JP2005037830A - サンドブラスト用感光性樹脂積層体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プロピレンオキシド基を有するポリウレタンプレポリマーとアルカリ可溶性高分子とエチレン性不飽和付加重合性モノマーと光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物を用いて、レジストパターンを形成した後サンドブラスト処理を行う。
【選択図】 選択図なし
Description
このような微細な隔壁パターンを歩留り良く製造する為に、支持体となるフィルム上に感光性樹脂層を積層し、更に必要に応じ保護層を積層したサンドブラスト用の感光性樹脂積層体が用いられている。
感光性樹脂積層体においては、上記のような苛酷なサンドブラスト処理条件にあっても、加工中に微細なレジストパターンが基板から剥がれたり、レジストパターン自体が欠損しないこと、すなわち優れた耐サンドブラスト性が求められる。
従来、サンドブラスト用の感光性樹脂組成物や感光性樹脂積層体が多数開示されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
しかしながら、これらの感光性樹脂組成物や感光性樹脂積層体を用いた場合には、前述した耐サンドブラスト性と現像スカムの発生などの要望には十分に応えられないのが現状である。
(1)(i)末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマーと、ポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、(ii)アルカリ可溶性高分子と、(iii)光重合開始剤と、(iv)エチレン性不飽和付加重合性モノマーより成る感光性樹脂組成物において、前記活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物が、プロピレンオキシド基を有することを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物。
(2)支持体上に、上記(1)記載の感光性樹脂組成物を積層したサンドブラスト用感光性樹脂積層体。
(3)被加工基材上に上記(1)記載の感光性樹脂組成物または上記(2)記載の感光性樹脂積層体を用いて感光性樹脂層を形成し、露光工程、現像工程によりレジストパターンを形成した後、サンドブラスト処理を行うことを特徴とする表面加工方法。
(4)前記被加工基材がプラズマディスプレイパネルである上記(3)記載の表面加工方法。
本発明の(i)成分のポリウレタンプレポリマーは、末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマーとポリイソシアネートから誘導されたポリウレタンの末端イソシアネート基に対して、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物を反応させることによって得られる。
末端に水酸基を有するポリマーとしては、ポリエステルポリオールやポリエーテルポリオールなどのポリオールや、末端水酸基を有する1、4−ポリブタジエン、水添または非水添1、2−ポリブタジエン、ブタジエン−スチレン共重合体、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、末端に水酸基を有するモノマーとしては、エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコールなどのグリコール類や、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等の分子内にカルボキシル基を有するジオール等が挙げられる。
また、レジストの良好な剥離性を得るという点から、一般式(6)中のnが1以上13以下であることが好ましい。より好ましくは、nが1以上8以下である。
(i)成分のポリウレタンプレポリマーのエチレン性不飽和結合濃度は、2×10−4mol/g以上10−2mol/g以下が好ましい。十分に架橋させて耐サンドブラスト性を確保する点から2×10−4mol/g以上が好ましく、硬化膜を柔らかく保ち耐サンドブラスト性を確保する点から10−2mol/g以下が好ましい。
(i)成分のポリウレタンプレポリマーの数平均分子量は1,500以上50,000以下が好ましい。耐サンドブラスト性を維持する点から1,500以上が好ましく、現像性を維持する点から50,000以下が好ましい。より好ましくは2,000以上30,000以下である。ここでいう数平均分子量とはGPC法(カラム:昭和電工(株)製
Shodex(登録商標)(KF−807、KF−806M、KF−806M、KF−802.5)4本直列、移動層溶媒:テトラヒドロフラン)によるポリスチレン換算数平均分子量のことである。
(i)成分のポリウレタンプレポリマーはそれぞれ単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の(ii)成分のアルカリ可溶性高分子としてはカルボン酸含有ビニル共重合体やカルボン酸含有セルロース等が挙げられる。
カルボン酸含有ビニル共重合体に用いられる第1単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸半エステル等が挙げられ、それぞれ単独で用いてもよいし2種以上を組み合わせてもよい。カルボン酸含有ビニル共重合体における第1単量体の割合は、15質量%以上40質量%以下が好ましく、より好ましくは20質量%以上35質量%以下が好ましい。アルカリ現像性を保持させる為、15質量%以上が好ましく、カルボン酸含有ビニル共重合体の溶解度の観点から40質量%以下が好ましい。
カルボン酸含有ビニル共重合体の重量平均分子量は、2万以上30万以上が好ましく、より好ましくは3万以上15万以下である。この場合の重量平均分子量とはGPC法によるポリスチレン換算重量平均分子量のことである。硬化膜の強度を維持する為2万以上が好ましく、感光性樹脂組成物を積層して感光性樹脂層を形成する際の安定性の観点から、30万以下であることが好ましい。
