JP2004523652A - 物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリー;及び物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法 - Google Patents
物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリー;及び物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
本発明は、表面を有するターゲット及び該表面上の結合層が含まれるPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーを包含する。結合層はターゲット表面と異なる組成を有し、バッキングプレートは少なくとも結合層によりPVDターゲット表面と隔てられるよう提供される。結合層はターゲットへ強い拡散結合を形成する。本発明には、PVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法も含まれる。それに加え、本発明には、ターゲット及びバッキングプレート間にある結合層にチタン、ジルコニウム、及び銅の1以上が組み込まれた物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリーが含まれる。
Description
【0001】
技術分野
本発明は、物理気相成長(PVD)ターゲット/バッキングプレートアセンブリーに関し、物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法に関する。特定の用途では、本発明は、物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリ中のターゲット及びバッキングプレート間に結合層を挿入する方法に関し、例示的な結合層は、約500℃以下の温度で約24時間以内にターゲットヘ強い拡散結合を形成できる層である。「強い」拡散結合とは、ここに記載する剥離試験に合格しうる結合として定義される。さらなる用途では、本発明は、物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリ中のターゲット及びバッキングプレート間の結合層にチタン、ジルコニウム、及び銅の1以上を挿入する方法に関する。
【0002】
本発明の背景
物理気相成長(PVD)ターゲットには、薄膜が望まれる加工法において幅広い用途があり、例えばスパッタリングターゲットが含まれる。例示的なPVD法はスパッタリング法であり、PVD法の例示的な用途は、半導体プロセシング用途において半導体基板の全域に薄膜を形成することである。
【0003】
従来のPVD法を図1に示す。より詳細には、図1は基板14の上にあるPVD/バッキングプレートアセンブリー12を含む装置10を示す。アセンブリー12は、バッキングプレート18に接合されたスパッタリングターゲット16を含む。ターゲット16は数多くの金属元素及び合金の何れを含んでもよく、バッキングプレート18は電気伝導性及び熱伝導性を有する数多くの材料(例えば、銅又はアルミニウム)を含みうる。
【0004】
ターゲット16は材料が放出される表面20を有し、その表面をスパッタリング表面と呼ぶことができる。作動の際、表面20は表面に衝突するイオン又は原子に露出され、表面から基板14へ材料を放出するため使用される。放出された材料は、図1中の矢印22によって示される。この様な放出材料は基板14に付着し、基板上に薄膜(示していない)を形成する。
【0005】
バッキングプレート18は、図1に示すスパッタリング用途の間に幾つかの機能を提供する。例えば、典型的には、バッキングプレート18はアセンブリー12がスパッタリング装置チャンバー(示していない)内で取り外し可能であるように保持できるよう構成された形状で提供される。典型的には、バッキングプレート18は電気伝導性/熱伝導性材料で形成され、スパッタリングターゲット16に電場を通すためにも用いられる。好ましくは、ターゲット16及びバッキングプレート18の間の界面は、スパッタリング作業の間にターゲット16をバッキングプレート18に保持するのに充分な強さの結合を有するべきであり、界面全体に渡ってバッキングプレート18からターゲット16へ均一に電場が通過しうるよう、連続的で均一であり電気伝導性のある構造で構成されるべきである。ターゲット−バッキングプレート界面を形成するため現在使用されている方法の中で、ターゲット及びバッキングプレートの間にハンダ(図1に15として示す)を供給してターゲットをバッキングプレートに結合する方法がある。ハンダは、例えばスズ及びインジウムの一方又は両方を含みうる。
【0006】
ハンダの使用における問題は、ハンダがターゲット材料に充分接着しないことが多く、その結果、ハンダのみがバッキングプレート/ターゲット結合に使用される場合にはターゲットがバッキングプレートから分離しうるということである。その様な問題は、タンタル、コバルト、ジルコニウム、白金、鉄、ニオブ、モリブデン、クロム、アルミニウム、銅、及びマンガンの1以上を含むターゲットで特に顕著になりうる。その様な問題を解決するため、ターゲット表面をバッキングプレートに結合する前に、ターゲット表面の上に遷移層19を準備することが多い。示したターゲット/バッキングプレート構造では、ターゲット16は、バッキングプレート18との結合の形成において最終的に使用される表面17を有する。遷移層19は、ターゲットをバッキングプレートに結合する前に表面17の上に形成される。
【0007】
典型的には、遷移層19はニッケルを含む。インジウム又はスズ系のハンダと比べると、ニッケルは様々なターゲット材料に接着しやすいと考えられており、そしてインジウム又はスズ系のハンダは、ターゲット材料に接着するよりもニッケルに接着しやすいと考えられている。従って、ニッケル層19は最終的にハンダ15に結合し、バッキングプレート18にターゲット16を保持することができる。
【0008】
ニッケル含有遷移層は、様々なターゲット材料のバッキングプレートへの接着を改善する。しかし、該層が提供される場合であっても、スパッタリング過程の間にターゲット/バッキングプレートアセンブリーからPVDターゲットが分離又は層間剥離する問題に直面することがある。ニッケル含有遷移層は、Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr, Al, Cuの1以上を含むターゲット組成物について使用される場合に、特に充分でない場合がある。ターゲット及びバッキングプレートの分離は、例えばニッケル遷移層及びターゲット間の界面で起こりうる。ターゲット表面の面積の約5%以上を超えて層間剥離が起きると、ターゲット/バッキングプレートアセンブリーが望ましいパラメータ内で機能しない場合には、そのアセンブリーは動作不能となりうる。約1%以上の層間剥離によりターゲット/バッキングプレートアセンブリーが動作不能となる場合がある。従って、ニッケル遷移層に関する層間剥離の問題を回避するため、ターゲットをバッキングプレートに接着させる新たな方法を開発することが望ましい。
