JP2005025210A - イメージ・フィールド・マップを利用して補助フィーチャを生成するための、方法、プログラム製品及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開示する概念には、基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを、該パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成することによって生成する、方法、プログラム製品及び装置が含まれている。イメージ・フィールド・マップから特性を抽出し、抽出した特性に基づいてパターンのための補助フィーチャが生成される。補助フィーチャは、イメージ・フィールド・マップの輪郭の主軸に対して配向することができる。また、補助フィーチャは、多角形の形状にすることができ、かつ、輪郭を取り囲むように大きさ決めし、或いは輪郭の内側に対して大きさ決めすることができる。さらに、補助フィーチャは、イメージ・フィールド・マップから識別した極値に基づいて配置することができる。イメージ・フィールド・マップを利用することにより、補助フィーチャを生成するための従来の複雑なルール・ベース2次元手法を使用する必要が除去される。
【選択図】図1
Description
(1)2004年1月14日出願の「Method of Optical Proximity Correction Design for Contact Hole Mask」という名称の米国特許出願第10/756,829号
(2)同じく2004年1月14日出願の「Method And Apparatus For Providing Optical Proximity Features To A Reticle Pattern For Deep Sub−Wavelength Optical Lithography」という名称の米国特許出願第10/756,830号
に、これらの様々なタイプのイメージ・フィールド・マップが実例を挙げて説明されている。
図1をもう一度参照すると、S102でイメージ・フィールド・マップ30の特性が抽出される。この実施例の例示的流れ図を示す図4を参照すると、S200で、所定の閾値における輪郭34(複数の輪郭34)に対応するこれらの特性が抽出される。図5は、所定の閾値レベルにおける輪郭34を抽出したイメージ・フィールド・マップ30の派生物50を示したものである。図解を容易にするために、輪郭34は実線で示されている。
図9は、補助フィーチャを生成するための実施例2による例示的流れ図を示したものである。S300は、図S200のS200に対応している。簡潔を期すべく、同様の説明は省略する。
実施例3にも、実施例2の補助フィーチャと同様の多角形形状の補助フィーチャが利用されているが、多角形形状の補助フィーチャで輪郭を囲む代わりに、多角形形状の補助フィーチャが輪郭内に形成される。さらには、多角形形状の補助フィーチャを輪郭に内接させることができる(頂点が輪郭と交わる)。図12及び図13は、各方法の特徴を示したものである。
輪郭34は、多角形形状の補助フィーチャが対応する輪郭を取り囲むのにより適しており、一方、もう1つの多角形形状の補助フィーチャは、対応する輪郭の内側に形成するのにより適している。この相違については、図12及び図13に関連して説明した通りである。実施例4は、実施例2と実施例3を組み合わせたものであり、輪郭の各々に対して、多角形形状の補助フィーチャを輪郭を取り囲んで形成するか、或いは輪郭の内側に形成するかどうかが決定される。
実施例1〜実施例4に共通していることは、複数の閾値に対応する輪郭に対して正確に補助フィーチャを生成するべく所定の閾値を調整する反復ステップである。実施例5は、反復ルーチンを克服し、図3に示すイメージ・フィールド・マップ30内で識別される極値に基づいて補助フィーチャを生成している。極値には、最大、最小若しくはその任意の組合せを含めることができる。図3を参照すると、個々の極値は、イメージ・フィールド・マップ内の極大点若しくは極小点のいずれかに対応している。
投影放射ビームPBを供給するための放射システムEx、IL(この特定の実施例の場合、放射システムは、さらに放射源LAを備えている)と、
マスクMA(たとえばレチクル)を保持するためのマスク・ホルダを備えた、アイテムPLに対してマスクを正確に位置決めするための第1の位置決め手段に接続された第1の対物テーブル(マスク・テーブル)MTと、
基板W(たとえばレジスト被覆シリコン・ウェハ)を保持するための基板ホルダを備えた、アイテムPLに対して基板を正確に位置決めするための第2の位置決め手段に接続された第2の対物テーブル(基板テーブル)WTと、
マスクMAの照射部分を基板Wの目標部分C(たとえば1つ又は複数のダイからなる)に結像させるための投影システム(「レンズ」)PL(たとえば屈折光学系、カトプトリック光学系若しくはカタディオプトリック光学系)とを備えている。
ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTは、基本的に静止状態に維持され、マスク画像全体が目標部分Cに1回の照射(すなわち単一「フラッシュ」)で投影される。次に、基板テーブルWTがx及び/又はy方向にシフトされ、異なる目標部分CがビームPBによって照射される。
走査モードでは、所与の目標部分Cが単一「フラッシュ」に露光されない点を除き、ステップ・モードと基本的に同じシナリオが適用される。走査モードでは、マスク・テーブルMTを所与の方向(いわゆる「走査方向」、たとえばy方向)に速度νで移動させることができるため、投影ビームPBでマスク画像を走査し、かつ、基板テーブルWTを同時に同じ方向又は逆方向に、速度V=Mνで移動させることができる。MはレンズPLの倍率である(通常、M=1/4若しくはM=1/5)。この方法によれば、解像度を犠牲にすることなく、比較的大きい目標部分Cを露光することができる。
