JPS5936411A - Gtカツト水晶振動子 - Google Patents
Gtカツト水晶振動子Info
- Publication number
- JPS5936411A JPS5936411A JP14593982A JP14593982A JPS5936411A JP S5936411 A JPS5936411 A JP S5936411A JP 14593982 A JP14593982 A JP 14593982A JP 14593982 A JP14593982 A JP 14593982A JP S5936411 A JPS5936411 A JP S5936411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supporting base
- cut crystal
- oscillating piece
- oscillating
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- AYOOGWWGECJQPI-NSHDSACASA-N n-[(1s)-1-(5-fluoropyrimidin-2-yl)ethyl]-3-(3-propan-2-yloxy-1h-pyrazol-5-yl)imidazo[4,5-b]pyridin-5-amine Chemical compound N1C(OC(C)C)=CC(N2C3=NC(N[C@@H](C)C=4N=CC(F)=CN=4)=CC=C3N=C2)=N1 AYOOGWWGECJQPI-NSHDSACASA-N 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、支持用台座に支持固定して々るGTカット水
晶振動子に関する一 本発明の目的は、周波数調整の容易なGTカット水晶振
動子を提供することにある。
晶振動子に関する一 本発明の目的は、周波数調整の容易なGTカット水晶振
動子を提供することにある。
従来GTカット水晶振動子は、温度範囲100°Cに対
し、周波数変化が1〜2PPM以下と最も優わた温度特
性を有する振動子として知られている。第1図は、振動
部1、振jltI]を支持部まで伝えない為の振動減衰
部5、支持部4をブリッジ2を介して一体形成されてい
る構造を表わしている。
し、周波数変化が1〜2PPM以下と最も優わた温度特
性を有する振動子として知られている。第1図は、振動
部1、振jltI]を支持部まで伝えない為の振動減衰
部5、支持部4をブリッジ2を介して一体形成されてい
る構造を表わしている。
GTカット水晶振動子は、短辺寸法w雪、長辺寸法りと
すると、W禽、Lに夫々依存する2つの縦振動が結合し
て振動する。故に、短辺寸法w1で決まる周波数をjw
とし、長辺寸法して決まる周波数をfTJ とす
ると、fw −fp =ムfがこの振動子の温度特性を
決定する訳である。
すると、W禽、Lに夫々依存する2つの縦振動が結合し
て振動する。故に、短辺寸法w1で決まる周波数をjw
とし、長辺寸法して決まる周波数をfTJ とす
ると、fw −fp =ムfがこの振動子の温度特性を
決定する訳である。
ところで通常、振動子は目的に応じて、その振動周波数
を調整する必要がある。そわは、フォトエラキング技術
を利用して作られる為、水晶の結晶性からくるエツチン
グ残りhど、そのばらつきが長・短辺寸法の長さに影響
し、fw、 fL もばらついてしまう。
を調整する必要がある。そわは、フォトエラキング技術
を利用して作られる為、水晶の結晶性からくるエツチン
グ残りhど、そのばらつきが長・短辺寸法の長さに影響
し、fw、 fL もばらついてしまう。
特に高精度の振動子に於いては、そのばらつきを110
PP〜20PPM以下に調整する必要がある。
PP〜20PPM以下に調整する必要がある。
第2図は、支持台5に第1図に示した振動子片Fを固定
する従来例である。支持台5は概略凹型であり、凹部に
は周波数調整用の貫迫穴が開いている、 左、右の凸部6,7には振動子支持部4を位置させ、ハ
ンダ等の接着部8により固定される。この状伸で、Aの
方向から蒸着し任意の位置におもりを付着し、fw、f
+−を調整する、しかし1、従来、振動子短辺寸法W1
より支持台5の幅寸法W3の方が小さい為におもりの一
部が、振動子の側面に付着され、甘た史に、表面脣でも
オわり込んでし甘う為に、表面と側面、側面と裏面とい
う具合にショートしてしまい、振動子としての働きを無
くしてし捷う不具合が多発していた。、捷た、例えば、
支持台5に振動子がずれて固定さねた場合、第3図に示
すように(第3図は共がわから見た図である。、)Aが
ちおもり部材全付層した場合、蒸着周波数調整用の貞通
穴からおもりが付着シf1周波数は調整−わるが、図の
ようにBで示すバッキング部分にもおもりが付着さねて
しまう6−)九更に、第4図に示すように、振動子だけ
に注目すると、Bの方向にのみ付着これ、0の方向には
おもりが付着されない。この為に、振動子の振動モード
が乱ねて1.甘う。故に周波数が不安定にたり、温度特
性のすぐれているGTカット水晶振動子の有章性ケ無に
してし甘う不具合点があった。
する従来例である。支持台5は概略凹型であり、凹部に
は周波数調整用の貫迫穴が開いている、 左、右の凸部6,7には振動子支持部4を位置させ、ハ
ンダ等の接着部8により固定される。この状伸で、Aの
方向から蒸着し任意の位置におもりを付着し、fw、f
+−を調整する、しかし1、従来、振動子短辺寸法W1
より支持台5の幅寸法W3の方が小さい為におもりの一
部が、振動子の側面に付着され、甘た史に、表面脣でも
オわり込んでし甘う為に、表面と側面、側面と裏面とい