【0009】
本発明の要旨
一つの側面では、本発明はPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーを含む。該アセンブリーには、表面を有するPVDターゲットと、該表面上の結合層とが含まれる。結合層はターゲット表面と異なる組成を有し、バッキングプレートは、少なくとも結合層によりPVDターゲット表面から隔てられるように提供される。結合層は、約24時間以内に約500℃以下の温度でターゲットへ強い拡散結合(strong diffusion bond)を形成できる材料を含み、例えば銅、チタン、ジルコニウムの1以上を含みうる。特定の実施態様では、結合層が銅、チタン、ジルコニウムからなり、又は、銅、チタン、ジルコニウムから本質的になりうる。「強い」拡散結合とは、ここに記載する剥離試験に合格できる結合として定義される。
【0010】
別の側面では、本発明にはPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法が含まれる。結合層はPVDターゲット表面上に形成され、バッキングプレートは結合層に接合される。従って、バッキングプレートは少なくとも結合層によりPVDターゲット表面から隔てられる。結合層は、例えば銅、チタン、及びジルコニウムの1以上を含みうる。
【0011】
好ましい実施態様を、添付の図を参照して以下に記載する。
【0012】
好ましい実施態様の詳細な説明
好ましい実施態様を、添付の図を参照して以下に記載する。
【0013】
本発明はターゲット/バッキングプレートアセンブリーの新たな形成方法を包含し、その方法で形成できるターゲット/バッキングプレートアセンブリーも包含する。本発明の方法は、数多くの金属PVDターゲット組成物(例えば、1種以上の遷移金属を含む組成物、並びに、Tl及びAlの1以上を含む組成物が含まれる)に使用することができる。本発明の方法は、タンタル、コバルト、ジルコニウム、白金、鉄、ニオブ、マンガン、クロム、アルミニウム、及び銅の1種以上を含むPVDターゲットに特に適用することができる;該組成物は、本開示の「背景」欄で記載した従来技術の方法について特有の問題を引き起こす場合があり、それらの問題は本発明の方法により克服できるためである。さらに本発明の方法は、Ta, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn及びFeAlから本質的になり、又は上記複合体からなるPVDターゲットに特に適用可能である。上記複合体、例えばCoTaZrは、量論ではなく複合体の成分という観点で記載されているということが理解されるべきである。例えば、様々な量論関係にあるCoTaZrからなる、又は本質的になる数多くの複合体が存在し、”CoTaZr”という名称は、その様な複合体全てを包含することが意図されている。
【0014】
本発明の例示的な方法を、図2−7を参照して記載する。最初に図2を参照すると、PVDターゲット30が断面図で示されている。ターゲット30は、スパッタリング表面32、及びスパッタリング表面32と反対側の関係にある背面34を含む。背面34は表面異物(surface anomaly)36を含むよう示されており、36は、例えばギザギザ(burr)、汚染物質、又は表面の荒れの別の側面に対応しうる。形状(feature)36は、形状36を説明できるようにターゲット30と比較して誇張されたスケールで示されている。形状36はターゲット30と比較して、示されているよりも通常はずっと小さいということが理解されるべきである。
【0015】
図3は、表面34にクリーニング処置を行った後のターゲット30を示す。例示的なクリーニング処置は、初めに溶媒で表面をクリーニングして表面からゴミ(debris)を除去し、続いて表面をプラズマエッチングに露出してギザギザ又はその他の望ましくない表面形状を除去し、その結果、表面34を平滑にすることを含む。表面34でターゲット30が酸化及び/又は腐食するのを避けるため、ターゲット30の材料との反応に充分不活性な溶媒を選ぶことが好ましく、例示的な溶媒はイソプロピルアルコールといった有機溶媒である。適切なプラズマエッチングは、アルゴンプラズマにより1200Vで約20分間行うことができる。好ましくは、エッチングが大気圧より低い圧力(sub−atmospheric pressure)(例えば、10−6Torr)で行われる。
【0016】
図4を参照すると、結合層40がターゲット30の表面36上に提供される。結合層40は、例えば、チタン、銅、及びジルコニウムの1以上を含みうる;特定の実施態様では、チタン、銅、及びジルコニウムの1以上から本質的になり、又は上記元素の1以上からなりうる。結合層40は最終的にターゲット30へ強い結合を形成することができ、例えば、約24時間以内に約500℃以下の温度でターゲットに強い拡散結合を形成できる層でありうる。「強い」拡散結合とは、ここに記載する剥離試験に合格できる結合として定義される。
【0017】
例示的な実施態様では、層40がチタンを含む。この様な例示的な実施態様について、層40をチタン含有層40と呼んで以下に記載する。しかし、本発明をチタン含有層と呼ばれる層以外の材料により用いることができること、そして、記載したプロセシングは、例えばジルコニウム含有層40又は銅含有層40と共に使用することもできることが理解されるべきである。
【0018】
層40がチタンを含む例示的な実施態様を参照すると、チタン含有層40はチタンを主要な元素として有し(「主要な元素」とは、チタンが他の何れの元素よりも高い濃度で存在することを指しており、例えば他の元素が30重量%以上の濃度で存在しない場合には、30重量%のチタンを有する材料が含まれる)、本質的にチタンからなり、又はチタンからなりうる。層40及びターゲット30の両者がチタンを含む場合、層40はターゲット30と異なるチタン組成を含みうる。
【0019】
層40を形成する例示的な方法はイオン蒸着である。具体的には、ターゲット30を大気圧より低い圧力(例えば、10−6Torrの圧力)の真空チャンバー中に設置し、正又は負の何れかの電荷が供給される。層40がチタンを含む場合、ターゲット30とは逆の電荷が加えられたチタン基板が準備され、電子ビーム銃に露出される。チタンが基板から蒸発し、ターゲットに衝突する。イオン蒸着法は当該技術で知られている。イオン蒸着はチタン層40を形成する例示的な方法であるが、チタン40を形成するために使用できる幾つかの技術の一つである。層40を形成するために使用できる別の方法は、電気メッキである。
【0020】
