JP2005037733A - 偏光変換素子及び偏光変換素子用ブロック - Google Patents
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Abstract
【課題】 製造の容易な偏光変換素子を提供する。
【解決手段】 偏光変換素子用ブロック119は、一方の表面に偏光分離膜116を有する透光性基板115と一方の表面に反射膜114を有する透光性基板113とを交互に且つこれら透光性基板の一方の表面が隣接する透光性基板の他方の表面とそれぞれ対向するように配置し、一方透光性基板の一方の表面と他方の透光性基板の他方の表面との間に1/2波長板117を配置して構成した。そして、この偏光変換素子用ブロックを透光性基板の表面に対して斜めに伸びる複数の平行な面に沿って切断して偏光変換素子101を形成する。
【選択図】図2
【解決手段】 偏光変換素子用ブロック119は、一方の表面に偏光分離膜116を有する透光性基板115と一方の表面に反射膜114を有する透光性基板113とを交互に且つこれら透光性基板の一方の表面が隣接する透光性基板の他方の表面とそれぞれ対向するように配置し、一方透光性基板の一方の表面と他方の透光性基板の他方の表面との間に1/2波長板117を配置して構成した。そして、この偏光変換素子用ブロックを透光性基板の表面に対して斜めに伸びる複数の平行な面に沿って切断して偏光変換素子101を形成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、偏光変換素子及びこの偏光変換素子を製造するためのブロックに関する。本発明はまた、P偏光とS偏光を含む入射光の中からP偏光又はS偏光の一方の光の偏光角を90度回転して他方の光と混合して出射するPS偏光変換素子に関する。
図21と図22は、特開2000−298212号公報(特許文献1)に開示された偏光変換素子の一例を示す。図示するように、この偏光変換素子1001は平行な入射面1002と出射面1003を有する薄い板からなり、入射面1002と出射面1003の間にはこれらに対してほぼ45度の角度をもって斜めに伸びる複数の層が形成されている。これら複数の層は所定の積層パターン1004を繰り返して構成されている。各パターン1004は、透光性材料からなる第1の基層1005と第2の基層1006を交互に積層して構成されており、第1の基層1005の一方の境界面とこれに対向する第2の基層1006との間に偏光分離膜1007を挟持し、第1の基層1005の他方の境界面とこれに対向する第2の基層1006との間に反射膜1008を挟持している。図示する例において、偏光分離膜1007は、P偏光を透過し、S偏光を反射するものである。そして、出射面1003を形成する第2の基層1006の表面は、P偏光の偏光角を90度回転してS偏光に変換する1/2波長板1009で被覆されている。
このように構成された偏光変換素子1001によれば、図示しない光源からの非偏光入射光1010(P偏光とS偏光を含む光)が第1の基層1005に入射されると、この入射光1010に含まれるP偏光は偏光分離膜1007を透過し、1/2波長板1009でS偏光に変換されて出射される。一方、入射光に含まれるS偏光は偏光分離膜1007と反射膜1008で反射し、第1の基層1005の出射面1003から出射される。
特開2000−298212公報
しかしながら、上述した従来の偏光変換素子1001において、1/2波長板1009は細い帯状シート(ストリップ)からなるもので、これを第2の基層1006の表面に細かい間隔をあけて精密に貼り付けることは非常に難しく、工数・不良品・コストの増加を招くという問題があった。
また、偏光変換素子は、入射面1002に集光レンズアレイを貼り付け、出射面1003に凸レンズアレイを貼り付けて使用されることがある。この場合、図示するように、1/2波長板が所定の厚みを有するために、この1/2波長板の有る場所ではレンズが1/2波長板に接触し、1/2波長板の無い場所ではレンズと偏光分離素子との間に空隙を生じる。そのため、1/2波長板の無い場所で偏光変換素子と凸レンズアレイとの十分な接着力が確保できないという問題がある。