Claims (59)
- 基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを生成する方法であって、
(a)前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの所定の閾値における輪郭の特性を抽出するステップと、
(c)ステップ(b)で抽出した特性に基づいて、前記パターンのための少なくとも1つの補助フィーチャを生成するステップと
を含む方法。 - 前記イメージ・フィールド・マップが、強度特性、干渉特性、電界特性、或いは前記基板の表面に前記パターンを形成するためのリソグラフ装置の特性若しくは限界を表す強度特性、干渉特性若しくは電界特性の大きさの変化を示すマップに対応する、請求項1に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- ステップ(b)において、前記所定の閾値における特性が、前記イメージ・フィールド・マップの複数の輪郭に対応する、請求項1に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- (i)異なる所定の閾値における異なる輪郭を解析するステップと、
(ii)前記輪郭の主軸及び前記異なる輪郭の主軸を決定するステップと、
(iii)前記輪郭の前記主軸に基づいて補助フィーチャを配向し、かつ、前記異なる輪郭の前記主軸に基づいて別の補助フィーチャを配向するステップと
をさらに含む、請求項1に記載の補助フィーチャを生成する方法。 - 前記輪郭の主軸を決定するステップをさらに含む、請求項1に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記主軸に基づいて前記少なくとも1つの補助フィーチャの内の一つの補助フィーチャを配向するステップをさらに含む、請求項5に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 複数の軸のうちの1つの軸に基づいて前記輪郭の前記主軸を決定するステップをさらに含む、請求項5に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記複数の軸の原点を前記輪郭の重心上若しくは重心付近に位置付けするステップをさらに含む、請求項7に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記補助フィーチャが所定のサイズの補助フィーチャである、請求項6に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記輪郭に基づいて前記補助フィーチャの長さ若しくは幅を決定するステップをさらに含む、請求項6に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを生成する方法であって、
(a)前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの所定の閾値における輪郭の特性を抽出するステップと、
(c)ステップ(b)で抽出した特性に基づいて、前記パターンのための少なくとも1つの多角形形状の補助フィーチャを生成するステップと、
(d)前記輪郭の形状に対して前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップと
を含む方法。 - 前記イメージ・フィールド・マップが、強度特性、干渉特性、電界特性、或いは前記基板の表面に前記パターンを形成するためのリソグラフ装置の特性若しくは限界を表す強度特性、干渉特性若しくは電界特性の大きさの変化を示すマップに対応する、請求項11に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- (i)異なる所定の閾値における異なる輪郭を抽出するステップと、
(ii)前記異なる輪郭に対してステップ(c)及び(d)を繰り返すステップと
をさらに含む、請求項11に記載の補助フィーチャを生成する方法。 - 前記輪郭に対応する前記少なくとも1つの補助フィーチャの前記多角形形状の補助フィーチャを配向するステップをさらに含む、請求項11に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記大きさ決めするステップが、前記輪郭を囲うように前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップを含む、請求項11に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記多角形形状の補助フィーチャが不規則な形状である、請求項11に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記大きさ決めするステップが、前記輪郭内に嵌合するように前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップを含む、請求項11に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記大きさ決めするステップが、前記輪郭に内接するように前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップを含む、請求項17に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記多角形形状の補助フィーチャが不規則な形状である、請求項17に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを生成する方法であって、
