JP2005056964A - 電子衝撃加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子衝撃加熱装置は、熱電子を発生するフィラメント9と、このフィラメント9で発生した熱電子を加速して加熱プレート2に衝突させる加速電源19と、前記フィラメント9をフィラメント支持部材20を介して支持するサポート部材13とを有する。このサポート部材13から延設されたアーム状のブラケット18の先端をループ状とし、このブラケット18の先端のループ部分にリング状のフィラメント支持部材20を通し、このフィラメント支持部材20にフィラメント9を通して支持する。アーム状のブラケット18は、その先端をループ状に折り曲げ、折り曲げた先端を同ブラケット18の中間部に溶接している。
【選択図】 図1
Description
ステージ部6の壁には、冷却液通路7が形成され、この冷却液通路7に水等の冷却液を通すことにより、ステージ部6が冷却される。
ステージ部6には、排気通路4が形成され、この排気通路4に接続された真空ポンプ5により、加熱物支持部材1の内部の空間が排気され、真空にされる。
フィラメント9には、フィラメント電極15を介して加熱電源10が接続されている。さらに、このフィラメント9と加熱プレート2との間には、加熱物支持部材1を介して電子加速電源11により加速電圧が印加される。
さらに、ループ状に折り曲げたブラケット18の先端を同ブラケット18の中間部に溶接しているため、同種材料の溶接となり、十分な溶接強度を維持することが出来る。
以下、このような本発明の実施例について、図面を参照しながら具体例を挙げて詳細に説明する。
ステージ部6の上の部分は真空容器の中にあり、加熱プレート2の部分は真空雰囲気におかれることは、図6により説明した従来例と同様である。
このステージ部6の上には、シリコンウエハ等の薄形板状の加熱物を載せる平坦な加熱プレート2を有する耐熱性の加熱物支持部材1が設置され、その内部は同加熱物支持部材1により、その外側の空間と気密に仕切られる空間を有する。より具体的には、加熱物支持部材1は、上面側が加熱プレート2により閉じられ、下面側が開口した円筒形状を有しており、加熱プレート2の平坦な上面は、シリコンウエハ等の薄形板状の加熱物より広くなっている。加熱物支持部材1の下端部にはフランジが設けられ、このフランジ部分がステージ部6の上面に当てられて固定されると共に、真空シール材8により気密にシールされている。
さらに、この加熱物支持部材1の内部には、フィラメント9とリフレクタ3が設置されている。
さらに、一方の電極15を介してフィラメント9に電子加速電源11の負側の電極が接続されている。他方、加熱プレート2は接地されているが、加熱プレート2には加熱物支持部材1を介して電子加速電源11の正側の電極が接続されている。これにより、フィラメント9と加熱プレート2との間に、フィラメント9側が負になるような直流の加速電圧が印加されると共に、加熱プレート2がフィラメント9に対して正電位に保持される。
なお、図3〜図5では、1本のサポート部材13の上端付近のフィラメント9の支持構造を示しているが、図2に示した複数のサポート部材13は、何れも同様のフィラメント9の支持構造を有している。これらのサポート部材13はステージ6の中心の周りに点対称に配列され、円形状に曲げられた線状のフィラメント9を支持している。既に述べた通り、フィラメント9の両端は、電極15、15を介してフィラメント加熱電源10や電子加速電源11に接続されている。
9 フィラメント
13 サポート部材
18 ブラケット
19 加速電源
20 フィラメント支持部材
Claims (2)
- 熱電子を発生するフィラメント(9)と、このフィラメント(9)で発生した熱電子を加速して加熱プレート(2)に衝突させる加速電源(19)と、前記フィラメント(9)をフィラメント支持部材(20)を介して支持するサポート部材(13)ととを有する電子衝撃加熱装置であって、サポート部材(13)から延設されたアーム状のブラケット(18)の先端をループ状とし、このブラケット(18)の先端のループ部分にリング状のフィラメント支持部材(20)を通し、このフィラメント支持部材(20)にフィラメント(9)を通して支持したことを特徴とする電子衝撃加熱装置。
- アーム状のブラケット(18)は、その先端をループ状に折り曲げ、折り曲げた先端を同ブラケット(18)の中間部に溶接していることを特徴とする請求項1に記載の電子衝撃加熱装置。
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