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、その偏光変換素子用ブロックは、一方の表面に偏光分離膜を有する第1の透光性基板と一方の表面に反射膜を有する第2の透光性基板とを交互に且つ上記第1と第2の透光性基板の一方の表面が隣接する透光性基板の他方の表面とそれぞれ対向するように配置し、上記第1の透光性基板の一方の表面と上記第2の透光性基板の他方の表面との間に1/2波長板を配置して構成されていることを特徴とする。
本発明の他の形態の偏光変換素子用ブロックは、一方の表面に偏光分離膜を有し且つ他方の表面に反射膜を有する第1の透光性基板と、第2の透光性基板とを交互に配置し、上記第1の透光性基板の一方の表面とこれに対向する第2の透光性基板との間に1/2波長板を配置して構成されていることを特徴とする。
これらの偏光変換素子において、上記反射膜は偏光分離膜で形成してもよい。
本発明の他の形態の偏光変換素子用ブロックは、一方の表面に反射膜を有する第1の透光性基板と一方の表面に偏光分離膜を有する第2の透光性基板とを交互に且つ上記第1と第2の透光性基板の一方の表面が隣接する透光性基板の他方の表面とそれぞれ対向するように配置し、上記第1の透光性基板の一方の表面と上記第2の透光性基板の他方の表面との間に1/2波長板を配置して構成されていることを特徴とする。
また、本発明の偏光変換素子は、上述の偏光変換素子用ブロックを上記透光性基板の表面に対して斜めに伸びる複数の平行な面に沿って切断して形成されていることを特徴とする。
この偏光変換素子では、偏光変換素子の一方の表面に反射防止膜を設けることが好ましい。
本発明によれば、1/2波長板層が偏光変換素子の内部に完全に収められ、1/2波長板層は偏光変換素子の積層工程で素子内部に配置される。したがって、従来の偏光変換素子のように、この素子の最終製造工程でストリップ状の1/2波長板を偏光変換素子の表面に貼り付けるといった面倒な工程が不要になり、製造効率及びコストが向上するとともに不良品発生率が低下する。
以下、添付図面を参照して本発明の好適な複数の実施例を説明する。なお、以下の説明及び図面において、3桁で表示された各符号において、100の位の数字は実施例の番号に対応しており、10と位と1の位の数字の組み合わせからなる符号部分が同一又は対応する部品又は部分を示している。
図1は、実施例1に係る偏光変換素子を拡大した断面を示す。図示するように、本発明の偏光変換素子101は平行又はほぼ平行に配置された入射面102と出射面103を有する平板からなり、入射面102と出射面103との間にはそれらの面と所定の角度(例えば、45度)をなす方向の平面に沿って伸びる複数の層を備えている。これら複数の層は所定の積層パターン104の繰り返しであり、各パターン104は第1の基層105・反射層106・第2の基層107・偏光分離層108・1/2波長板層109をこの順序で配列して構成されている。
第1の基層105と第2の基層107は透明なガラス又はプラスチックからなる透光性材料で形成されている。反射層106はアルミニウムなどの金属膜、または反射性能を高めるために金属膜上に誘電体膜を重ねた複合膜、もしくは誘電体多層膜からなる。偏光分離膜層108は、誘電体多層膜からなる偏光ビームスプリッタであり、本実施例では、P偏光を透過し、S偏光を反射するものが使用されている。1/2波長板層109は、P偏光の偏光角を90度回転してS偏光に変換するもので、通常は複数のフィルムを接着して形成されている。なお、これら複数のフィルムを接着するための接着剤には、透明度が高く、光を受けても品質(特に、透明性)の低下が無い又は少ない接着剤(例えば、アクリル接着剤、エポキシ接着剤、シリコーン接着剤、ポリエステル接着剤)を利用するのが好ましい。
このような構成の偏光変換素子101は、図2と図3に示す方法により製造される。この製造方法では、第1〜第3の層110,111,112が用意される。第1の層110は、第1の基層105になる第1の基板113の一方の表面に反射層106になる反射膜114を一体的に形成したものである。第2の層111は、第2の基層107になる第2の基板115の一方の表面に偏光分離膜層109になる偏光分離膜116を一体的に形成したものである。第3の層112は、1/2波長板層109になる1/2波長板117からなる。なお、反射膜114と偏光分離膜116は、公知の化学的又は物理的な気相成長法を用いて基板に直接成膜される。また、発明の性質上必須ではないが、第1の基板113と第2の基板115は同一の厚みを有することが好ましい。
