JP2004512549A - 直接レーザイメージング装置 - Google Patents
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Abstract
画像を媒体表面に形成する、一連の画素を高光パワー密度で直接描画するレーザイメージング装置。レーザイメージング装置はレーザ光源を含み、そこではレーザ光源は画像を媒体表面に表示するレーザビームを射出する。光学経路がレーザ光源と媒体表面との間に規定される。光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナが設けられる。光学組立品が、媒体表面にレーザビームを形成し収束するために光学経路上に設置され、スキャナと媒体表面との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含む。球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含むF−θレンズ組立品は、媒体表面における光パワー密度を増大させる。
Description
【0001】
〔技術分野〕
本発明は一般にレーザイメージング組立品、およびかかる組立品を組み込むレーザイメージング装置に関する。詳しくは、本発明は、媒体表面に高パワー密度を与える縮小光学組立品を利用し、かつx−y座標系内で走査することのために正確に制御される、小型の低入力パワー高解像度直接レーザイメージング装置に関する。
【0002】
〔発明の背景〕
レーザイメージング装置は普通、コンピュータ制御装置またはマイクロプロセッサによるスキャナ装置によって生成されるディジタル画像データから、写真画像または電子写真画像を製作するために使用される。ディジタル画像データは、走査された画像を表示する一連のディジタル画像値である。画像管理サブシステム内の画像処理エレクトロニクスが画像データ値を処理して、レーザスキャナへの入力である、一連のディジタルレーザ駆動値(すなわち露光値)を生成する。レーザスキャナは、感光性膜または電子写真ドラムの表面の潜像を露光するラスターパターンで、膜またはドラムの全体にわたって走査するために、ディジタルレーザ駆動値に反応する。これらの装置のいずれにおいても、さらなる開発が有用な画像を得るために必要である。
【0003】
光学走査組立品が、画像の均一な露光を感光性膜に与えるために使用される。光学走査組立品は、画像を膜に均一に露光するために、レーザ装置を独特の光学構造(すなわちレンズおよびミラー)と組み合わせる。かかる装置は、動いているか、または静止している感光性膜をレーザビームで走査するように、レーザビームの方向づけ、拡大のために、複雑な多面ミラーおよびレンズ構造を組み合わせる。
【0004】
1つの既知のレーザイメージング装置として多面ミラースキャナがある。多面ミラースキャナ構造は、動く感光性膜または電子写真媒体のシートに対して、連続したラスター線または走査線を繰り返して露光する多面ミラーを有する。走査線はシート全体にわたって走る。膜は、静止しているか、一定速度で動いているか、または各連続走査線毎に段階的に動いている。かかる走査装置はどちらかと言えば大きく、シートの表面全体にわたって、レーザビームを膜表面に収束し、方向づけし、そして拡大するために光学組立品を必要とする。
【0005】
例えば、既知の電子写真イメージング装置は、500マイクロジュール/cm2より小さい、非常に小さいレーザエネルギーで十分である。これは、レーザビームを拡大するために5〜30倍の倍率を有する光学組立品の使用を可能にする。ある膜または媒体表面(例えば黒亜酸化アルミニウム)は、画像を形成するために大きなレーザエネルギー(10ミリジュール/cm2より大きい)を必要とする。この大量のエネルギーを妥当な時間内に供給するために、ビームエネルギー密度として、直接画像を形成するために少なくとも50kW/cm2必要である。この大きさのパワーを有する装置において、光増幅技術が必要となる(例えば、「ダイオード励起形レーザ装置および方法」と題する米国特許第5,822,345号参照)。コンパクトなレーザスキャナ装置内で、高拡大率を有するレーザイメージング装置のために、十分なビームエネルギーを媒体表面に実現することは非常に困難である。
【0006】
マルチモードレーザダイオードは、一般に、スキャナ組立品を組み込むレーザイメージング装置に適当ではないと考えられている。マルチモードレーザダイオードは、望ましくないほどに大きなスポットサイズを生じる広い開口部すなわちエミッタを有する。かかるダイオードから射出された多重波長は回折誤差を生じることになる。
