JP2021146513A - 接着層、およびこの接着層を用いたメタルマスク - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の目的は、位置精度が良好であり、該位置精度を長期にわたって維持できるメタルマスクを得ることにある。
支持枠23の表面と接着層56との間に、剥離層55が形成されている。
なお、接着層付き支持枠23Aにおいては、上枠35と下枠36で構成される二層構造の支持枠23以外に、三層以上の積層構造や単層構造の支持枠23を採用することができる。
支持枠23と接着層56との間に剥離層55が設けられている。
マスク本体22は多数独立の通孔29からなるマスクパターンが形成されるパターン形成領域27を備え、該パターン形成領域27の上面にパターンレジスト(二次パターンレジスト)53が設けられている。
2 板体(第1シート)
3 板体(第2シート)
4 未硬化領域
4a 単位未硬化領域
4b 縁未硬化領域
5 硬化領域
6 接着層の外周縁部
22 マスク本体
23 支持枠
24 金属層
29 通孔(蒸着通孔)
35 第1枠体(上枠)
36 第2枠体(下枠)
Claims (5)
- 二枚の板体(2・3)どうしを積層状に接着するための光硬化性、あるいは熱硬化性の樹脂からなる接着層であって、
未露光部分であって素材由来の粘着性を有する未硬化領域(4)と、露光部分であって素材由来の粘着性が消失した硬化領域(5)とで構成されており、
硬化領域(5)が、接着層の外周縁部(6)に臨む状態で形成されていることを特徴とする接着層。 - 未硬化領域(4)は、点在する複数の単位未硬化領域(4a)を備えており、
硬化領域(5)が連続状に形成されて、単位未硬化領域(4a)が硬化領域(5)で囲まれている請求項1に記載の接着層。 - 単位未硬化領域(4a)が同一形状に形成されており、点在する単位未硬化領域(4a)が規則的なマトリクス状、あるいは千鳥状に配置されている請求項2に記載の接着層。
- 未硬化領域(4)が、接着層の外周縁部(6)に沿って伸びる複数の縁未硬化領域(4b)を備えている請求項1から3のいずれかひとつに記載の接着層。
- 多数独立の通孔(29)からなるマスクパターンを備えるマスク本体(22)と、
マスク本体(22)の周囲に配置した、低熱線膨張係数の金属板材からなる補強用の支持枠(23)と、
マスク本体(22)と支持枠(23)とを、不離一体的に接合する金属層(24)と、
を備え、
支持枠(23)が同一形状に形成された第1枠体(35)と第2枠体(36)とで構成されて、両枠体(35・36)が請求項1から4のいずれかひとつに記載の接着層を介して接合され一体化されていることを特徴とするメタルマスク。
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