JP5121117B2 - 強度プロフィールを最適化する方法及びプログラム - Google Patents
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Description
本発明は、2003年10月30日に出願され「Eigenfunction Filtering for Interference Map Technology」と題した米国暫定特許出願第60/515,708号に対する優先権を主張する。
I(x,y)=投影(ウェハ)面における強度関数、
IO=全体的な照明強度、
M(x,y)=有効複素マスク透過関数、
ψi(x,y)=光学系のi番目の固有関数、
λi=ψi(x,y)に対応する固有関数、である。
(x,y)=空間的位置(ミクロン単位)、
R=空間フィルタの半径(ミクロン単位)、
(kx,ky)=スペクトル周波数(ラジアン/ミクロン単位)、
ρ=スペクトルフィルタの半径(ラジアン/ミクロン単位)である。
(実施例)
− この特別なケースでは放射線ソースLAも備えた、放射線の投影ビームPBを供給する放射線ソースEx、ILと、
− マスクMA(例えばレクチル)を保持するマスクホルダを備え、かつ、品目PLに対して正確にマスクの位置決めを行う第一位置決め手段に連結を行った第一オブジェクトテーブル(マスクテーブル)MTと、
− 基板W(例えばレジスト塗布したシリコンウェハ)を保持する基板ホルダを備え、かつ、品目PLに対して正確に基板の位置決めを行う第二位置決め手段に連結を行った第二オブジェクトテーブル(基板テーブル)WTと、
− マスクMAの照射部分を、基板Wの目標部分C(例えば、1つあるいはそれ以上のダイから成る)に描像する投影システム(「レンズ」)PL(例えば屈折性、反射性または反射屈折性光学システム)とにより構成されている。
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTは基本的に静止状態に保たれている。そして、マスクの像全体が1回の作動(すなわち1回の「フラッシュ」)で目標部分Cに投影される。次に基板テーブルWTがx方向および/あるいはy方向にシフトされ、異なる目標部分CがビームPBにより照射され得る。
2.走査モードにおいては、基本的に同一シナリオが適用されるが、但し、ここでは、所定の目標部分Cは1回の「フラッシュ」では露光されない。代わって、マスクテーブルMTが、速度vにて所定方向(いわゆる「走査方向」、例えばy方向)に運動可能であり、それによってビームPBがマスクの像を走査する。これと同時に、基板テーブルWTが速度V=Mvで、同一方向あるいは反対方向に運動する。ここで、MはレンズPLの倍率(一般的にM=1/4あるいは1/5)である。このように、解像度を妥協することなく、比較的大きな目標部分Cを露光することが可能となる。
Claims (10)
- 光学システムを使用してマスクに対して基板の表面に形成すべきパターンの強度プロフィールを最適化する方法であって、
前記マスクの印刷挙動を表す数学的関数を生成するステップと、
前記光学システムの特徴を表す固有関数を生成するステップと、
前記固有関数をフィルタリングするステップと、
前記フィルタリングした固有関数を前記数学的関数で畳み込んで干渉マップを生成するステップと、
前記干渉マップに基づいて前記マスクの補助フューチャを決定するステップと、
を備える方法。 - 前記固有関数をフィルタリングするステップは、前記固有関数の副ローブをフィルタリングするステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記固有関数をフィルタリングするステップは、前記固有関数の主ローブの外側をフィルタリングするステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記固有関数をフィルタリングするステップは、前記固有関数のDC成分又は特定の低い空間周波数を除去するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記固有関数をフィルタリングするステップは、同相補助フューチャと位相ずれ補助フューチャの局所的不均衡を最小にするステップを含む、請求項1乃至請求項4のうち何れか1項に記載の方法。
- 少なくとも1つのマシンで読み出し可能な媒体によって転送可能な実行可能コードを有するプログラムであって、プログラマブルコンピュータによって前記実行可能コードを実行すると、前記プログラマブルコンピュータが、光学システムを使用してマスクに対して基板の表面に形成すべきパターンの強度プロフィールを最適化するために、
前記マスクの印刷挙動を表す数学的関数を生成するステップと、
前記光学システムの特徴を表す固有関数を生成するステップと、
前記固有関数をフィルタリングするステップと、
前記フィルタリングした固有関数を前記数学的関数で畳み込んで干渉マップを生成するステップと、
前記干渉マップに基づいて前記マスクの補助フューチャを決定するステップと、
を実行するプログラム。 - 前記固有関数をフィルタリングするステップは、前記固有関数の副ローブをフィルタリングするステップを含む、請求項6に記載のプログラム。
- 前記固有関数をフィルタリングするステップは、前記固有関数の主ローブの外側をフィルタリングするステップを含む、請求項6に記載のプログラム。
- 前記固有関数をフィルタリングするステップは、前記固有関数のDC成分又は特定の低い空間周波数を除去するステップを含む、請求項6に記載のプログラム。
- 前記固有関数をフィルタリングするステップは、同相補助フューチャと位相ずれ補助フューチャの局所的不均衡を最小にするステップを含む、請求項6乃至請求項9のうち何れか1項に記載のプログラム。
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