【0007】
〔発明の概要〕
本発明は、画像を媒体表面に形成する、一連の画素を高光パワーで直接描画するレーザイメージング装置を提供する。レーザイメージング装置はレーザ光源を含み、そこではレーザ光源は媒体表面を走査し画像を表示するレーザビームを射出する。光学経路がレーザ光源と媒体表面との間に規定される。光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナが設けられる。光学組立品は、レーザビームを媒体表面に形成し収束するために光学経路上に設置され、スキャナと媒体表面との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含む。球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含むF−θレンズ組立品は、媒体表面において光パワー密度を増大させる。
【0008】
別の実施形態において、本発明は、画像を媒体表面に形成する、一連の画素を高光パワーで直接描画するイメージング装置を提供する。この装置は、平行レーザ光源を含む第1メージングモジュールを含み、レーザ光源は、媒体表面を走査して画像を表示するマルチモードレーザビームを射出する。光学経路がレーザ光源と媒体表面との間に規定される。光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナが設けられ、スキャナは、走査線を媒体表面に生成するために回転軸を中心として回転するようになっている。光学組立品が、平行レーザビームを媒体表面に形成収束するために光学経路上に設置される。光学組立品は、スキャナと媒体との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含む。球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含むF−θレンズ組立品は、媒体表面におけるパワー密度を増加させる。第1機構が、レーザイメージング装置の動作時のスキャナの回転軸方向の第1方向に第1メージングモジュールを並進運動させるために設けられる。一形態において、フィーダー機構が、スキャナ組立品の回転軸にほぼ垂直な方向にスキャナ組立品と媒体表面との間で相対運動をさせるために設けられる。フィーダー機構タイミングが、スキャナおよび並進機構と連けい(すなわち同期)される。
【0009】
添付図面が本発明のさらなる理解を与えるために含まれ、そしてこの明細書に取り込まれ、その一部を構成する。図面は本発明の実施形態を示し、記述と共に本発明の原理を説明するのに役立つ。本発明の他の実施形態、および本発明の所期の利点の多くが、添付図面と関連して検討された場合に、次の詳細な説明を参照してより良く理解されたときに、容易に認識される。ここで、同じ参照数字が図全体にわたって同じ部品を示す。
【0010】
〔詳細な説明〕
好ましい実施形態の次の詳細な説明において、その説明の一部を形成する関連図面に対して参照が行われ、関連図面に、本発明が実行される具体的な実施形態として図示される。本発明の本旨を逸脱することなく、他の実施形態が利用されることがあり、かつ構造上または論理的変更が行われることがあることを理解する必要がある。従って、次の詳細な説明は限定的な意味で理解されるべきではなく、本発明の範囲は特許請求の範囲によって規定される。
【0011】
図1において、レーザイメージング装置、すなわち本発明に基づく装置が全体として符号20で示されている。レーザイメージング装置20は、画像を媒体表面22に形成する一連の画素を高光パワーで直接描画する動作の状態で示されている。レーザイメージング装置20は、画像を媒体表面22に直接露光するレーザビームを方向づけし、収束し、かつ縮小するために独特の装置を利用している。レーザイメージング装置20は、画像を形成するために媒体表面において高光パワー密度を必要とする媒体に使用することに適したコンパクトなレーザイメージング組立品を備えている。
【0012】