用意された複数の第1〜第3の層110,111,112は、第1の基板113の一方の表面と第2の基板115の他方の表面との間に反射膜114が挟持され且つ第2の基板115に支持されている偏光分離膜116と1/2波長板117が隣接するように配置されて接着剤118で貼り合わされ、積層ブロック119が得られる。なお、積層ブロック119を作成する際、図2と図3に示すように、この積層ブロック119の最上部に反射膜114、偏光分離膜116、または1/2波長板117が露出するのを防止するために、また後の切断工程でこれらの膜や板が破損するのを防止するために、最上部にはダミー基板120を貼り付けるのが好ましい。このダミー基板120としては、基板113又は115を用いることが好ましい。
接着剤118には、透明度が高く、光を受けても品質(特に、透明性)の低下が無い又は少ない接着剤(例えば、アクリル接着剤、エポキシ接着剤、シリコーン接着剤、ポリエステル接着剤)を利用するのが好ましい。また、各層を貼り合わせる接着剤は同一である必要はなく、例えば第1の層と第2の層はある接着剤で接着し、第2の層と第3の層は別の接着剤、さらに第3の層と第1の層はさらに別の接着剤で接着してもよい。
次に、積層ブロック119は、図3に示すように、各層の境界面121と45度又はほぼ45度の角度をなす平面(切断面122)に沿って斜めに切断し、多数の偏光変換素子101に分割される。図示するように、切断した後の切れ端部分(端材)123を出来るだけ小さくするために、透光性基板を積層する際にその厚み分だけずらし、複数の層の端部によって形成されるブロック端面(図面上左右の端面)が切断面122とほぼ平行に伸びるように重ねることが望ましい。また、図示しないが、積層ブロック119の切断は、一つ又は複数の平行に配置された回転砥石又はワイヤソーを用いたスライサを用いて行うのが好ましい。さらに、切断後、各偏光変換素子101の入射面102と反射面103は研磨することが好ましい。
このようにして製造された偏光変換素子101によれば、図1に示すように、図示しない光源からの非偏光入射光124(P偏光とS偏光を含む光)が第2の基層107に入射されると、この入射光124に含まれるP偏光は偏光分離層108を透過した後、1/2波長板層109でS偏光に変換され、第1の基層105を介して出射面103から出射される。一方、入射光124に含まれるS偏光は偏光分離膜層108と反射層106で順番に反射され、第2の基層107の出射面103から出射される。
以上のように、本発明に係る偏光変換素子によれば、1/2波長板層109が偏光変換素子101の内部に完全に収められている。また、1/2波長板層109は、偏光変換素子101の積層工程で素子内部に配置される。したがって、従来の偏光変換素子のように、この素子の最終製造工程でストリップ状の1/2波長板を偏光変換素子の表面に貼り付けるといった面倒な工程が不要になり、製造効率及びコストが向上するとともに不良品発生率が低下する。
図5に実施例2の偏光変換素子、図6と図7に偏光変換素子の製造方法を示す。これらの図に示す実施例2は偏光変換素子201の製造方法に特徴を有する。具体的に説明すると、実施例2の偏光変換素子201を製造する場合、図6に示すように、3つの層(第1の層210、第2の層211、第3の層212)を用意する。第1の層210は、第1の基層205になる第1の基板213を有する。第2の層211は、第2の基層207になる第2の基板215の一方の表面に反射層206になる反射膜214を形成するとともに他方の表面に偏光分離膜層208になる偏光分離膜216を形成したものである。第3の層212は、1/2波長板層109になる1/2波長板217からなる。これら3種類の層210,211,212は、図6に示すように、第2の層211の反射膜214を第2の第1の基板213と第2の基板215とで挟持し、偏光分離膜216が1/2波長板217に隣接するように積層接着されて、積層ブロック219が形成される。このようにして形成された積層ブロック219は、図7に示すように切断されて複数の偏光変換素子201に加工される。そして、得られた偏光変換素子201は、実施例1の偏光変換素子と同様に機能し、図4に示すように、第2の基層207に入射された非偏光入射光224(P偏光とS偏光を含む光)を、一方の偏光(S偏光)だけを含む出射光に変換する。
