JP2020164913A - 蒸着マスク - Google Patents
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Abstract
Description
2 マスク本体
3 枠体
4 金属層
5 マスク開口
7 パターン形成領域
8 接合領域
9 蒸着通孔
10 接合通孔
19 閉塞体
21 接合領域
34 密着めっき層
Claims (5)
- 多数独立の蒸着通孔(9)からなる蒸着パターンが形成されるマスク本体(2)と、該マスク本体(2)が配置されるマスク開口(5)を有する枠体(3)と、前記マスク本体(2)と前記枠体(3)を一体的に接合する金属層(4)とを備える蒸着マスクであって、
前記マスク本体(2)には、蒸着パターンが形成されるパターン形成領域(7)と、前記金属層(4)が接合形成される接合領域(8)とを備え、
前記接合領域(8)の上面に密着めっき層(34)が形成されていることを特徴とする蒸着マスク。 - 前記接合領域(8)の上面および外周面に前記密着めっき層(34)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記接合領域(8)には、接合通孔(10)が形成されており、該接合通孔(10)の内周面に前記密着めっき層(34)が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着マスク。
- 前記マスク本体(2)は、四隅が丸められた長方形状に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかひとつに記載の蒸着マスク。
- 前記枠体(3)に切欠孔が設けられ、該切欠孔には、閉塞体(19)が配置されており、
前記閉塞体(19)は、前記金属層(4)が接合形成される接合領域(21)を備え、
前記接合領域(21)に密着めっき層(34)が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかひとつに記載の蒸着マスク。
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