一例の実施形態において、レーザイメージング装置20は、平行光源24、スキャナ26、および光学組立品28を含む。レーザ光源24は、媒体表面22上を走査して画像を表示する平行レーザビーム30を射出する。光学経路32がレーザ光源24と媒体表面22との間に規定される。スキャナ26は光学経路32上に設置された鏡面34を含む。光学組立品28は、媒体表面22に平行レーザビーム30を形成し収束するために、光学経路32全体にわたって設置される。光学組立品28は、スキャナ26と媒体表面22との間に、光学経路32上に設置されたF−θレンズ組立品36を含む。この明細書で詳細に後述される一実施形態において、F−θレンズ組立品36は球面レンズおよび円環レンズを含む。F−θレンズ組立品36は、媒体表面における光パワー密度を増加させる。光学組立品28は、媒体表面22にレーザビーム30を形成し収束するために、少なくとも一方向で1以下の倍率を有する。F−θレンズ組立品は、少なくとも一方向で1未満の倍率を有する縮小レンズ組立品であることが好ましい。
【0013】
一実施形態において、レーザイメージング装置20は、より大きな印刷またはイメージング装置の一部として使用される。レーザイメージング装置20の動作時、レーザイメージング装置20は、方向矢印42によって示され、回転軸40を中心としてスキャナ26を回転させるスキャナモータ38(M1)をさらに含む。並進機構44がレーザイメージング装置20に並進運動を行わせる。並進機構44はモータ(M2として示される)を含むことがある。具体的には、レーザイメージング装置20の動作時、走査線46が媒体22を走査し、「高速走査」方向と呼ばれる。同時に、並進機構44は、レーザイメージング装置20を媒体表面22にわたって、走査線46にほぼ垂直な(そして回転軸40にほぼ平行な(すなわち沿った))方向48に、並進的に動かすように動作し、「低速走査」方向と呼ばれる。
【0014】
制御装置50が動作して、イメージング装置20に対するイメージング処理を制御する。制御装置50は、一連の論理演算を実行し、かつイメージング装置20の部品とインタフェースするのに適したマイクロプロセッサによる制御装置、または他の制御装置であることが好ましい。制御装置50は、コンピュータ制御またはマイクロプロセッサによるスキャナ装置によって生成されるディジタル画像データのような、ディジタル画像データ52をディジタルデータ源54から受信する。ディジタル画像データは、媒体表面22に直接描画される画像を表示する、一連のディジタル画像値である。制御装置50は、ディジタル画像データ52を平行光源24へ送信する。具体的には、制御装置50が動作して、平行光源24へ与えられるディジタル画像データ52を、スキャナモータ38を介したスキャナ26の回転と並進機構44を介したレーザイメージング装置20の並進運動を含む、イメージング装置20の動作とに整合させる。
【0015】
一例の実施形態において、平行光源24は、比較的低入力パワーのマルチモードレーザダイオード、マイクロレンズ、およびコリメータレンズを含む。一実施形態において、マルチモードレーザダイオードは、単一エミッタキャビティを有する半導体レーザダイオードである。マルチモードレーザダイオードは200mW〜4Wにわたるパワーを有する。一実施形態において、マルチモードレーザダイオードから射出されるレーザビーム光は、1μm×50μm〜1μm×500μmまでにわたる。従って、所望のパワー密度を媒体表面において得るために、レーザビームは光学組立品28を通して一方向(すなわち低速走査方向)で約40〜60μmに縮小される一方、レーザ光が他の方向(すなわち高速走査方向)では20μmまで拡大される。レーザビームがマルチモードレーザダイオードから放射される位置で、レーザビームは発散する。従って、マイクロレンズはマルチモードレーザダイオードの端部に設置されて、光ビームの発散特性を低下させる。1つの適当なマイクロレンズが、Blue Sky of San Jose,Californiaから入手できる。1つの適当なレーザダイオードは、SDL of San Jose,Californiaから入手できるマルチモードレーザダイオードである。
【0016】
代替として、光源24は平行光源の代わりにファイバー結合光源であることがある。例えば、レーザ光源は60〜104μmにわたるファイバー結合ダイオードを含むことができる。他の適当な光源が、本明細書を読んだ後に、当業者には明らかになるであろう。
【0017】