う具合にショートしてしまい、振動子としての働きを無
くしてし捷う不具合が多発していた。、捷た、例えば、
支持台5に振動子がずれて固定さねた場合、第3図に示
すように(第3図は共がわから見た図である。、)Aが
ちおもり部材全付層した場合、蒸着周波数調整用の貞通
穴からおもりが付着シf1周波数は調整−わるが、図の
ようにBで示すバッキング部分にもおもりが付着さねて
しまう6−)九更に、第4図に示すように、振動子だけ
に注目すると、Bの方向にのみ付着これ、0の方向には
おもりが付着されない。この為に、振動子の振動モード
が乱ねて1.甘う。故に周波数が不安定にたり、温度特
性のすぐれているGTカット水晶振動子の有章性ケ無に
してし甘う不具合点があった。
本発明は、前Me不具合点を全て解決する発明であり、
その実施例を図に従って1兄明する。
その実施例を図に従って1兄明する。
第5図は本発明実施例である、本発明支持台9に、GT
カット水晶振動子ハP(従来例で示しであるので詳細説
明は省く6)?のせ支持固定する、次に、図の入方向(
支持台9の下方)から、おもり部材を蒸着ジせる。この
時おもりは、支持台の裏側に付着づせるが、振動子短辺
寸法W、(支持台幅寸法W寓の関係にある為、おもり部
材はすべて支持台にカバー−ghる。故に振動子の表面
にはおもシが付着ζhることはなく、回ゎり込むことが
ないということであり、表面、破面の′岨極がショート
することはかい。第6図は第5図の断面図である。
カット水晶振動子ハP(従来例で示しであるので詳細説
明は省く6)?のせ支持固定する、次に、図の入方向(
支持台9の下方)から、おもり部材を蒸着ジせる。この
時おもりは、支持台の裏側に付着づせるが、振動子短辺
寸法W、(支持台幅寸法W寓の関係にある為、おもり部
材はすべて支持台にカバー−ghる。故に振動子の表面
にはおもシが付着ζhることはなく、回ゎり込むことが
ないということであり、表面、破面の′岨極がショート
することはかい。第6図は第5図の断面図である。
捷た、従来は、振動子片ブトrれて支持台に固定された
場合、短辺のすねた方には、多量のおもりが付着され、
片方には少しのおもりしか付着ζねなかった為不安定の
原因となっていた。故に、すねることが許さ11ない現
状であった、しかし本発明にすることで、例えば片方に
多少ずわたとしても、支持台の幅寸法W−よりはみ出さ
ない限り何ら問題は々い。故に、振動子片が支持台に固
定される時の許容範囲が広くたつたことに々す、周波数
調整に於ても回り込みも寿〈なり簡単に周波数調整が可
能と六った、
場合、短辺のすねた方には、多量のおもりが付着され、
片方には少しのおもりしか付着ζねなかった為不安定の
原因となっていた。故に、すねることが許さ11ない現
状であった、しかし本発明にすることで、例えば片方に
多少ずわたとしても、支持台の幅寸法W−よりはみ出さ
ない限り何ら問題は々い。故に、振動子片が支持台に固
定される時の許容範囲が広くたつたことに々す、周波数
調整に於ても回り込みも寿〈なり簡単に周波数調整が可
能と六った、
筆1図・・・GTカット水晶振動子片斜視図2第2図・
・・GTカット水晶振動子斜視図。 第3図・・・GTカット水晶振動子の裏面斜視図、鎮4
図・・・GTカット水晶振動子片斜視図。 第5図・・・本発明GTカット水晶振動子斜視図、第6
図・・・第5図り、D’の断面図。 1・・・振動部 2・・・ブ11ツジ3・・・
振動減衰部 4・・・支持部5・・・支持台
6,7・・・支持台突部8・・・接着部材
9・・・本発明支持台P・・・GTカット水晶振動子片 L・・・振動子長辺 Ws・・・振動子短辺 Ws・・・支持台幅寸法 A・・・蒸着方向 B、O・・・方向 を示す2 以上 出願人 株式会社 繁二精工舎 代理人 弁理士 最 上 務 第3[21 A 第4図
・・GTカット水晶振動子斜視図。 第3図・・・GTカット水晶振動子の裏面斜視図、鎮4
図・・・GTカット水晶振動子片斜視図。 第5図・・・本発明GTカット水晶振動子斜視図、第6
図・・・第5図り、D’の断面図。 1・・・振動部 2・・・ブ11ツジ3・・・
振動減衰部 4・・・支持部5・・・支持台
6,7・・・支持台突部8・・・接着部材
9・・・本発明支持台P・・・GTカット水晶振動子片 L・・・振動子長辺 Ws・・・振動子短辺 Ws・・・支持台幅寸法 A・・・蒸着方向 B、O・・・方向 を示す2 以上 出願人 株式会社 繁二精工舎 代理人 弁理士 最 上 務 第3[21 A 第4図
Claims (1)
- (1)()Tカット水晶振動子片を支持台に固定してた
るGTカット水晶振動子に於いて、振動子の短辺の寸法
をWIとし、支持台の幅寸法をWIとした時、Wt<W
Iの関係にあること全特徴とするGTカット水晶振動子
、
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14593982A JPS5936411A (ja) | 1982-08-23 | 1982-08-23 | Gtカツト水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14593982A JPS5936411A (ja) | 1982-08-23 | 1982-08-23 | Gtカツト水晶振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5936411A true JPS5936411A (ja) | 1984-02-28 |
Family