カルボン酸含有セルロースとしては、セルロースアセテートフタレート、ヒドロキシエチル・カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。
本発明の(iv)成分のエチレン性不飽和付加重合性モノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、β−ヒドロキシプロピル−β’−(アクリロイルオキシ)プロピルフタレート、1,4−テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、オクタプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジアリルフタレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビス(トリエチレングリコールメタクリレート)ノナプロピレングリコール、ビス(テトラエチレングリコールメタクリレート)ポリプロピレングリコール、ビス(トリエチレングリコールメタクリレート)ポリプロピレングリコール、ビス(ジエチレングリコールアクリレート)ポリプロピレングリコール、ビスフェノールA系(メタ)アクリル酸エステルモノマーの分子中にエチレンオキシド鎖とプロピレンオキシド鎖の双方を含む化合物などが挙げられる。
(iv)成分のエチレン性不飽和付加重合性モノマーの含有量は感光性樹脂組成物の全質量基準で5〜40質量%が好ましく、より好ましくは10〜35質量%である。十分に架橋させ耐サンドブラスト性を発揮するため5質量%以上が好ましい。であると十分に架橋せず耐サンドブラスト性が低下する。その割合が硬化膜を柔らかく保ち耐サンドブラスト性を発揮する為に40質量%以下が好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物には染料、顔料等の着色物質が含有されていてもよい。このような着色物質としては、例えばフクシン、フタロシアニングリーン、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンS、パラマジェンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン、ベイシックブルー20、カラーインデックス(CI、Color Index)分類でベイシックグリーン1(Basic Green1)と呼ばれる化合物(ダイヤモンドグリーン(商品名))等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物のエチレン性不飽和結合濃度は5.0×10−4mol/g以上3.0×10−3mol/g以下が好ましい。十分な解像度を得る点から5.0×10−4mol/gが好ましく、硬化膜を柔らかく保ち耐サンドブラスト性を発揮する為に3.0×10−3mol/g以下が好ましい。より好ましいエチレン性不飽和結合濃度の範囲は8.0×10−4mol/g以上2.5×10−3mol/g以下である。
支持体(A)、感光性樹脂層(B)、及び保護層(C)を順次積層して感光性樹脂積層体を作成する方法は、従来知られている方法で行うことができる。例えば感光性樹脂層に用いる感光性樹脂組成物を、これらを溶解する溶剤と混ぜ合わせ均一な溶液にしておき、まず支持体(A)の予め剥離剤を形成した表面上にバーコーターやロールコーターを用いて塗布して乾燥し、支持体上に感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層(B)を積層する。次に感光性樹脂層(B)上に保護層(C)をラミネートすることにより感光性樹脂積層体を作成することができる。
次に、本発明の感光性樹脂積層体を用いて被加工基材上に微細なパターンを加工する方法の1例について説明する。
前記現像工程において用いられるアルカリ現像液としては通常炭酸ナトリウム水溶液や界面活性剤水溶液等が用いられる。
前記サンドブラスト処理工程に用いるブラスト材は公知のものが用いられ、例えばSiC,SiO2、Al2O3、CaCO3、ZrO、ガラス、ステンレス等の2〜100μm程度の微粒子が用いられる。
1.評価用サンプルの作製
実施例及び比較例における感光性樹脂積層体は次の様にして作製した。
<感光性樹脂積層体の作製>
表1に示す組成の感光性樹脂組成物をよく攪拌、混合し、感光性樹脂組成物の溶液を厚さ19μmのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコーターを用いて均一に塗布し、90℃の乾燥機中で4分間乾燥して40μm厚みの感光性樹脂層を形成した。次に、感光性樹脂層の表面上に30μm厚みのポリエチレンフィルムを張り合わせて感光性樹脂積層体を得た。
P−1:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/スチレン/アクリロニトリル(質量比が30/25/25/20)の組成を有し重量平均分子量が8万である共重合体の35%メチルエチルケトン溶液。
U−1:ウレタンプレポリマーA
ポリ(1,4−ブタンジオールアジペート)ジオール(水酸基価112.2)200質量部と触媒としてジブチル錫ジラウレート(以下BTLと略記する)0.01gを反応容器に入れよく混合した。そこにイソホロンジイソシアネート51.4質量部を添加し、良く撹拌してから外温を40℃から80℃に昇温し、そのまま約5時間反応させた後2−ヒドロキシエチルアクリレート(分子量116)を8質量部添加しよく撹拌した。約2時間反応させたところで反応を止め、ウレタンプレポリマーAを得た。ウレタンプレポリマーAの数平均分子量は15,000であった。
U−2:ウレタンプレポリマーB