1つの好ましい実施形態において、スキャナ26は多面または多角形スキャナである。提示された例の実施形態において、多角形スキャナは、走査線46を形成するために、レーザビーム30を媒体表面22を横断して方向づけし、8つの鏡状の側面または切子面を有する。従って、スキャナ26の1回転で、多角形スキャナの各面から1本ずつ、8本の走査線を媒体表面22を横切って走査する。代替として、他のミラー装置を、走査線46を形成するために、レーザビーム30を媒体表面22を横断して方向づけ/再び方向を変えることに利用することがある。代替的な一実施形態においては、スキャナ26が、鏡面を完全な回転でなくて前後に動かすか、または振動させて、走査期間を短くしたガルバノメータースキャナである。ガルバノメータースキャナのタイミング動作が、「鋸歯」波形で特徴づけられ得る。鋸歯波形は、当業者にとって既知であるように、走査時により長い線形化部分、および短い帰線時間を有して、次の走査のためにミラーの急速な再配置を可能にする。別の実施形態においては、スキャナ26が調波共振スキャナである。鏡面の大きい振動が、正弦波振動をもたらす共振周波数において、またはその近くで持続される。さらに別の実施形態においては、スキャナ26がホログラフィックディスクスキャナである。他の適当な光方向変更組立品が、本明細書を読んだ後に、当業者には明らかであろう。
【0018】
F−θレンズ組立品36は動作して、レーザビーム30を媒体表面22に形成し、収束し、そして縮小する。具体的には、低速走査方向におけるレーザビーム32の縮小が、より高いエネルギーのレーザビームを媒体表面22に与える。F−θレンズ(またはフラットフィールドレンズ)組立品36は、1未満の倍率を有する縮小レンズ組立品であることが好ましい。F−θレンズ組立品36は、光学組立品28全体とともに、0.6未満の倍率を有して、50kW/cm2より大きいパワー密度を媒体表面22にもたらし、より好ましくは100〜600kW/cm2のパワー密度を媒体表面22にもたらすことがより好ましい。従って、平行レーザ光源24の入力パワーが比較的小さいが、縮小された収束ビームのパワー密度が、いくつかの媒体型による要求に応じて、媒体表面22において大きい。レーザイメージング装置20による縮小は、比較的長さの短いハイパワー密度走査線46となる。一例の実施形態において、走査線46の長さが25.4mm(1インチ)より小さい。別の例の実施形態において、走査線46の長さが12.7mm(1/2インチ)より小さい。従って、本発明によるレーザイメージング装置20は、ハイパワー密度光源を必要とする媒体で使用するのに適当である。一形態において、媒体表面22は、画像の媒体表面における直接イメージングのために比較的大きい光パワー密度を必要とする。一形態において、媒体22は、十分なパワー密度のレーザビーム露光によってイメージ形成できる、金属/酸化金属イメージ形成層(例えば黒酸化アルミニウムをベースとする媒体)を含む。適当なイメージング媒体が、Bills他による、“Process of Imaging Black Metal Thermally Imageable Transparency Elements”と題する、1998年6月16日発行の米国特許第5,766,827号、およびFitzer他による、“Method of Imaging an Article”と題する、1997年5月19日提出の米国特許出願第09/314,554号に開示され、これら両方ともMinnesota Mining and Manufacturing Company of St.Paul,MN,U.S.A.に譲渡され、参照して本明細書に織り込まれる。本発明による直接レーザイメージング装置と共に使用する他の適当な媒体が、本出願を読んだ後に、当業者には明らかであろう。
【0019】
一例の実施形態において、レーザイメージング装置20は、ラベル作成装置の一部として使用される。一形態において、ラベル作成装置は、ラベル情報を酸化金属をベースとする媒体に直接描画する。一実施形態において、ラベル作成装置は製造、包装、および発送処理の一部として使用される。
【0020】
図2は、本発明による光学組立品28を含むレーザイメージング装置20の一例の実施形態の「高速走査」を示す図であり、これは図1を参照して提示され、説明されたレーザイメージング装置20と類似であり得る。イメージング装置20は光学組立品28に加えて、スキャナ26、光方向変更機構76、および光源24などの機械的部品を含む。図3が、図2に示されるメージング装置の「低速走査」を示す図である。
【0021】
提示された一例の実施形態において、光学組立品28はF−θレンズ組立品36を含み、そしてファイバー光非球面・平面レンズまたはマイクロレンズ70、コリメータレンズ72、および円柱レンズ74をさらに含む。光方向変更機構が使用され、符号76で示される。光学経路32は平行光源24と媒体表面22との間に規定される。平行光源24はマルチモードレーザダイオード78を含む。マイクロレンズ70は、光がレーザダイオード78から放射される位置に設置される。マイクロレンズ70は、レーザビーム80がレーザダイオード78から放射される(すなわち出る)ときに、その発散を低下させるファイバー光非球面・平面レンズである。コリメータレンズ72は、レーザダイオード78とスキャナ26との間の光学経路上に設置される。コリメータレンズ72は作用して、発散レーザビーム80がコリメータレンズ72を通過するときに、それをコリメート(平行にする)して、コリメートされた(すなわち平行な)レーザビーム30を生じる。