ID=15396549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14593982A Pending JPS5936411A (ja) | 1982-08-23 | 1982-08-23 | Gtカツト水晶振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5936411A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6649449B2 (en) | 2000-10-27 | 2003-11-18 | Honeywell International Inc. | Methods of forming physical vapor deposition target/backing plate assemblies |
JP2008017408A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子パッケージ、発振器、及び電子機器 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53132988A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezo-vibrator |
JPS5596713A (en) * | 1979-01-17 | 1980-07-23 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Outline vibration mode piezo-vibrator |
-
1982
- 1982-08-23 JP JP14593982A patent/JPS5936411A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53132988A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezo-vibrator |
JPS5596713A (en) * | 1979-01-17 | 1980-07-23 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Outline vibration mode piezo-vibrator |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6649449B2 (en) | 2000-10-27 | 2003-11-18 | Honeywell International Inc. | Methods of forming physical vapor deposition target/backing plate assemblies |
JP2008017408A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子パッケージ、発振器、及び電子機器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5903087A (en) | Electrode edge wave patterns for piezoelectric resonator | |
EP0130705B1 (en) | Beam structure for piezoelectric vibrating beam force or pressure sensors | |
US4443728A (en) | GT-Cut quartz resonator | |
GB2072943A (en) | Piezo-electric crystal vibrator | |
US4139793A (en) | Integral resonant support arms for piezoelectric microresonators | |
JPH0514442B2 (ja) | ||
JP3072354B2 (ja) | 振動子型加速度計 | |
JPS6013608B2 (ja) | 厚みすべり圧電振動子 | |
EP0096653B1 (en) | Extensional mode piezoelectric microresonator | |
US2224891A (en) | Oscillating mechanical or electromechanical system | |
JPS5936411A (ja) | Gtカツト水晶振動子 | |
CA2327576A1 (en) | Low frequency quartz oscillator device with improved thermal characteristics | |
US5773912A (en) | Piezoelectric resonator including oscillation buffer materials | |
JPS6357967B2 (ja) | ||
JP3194442B2 (ja) | Scカットの水晶振動子 | |
JPH08125486A (ja) | 圧電振動子 | |
JPH0870232A (ja) | 弾性表面波素子及び発振器 | |
JPH0117857Y2 (ja) | ||
JPS5824503Y2 (ja) | 幅すべり結晶振動子 | |
JPS5912810Y2 (ja) | 圧電振動子 | |
JPS6026870Y2 (ja) | 超音波振動子 | |
JPH0117860Y2 (ja) | ||
JP3319986B2 (ja) | 発振器 | |
JPS6064516A (ja) | 結合水晶振動子 | |
JP2929107B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 |