JP5543601B2 - 基板加熱処理装置、基板加熱処理装置の温度制御方法、半導体デバイスの製造方法、基板加熱処理装置の温度制御プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
上記フィラメントと上記加熱容器との間に印加された加速電圧で、上記フィラメントから発生する熱電子を加速し、該加速した熱電子を前記加熱容器に衝突させて該加熱容器を加熱し、該加熱容器の熱により基板のアニール処理を行う基板加熱処理装置の温度制御方法であって、
上記処理容器内への上記基板の搬入前に、上記基板のアニール処理温度よりも高温、かつアニール処理時間よりも長時間にて上記処理容器内を加熱した後、上記アニール処理温度を下回る温度まで冷却する予備加熱を行なう工程と、
上記予備加熱工程が終了した上記処理容器内へ前記基板を搬入した後、上記アニール処理温度まで昇温してアニール処理を行う工程と、
を有することを特徴とする基板加熱処理装置の温度制御方法である。
実施例1は、図1及び図2の電子衝撃加熱装置1を用いて、本発明の予備加熱を含む温度制御方法を用いて半導体デバイスを製造する場合について説明する。
Claims (7)
- 真空排気可能な処理容器内に、フィラメントを組み込んだ導電体の加熱容器を備え、
前記フィラメントと前記加熱容器との間に印加された加速電圧で、前記フィラメントから発生する熱電子を加速し、該加速した熱電子を前記加熱容器に衝突させて該加熱容器を加熱し、該加熱容器の熱により基板のアニール処理を行う基板加熱処理装置の温度制御方法であって、
前記処理容器内への前記基板の搬入前に、前記基板のアニール処理温度よりも高温、かつアニール処理時間よりも長時間にて前記処理容器内を加熱した後、前記アニール処理温度を下回る温度まで冷却する予備加熱を行なう工程と、
前記予備加熱工程が終了した前記処理容器内へ前記基板を搬入した後、前記アニール処理温度まで昇温してアニール処理を行う工程と、
を有することを特徴とする基板加熱処理装置の温度制御方法。 - 炭化珪素基板に不純物をイオン注入した後、アニール処理して不純物を活性化させるアニール処理工程を有する半導体デバイスの製造方法において、
請求項1に記載の予備加熱工程を含む温度制御方法により温度制御して前記アニール処理を行うことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 真空排気可能な処理容器内に、フィラメントを組み込んだ導電体の加熱容器を備え、
前記フィラメントと前記加熱容器との間に印加された加速電圧で、前記フィラメントから発生する熱電子を加速し、該加速した熱電子を前記加熱容器に衝突させて該加熱容器を加熱し、該加熱容器の熱により基板のアニール処理を行う基板加熱処理装置の温度制御プログラムであって、
前記処理容器内への前記基板の搬入前に、前記基板のアニール処理温度よりも高温、かつアニール処理時間よりも長時間にて前記処理容器内を加熱した後、前記アニール処理温度を下回る温度まで冷却する予備加熱を行なう手順と、
前記予備加熱手順が終了した前記処理容器内へ前記基板を搬入した後、前記アニール処理温度まで昇温してアニール処理を行う手順と、
を基板加熱処理装置の制御装置に実行させることを特徴とする基板加熱処理装置の温度制御プログラム。 - 前記真空排気可能な処理容器と、
フィラメントを組み込んだ導電体の加熱容器を備え、前記フィラメントと前記加熱容器との間に印加された加速電圧で、前記フィラメントから発生する熱電子を加速し、該加速した熱電子を前記加熱容器に衝突させて該加熱容器を加熱し、該加熱容器の放熱面からの熱により基板の熱処理を行う加熱装置と、
前記基板を載置する基板ステージと、
前記処理容器内において、前記基板ステージと前記加熱容器の放熱面とを接近または離間させるために、前記基板ステージと前記加熱装置との少なくともいずれか一方を昇降移動させる昇降装置と、
これらを制御する制御装置とシーケンサを少なくとも備える制御系と、
を備え、
前記制御装置に、請求項3に記載の温度制御プログラムが組み込まれていることを特徴とする基板加熱処理装置。 - 前記基板ステージと前記加熱容器の放熱面とをシャッタで隔壁するためのシャッタ機構を有し、
前記制御装置に、前記基板を搬送する際、前記基板ステージと前記加熱容器の放熱面との間をシャッタで隔離した状態で、前記加熱容器の温度を放射温度計で測定し、該測定温度に基づいて温度制御するスタンバイ加熱の温度制御プログラムが組み込まれていることを特徴とする請求項4に記載の基板加熱処理装置。 - 前記シャッタは水冷シャッタであることを特徴とする請求項5に記載の基板加熱処理装置。
- 請求項3に記載の温度制御プログラムを記録したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
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