【0022】
円柱レンズ74は、コリメータレンズ72とスキャナ26との間に設置される。1つの好ましい実施形態において、円柱レンズ74は平凸レンズである。円柱レンズ74の焦点が鏡面34上にある。円柱レンズ74は、「高速軸」方向におけるレーザビーム30の形状を変えないように方向付ける。「低速軸」方向(図3参照)において、円柱レンズ74は作用して、レーザビーム30をスキャナ26の鏡面34に収束する。従って、レーザビーム30は鏡面34において長円形状を有する。
【0023】
一形態において、円柱レンズ74の位置(例えばコリメータレンズ72に対する位置)は、光学経路上の焦点を変えるために、光学経路32上で変更することが可能である。従って、円柱レンズ74はレーザビームを媒体表面に収束するために動かすことができる。別の形態において、円柱レンズ組立品は、光学経路32上の焦点の変化を可能にする多成分装置の一部である。また、フィードバック装置が、自動焦点装置の一部として円柱レンズ74と共に使用するために設けられることもある。
【0024】
光方向変更機構76は、光学経路32上の円柱レンズ74とスキャナ26との間に設置される。光方向変更機構76は、スキャナ26の鏡面34においてレーザビーム30を(レーザビームが媒体22まで延びることのないように)方向変更して、レーザイメージング装置20をコンパクトな設計構成にすることを可能にする。1つの好ましい実施形態において、光方向変更機構76は直角プリズムである。第1面90および第2面92は反射防止膜を含み、レーザビーム30が直角プリズムを通過するときに、内部全反射を可能にする。従って、直角プリズムはビーム30を折り曲げて、ビームをスキャナ26の鏡面34の方向へ向け直す。代替として、光方向変更機構76はミラー組立品である。
【0025】
1つの好ましい実施形態において、スキャナ26は多角形スキャナである。スキャナ26が回転すると、レーザビーム30はF−θレンズ組立品36を透して走査し、走査線46を媒体表面22(位置94、96、および98に示される)に生成する。F−θレンズ36は、レーザビーム30が走査線46上の各位置(例えば位置94、96、98)において媒体表面22に対して直角(すなわち垂直)であるように、+/−7度以内のテレセントリックレンズである。
【0026】
一実施形態において、F−θレンズ組立品36は3つの個別レンズからなる。F−θレンズ組立品36は、第1球面レンズ100、第2球面レンズ102、および非球面円環レンズ104を含む。第1球面レンズ100および第2球面レンズ102は、高屈折率ガラスの球面レンズである。非球面円環レンズ104は、プラスチックまたはポリマーのレンズである。一実施形態において、第1球面レンズ100は平凸レンズであり、第2球面レンズ102は両凸面レンズである。第1球面レンズ100および第2球面レンズ102は、レーザビーム30を媒体表面22に対してほぼ垂直(すなわち直角)に向けるためにフィールド平坦化レンズとして作用する。さらに、第1球面レンズ100および第2球面レンズ102は、レーザビーム30をいくらか縮小する。非球面円環レンズ104は、レーザビーム30の縮小の大部分を行い、レーザビーム30を媒体表面22において所望の方法で収束し形成する。
【0027】
図3は、図2に示される光学組立品28の低速走査を示す図である。図3に示されるように、低速軸方向において、円柱レンズ74はスキャナ26の鏡面34に焦点を有する。従って、円柱レンズ74は、レーザビーム30を鏡面34の低速走査方向に収束するように作用する。鏡面34を出る際に、レーザビームは、それがF−θレンズ36に届くまでの間に発散する。
【0028】
図4〜図10は、レーザビーム30が光学組立品28を通過するときの、光学経路上のいくつかの表面におけるレーザビーム30の形状を示す。参照はまた図1および図2にも行われる。参照のために、高速軸はFSによって表わされ、低速軸はSSによって表わされる。
【0029】