イオン蒸着法の一つの側面は、表面36の上にコーティング40を形成することに加え、本方法で打ち込まれる(driven)コーティング材料が実際のところターゲット30の表面36を通って短い距離を浸透できるということでありうる。コーティング40は例えば2000Åから約4000Åの厚さで形成することができ、例示的な厚さは約3000Åである。コーティング40の形成中又は形成後のある時点で、コーティング40の材料がターゲット30に拡散結合しうる。そのような拡散結合は、好ましくは500℃未満の温度(例えば、200℃以下の温度)において24時間以内の時間(例えば数時間)で生じうる。拡散結合は好ましくは強い結合を形成し、「強い」とはここに記載する剥離試験に合格する結合として定義される。
【0021】
イオン蒸着が層40の形成に使用される場合、拡散結合がイオン蒸着の間に生じうる。蒸着過程の間に拡散結合が生じることは、蒸着過程とは別の工程で拡散結合が起きる実施態様と比べ、プロセシング工程が省略できるため有利である。
【0022】
プラズマクリーニング(図3を参照して記載する)及びチタンコーティング(図4を参照して記載する)は両者とも大気圧より低い圧力で行うことができるため、プラズマクリーニング工程が開始されてからイオン蒸着が完了するまで、ターゲット30を大気圧より低い圧力下に保持することができる。
【0023】
材料40が容易に酸化される材料(例えばチタン)を含む場合、材料40の上に防護(protective)(又は保護(passivating))層を形成し、層40の材料の酸化を軽減することが望まれる。図5は、層40上の保護層42の形成を示す。保護層42は、例えばニッケルを含み、例えばニッケルのイオン蒸着により形成しうる。示した実施態様では、層40は上面(upper layer)41及び側面43を含む;保護層42は上面41上にのみ形成される。しかし本発明は、保護層42が側面43上にも形成される他の実施態様も包含するということが理解されるべきである。保護層42は好ましくは少なくとも1200Åの厚みであり、例えば少なくとも1500Åの厚みでありうる。
【0024】
保護層42がイオン蒸着で形成される実施態様では、保護層を大気圧より低い圧力(例えば、10−6Torr)で形成できる。従って、プラズマクリーニング工程(図3を参照して記載される)の開始から保護層42の形成後まで、ターゲット34を大気圧より低い圧力に保持できる。このようにすると、大気由来(atmosphere−borne)の汚染物質にターゲット30が曝されることを低減できる。
【0025】
図6を参照し、ハンダ層44が保護層42の上に提供される。ハンダ層44は、例えばスズ及びインジウムの一方又は両方を含みうる。バッキングプレート46はハンダ44に接して提供され、ターゲット30並びに層40及び42を含むアセンブリーにハンダ44を介して接合される。ハンダ44は、例えば少なくとも約10000Åの厚みに形成しうる。ハンダ44を形成する例示的な方法は、ニッケル層44にハンダの第1の部分を貼り付け、続いてニッケルを約200℃に加熱することを含む。引き続き、ハンダの第2の部分を第1の部分の上に貼り付け、ハンダの該2つの部分をアセンブリー50中のバッキングプレート46及びターゲット30の間にプレスする。アセンブリー50内でハンダをプレスする間、ハンダは軟化された又は加熱された形態にある。アセンブリーを合わせて押しつけ、4から5時間冷却し、バッキングプレート46を層42に保持するハンダ結合を実現する。あるいはまた、ハンダ層44,保護層42、及び結合層40を介してバッキングプレート46をターゲット30に保持する結合として該結合に言及することができる。
【0026】
従来技術のターゲット/バッキングプレートアセンブリー12(図1)のニッケル含有遷移層19に代えてチタン含有層40(又は、本発明により包含される別の結合層40)を備えるという点で、アセンブリー50は従来技術のアセンブリー12と異なる。あるいはまた、アセンブリー50は、少なくとも結合層40によりターゲット30から隔てられたバッキングプレート46を含むと考えることもできる。示された実施態様では、実際には、バッキングプレート46は結合層40だけでなくハンダ層44及び保護層42によってもターゲット30から隔てられている。しかし本発明は、層44及び42の一方又は両方を除いた他の実施態様(示していない)を包含するということが理解されるべきである。例えば、拡散結合技術を用い、結合層40をバッキングプレート46に直接結合することができる。
【0027】
結合層40は、ターゲット30と異なる組成を含むという点で、ターゲット30と区別される。結合層40がターゲット30と重複する材料をターゲット30とは異なる濃度で含む場合、又はターゲット30と異なる材料を含む場合、ターゲット30と異なる組成を有しうる。本発明の方法の利点は、層40及びターゲット30が共通の主要元素を含まない場合であっても結合層40及びターゲット30の間に強い拡散結合を形成できるという点である。例えば、ターゲット30が銅を含まない応用例において、結合層40が主に銅を含みうる。別の例として、ターゲット30がチタンを含まない応用例において、層40が主にチタンを含みうる。更に別の例として、ターゲット30がジルコニウムを含まない応用例において、層40が主にジルコニウムを含みうる。
【0028】
アセンブリー50の他に採りうる概観(alternative view)(保護層42がニッケルを含む構造である)では、アセンブリー50が図1の従来のアセンブリー12のニッケル含有遷移層を含むが、ニッケル含有層42のような層が結合層40によりターゲット30から隔てられていると考えうる。
【0029】
本発明の結合層にチタン、ジルコニウム、及び/又は銅を使用する利点は、そのような材料が、数多くの金属及び合金(遷移金属、タリウム、及びアルミニウムが含まれる)との強い結合相互作用の形成に向いていることである。例えばチタンは、熱膨張に関し該金属及び合金と両立できる。剥離試験において、チタンの層40がターゲット30に非常に良く接着することが見出された。剥離試験を行うため、ハンダ44、ニッケル含有保護層42、チタン含有層40、及びコバルト/タンタル/ジルコニウムを含むターゲット30が含まれるがバッキングプレートには結合していない構造において、ニチバン(登録商標)クリアテープの15mm幅のストリップをターゲットプレート30の直径に沿ってハンダ44上に手作業で押しつけた。テープをハンダ層から剥がし、テープへの接着量を観測した。第1の試験を行った直径に対し90°の方向の直径に沿って、第2のストリップを再度貼付した。テープストリップの検査より、ハンダ層44、ニッケル含有層42、チタン含有層40、又はターゲット30の何れもテープに接着していないことが明らかとなり、チタン層40及びターゲット30の間が非常に良く接着していることを示している。結合層が上記の剥離試験に合格できる場合、結合層がターゲットに「強い」結合を形成すると定義する。つまり、結合層表面を横切る二つの垂直な方向に貼付され引き上げられるニチバン(登録商標)クリアテープによって結合層がターゲットから持ち上げられない程度に、結合層がターゲットに充分接着する場合である。テープを結合層に直接貼付することもでき、結合層上に接着する1以上の層に貼付することもできる。好ましくは、テープが直接結合層に貼付される。結合層上に接着する1以上の層にテープを貼付する場合、結合層がターゲットから分離するかどうかを決定するため充分な張力を結合層に加えるというよりはむしろ、1以上の層が互いに分離して試験が結論に到達しないことがある。
