JP2004513357A - 位置測定装置及び位置を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、特にフォトリソグラフィ・システムで使用する位置測定装置に関する。さらに、本発明は、位置測定装置で位置を測定する方法に関する。
【0002】
測定時点と移動物体の双方が非常に精確に確定できるように、移動物体の位置をフォトリソグラフィ・システム内の位置測定装置によって測定する必要がある。走査原理にしたがって作動するリソグラフィ・システムが、例えばウェハー・テーブルとフォトマスク・デーブルとを互いに相対的に移動させ、この場合ウェハー上のフォトマスクのパターン化すべき領域の一部だけをその都度露光する。位置決め中、及びそれに関連する位置測定中の空間誤差又は時間誤差が、既にウェハー上に存在する構造に対するパターン化すべき構造の重畳誤差を招く。
【0003】
このようなリソグラフィ・システムでは、位置測定装置の1つの位置値が、中央制御部によって所定の時間(例えば、全て 50 μs )ごとに要求される。このとき、この位置測定装置は、応答として(例えば、マスクテーブルの)移動物体の位置を位置値要求時点に出力する必要がある。今日一般に行われている送り速度は高いために(マスクテーブルに対しては約 2m/s )、この場合、位置値の時間測定中の1ナノ秒の誤差は、位置測定中の2ナノメートルの誤差を意味する。このことは、ある意味でこのような位置測定装置に対する要求に相当する。
【0004】
本発明の課題は、移動物体の位置を外部から確定された時点に測定し、その後に出力可能である位置測定装置を提供することにある。
【0005】
この課題は、請求項1の特徴を有する装置によって解決される。好適な実施形は、請求項1の従属請求項に記載の特徴から得られる。
【0006】
さらに本発明の課題は、移動物体の位置を位置要求の時点に非常に精確に測定すること、引続き任意にさらに処理することを可能にする方法を提供することにある。
【0007】
この課題は、請求項4の特徴を有する方法によって解決される。この方法の好適な詳細は、請求項4の従属請求項に記載の特徴から得られる。
【0008】
本発明の原理は、移動物体の位置を位置測定装置の内部サイクルによって提供される期間中に測定すること、制御ユニットからの位置要求(トリガー信号)の入力時に、最後の位置測定からのトリガー信号の時間間隔を測定すること、そしてトリガー信号の入力時点に対する1つの位置値を予め測定された少なくとも2つの位置値から補外することに基づく。次いで、この補外された位置値は、位置要求に対する応答として出力される。
【0009】
以下に、本発明のその他の利点及び詳細を図面に基づく好適な実施形から説明する。
【0010】
図1は、位置測定装置1を示す。この位置測定装置1の要素及びこれらの要素の機能を以下で説明する。検出ユニット2内では、アナログ信号が、使用される物理的な測定原理に応じて生成される。これらのアナログ信号は、例えば光検出器の信号でもよい。この光検出器は、インクリメンタル目盛を有する光学格子測定系の走査によって変調された光と基準パルスを受信する。上述した使用形態では高い分解能が要求されるという理由で、光学測定原理の使用が考えられるものの(したがって、干渉計の信号も、検出ユニット2内で検出され得る)、例えば磁気的な効果、誘導的な効果又は容量的な効果に基づく直線運動と回転運動の走査によるその他の測定方法も考慮の対象になる。検出ユニット2は、この説明した使用形態ではマスクテーブルの直線運動を検出する。
【0011】
検出ユニット2のアナログ信号が、A/D変換器3に入力される。このA/D変換器3は、1MHzの内部サイクル6によって設定されている 1μs 間隔の時点tごとにアナログ信号をデジタル化し、これらのデジタル値を処理ユニット4にさらに出力する。この処理ユニット4では、1つの位置値がこの処理ユニット4から算定される。この速いサイクルの位置測定は、インクリメントの計数をインクリメンタル測定系で可能にするために必要である。この処理ユニット4内では、位置測定の分解能が、補間によって向上され得ると同時に、個々のデジタル信号の例えば位相位置の校正も実施され得る。基準パルスと信号のインクリメントの計数とを評価することによって、位置が絶対測定され得る。
【0012】
次いで、こうして得られた位置値が、補外ユニット5にさらに入力される。位置測定のさらなる経過に対しては、図2を参照のこと。
【0013】
位置測定装置1が、上位に配置された制御ユニット8から位置測定用の要求 (トリガー信号9)を受取ると、 tn での内部サイクルの最後のパルスから時点 t0 に対するトリガー信号9の入力までの期間Δt が、タイマ7内で測定される。このタイマ7は、例えばタイム・トゥー・デジタル変換器(TDC)でもよい。このデジタル変換器は、内部サイクル6によってその都度0にセットされ、内部で1つの期間Δtを非常に精確に測定する。この期間Δtは、トリガー信号9の入力後にデジタル式に出力される。
【0014】