上述した実施例1では反射層と偏光分離膜層を異なる材料で形成したが、反射層を偏光分離膜層で代用することもできる。この実施例の場合、図9〜図11に示すように、積層ブロック319の積層パターン304を構成する第1の層310は第1の基板313の片面に偏光分離膜316’を有し、第2の層311は第2の基板315の片面に偏光分離膜316を有する。ここで、基板313,315は後に図9の基層305,307になるもので、偏光分離膜316、316’は後に図9の偏光分離膜層308、308’になるものである。これら第1の層310と第2の層311は、後に1/2波長板層309になる1/2波長板317からなる第3の層312と共に積層接着されて積層ブロック319として一体化された後、図11に示すように積層ブロック319を切断して複数の偏光変換素子301が得られる。
このように構成された実施例3の偏光変換素子301によれば、実施例1と同様に、第2の基層307に入射したS偏光はまず、1/2波長板309に隣接する第1の偏光分離膜層308で反射し、次に反射層として機能する第2の偏光分離膜層308’で反射して出射面303から出射する。一方、第2の基層307に入射したP偏光は、第1の偏光分離膜層308を透過し、1/2波長板309でS偏光に変換されて、出射面303から出射する。
また、このような構成を有する実施例3によれば、第1の層310と第2の層311が同一の構成を有するので、透光性基板の片側表面に偏光分離膜を形成した1種類の層を第1の層と第2の層の両方に利用することができる。さらに、透光性基板の表面に1種類の偏光分離膜だけを形成すればよいので、製造工程が簡単になる。
実施例2における反射層を偏光分離膜層で代用することもできる。この実施例の場合、図13〜図15に示すように、積層ブロック419の積層パターン404を構成する第1の層410は第1の基板413を有し、第2の層411は第2の基板515の両面に偏光分離膜416、416’を有する。ここで、基板413,415は後に図13の基層405,407になるもので、偏光分離膜416、416’は後に図9の偏光分離膜層408、408’になるものである。これら第1の層410と第2の層411は、1/2波長板417からなる第3の層412と共に積層接着されて積層ブロック419として一体化された後、図15に示すように積層ブロック419を切断して複数の偏光変換素子401が得られる。
このように構成された実施例4の偏光変換素子401によれば、実施例2と同様に、第2の基層407に入射したS偏光はまず、1/2波長板409に隣接する第1の偏光分離膜層408で反射し、次に反射層として機能する第2の偏光分離膜層408’で反射して出射面403から出射する。一方、第2の基層407に入射したP偏光は、第1の偏光分離膜層408を透過し、1/2波長板409でS偏光に変換されて、出射面403から出射する。したがって、実施例4によれば、一方の基板415だけに偏光分離膜416,416’を形成すればよいので、基板の製造に要する時間が短縮される。
図17に実施例5の偏光変換素子、図18と図19に偏光変換素子の製造方法を示す。これらの図に示す実施例5の偏光変換素子501は、偏光分離膜の機能と、偏光分離膜層と反射層の配置場所の点で上述した実施例と相違する。具体的に説明すると、この実施例5の偏光変換素子501は、図17に示すように、各パターン504が第1の基層505・偏光分離層508・第2の基層507・反射層506・1/2波長板層509をこの順序で配列して構成されており、偏光分離層508にはS偏光を透過してP偏光を反射するものが使用されている。このような構成の偏光変換素子501は、図18及び図19に示すように、第1の透光性基板513の一方の表面に偏光分離膜516を形成した第1の層510と、第2の透光性基板515の一方の表面に分離膜514を形成した第2の層511と、1/2波長板517からなる第3の層512をこの順序で接着して積層したブロック519をスライスして形成される。または、図示しないが、第1の透光性基板513(第1の層510)と、第2の透光性基板515の一方の表面に偏光分離膜516を形成するとともに他方の表面に反射膜514を形成した第2の層511と、1/2波長板517からなる第3の層512をこの順序で接着して積層したブロック519をスライスして偏光変換素子501を得ることもできる。