図4において、コリメータレンズ72を出た平行レーザビーム30は、ほぼコリメートされ、すなわち平行であり、ほぼ円形状に表示される。図5において、光方向変更機構76を出たレーザビームは、ほぼ長円形である。レーザビーム30は円柱レンズ74を通過することにより、低速軸方向に鏡面34で収束される。その結果、レーザビーム30は一方向に発散して行き、高速軸方向により長く、かつ低速軸方向により短くなる。
【0030】
図6は、スキャナ26の鏡面34におけるビームの形状を示す。レーザビーム30は線状に見える。レーザビーム30を低速走査軸上に鏡面34に収束するが、その長さを高速走査軸上では維持する。
【0031】
図7〜図10は、レーザビーム30がF−θレンズ、即ち、第1球面レンズ100、第2球面レンズ102、および非球面円環レンズ104を通過するときのレーザビーム30の形状および収束を示す。図7は、第1球面レンズ100の第1面におけるレーザビームの形状を示す。鏡面34を出ると、レーザビーム30は低速走査軸方向に発散して行き、ほぼ長円形または長楕円形に見える。図8は、非球面円環レンズ104の非球面におけるレーザビームの形状を示す。再び、レーザビーム30は低速走査軸方向に発散し続けて、長円形のレーザビームを生じる。図9は、非球面円環レンズ104の円環面におけるレーザビームの形状を示す。レーザビーム30は丸みのある正方形であり、成形され、縮小され、そして収束される。図10は、円環レンズの出口におけるレーザビームの形状を示す。レーザビーム30は大体長楕円形であり、縮小され、媒体表面22に収束される。
【0032】
図11は、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を示す図である。追加のレーザパワーをレーザイメージング装置20に供給して、より大きいパワー密度およびより速い走査速度を媒体表面22において可能にすることが望ましい場合がある。すなわち、合成レーザ源が利用されることがある。提示された例の実施形態において、第1レーザ源110および第2レーザ源112が重畳され、レーザイメージング装置20に対してレーザビームパワーを供給する。第1レーザ源110および第2レーザ源112は、レーザビームを合成する前に、別々に平行である。具体的には、第1レーザ源110からのレーザビームはコリメータレンズ114を通過し、第2レーザ源112からのレーザビームはコリメータレンズ116を通過する。第1レーザ源110からのレーザビームおよび第2レーザ源112からのレーザビームは、偏光キューブプリズム118で合成される。しかしながら、第1レーザ源110からのレーザビームは偏光キューブプリズムを真っ直ぐに通過するので、偏光面は、それがキューブに入る前に、90度回転させられる必要があり、これは半波リターダ120の使用によって成就される。代替として、図12に示されるように、単一コリメータ122が、合成レーザビームを平行にするために、半波リターダ120後の光学経路上に設置されることがある。
【0033】
図13は、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を示す図である。レーザイメージング装置20Aが、光学的効率を向上させるために、2色性ミラー、および異なる波長を有する2つのレーザの使用を含む。この装置は、2色性ミラー119、第1レーザ光源110、および第2レーザ光源112を含む。2色性ミラー119は、光の1波長がミラーを通過し、光の別の波長が反射されることを可能にする。一実施形態において、異なる波長を有する2つのレーザ光源を備えるレーザ光装置の場合、2色性ミラー119は、より短い波長のレーザ光を反射する一方で、より長い波長を有するレーザ光が通過することを可能にする。一例の実施形態において、光源110は975ナノメートル光源であり、光源112は808ナノメートル光源である。作用において、808ナノメートル光源112はミラー119から光学経路に反射される。975ナノメートル光源110はミラー119を通って、また光学経路に伝送される。光源110の波長は光源112の波長に比較的近いことが好ましい。2色性ミラー119を用いる光学組立品28は、2つのレーザ光源を合成する場合に損失がより少ない。
【0034】