【0030】
本発明の方法には、任意の数多くの元素及び組成物を含むターゲット構造を使用できるが、例えば他の元素及び組成物と比較して結合層40と形成する結合が弱いため、一部の元素及び組成物は他の元素及び組成物より好ましくないことがある。例えば、インジウム−スズ酸化物(ITO)を含むターゲットは、本発明の方法で用いられる他のターゲットと比べ好ましくないことがある。
【0031】
図7は図6のアセンブリー50の俯瞰図であり、特定の実施態様ではアセンブリー50が円形の外周形状を備えうることを示す。図2−7は本発明の例示的な実施態様にすぎず、本発明の方法では、具体的に示した形状とは別に、その他の形状のバッキングプレート及びターゲットを使用することができることに留意すべきである。
【0032】
層40がチタンを含む例示的な実施態様を参照して、本発明の様々な側面を上に記載するが、結合層40がその他の材料(例えばジルコニウム又は銅)を含む場合にも、同様のプロセシングを使用することができる。層40がジルコニウムを含む場合、該層がジルコニウムを主要な元素として有し、ジルコニウムから本質的になり、ジルコニウムからなりうる。層40が銅を含む場合、該層が銅を主要な元素として有し、銅から本質的になり、銅からなりうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、従来技術のPVD装置の一部の概略的な断面図である。
【図2】図2は、本発明の方法の予備的な加工工程におけるPVDターゲットの概略的な断面図である。
【図3】図3は、図2の工程に引き続く加工工程で生じる図2のターゲットの図である。
【図4】図4は、図3の工程に引き続く加工工程で生じる図2のターゲットの図である。
【図5】図5は、図4の工程に引き続く加工工程で生じる図2のターゲットの図である。
【図6】図6は、図5の工程に引き続く加工工程でPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーにおいて生じる図2のターゲットの図である。
【図7】図7は図6のアセンブリーの俯瞰図である。
技術分野
本発明は、物理気相成長(PVD)ターゲット/バッキングプレートアセンブリーに関し、物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法に関する。特定の用途では、本発明は、物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリ中のターゲット及びバッキングプレート間に結合層を挿入する方法に関し、例示的な結合層は、約500℃以下の温度で約24時間以内にターゲットヘ強い拡散結合を形成できる層である。「強い」拡散結合とは、ここに記載する剥離試験に合格しうる結合として定義される。さらなる用途では、本発明は、物理気相成長ターゲット/バッキングプレートアセンブリ中のターゲット及びバッキングプレート間の結合層にチタン、ジルコニウム、及び銅の1以上を挿入する方法に関する。
【0002】
本発明の背景
物理気相成長(PVD)ターゲットには、薄膜が望まれる加工法において幅広い用途があり、例えばスパッタリングターゲットが含まれる。例示的なPVD法はスパッタリング法であり、PVD法の例示的な用途は、半導体プロセシング用途において半導体基板の全域に薄膜を形成することである。
【0003】
従来のPVD法を図1に示す。より詳細には、図1は基板14の上にあるPVD/バッキングプレートアセンブリー12を含む装置10を示す。アセンブリー12は、バッキングプレート18に接合されたスパッタリングターゲット16を含む。ターゲット16は数多くの金属元素及び合金の何れを含んでもよく、バッキングプレート18は電気伝導性及び熱伝導性を有する数多くの材料(例えば、銅又はアルミニウム)を含みうる。
【0004】
ターゲット16は材料が放出される表面20を有し、その表面をスパッタリング表面と呼ぶことができる。作動の際、表面20は表面に衝突するイオン又は原子に露出され、表面から基板14へ材料を放出するため使用される。放出された材料は、図1中の矢印22によって示される。この様な放出材料は基板14に付着し、基板上に薄膜(示していない)を形成する。
【0005】
バッキングプレート18は、図1に示すスパッタリング用途の間に幾つかの機能を提供する。例えば、典型的には、バッキングプレート18はアセンブリー12がスパッタリング装置チャンバー(示していない)内で取り外し可能であるように保持できるよう構成された形状で提供される。典型的には、バッキングプレート18は電気伝導性/熱伝導性材料で形成され、スパッタリングターゲット16に電場を通すためにも用いられる。好ましくは、ターゲット16及びバッキングプレート18の間の界面は、スパッタリング作業の間にターゲット16をバッキングプレート18に保持するのに充分な強さの結合を有するべきであり、界面全体に渡ってバッキングプレート18からターゲット16へ均一に電場が通過しうるよう、連続的で均一であり電気伝導性のある構造で構成されるべきである。ターゲット−バッキングプレート界面を形成するため現在使用されている方法の中で、ターゲット及びバッキングプレートの間にハンダ(図1に15として示す)を供給してターゲットをバッキングプレートに結合する方法がある。ハンダは、例えばスズ及びインジウムの一方又は両方を含みうる。
【0006】
ハンダの使用における問題は、ハンダがターゲット材料に充分接着しないことが多く、その結果、ハンダのみがバッキングプレート/ターゲット結合に使用される場合にはターゲットがバッキングプレートから分離しうるということである。その様な問題は、タンタル、コバルト、ジルコニウム、白金、鉄、ニオブ、モリブデン、クロム、アルミニウム、銅、及びマンガンの1以上を含むターゲットで特に顕著になりうる。その様な問題を解決するため、ターゲット表面をバッキングプレートに結合する前に、ターゲット表面の上に遷移層19を準備することが多い。示したターゲット/バッキングプレート構造では、ターゲット16は、バッキングプレート18との結合の形成において最終的に使用される表面17を有する。遷移層19は、ターゲットをバッキングプレートに結合する前に表面17の上に形成される。
【0007】
典型的には、遷移層19はニッケルを含む。インジウム又はスズ系のハンダと比べると、ニッケルは様々なターゲット材料に接着しやすいと考えられており、そしてインジウム又はスズ系のハンダは、ターゲット材料に接着するよりもニッケルに接着しやすいと考えられている。従って、ニッケル層19は最終的にハンダ15に結合し、バッキングプレート18にターゲット16を保持することができる。
【0008】
