JP2005015908A - 蒸着マスクとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aと枠体3とを、電鋳法により形成された電着金属層9で不離一体的に接合する。これにて、従来例の形態のごとく、マスク本体2と枠体3とを接着剤層で接合する形態では不可避であった、洗浄処理等において使用される有機溶媒が接着剤層に作用することに起因する接着剤層の変質を効果的に防いで、マスク本体2と枠体3との間の良好な接合状態を長期に渡ってよく維持できる。従って、熱影響によるマスク本体2の寸法変化、形状変化を阻止するという枠体3の機能を良好に担保でき、均一な形状を有する蒸着層を高精度に再現性良く形成できる。
【選択図】図1
Description
図1および図4は本発明に係る蒸着マスクを、有機EL素子用蒸着マスクに適用した第1実施形態を示す。図1において有機EL素子用蒸着マスク1は、ニッケルやニッケルコバルト等のニッケル合金、その他の電着金属を素材として、電鋳方法により形成されたマスク本体2と、このマスク本体2を囲むように装着された枠体3とを含む。図4においてマスク本体2は、200×200mmの四角形状の母型領域の中に、例えば50×50mmの正方形状に4つ独立して形成されており、その内部にパターン形成領域4を備える。パターン形成領域4には、多数独立の蒸着通孔5からなる発光層形成用の蒸着パターン6が形成されている。
図6ないし図9に本発明に係る蒸着マスクを有機EL素子用蒸着マスクに適用した第2実施形態を示す。図6において有機EL素子用蒸着マスク1は、ニッケルやニッケルコバルト等のニッケル合金、その他の電着金属を素材として、電鋳方法により形成されたマスク本体2と、このマスク本体2を囲むように装着された枠体3とを含む。図9において、有機EL素子用蒸着マスク1は、500mm×400mmの四角形状を呈しており、その内部に複数個のマスク本体2を備える。各マスク本体2は、50×40mmの四角形状に形成されており、その内部にパターン形成領域4を備える。パターン形成領域4には、多数独立の蒸着通孔5からなる発光層形成用の蒸着パターン6が形成されている。
2 マスク本体
3 枠体
4 パターン形成領域
4a パターン形成領域の外周縁
5 蒸着通孔
6 蒸着パターン
9 電着金属層
10 母型
14 一次パターンレジスト
14a レジスト体
15 一次電着層
16 フォトレジスト層
16b 未露光のフォトレジスト層
17 パターンフィルム
18 二次パターンレジスト
18a レジスト体
21 通孔
Claims (12)
- 多数独立の蒸着通孔5からなる蒸着パターン6をパターン形成領域4内に備えるマスク本体2と、
マスク本体2の外周に配置された、低熱線膨張係数の材質からなるマスク本体2の補強用の枠体3とからなり、
マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aと枠体3とを、電鋳法により形成された電着金属層9を介して不離一体的に接合してあることを特徴とする蒸着マスク。 - 蒸着マスクは、複数個の独立形成したマスク本体2を備えており、
枠体3には、各マスク本体2に対応する開口3aが複数個形成され、各開口3aに、一個のマスク本体2がそれぞれ配置されるようにしてあり、
枠体3と、各マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aとを電着金属層9を介して不離一体的に接合してある請求項1記載の蒸着マスク。 - 電着金属層9が、マスク本体2を枠体3側に引き寄せる、引っ張り応力F1が作用するようなテンションを加えた状態で形成されている請求項1又は2記載の蒸着マスク。
- マスク本体2が、それ自体に内方に収縮する方向の応力F2が作用するようなテンションを加えた状態で、電着金属層9を介して枠体3に保持されている請求項1又は2又は3記載の蒸着マスク。
- マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aには、多数個の通孔21が設けられており、
マスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4aと枠体3とを、通孔21を埋めるように形成された電着金属層9を介して不離一体的に接合してある請求項1又は2又は3又は4記載の蒸着マスク。 - マスク本体2は平面視で多角形状を呈しており、その角部を面取り状に形成してある請求項1又は2又は3又は4又は5記載の蒸着マスク。
- 多数独立の蒸着通孔5からなる蒸着パターン6をパターン形成領域4内に備えるマスク本体2と、マスク本体2の外周に配置された、低熱線膨張係数の材質からなるマスク本体2の補強用の枠体3とを電着金属層9を介して接合してなる蒸着マスク1の製造方法であって、
母型10の表面に、レジスト体14aを有する一次パターンレジスト14を設ける第1のパターンニング工程と、
一次パターンレジスト14を用いて、母型10上に電着金属を電鋳して、マスク本体2に対応する一次電着層15を形成する第1の電鋳工程と、
一次電着層15を囲むように、母型10上に枠体3を配する枠体配設工程と、
枠体3の表面と、一次電着層15の外周縁4a、すなわちマスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4a表面とを覆うように電鋳法により電着金属層9を形成して、該電着金属層9を介して一次電着層15と枠体3とを不離一体的に接合する第2の電鋳工程と、
母型10から一次電着層15、枠体3および電着金属層9を一体に剥離する剥離工程とを含むことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 - 多数独立の蒸着通孔5からなる蒸着パターン6をパターン形成領域4内に備える複数個のマスク本体2と、各マスク本体2に対応する複数個の開口3aを備える、低熱線膨張係数の材質からなるマスク本体2の補強用の枠体3とを電着金属層9を介して接合してなる蒸着マスク1の製造方法であって、
母型10の表面に、レジスト体14aを有する一次パターンレジスト14を設ける第1のパターンニング工程と、
一次パターンレジスト14を用いて母型10上に電着金属を電鋳し、該母型10上にマスク本体2に対応する一次電着層15を所定位置に複数個形成する第1の電鋳工程と、
枠体3の各開口3a内に、該開口3aに対応する一次電着層15が位置するように位置合わせしながら、母型10上に枠体3を配する枠体配設工程と、
枠体3の表面と、一次電着層15の外周縁4a、すなわちマスク本体2のパターン形成領域4の外周縁4a表面とを覆うように、電鋳法により電着金属層9を形成して、該電着金属層9を介して一次電着層15と枠体3とを不離一体的に接合する第2の電鋳工程と、
母型10から一次電着層15、枠体3および電着金属層9を一体に剥離する剥離工程とを含むことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。 - 母型10上に形成された一次電着層15の表面に、パターン形成領域4を覆うレジスト体18aを形成する工程を含み、
前記第2の電鋳工程において、レジスト体18aを利用して電着金属層9を電鋳法にて形成するようにしている請求項7又は8記載の蒸着マスクの製造方法。 - 母型10上に形成された一次電着層15の表面に、パターン形成領域4を覆うレジスト体18aを形成するためのフォトレジスト層16を形成する工程を含み、
前記枠体配設工程においては、未露光のフォトレジスト層16bの粘着性を利用して、母型10上に枠体3を仮止め固定しており、
かかる仮止め固定状態で、第2の電鋳工程を行うようにしてある請求項7又は8又は9記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記第1の電鋳工程において、マスク本体2に対応する一次電着層15の外周縁4aには、多数個の通孔21が形成されるようにしてあり、
前記第2の電鋳工程において、通孔21を埋めるように電着金属層9が形成されるようにしてある請求項7又は8又は9又は10記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記第2の電鋳工程に先立って、通孔21の周辺の一次電着層15に対して活性化処理を施す、又はストライクニッケルや無光沢ニッケル等の密着面形成を行うようにしてある請求項11記載の蒸着マスクの製造方法。
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