JP2005029866A5 - - Google Patents

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供給するTiCl4蒸気と水蒸気の比率は、H2O/TiCl4のモル比が0.05〜４となるようにすることが好ましい。このモル比が４より大きくなると、TiCl4が少なすぎて、成膜速度が低下する。このモル比が0.05未満では、気相中での粉体生成にTiCl4が消費される割合が増加し、TiCl4の利用率が低下する上に、基材への粉体付着量が増加し、製品の外観を損ねる結果となる。上記モル比は、より効率的な成膜を可能にするため 0.1〜３の範囲とすることがより好ましい。
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