ニッケル含有遷移層は、様々なターゲット材料のバッキングプレートへの接着を改善する。しかし、該層が提供される場合であっても、スパッタリング過程の間にターゲット/バッキングプレートアセンブリーからPVDターゲットが分離又は層間剥離する問題に直面することがある。ニッケル含有遷移層は、Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr, Al, Cuの1以上を含むターゲット組成物について使用される場合に、特に充分でない場合がある。ターゲット及びバッキングプレートの分離は、例えばニッケル遷移層及びターゲット間の界面で起こりうる。ターゲット表面の面積の約5%以上を超えて層間剥離が起きると、ターゲット/バッキングプレートアセンブリーが望ましいパラメータ内で機能しない場合には、そのアセンブリーは動作不能となりうる。約1%以上の層間剥離によりターゲット/バッキングプレートアセンブリーが動作不能となる場合がある。従って、ニッケル遷移層に関する層間剥離の問題を回避するため、ターゲットをバッキングプレートに接着させる新たな方法を開発することが望ましい。
【0009】
本発明の要旨
一つの側面では、本発明はPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーを含む。該アセンブリーには、表面を有するPVDターゲットと、該表面上の結合層とが含まれる。結合層はターゲット表面と異なる組成を有し、バッキングプレートは、少なくとも結合層によりPVDターゲット表面から隔てられるように提供される。結合層は、約24時間以内に約500℃以下の温度でターゲットへ強い拡散結合(strong diffusion bond)を形成できる材料を含み、例えば銅、チタン、ジルコニウムの1以上を含みうる。特定の実施態様では、結合層が銅、チタン、ジルコニウムからなり、又は、銅、チタン、ジルコニウムから本質的になりうる。「強い」拡散結合とは、ここに記載する剥離試験に合格できる結合として定義される。
【0010】
別の側面では、本発明にはPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法が含まれる。結合層はPVDターゲット表面上に形成され、バッキングプレートは結合層に接合される。従って、バッキングプレートは少なくとも結合層によりPVDターゲット表面から隔てられる。結合層は、例えば銅、チタン、及びジルコニウムの1以上を含みうる。
【0011】
好ましい実施態様を、添付の図を参照して以下に記載する。
【0012】
好ましい実施態様の詳細な説明
好ましい実施態様を、添付の図を参照して以下に記載する。
【0013】
本発明はターゲット/バッキングプレートアセンブリーの新たな形成方法を包含し、その方法で形成できるターゲット/バッキングプレートアセンブリーも包含する。本発明の方法は、数多くの金属PVDターゲット組成物(例えば、1種以上の遷移金属を含む組成物、並びに、Tl及びAlの1以上を含む組成物が含まれる)に使用することができる。本発明の方法は、タンタル、コバルト、ジルコニウム、白金、鉄、ニオブ、マンガン、クロム、アルミニウム、及び銅の1種以上を含むPVDターゲットに特に適用することができる;該組成物は、本開示の「背景」欄で記載した従来技術の方法について特有の問題を引き起こす場合があり、それらの問題は本発明の方法により克服できるためである。さらに本発明の方法は、Ta, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn及びFeAlから本質的になり、又は上記複合体からなるPVDターゲットに特に適用可能である。上記複合体、例えばCoTaZrは、量論ではなく複合体の成分という観点で記載されているということが理解されるべきである。例えば、様々な量論関係にあるCoTaZrからなる、又は本質的になる数多くの複合体が存在し、”CoTaZr”という名称は、その様な複合体全てを包含することが意図されている。
【0014】
本発明の例示的な方法を、図2−7を参照して記載する。最初に図2を参照すると、PVDターゲット30が断面図で示されている。ターゲット30は、スパッタリング表面32、及びスパッタリング表面32と反対側の関係にある背面34を含む。背面34は表面異物(surface anomaly)36を含むよう示されており、36は、例えばギザギザ(burr)、汚染物質、又は表面の荒れの別の側面に対応しうる。形状(feature)36は、形状36を説明できるようにターゲット30と比較して誇張されたスケールで示されている。形状36はターゲット30と比較して、示されているよりも通常はずっと小さいということが理解されるべきである。
【0015】
図3は、表面34にクリーニング処置を行った後のターゲット30を示す。例示的なクリーニング処置は、初めに溶媒で表面をクリーニングして表面からゴミ(debris)を除去し、続いて表面をプラズマエッチングに露出してギザギザ又はその他の望ましくない表面形状を除去し、その結果、表面34を平滑にすることを含む。表面34でターゲット30が酸化及び/又は腐食するのを避けるため、ターゲット30の材料との反応に充分不活性な溶媒を選ぶことが好ましく、例示的な溶媒はイソプロピルアルコールといった有機溶媒である。適切なプラズマエッチングは、アルゴンプラズマにより1200Vで約20分間行うことができる。好ましくは、エッチングが大気圧より低い圧力(sub−atmospheric pressure)(例えば、10−6Torr)で行われる。
【0016】
図4を参照すると、結合層40がターゲット30の表面36上に提供される。結合層40は、例えば、チタン、銅、及びジルコニウムの1以上を含みうる;特定の実施態様では、チタン、銅、及びジルコニウムの1以上から本質的になり、又は上記元素の1以上からなりうる。結合層40は最終的にターゲット30へ強い結合を形成することができ、例えば、約24時間以内に約500℃以下の温度でターゲットに強い拡散結合を形成できる層でありうる。「強い」拡散結合とは、ここに記載する剥離試験に合格できる結合として定義される。
【0017】
例示的な実施態様では、層40がチタンを含む。この様な例示的な実施態様について、層40をチタン含有層40と呼んで以下に記載する。しかし、本発明をチタン含有層と呼ばれる層以外の材料により用いることができること、そして、記載したプロセシングは、例えばジルコニウム含有層40又は銅含有層40と共に使用することもできることが理解されるべきである。
【0018】
層40がチタンを含む例示的な実施態様を参照すると、チタン含有層40はチタンを主要な元素として有し(「主要な元素」とは、チタンが他の何れの元素よりも高い濃度で存在することを指しており、例えば他の元素が30重量%以上の濃度で存在しない場合には、30重量%のチタンを有する材料が含まれる)、本質的にチタンからなり、又はチタンからなりうる。層40及びターゲット30の両者がチタンを含む場合、層40はターゲット30と異なるチタン組成を含みうる。
【0019】