(a)前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの極値若しくは局所極値を識別するステップと、
(c)前記極値若しくは局所極値から最小極率の軸方向を決定するステップと、
(d)前記軸方向に対して補助フィーチャを配向するステップと
を含む方法。 - 複数の極値に対してステップ(b)〜(d)を繰り返すステップをさらに含む、請求項20に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 前記少なくとも1つの補助フィーチャが所定の寸法の補助フィーチャである、請求項20に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- (i)所定の閾値に対応する輪郭を選択するステップと、
(ii)前記輪郭に基づいて前記補助フィーチャの長さ若しくは幅を決定するステップと
によって前記補助フィーチャを生成するステップをさらに含む、請求項20に記載の補助フィーチャを生成する方法。 - 前記極値が極大若しくは極小に対応する、請求項20に記載の補助フィーチャを生成する方法。
- 少なくとも1つの機械可読媒体による移送が可能な実行可能コードからなるコンピュータ・プログラム製品であって、少なくとも1つのプログラム可能コンピュータが前記コードを実行することにより、基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを形成するための、
(a)前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの所定の閾値における輪郭の特性を抽出するステップと、
(c)ステップ(b)で抽出した特性に基づいて、前記パターンのための少なくとも1つの補助フィーチャを生成するステップと
からなる一連のステップを前記少なくとも1つのプログラム可能コンピュータが実行するコンピュータ・プログラム製品。 - 前記イメージ・フィールド・マップが、強度特性、干渉特性、電界特性、或いは前記基板の表面に前記パターンを形成するためのリソグラフ装置の特性若しくは限界を表す強度特性、干渉特性若しくは電界特性の大きさの変化を示すマップに対応する、請求項25に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- ステップ(b)において、前記所定の閾値における特性が、前記イメージ・フィールド・マップの複数の輪郭に対応する、請求項25に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- (i)異なる所定の閾値における異なる輪郭を解析するステップと、
(ii)前記輪郭の主軸及び前記異なる輪郭の主軸を決定するステップと、
(iii)前記輪郭の前記主軸に基づいて補助フィーチャを配向し、かつ、前記異なる輪郭の前記主軸に基づいて別の補助フィーチャを配向するステップと
をさらに含む、請求項25に記載のコンピュータ・プログラム製品。 - 前記輪郭の主軸を決定するステップをさらに含む、請求項25に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記主軸に基づいて前記少なくとも1つの補助フィーチャの補助フィーチャを配向するステップをさらに含む、請求項29に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 複数の軸のうちの1つの軸に基づいて前記輪郭の前記主軸を決定するステップをさらに含む、請求項29に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記複数の軸の原点を前記輪郭の重心上若しくは重心付近に位置付けするステップをさらに含む、請求項31に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記補助フィーチャが所定のサイズの補助フィーチャである、請求項30に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記輪郭に基づいて前記補助フィーチャの長さ若しくは幅を決定するステップをさらに含む、請求項30に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 少なくとも1つの機械可読媒体による移送が可能な実行可能コードからなるコンピュータ・プログラム製品であって、少なくとも1つのプログラム可能コンピュータが前記コードを実行することにより、基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを形成するための、
(a)前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの所定の閾値における輪郭の特性を抽出するステップと、
(c)ステップ(b)で抽出した特性に基づいて、前記パターンのための少なくとも1つの多角形形状の補助フィーチャを生成するステップと、
(d)前記輪郭の形状に対して前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップと
からなる一連のステップを前記少なくとも1つのプログラム可能コンピュータが実行するコンピュータ・プログラム製品。 - 前記イメージ・フィールド・マップが、強度特性、干渉特性、電界特性、或いは前記基板の表面に前記パターンを形成するためのリソグラフ装置の特性若しくは限界を表す強度特性、干渉特性若しくは電界特性の大きさの変化を示すマップに対応する、請求項35に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- (i)異なる所定の閾値における異なる輪郭を抽出するステップと、
(ii)前記異なる輪郭に対してステップ(c)及び(d)を繰り返すステップと