図14は、2次元すなわちx−y面において直接描画するために使用される、レーザイメージング装置20の一例の実施形態を示す図である。本発明によるレーザイメージング装置が20で示される。レーザイメージング装置20は、x−yプロッターまたはインクジェットプリンタに類似のプリンタまたはイメージング装置で利用され得る。提示された一例の実施形態において、イメージング装置100は第1制御カートリッジ102および第2制御カートリッジ104を含む。イメージング材料または媒体が符号22に配置される。イメージング装置100はプログラムされて、レーザイメージング領域106内で描画することができる。一実施形態において、制御カートリッジ102は、レーザイメージング装置20の第1方向108への並進運動を起こす。第1方向108はx軸方向として表示されている。制御カートリッジ104は、レーザイメージング装置20の第2方向110への運動を起こす。第2方向110は、y軸方向として表示されている。従って、レーザイメージング装置20は、レーザイメージング領域106内の所望領域112を正確に描画するために、制御装置50を介して正確に制御される。
【0035】
図15において、3次元または第3方向に描画するために、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を図示する図が示されている。提示されているように、レーザイメージング装置20は、描画中に第3方向または「z」方向にさらに動かされることもある。即ち、レーザイメージング装置20は、媒体を3次元面で描画するために利用され得る。動作において、3次元面22aが制御装置50内に格納された走査座標により最初に走査される。これに応答して、媒体表面22aの3次元構造を補うように制御装置50は、第1のx方向、第2のy方向、および第3のz方向に動かすために、イメージング装置20を動作する。
【0036】
図16において、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を図示する図が示されている。レーザイメージング装置120が、レーザイメージング装置20a、20b、20c、20dとして示される、レーザイメージング装置20のグループまたはアレイを含む。レーザイメージング装置アレイ122が、部分的または全媒体イメージング領域を同時に直接描画するために、2つ以上のレーザイメージング装置が一斉に利用されることを可能にする。提示された例の実施形態において、各イメージング装置20a、20b、20c、20dは、124a、124b、124c、124dに表示されている、12.7mm(1/2インチ)走査線を描画する。従って、イメージング装置120の動作が、方向矢印126によって示される、イメージング材料を幅50.8mm(2インチ)の欄の同時走査を可能にする。図17に示されるように、第1アレイ120aおよび第2アレイ120bによって示される、2つのレーザイメージングアレイが合成されて、レーザイメージング装置またはモジュールの2×4アレイを形成することがある。レーザイメージングモジュールの2×4アレイの使用が、媒体を直接描画する速度を増大(すなわち倍増)する。
【0037】
本発明の多数の特徴および利点が前の説明で述べられた。勿論、この開示は多くの点で例示に過ぎないことが理解されるだろう。変更が細部で、特に本発明の範囲を超えずに部品の形状、大きさ、および配置の点で行われ得る。本発明の範囲は、特許請求の範囲に表現した言葉で規定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明による光学組立品を含むレーザイメージング装置の一例の実施形態略図である。
【図2】
本発明によるレーザイメージング装置で使用される光学組立品の一例の実施形態を示す「高速走査」の図である。
【図3】
図2の光学組立品の「低速走査」の図である。
【図4】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図5】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図6】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図7】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図8】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図9】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図10】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図11】
本発明によるレーザイメージング装置の光学組立品の別の例の実施形態を示す図である。
【図12】
本発明によるレーザイメージング装置の光学組立品の別の例の実施形態を示す図である。
【図13】