層40を形成する例示的な方法はイオン蒸着である。具体的には、ターゲット30を大気圧より低い圧力(例えば、10−6Torrの圧力)の真空チャンバー中に設置し、正又は負の何れかの電荷が供給される。層40がチタンを含む場合、ターゲット30とは逆の電荷が加えられたチタン基板が準備され、電子ビーム銃に露出される。チタンが基板から蒸発し、ターゲットに衝突する。イオン蒸着法は当該技術で知られている。イオン蒸着はチタン層40を形成する例示的な方法であるが、チタン40を形成するために使用できる幾つかの技術の一つである。層40を形成するために使用できる別の方法は、電気メッキである。
【0020】
イオン蒸着法の一つの側面は、表面36の上にコーティング40を形成することに加え、本方法で打ち込まれる(driven)コーティング材料が実際のところターゲット30の表面36を通って短い距離を浸透できるということでありうる。コーティング40は例えば2000Åから約4000Åの厚さで形成することができ、例示的な厚さは約3000Åである。コーティング40の形成中又は形成後のある時点で、コーティング40の材料がターゲット30に拡散結合しうる。そのような拡散結合は、好ましくは500℃未満の温度(例えば、200℃以下の温度)において24時間以内の時間(例えば数時間)で生じうる。拡散結合は好ましくは強い結合を形成し、「強い」とはここに記載する剥離試験に合格する結合として定義される。
【0021】
イオン蒸着が層40の形成に使用される場合、拡散結合がイオン蒸着の間に生じうる。蒸着過程の間に拡散結合が生じることは、蒸着過程とは別の工程で拡散結合が起きる実施態様と比べ、プロセシング工程が省略できるため有利である。
【0022】
プラズマクリーニング(図3を参照して記載する)及びチタンコーティング(図4を参照して記載する)は両者とも大気圧より低い圧力で行うことができるため、プラズマクリーニング工程が開始されてからイオン蒸着が完了するまで、ターゲット30を大気圧より低い圧力下に保持することができる。
【0023】
材料40が容易に酸化される材料(例えばチタン)を含む場合、材料40の上に防護(protective)(又は保護(passivating))層を形成し、層40の材料の酸化を軽減することが望まれる。図5は、層40上の保護層42の形成を示す。保護層42は、例えばニッケルを含み、例えばニッケルのイオン蒸着により形成しうる。示した実施態様では、層40は上面(upper layer)41及び側面43を含む;保護層42は上面41上にのみ形成される。しかし本発明は、保護層42が側面43上にも形成される他の実施態様も包含するということが理解されるべきである。保護層42は好ましくは少なくとも1200Åの厚みであり、例えば少なくとも1500Åの厚みでありうる。
【0024】
保護層42がイオン蒸着で形成される実施態様では、保護層を大気圧より低い圧力(例えば、10−6Torr)で形成できる。従って、プラズマクリーニング工程(図3を参照して記載される)の開始から保護層42の形成後まで、ターゲット34を大気圧より低い圧力に保持できる。このようにすると、大気由来(atmosphere−borne)の汚染物質にターゲット30が曝されることを低減できる。
【0025】
図6を参照し、ハンダ層44が保護層42の上に提供される。ハンダ層44は、例えばスズ及びインジウムの一方又は両方を含みうる。バッキングプレート46はハンダ44に接して提供され、ターゲット30並びに層40及び42を含むアセンブリーにハンダ44を介して接合される。ハンダ44は、例えば少なくとも約10000Åの厚みに形成しうる。ハンダ44を形成する例示的な方法は、ニッケル層44にハンダの第1の部分を貼り付け、続いてニッケルを約200℃に加熱することを含む。引き続き、ハンダの第2の部分を第1の部分の上に貼り付け、ハンダの該2つの部分をアセンブリー50中のバッキングプレート46及びターゲット30の間にプレスする。アセンブリー50内でハンダをプレスする間、ハンダは軟化された又は加熱された形態にある。アセンブリーを合わせて押しつけ、4から5時間冷却し、バッキングプレート46を層42に保持するハンダ結合を実現する。あるいはまた、ハンダ層44,保護層42、及び結合層40を介してバッキングプレート46をターゲット30に保持する結合として該結合に言及することができる。
【0026】
従来技術のターゲット/バッキングプレートアセンブリー12(図1)のニッケル含有遷移層19に代えてチタン含有層40(又は、本発明により包含される別の結合層40)を備えるという点で、アセンブリー50は従来技術のアセンブリー12と異なる。あるいはまた、アセンブリー50は、少なくとも結合層40によりターゲット30から隔てられたバッキングプレート46を含むと考えることもできる。示された実施態様では、実際には、バッキングプレート46は結合層40だけでなくハンダ層44及び保護層42によってもターゲット30から隔てられている。しかし本発明は、層44及び42の一方又は両方を除いた他の実施態様(示していない)を包含するということが理解されるべきである。例えば、拡散結合技術を用い、結合層40をバッキングプレート46に直接結合することができる。
【0027】
結合層40は、ターゲット30と異なる組成を含むという点で、ターゲット30と区別される。結合層40がターゲット30と重複する材料をターゲット30とは異なる濃度で含む場合、又はターゲット30と異なる材料を含む場合、ターゲット30と異なる組成を有しうる。本発明の方法の利点は、層40及びターゲット30が共通の主要元素を含まない場合であっても結合層40及びターゲット30の間に強い拡散結合を形成できるという点である。例えば、ターゲット30が銅を含まない応用例において、結合層40が主に銅を含みうる。別の例として、ターゲット30がチタンを含まない応用例において、層40が主にチタンを含みうる。更に別の例として、ターゲット30がジルコニウムを含まない応用例において、層40が主にジルコニウムを含みうる。
【0028】
アセンブリー50の他に採りうる概観(alternative view)(保護層42がニッケルを含む構造である)では、アセンブリー50が図1の従来のアセンブリー12のニッケル含有遷移層を含むが、ニッケル含有層42のような層が結合層40によりターゲット30から隔てられていると考えうる。
【0029】