ポリ(1,4−ブタンジオールアジペート)ジオール(水酸基価112.2)200質量部と触媒としてジブチル錫ジラウレート(以下BTLと略記する)0.01gを反応容器に入れよく混合した。そこにイソホロンジイソシアネート51.4質量部を添加し、良く撹拌してから外温を40℃から80℃に昇温し、そのまま約5時間反応させた後2−ヒドロキシプロピルアクリレート(共栄社化学(株)製HOP−A、分子量130)を9質量部添加しよく撹拌した。約2時間反応させたところで反応を止め、ウレタンプレポリマーBを得た。ウレタンプレポリマーBの数平均分子量は15,000であった。
U−3:ウレタンプレポリマーC
ポリ(1,4−ブタンジオールアジペート)ジオール(水酸基価112.2)200質量部と触媒としてジブチル錫ジラウレート(以下BTLと略記する)0.01gを反応容器に入れよく混合した。そこにイソホロンジイソシアネート51.4質量部を添加し、良く撹拌してから外温を40℃から80℃に昇温し、そのまま約5時間反応させた後オリゴプロピレングリコールモノメタクリレート(日本油脂(株)製、PP−1000、分子量約380、一般式5でn=5〜6)を25質量部添加しよく撹拌した。約2時間反応させたところで反応を止め、ウレタンプレポリマーCを得た。ウレタンプレポリマーCの数平均分子量は15,000であった。
U−4:ウレタンプレポリマーD
ポリ(1,4−ブタンジオールアジペート)ジオール(水酸基価112.2)200質量部と触媒としてジブチル錫ジラウレート(以下BTLと略記する)0.01gを反応容器に入れよく混合した。そこにイソホロンジイソシアネート51.4質量部を添加し、良く撹拌してから外温を40℃から80℃に昇温し、そのまま約5時間反応させた後オリゴプロピレングリコールモノメタクリレート(日本油脂(株)製、PP−800、分子量約800、一般式5でn=13)を101質量部添加しよく撹拌した。約2時間反応させたところで反応を止め、ウレタンプレポリマーDを得た。ウレタンプレポリマーDの数平均分子量は15,000であった。
U−5:ウレタンプレポリマーE
ポリ(1,4−ブタンジオールアジペート)ジオール(水酸基価112.2)200質量部と触媒としてジブチル錫ジラウレート(以下BTLと略記する)0.01gを反応容器に入れよく混合した。そこにイソホロンジイソシアネート51.4質量部を添加し、良く撹拌してから外温を40℃から80℃に昇温し、そのまま約5時間反応させた後1,4−ブタンジオールモノアクリレート(分子量144)を10質量部添加しよく撹拌した。約2時間反応させたところで反応を止め、ウレタンプレポリマーEを得た。ウレタンプレポリマーEの数平均分子量は15,000であった。
M−2:ヘキサメチレンジイソシアネートとトリプロピレングリコールモノメタクリレートとのウレタン化物
I−1:ベンジルジメチルケタール
I−2:ベンゾフェノン
I−3:2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体
I−4:ミヒラーズケトン
D−1:ロイコクリスタルバイオレット
D−2:ダイヤモンドグリーン(商品名)
被加工基材は3mm厚みのソーダガラス及び以下の方法で作成したガラスペースト塗工済みソーダガラスの2種類を用いた。3mm厚みのソーダガラス上に、プラズマディスプレイ用ガラスペースト(日本電気硝子(株)製 PLS−3553)をスクリーン印刷法を用いて、ガラスペーストの乾燥後の厚みが150μmとなるようにソーダガラス上に塗布、乾燥しガラスペースト塗工済みソーダガラスを作成した。
<ラミネート>
感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながら、被加工基材にホットロールラミネーター(旭化成(株)製「AL−70」)により105℃でラミネートした。エア圧力は0.35MPaとし、ラミネート速度は1.0m/minとした。
支持体越しに感光性樹脂層にフォトマスク無しあるいは評価に必要なフォトマスクを通して、超高圧水銀ランプ(オーク製作所製HMW−801)により200mJ/cm2で露光した。
<現像>
支持体を剥離した後、30℃の0.4%炭酸ナトリウム水溶液を所定時間スプレーし、感光性樹脂層の未露光部分を溶解除去した。
<サンドブラスト>
被加工基材上に形成されたレジストパターンに対し、Xハイパーブラスト装置HCH−3X7BBART−411M(不二製作所(株)製)を用いて、サンドブラスト加工を施した。研磨剤にS9#1200(不二製作所(株)製)を使用し、ホース内圧0.08MPa、ガン移動速度20m/min.,コンベア移動速度100mm/min.、研磨剤噴射量500g/min.とした。
(1)最小現像時間
ソーダガラス上に感光性樹脂層を形成し、30℃の0.4%炭酸ナトリウム水溶液をスプレーし、未露光の感光性樹脂層が溶解するのに要する時間を測定し、これを最小現像時間とした。
(2)レジストライン密着性
露光の際の露光部と未露光部の幅が1:100の比率のラインパターンを通して、露光した。最小現像時間の1.5倍の現像時間で現像し、硬化レジストラインが正常に形成されている最小マスク幅をレジストライン密着性の値とした。この密着性により次の様にランク分けした。
70μm以下:○
70μmを越え100μm以下:△
100μmを越える:×
露光の際の露光部と未露光部の幅が1:1の比率のラインパターンを通して、露光した。最小現像時間の1.5倍の現像時間で現像し、硬化レジストラインが正常に形成されている最小マスク幅をレジストライン密着性の値とした。この密着性により次の様にランク分けした。
70μm以下:○
70μmを越え100μm以下:△
100μmを越える:×
露光の際の露光部と未露光部の幅が1:2の比率のラインパターンを通して、露光し、最小現像時間の1.5倍の現像時間で現像した。次いで、サンドブラスト加工を行い、硬化レジストラインが欠けたり剥がれたりせずに正常に形成されている最小マスク幅を耐サンドブラスト密着性の値とした。この耐サンドブラスト密着性により次の様にランク分けした。
80μm以下:○
80μmを越え100μm以下:△
100μmを越える:×
現像スカムの発生量は次の様に測定した。得られた感光性樹脂層を0.2m2取り出し、0.4質量% 炭酸ナトリウム水溶液に加え、撹拌器で常温で2時間撹拌し、得られた現像液を一昼夜放置した後ろ紙でろ過し、充分に乾燥した後ろ紙上に残留するスカムの質量を秤量した。評価結果については、比較例の現像スカムの質量を1.0とした時の相対的な値により、次の様にランク分けした。
