が好適に用いられる。
なお、水蒸気の噴射はノズルにより行うことにより圧力が高い水蒸気の噴射が可能である。単一ノズルにより水蒸気噴射を行う場合は単一ノズルをレジストの中心から外周に向かって移動させて行う。一方、レジストの大きさに対応するシャワープレートを介して水蒸気をレジストに噴射することも可能である。シャワープレートには多数の孔が形成されており、この孔から水蒸気が噴射される。従って、単一ノズルの場合とは異なりノズルを移動させる必要がない。単一ノズルの場合には、水蒸気の噴出口は一つであり、水蒸気が噴出している部分以外においては、噴出後の水蒸気の熱影響を受けてしまう。水蒸気受領の時間差に起因する熱影響が生じる。その結果、熱影響を受けた部分においては架橋等が生じてしまう。そのため、例えばノズルを中心から外周に向かって移動させた場合には、中心部以外においてレジスト残りが発生してしまう。これを防止するためには、水蒸気を受領する部分以外は熱影響による架橋等が生じないように冷却しておくことが好ましい。
一方、水蒸気噴射の次なる目的(レジスト剥離工程)は、水蒸気の運動エネルギーにより基体からレジストを剥離することにある。。この場合は、水蒸気の圧力を高くすることにより剥離を短時間で容易に行うことができる。例えば、3〜10kg/cm2が好ましい。基体上に形成された素子への影響を低減させるという観点からは3〜6kg/cm2が好ましい。なお、この場合における水蒸気の噴射速度としては、1m/秒〜400m/秒が好ましい。10〜100m/秒がより好ましい。かかる速度とすることにより剥離がより容易となる。
化学増幅型レジストは、アルカリ可溶のベースポリマー、溶解抑止剤、酸発生剤からなる。
本例では、試料をそのままアルカリ溶液に浸漬した。
本例では、高圧水銀ランプを用いて紫外線をレジストに照射した後、試料を比較例1と同じ条件でアルカリ溶液に浸漬した。
本例では、試料にそのまま水蒸気を噴射した後、試料を比較例1と同じ条件でアルカリ溶液に浸漬した。
本例では、ホットプレートで加熱処理 (130℃×10分)を行った後、試料を比較例1と同じ条件でアルカリ溶液に浸漬した。
本例では、試料を水中に置いたまま、比較例2と同じ条件で高圧水銀ランプを照射した。水銀ランプ照射後、比較例1と同様にアルカリ溶液に浸漬した。
本例では、比較例2と同様の条件で高圧水銀ランプの照射を行った後、試料を水蒸気雰囲気の圧力釜中に置いた。圧力釜中は、100〜120℃の温度に保持され、圧力は1〜2kg/cm2の水蒸気雰囲気である。本例ではレジストに火膨れが観察された。
高圧水銀ランプ照射後、蒸気雰囲気に暴露した場合は、レジスト膜が火膨れをおこし、網目状に取り残し部分があって完全なアルカリ可溶とはならなかった。
比較例2と同様に、レジストに高温水銀ランプ照射を行い、次いでホットプレートで加熱処理(130℃)した。次いで、試料を比較例1と同じ条件でアルカリ溶液に浸漬した。
なお、上記例では剥離工程はアルカリ溶液を用いた例を示したが、アルカリ溶液を用いる代わりに水蒸気噴射により剥離を行ったところレジストはきれいに剥離した。
本例では、高圧水銀ランプの照射と水蒸気の噴射とを同時に行った。
Claims (16)
- プロセス処理後における残存レジストを基体から剥離するためのレジスト剥離方法において、
該残存レジスト内に、水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに水蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とするレジスト剥離方法。 - 表面に架橋、熱重合あるいは熱縮合の反応を生じた層を有するプロセス処理後における残存レジストを基体から剥離するためのレジスト剥離方法において、
該残存レジストに対し、該残存レジストの基体側の層中に水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに水蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とするレジスト剥離方法。 - イオン打ち込み処理後における残存レジストを基体から剥離するためのレジスト剥離方法において、
該残存レジストに対し、該残存レジストの基体側の層中に水分と反応して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する前駆物質を生成させる工程、
前記レジストに蒸気を噴射して親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程、
前記レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とするレジスト剥離方法。 - 前記前駆物質の生成は、前記レジストに光照射を行うかないしはレジストを加熱することにより行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記レジストは、アルカリ可溶性フェノール樹脂とナフトキノンジアジドの混合物からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記前駆物質はケテンであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記親水性物質はインデンカルボン酸であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記光照射は、レジストの露光に用いられる波長の光を含んだ光を照射することを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記親水性物質乃至アルカリ可溶性物質を形成する工程における水蒸気の噴射時に、噴射部以外のレジストを冷却しておくことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- レジストへの噴射後の水蒸気を基板周辺から除去しながら剥離を行うことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記レジストを剥離する工程は、前記レジストに水蒸気を噴射することにより行うことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- 前記レジストを剥離する工程は、アルカリ水溶液又はレジスト剥離液を用いて行うことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項記載のレジスト剥離方法。
- プロセス処理後における化学増幅型の残存レジストを基体から剥離するためのレジスト剥離方法において、
該残存レジストに、露光に用いる光を照射する露光工程、
前記残存レジストを加熱する加熱工程、
水蒸気の噴射を行うことにより該レジストを剥離する工程、
を順に有することを特徴とするレジスト剥離方法。 - 前記加熱工程は、過熱水蒸気を噴射することにより行うことを特徴とする請求項13記載のレジスト剥離方法。
- 前記加熱工程はホットプレートにより行うことを特徴とする請求項13記載のレジスト剥離方法。
- レジストを有する基板を内部に収納するケーシングと、基板を回転可能に保持する回転保持体と、基板上のレジストへ水蒸気を噴射させるためのノズルと、基板のレジストに光を照射するための光源と、前記ケーシング内で且つ基板の周囲の位置に複数枚の遠心翼を有する回転体とを備え、前記ノズルから噴射され前記基板から振り飛ばされた飛沫やミストを、前記遠心翼の回転により該遠心翼の外側へ排出させる排出機能と、前記排出された前記飛沫やミストの前記遠心翼の内側への回帰を防止する回帰防止機能を有することを特徴とするレジスト剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003285371A JP2005057015A (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | レジスト剥離方法及び剥離装置 |
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JP2003285371A JP2005057015A (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | レジスト剥離方法及び剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005057015A true JP2005057015A (ja) | 2005-03-03 |
Family
ID=34365016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003285371A Pending JP2005057015A (ja) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | レジスト剥離方法及び剥離装置 |
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JP (1) | JP2005057015A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006286830A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | レジスト除去方法およびレジスト除去装置 |
JP2008277480A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送処理方法及び基板搬送処理装置 |
WO2020004396A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 株式会社カネカ | パターン印刷用レジスト組成物及びパターン形成方法 |
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2003
- 2003-08-01 JP JP2003285371A patent/JP2005057015A/ja active Pending
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WO2020004396A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-02 | 株式会社カネカ | パターン印刷用レジスト組成物及びパターン形成方法 |
JPWO2020004396A1 (ja) * | 2018-06-29 | 2021-08-12 | 株式会社カネカ | パターン印刷用レジスト組成物及びパターン形成方法 |
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