本発明の結合層にチタン、ジルコニウム、及び/又は銅を使用する利点は、そのような材料が、数多くの金属及び合金(遷移金属、タリウム、及びアルミニウムが含まれる)との強い結合相互作用の形成に向いていることである。例えばチタンは、熱膨張に関し該金属及び合金と両立できる。剥離試験において、チタンの層40がターゲット30に非常に良く接着することが見出された。剥離試験を行うため、ハンダ44、ニッケル含有保護層42、チタン含有層40、及びコバルト/タンタル/ジルコニウムを含むターゲット30が含まれるがバッキングプレートには結合していない構造において、ニチバン(登録商標)クリアテープの15mm幅のストリップをターゲットプレート30の直径に沿ってハンダ44上に手作業で押しつけた。テープをハンダ層から剥がし、テープへの接着量を観測した。第1の試験を行った直径に対し90°の方向の直径に沿って、第2のストリップを再度貼付した。テープストリップの検査より、ハンダ層44、ニッケル含有層42、チタン含有層40、又はターゲット30の何れもテープに接着していないことが明らかとなり、チタン層40及びターゲット30の間が非常に良く接着していることを示している。結合層が上記の剥離試験に合格できる場合、結合層がターゲットに「強い」結合を形成すると定義する。つまり、結合層表面を横切る二つの垂直な方向に貼付され引き上げられるニチバン(登録商標)クリアテープによって結合層がターゲットから持ち上げられない程度に、結合層がターゲットに充分接着する場合である。テープを結合層に直接貼付することもでき、結合層上に接着する1以上の層に貼付することもできる。好ましくは、テープが直接結合層に貼付される。結合層上に接着する1以上の層にテープを貼付する場合、結合層がターゲットから分離するかどうかを決定するため充分な張力を結合層に加えるというよりはむしろ、1以上の層が互いに分離して試験が結論に到達しないことがある。
【0030】
本発明の方法には、任意の数多くの元素及び組成物を含むターゲット構造を使用できるが、例えば他の元素及び組成物と比較して結合層40と形成する結合が弱いため、一部の元素及び組成物は他の元素及び組成物より好ましくないことがある。例えば、インジウム−スズ酸化物(ITO)を含むターゲットは、本発明の方法で用いられる他のターゲットと比べ好ましくないことがある。
【0031】
図7は図6のアセンブリー50の俯瞰図であり、特定の実施態様ではアセンブリー50が円形の外周形状を備えうることを示す。図2−7は本発明の例示的な実施態様にすぎず、本発明の方法では、具体的に示した形状とは別に、その他の形状のバッキングプレート及びターゲットを使用することができることに留意すべきである。
【0032】
層40がチタンを含む例示的な実施態様を参照して、本発明の様々な側面を上に記載するが、結合層40がその他の材料(例えばジルコニウム又は銅)を含む場合にも、同様のプロセシングを使用することができる。層40がジルコニウムを含む場合、該層がジルコニウムを主要な元素として有し、ジルコニウムから本質的になり、ジルコニウムからなりうる。層40が銅を含む場合、該層が銅を主要な元素として有し、銅から本質的になり、銅からなりうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、従来技術のPVD装置の一部の概略的な断面図である。
【図2】図2は、本発明の方法の予備的な加工工程におけるPVDターゲットの概略的な断面図である。
【図3】図3は、図2の工程に引き続く加工工程で生じる図2のターゲットの図である。
【図4】図4は、図3の工程に引き続く加工工程で生じる図2のターゲットの図である。
【図5】図5は、図4の工程に引き続く加工工程で生じる図2のターゲットの図である。
【図6】図6は、図5の工程に引き続く加工工程でPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーにおいて生じる図2のターゲットの図である。
【図7】図7は図6のアセンブリーの俯瞰図である。
Claims (65)
- 表面を有し、Ta, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn, 又はFeAlの1以上を含むPVDターゲット(上記の複合体は、量論ではなく成分という観点から記載されている);
PVDターゲット表面上にあり、ターゲット表面とは異なる組成を有し、ターゲットへ強い拡散結合を形成する結合層;及び
少なくとも結合層によりPVDターゲット表面と隔てられたバッキングプレート;
を備えたPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリー。 - 結合層がチタンを含む請求項1のアセンブリー。
- 結合層が本質的にチタンからなる請求項1のアセンブリー。
- 結合層がジルコニウムを含む請求項1のアセンブリー。
- 結合層が本質的にジルコニウムからなる請求項1のアセンブリー。
- 結合層が銅を含む請求項1のアセンブリー。
- 結合層が本質的に銅からなる請求項1のアセンブリー。
- 表面を有するPVDターゲット;
PVDターゲット表面上にあり、ターゲット表面とは異なる組成を有するチタン含有結合層;及び
少なくとも結合層によりPVDターゲット表面と隔てられたバッキングプレート;
を備えたPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリー。 - チタンが結合層の主要な元素である請求項8のアセンブリー。
- チタンが結合層の主要な元素であり、結合層の厚さが約2000Åから4000Åである請求項8のアセンブリー。
- 結合層が本質的にチタンからなる請求項8のアセンブリー。
- 結合層がチタンからなる請求項8のアセンブリー。
- バッキングプレート及び結合層の間にハンダ層をさらに備えた請求項8のアセンブリー。
- ハンダ層がIn及びSnの一方又は両方を含む請求項13のアセンブリー。
- 結合層上の保護層;及び
バッキングプレート及び保護層の間にあり、保護層及びバッキングプレートと接するハンダ層;
をさらに含む請求項8のアセンブリー。 - ハンダ層がIn及びSnの一方又は両方を含む請求項15のアセンブリー。
- 保護層がNiを含み、保護層の厚さが少なくとも約1500Åである請求項15のアセンブリー。
- 保護層がNiを含む請求項15のアセンブリー。
- 保護層が本質的にNiからなる請求項15のアセンブリー。
- 保護層がNiからなる請求項15のアセンブリー。
- PVDターゲットが少なくとも1種の遷移金属を含む請求項8のアセンブリー。
- PVDターゲットがTl, Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr, Al, 及びCuの1以上を含む請求項8のアセンブリー。
- PVDターゲットが、本質的にTa, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn又はFeAl(上記の複合体は量論ではなく成分の観点から記載されている)からなる請求項8のアセンブリー。
- 表面を有するPVDターゲット;
PVDターゲット表面上にあり、ターゲット表面とは異なる組成を有するジルコニウム含有結合層;及び
少なくとも結合層によりPVDターゲット表面と隔てられたバッキングプレート;
を備えたPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリー。 - ジルコニウムが結合層の主要な元素である請求項24のアセンブリー。
- ジルコニウムが結合層の主要な元素であり、結合層の厚みが約2000Åから約4000Åである請求項24のアセンブリー。
- 結合層が本質的にジルコニウムからなる請求項24のアセンブリー。