0.5以上1.0以下:×
0.3以上0.5未満:○
0.3未満:◎
3.評価結果
実施例及び比較例の評価結果を表1に示す。
Claims (4)
- (i)末端に水酸基を有するポリマーまたはモノマーと、ポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、(ii)アルカリ可溶性高分子と、(iii)光重合開始剤と、(iv)エチレン性不飽和付加重合性モノマーより成る感光性樹脂組成物において、前記活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を分子内に共に有する化合物が、プロピレンオキシド基を有することを特徴とするサンドブラスト用感光性樹脂組成物。
- 支持体上に、請求項1記載の感光性樹脂組成物を積層したサンドブラスト用感光性樹脂積層体。
- 被加工基材上に請求項1記載の感光性樹脂組成物または請求項2記載の感光性樹脂積層体を用いて感光性樹脂層を形成し、露光工程、現像工程によりレジストパターンを形成した後、サンドブラスト処理を行うことを特徴とする表面加工方法。
- 前記被加工基材がプラズマディスプレイパネルに用いられる基材である請求項3記載の表面加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008116751A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 感光性樹脂組成物及び積層体 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60104938A (ja) * | 1982-05-13 | 1985-06-10 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 固体表面加工用マスク転写材 |
JPS60104939A (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-10 | Asahi Chem Ind Co Ltd | サンドブラスト用マスク転写材 |
JPS6177844A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 新規な光重合性積層体 |
JP2001022062A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂組成物 |
JP2001281857A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Nichigo Morton Co Ltd | 感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性フィルム |
JP2002062645A (ja) * | 2000-08-15 | 2002-02-28 | Asahi Kasei Corp | サンドブラスト用感光性樹脂積層体 |
JP2002214779A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-07-31 | Asahi Kasei Corp | サンドブラスト用感光性樹脂積層体 |
-
2003
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60104938A (ja) * | 1982-05-13 | 1985-06-10 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 固体表面加工用マスク転写材 |
JPS60104939A (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-10 | Asahi Chem Ind Co Ltd | サンドブラスト用マスク転写材 |
JPS6177844A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 新規な光重合性積層体 |
JP2001022062A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂組成物 |
JP2001281857A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Nichigo Morton Co Ltd | 感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性フィルム |
JP2002062645A (ja) * | 2000-08-15 | 2002-02-28 | Asahi Kasei Corp | サンドブラスト用感光性樹脂積層体 |
JP2002214779A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-07-31 | Asahi Kasei Corp | サンドブラスト用感光性樹脂積層体 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008116751A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 感光性樹脂組成物及び積層体 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090219 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100413 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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