このように形成された実施例5の偏光変換素子510によれば、図17に示すように、非偏光入射光522(P偏光とS偏光を含む光)が第1の基層505に入射されると、この入射光522に含まれるS偏光は偏光分離層508を透過して第2の基層507の出射面503から出射される。一方、入射光に含まれるP偏光は、偏光分離層508で反射された後、1/2波長板層509を透過する際にS偏光に変換される。変換後のS偏光は、次に反射層506で反射した後、再び1/2波長板509を透過し、第1の基層505の出射面503から出射される。なお、1/2波長板層509は、P偏光をS偏光に変換するものであって、S偏光をP偏光に変換するものでないため、変換後のS偏光が再びP偏光に再変換されることがない。
偏光変換素子がその出射面を空気に接した状態で使用される場合、透光性の基層と空気との境界面における出射光の反射を最小限にするために、図4、図8、図12及び図16に示すように偏光変換素子101’、201’、301’、401’の出射面を反射防止膜125、225,325,425,525で被覆してもよい。同様に、入射面が空気と接した状態で使用される場合、入射面を反射防止膜で被覆してもよい。この反射防止膜は、化学的又は物理的な気相成長法を用いて形成することができる。
101:偏光変換素子
102:入射面
103:出射面
104:パターン
105:第1の基層
106:反射層
107:第2の基層
108:偏光分離層
109:1/2波長板層
110:第1の層
111:第2の層
112:第3の層
113:第1の基板
114:反射膜
115:第2の基板
116:偏光分離膜
117:1/2波長板
118:接着剤
119:ブロック
120:ダミー基板
121:境界面
122:切断面
123:端材
124:入射光
125:反射防止膜
102:入射面
103:出射面
104:パターン
105:第1の基層
106:反射層
107:第2の基層
108:偏光分離層
109:1/2波長板層
110:第1の層
111:第2の層
112:第3の層
113:第1の基板
114:反射膜
115:第2の基板
116:偏光分離膜
117:1/2波長板
118:接着剤
119:ブロック
120:ダミー基板
121:境界面
122:切断面
123:端材
124:入射光
125:反射防止膜
Claims (6)
- 一方の表面に偏光分離膜を有する第1の透光性基板と一方の表面に反射膜を有する第2の透光性基板とを交互に且つ上記第1と第2の透光性基板の一方の表面が隣接する透光性基板の他方の表面とそれぞれ対向するように配置し、上記第1の透光性基板の一方の表面と上記第2の透光性基板の他方の表面との間に1/2波長板を配置したことを特徴とする偏光変換素子用ブロック。
- 一方の表面に偏光分離膜を有し且つ他方の表面に反射膜を有する第1の透光性基板と、第2の透光性基板とを交互に配置し、上記第1の透光性基板の一方の表面とこれに対向する第2の透光性基板との間に1/2波長板を配置したことを特徴とする偏光変換素子用ブロック。
- 上記反射膜を偏光分離膜で形成したことを特徴とする請求項1又は2の記載の偏光変換素子ブロック。
- 一方の表面に反射膜を有する第1の透光性基板と一方の表面に偏光分離膜を有する第2の透光性基板とを交互に且つ上記第1と第2の透光性基板の一方の表面が隣接する透光性基板の他方の表面とそれぞれ対向するように配置し、上記第1の透光性基板の一方の表面と上記第2の透光性基板の他方の表面との間に1/2波長板を配置したことを特徴とする偏光変換素子用ブロック。
- 請求項1〜4のいずれかの偏光変換素子用ブロックを上記透光性基板の表面に対して斜めに伸びる複数の平行な面に沿って切断して形成されたことを特徴とする偏光変換素子。
- 上記偏光変換素子の一方の表面に反射防止膜を設けたことを特徴とする請求項5に記載の偏光変換素子。
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