この期間Δtは、同様に補外ユニット5に入力される。そこでは、時点tnとtn−1に検出された少なくとも両位置値P1とP2に近似する関数によって、補外法が、時点 t0 の位置に対して実施される。このことは利点をもたらす:物体が静止している場合、2つの位置値による線形の補外法が、位置を平均化し、同時に雑音を低下させる。一定の速度で移動する物体に対しては、この補外法は、さらに非常に精確である。雑音低下に関する利点を獲得するためには、1本の直線を3つの支点に基づいて補外する必要がある。加速系の場合、さらに精確な補外を実現するためには、より高次の関数(例えば、多項式)を適用する必要がある。最大に発生する加速度を認識する場合、これによって発生する誤差が十分小さいままであるときは、線形の補外法に限定できる。図2中には、一方向に加速している物体の実際の位置変化P(T) が、時点 tn と tn−1 に検出された両位置値P1とP2と共に示されている。ΔPは、P1とP2を通過する1本の直線Gの線形の補外による位置算定誤差を示す。この説明した使用形態に対しては、マスクテーブルの 10gまでの加速度を考慮する必要がある。内部サイクル6が 1MHz の場合、すなわちΔt= 1 μs に対しては、最大補外誤差ΔPが 0.05nm である。
【0015】
したがって、こうして算定された位置値は、時点 t0 での移動物体の要求される位置値に対する近似値である。この位置値は、位置測定装置1から上位に配置された制御ユニットに伝達される。
【0016】
一方では平均値の生成による雑音の抑制の利点、及び他方では時点 t0 に対する位置の精確な測定を最適に利用できるようにするため、その都度の補外を柔軟に適合させることも考えられる。すなわち、移動物体がほとんど加速しない場合は、線形の補外が多数の点で実施される。その結果、雑音が大幅に抑制される。これに対して物体が急激にかつ不定に加速する場合は、誤差ΔPを小さく保持するため、より高次の補外が適用される。
【0017】
この位置測定装置のもう1つの利点は、測定結果の精度を低下させうる信号の所要時間が考慮され得る点である。すなわち、例えば光が、スケールから検出ユニット2までに所定の時間を必要とする。さらに、検出ユニット2,A/D変換器3及び処理ユニット4内の付随電子機器が、測定信号を遅延させる。これらの効果は、タイマ7内で測定された期間Δtに対するオフセットによって考慮され得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】
位置測定装置を示す。
【図2】
位置測定のタイムチャートを示す。
【符号の説明】
1 位置測定装置
2 検出ユニット
3 A/D変換器
4 処理ユニット
5 補外ユニット
6 内部サイクル
7 タイマ
8 制御ユニット
9 トリガー信号
Claims (9)
- 1つの検出ユニット(2),内部サイクル(6)によって制御される少なくとも1つのA/D変換器(3),1つの処理ユニット(4),1つの補外ユニット(5)及び内部サイクル(6)の1つのパルスと外部のトリガー信号(9)との間の期間Δtを測定するタイマ(7)を有する、移動物体の位置を測定する位置測定装置。
- 補外ユニット(5)は、予め測定された少なくとも2つの位置データ(P1,P2)と期間Δtとから1つの位置を補外することを可能にする手段を有する請求項1に記載の位置測定装置。
- 検出ユニット(2)は、光学格子系の走査ヘッドである請求項1に記載の位置測定装置。
- 以下のステップによって位置測定装置内で位置を測定する方法:
− 内部サイクル(6)の期間中にA/D変換器(3)内で検出ユニット(2)のアナログ位置データをデジタル化し、
− 処理ユニット(4)内でこれらのデジタルデータから位置データを算定し、
− タイマ(7)内で内部サイクル(6)の1つのパルスから1つの外部トリガー信号(9)の発生までの期間Δtを測定し、
− 補外ユニット(5)内でこの期間Δtと共に少なくとも2つの位置データP1,P2を処理する。 - 期間Δtは、タイマ(7)によって測定され、このタイマ(7)は、内部周期(6)によってその都度リセットされ、このタイマ(7)は、トリガー信号(9)の受信後に最後のリセット以降の期間Δtを補外ユニット(5)に対して出力する請求項4に記載の方法。
- 1つの位置値をトリガー信号(9)の入力時点に対して算定するため、補外が、補外ユニット(5)内で多項式関数を用いて実行される請求項4に記載の方法。
- 過去の時点tn,tn−1,…に対する多数の位置値P1,P2,…が、数学的に必要なものとして多項式関数を決定するために考慮され、雑音を抑制するための平均化が実現される請求項6に記載の方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の位置測定装置を有するリソグラフィ・システム。
- 請求項4〜7のいずれか1項に記載の方法にしたがって作動する位置測定装置を有するリソグラフィ・システム。
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