- 結合層がジルコニウムからなる請求項24のアセンブリー。
- PVDターゲットがTl, Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr, Al,及びCuの1以上を含む請求項24のアセンブリー。
- PVDターゲットが本質的にTa, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn又はFeAl(該複合体は量論ではなく成分という観点から記載されている)からなる請求項24のアセンブリー。
- 表面を有し銅を含まないPVDターゲット;
PVDターゲット表面上にある銅含有結合層;及び
少なくとも結合層によりPVDターゲット表面と隔てられたバッキングプレート;
を備えたPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリー。 - 銅が結合層の主要な元素である請求項31のアセンブリー。
- 銅が結合層の主要な元素であり、結合層の厚さが約2000Åから約4000Åである請求項31のアセンブリー。
- 結合層が本質的に銅からなる請求項31のアセンブリー。
- 結合層が銅からなる請求項31のアセンブリー。
- PVDターゲットがTl, Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr及びAlの1以上を含む請求項31のアセンブリー。
- PVDターゲットがTa, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn又はFeAl(該複合体は量論ではなく成分という観点から記載されている)から本質的になる請求項31のアセンブリー。
- PVDターゲット表面上に結合層を形成し、約500℃以下で約24時間以内に結合層及びターゲット間に強い拡散結合を形成する工程であって;結合層の形成は、イオン蒸着による該表面上への結合層をコーティングすることを含み;強い拡散結合をイオン蒸着の間に形成する上記の工程と、
ターゲットにバッキングプレートを接合する工程であって;バッキングプレートは、少なくとも結合層が含まれる接続部を介して接合され、従って少なくとも結合層によりPVDターゲット表面から隔てられている上記の工程と、
を含むPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法。 - 結合層の形成の前に、PVDターゲット表面をプラズマエッチングに露出する工程をさらに含む請求項38の方法。
- 結合層の上に保護層を形成する工程、及び
保護層の上にハンダ層を形成する工程を含む請求項39の方法であって、
バッキングプレートへのターゲットの接合が、ハンダによるバッキングプレートの結合を含み、
プラズマエッチングへのPVDターゲットの露出から、ハンダ層を形成する工程を通じて、少なくともハンダ層を形成する該工程まで、PVDターゲットが大気圧より低い圧力に露出された状態のままである上記の方法。 - 保護層がニッケルを含む請求項40の方法。
- チタンが結合層の主要な元素である請求項38の方法。
- 結合層が本質的にチタンからなる請求項38の方法。
- ジルコニウムが結合層の主要な元素である請求項38の方法。
- 結合層が本質的にジルコニウムからなる請求項38の方法。
- 銅が結合層の主要な元素である請求項38の方法。
- 結合層が本質的に銅からなる請求項38の方法。
- 結合層の上に保護層を形成する工程;及び
該保護層の上にハンダ層を形成する工程であって、ターゲットへのバッキングプレートの接合がハンダによるバッキングプレートの結合を含む上記の工程;
をさらに含む請求項38の方法。 - PVDターゲットが少なくとも1種の遷移金属を含む請求項38の方法。
- PVDターゲットが、Tl, Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr, Al, Cuの1以上を含む請求項38の方法。
- PVDターゲットがTa, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn又はFeAl(該複合体は量論ではなく成分という観点から記載されている)から本質的になる請求項38の方法。
- PVDターゲット表面上に、ジルコニウム及びチタンの一方又は両方を含む結合層を形成する工程;及び
ターゲットにバッキングプレートを接合する工程であって、バッキングプレートは、少なくとも結合層が含まれる接続部を介して接合され、その結果少なくとも結合層によりPVDターゲット表面から隔てられている上記の工程;
を含むPVDターゲット/バッキングプレートアセンブリーの形成方法。 - 結合層の形成が、イオン蒸着により該表面上に結合層をコーティングすることを含む請求項52の方法。
- 結合層を形成する前にPVDターゲット表面をプラズマエッチングに露出する工程をさらに含む請求項52の方法であって;結合層の形成がイオン蒸着により該表面上に結合層をコーティングすることを含み;露出及びコーティングの間、PVDターゲットが大気圧より低い圧力に露出された状態のままである上記の方法。
- 結合層の上に保護層を形成する工程、及び
該保護層の上にハンダ層を形成する工程をさらに含む請求項54の方法であって、
バッキングプレートのターゲットへの接合が、ハンダによるバッキングプレートの結合を含み、
プラズマエッチングへのPVDターゲットの露出から、ハンダ層を形成する工程を通じて、少なくともハンダ層を形成する工程まで、PVDターゲットが大気圧より低い圧力に露出された状態のままである、上記の方法。 - 保護層がニッケルを含む請求項55の方法。
- 結合層の形成の前に
有機溶媒で該表面を洗浄し;
洗浄された表面をプラズマエッチングに露出する;
工程をさらに含み、
結合層の形成が、イオン蒸着により該表面上に結合層をコーティングすることを含む、請求項52の方法。 - チタンが結合層の主要な元素である請求項52の方法。
- 結合層が本質的にチタンからなる請求項52の方法。
- ジルコニウムが結合層の主要な元素である請求項52の方法。
- 結合層が本質的にジルコニウムからなる請求項52の方法。
- 結合層の上に保護層を形成し;
保護層の上にハンダ層を形成する;
工程をさらに含む請求項52の方法であって、ターゲットへのバッキングプレートの接合がハンダによるバッキングプレートの結合を含む上記の方法。 - PVDターゲットが少なくとも1種の遷移金属を含む請求項52の方法。
- PVDターゲットがTl, Ta, Co, Zr, Pt, Fe, Nb, Mn, Cr, Al, Cuの1以上を含む請求項52の方法。
- PVDターゲットがTa, Co, CoTaZr, CoPt, Pt, FeTa, TiZr, CoNb, Mo, CoCrPt, Al, AlCuFe, FeMn又はFeAl(該複合体は量論ではなく成分という観点から記載されている)から本質的になる請求項52の方法。
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