をさらに含む、請求項35に記載のコンピュータ・プログラム製品。 - 前記輪郭に対応する前記少なくとも1つの補助フィーチャの前記多角形形状の補助フィーチャを配向するステップをさらに含む、請求項35に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記大きさ決めするステップが、前記輪郭を囲うように前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップを含む、請求項35に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記多角形形状の補助フィーチャが不規則な形状である、請求項35に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記大きさ決めするステップが、前記輪郭内に嵌合するように前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップを含む、請求項35に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記大きさ決めするステップが、前記輪郭に内接するように前記多角形形状の補助フィーチャを大きさ決めするステップを含む、請求項38に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記多角形形状の補助フィーチャが不規則な形状である、請求項42に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 少なくとも1つの機械可読媒体による移送が可能な実行可能コードからなるコンピュータ・プログラム製品であって、少なくとも1つのプログラム可能コンピュータが前記コードを実行することにより、基板の表面に形成するパターンのための補助フィーチャを形成するための、
(a)前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの極値若しくは局所極値を識別するステップと、
(c)前記極値若しくは局所極値から最小極率の軸方向を決定するステップと、
(d)前記軸方向に対して補助フィーチャを配向するステップと
からなる一連のステップを前記少なくとも1つのプログラム可能コンピュータが実行するコンピュータ・プログラム製品。 - 複数の極値に対してステップ(b)〜(d)を繰り返すステップをさらに含む、請求項44に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 少なくとも1つの補助フィーチャが所定の寸法の補助フィーチャである、請求項44に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- (i)所定の閾値に対応する輪郭を選択するステップと、
(ii)前記輪郭に基づいて前記補助フィーチャの長さ若しくは幅を決定するステップと
によって前記補助フィーチャを生成するステップをさらに含む、請求項44に記載のコンピュータ・プログラム製品。 - 前記極値が局所極大若しくは局所極小に対応する、請求項44に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- 前記イメージ・フィールド・マップが、強度特性、干渉特性、電界特性、或いは前記基板の表面に前記パターンを形成するためのリソグラフ装置の特性若しくは限界を表す強度特性、干渉特性若しくは電界特性の大きさの変化を示すマップに対応する、請求項44に記載のコンピュータ・プログラム製品。
- マスクを利用して基板の表面にパターンを画像化するための装置であって、
投影放射ビームを供給するための放射システムと、
投影放射ビームを受け取り、かつ、調整済み放射ビームをマスクの一部に投射するためのイルミネータと、
マスクの対応する照射部分を基板の目標部分に画像化するための投影システムとを備え、前記マスクが前記パターンに対応するイメージ・フィールド・マップの非ルール・ベース2次元解析に基づいて生成された補助フィーチャを利用して形成された装置。 - (a)前記パターンに対応する前記イメージ・フィールド・マップを生成するステップと、
(b)前記イメージ・フィールド・マップの特性を抽出するステップと、
(c)ステップ(b)で抽出した特性に基づいて、前記パターンのための少なくとも1つの補助フィーチャを生成するステップと
を実行することによって補助フィーチャを生成するように構成されたコンピュータ・システムをさらに備えた、請求項50に記載の装置。 - 前記イメージ・フィールド・マップが、強度特性、干渉特性、電界特性、或いは前記基板の表面に前記パターンを形成するためのリソグラフ装置の特性若しくは限界を表す強度特性、干渉特性若しくは電界特性の大きさの変化を示すマップに対応する、請求項50に記載の装置。
- 前記コンピュータ・システムが、所定の閾値における前記イメージ・フィールド・マップの輪郭に対応する補助フィーチャを生成するように構成された、請求項51に記載の装置。
- 前記コンピュータ・システムが前記輪郭の主軸を決定するように構成された、請求項51に記載の装置。
- 前記補助フィーチャが前記主軸に対して配向される、請求項53に記載の装置。
- 前記補助フィーチャの形状が多角形である、請求項55に記載の装置。
- 前記多角形形状の補助フィーチャが前記輪郭を取り囲むように大きさ決めされる、請求項56に記載の装置。
- 前記多角形形状の補助フィーチャが前記輪郭内に位置するように大きさ決めされる、請求項56に記載の装置。
- 前記コンピュータ・システムが、前記イメージ・フィールド・マップの極値に対応する補助フィーチャを生成するように構成された、請求項51に記載の装置。
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