本発明によるレーザイメージング装置の光学組立品の別の例の実施形態を示す図である。
【図14】
2次元(x−y)座標系で使用された、本発明によるレーザイメージング装置の一例の実施形態を示す図である。
【図15】
2次元(x、y、およびz)座標系で使用された、本発明によるレーザイメージング装置の一例の実施形態を示す図である。
【図16】
本発明によるマルチモジュール・レーザイメージング装置の一例の実施形態を示す図である。
【図17】
本発明によるマルチモジュール・レーザイメージング装置の別の例の実施形態を示す図である。
〔技術分野〕
本発明は一般にレーザイメージング組立品、およびかかる組立品を組み込むレーザイメージング装置に関する。詳しくは、本発明は、媒体表面に高パワー密度を与える縮小光学組立品を利用し、かつx−y座標系内で走査することのために正確に制御される、小型の低入力パワー高解像度直接レーザイメージング装置に関する。
【0002】
〔発明の背景〕
レーザイメージング装置は普通、コンピュータ制御装置またはマイクロプロセッサによるスキャナ装置によって生成されるディジタル画像データから、写真画像または電子写真画像を製作するために使用される。ディジタル画像データは、走査された画像を表示する一連のディジタル画像値である。画像管理サブシステム内の画像処理エレクトロニクスが画像データ値を処理して、レーザスキャナへの入力である、一連のディジタルレーザ駆動値(すなわち露光値)を生成する。レーザスキャナは、感光性膜または電子写真ドラムの表面の潜像を露光するラスターパターンで、膜またはドラムの全体にわたって走査するために、ディジタルレーザ駆動値に反応する。これらの装置のいずれにおいても、さらなる開発が有用な画像を得るために必要である。
【0003】
光学走査組立品が、画像の均一な露光を感光性膜に与えるために使用される。光学走査組立品は、画像を膜に均一に露光するために、レーザ装置を独特の光学構造(すなわちレンズおよびミラー)と組み合わせる。かかる装置は、動いているか、または静止している感光性膜をレーザビームで走査するように、レーザビームの方向づけ、拡大のために、複雑な多面ミラーおよびレンズ構造を組み合わせる。
【0004】
1つの既知のレーザイメージング装置として多面ミラースキャナがある。多面ミラースキャナ構造は、動く感光性膜または電子写真媒体のシートに対して、連続したラスター線または走査線を繰り返して露光する多面ミラーを有する。走査線はシート全体にわたって走る。膜は、静止しているか、一定速度で動いているか、または各連続走査線毎に段階的に動いている。かかる走査装置はどちらかと言えば大きく、シートの表面全体にわたって、レーザビームを膜表面に収束し、方向づけし、そして拡大するために光学組立品を必要とする。
【0005】
例えば、既知の電子写真イメージング装置は、500マイクロジュール/cm2より小さい、非常に小さいレーザエネルギーで十分である。これは、レーザビームを拡大するために5〜30倍の倍率を有する光学組立品の使用を可能にする。ある膜または媒体表面(例えば黒亜酸化アルミニウム)は、画像を形成するために大きなレーザエネルギー(10ミリジュール/cm2より大きい)を必要とする。この大量のエネルギーを妥当な時間内に供給するために、ビームエネルギー密度として、直接画像を形成するために少なくとも50kW/cm2必要である。この大きさのパワーを有する装置において、光増幅技術が必要となる(例えば、「ダイオード励起形レーザ装置および方法」と題する米国特許第5,822,345号参照)。コンパクトなレーザスキャナ装置内で、高拡大率を有するレーザイメージング装置のために、十分なビームエネルギーを媒体表面に実現することは非常に困難である。
【0006】
マルチモードレーザダイオードは、一般に、スキャナ組立品を組み込むレーザイメージング装置に適当ではないと考えられている。マルチモードレーザダイオードは、望ましくないほどに大きなスポットサイズを生じる広い開口部すなわちエミッタを有する。かかるダイオードから射出された多重波長は回折誤差を生じることになる。
【0007】
〔発明の概要〕
本発明は、画像を媒体表面に形成する、一連の画素を高光パワーで直接描画するレーザイメージング装置を提供する。レーザイメージング装置はレーザ光源を含み、そこではレーザ光源は媒体表面を走査し画像を表示するレーザビームを射出する。光学経路がレーザ光源と媒体表面との間に規定される。光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナが設けられる。光学組立品は、レーザビームを媒体表面に形成し収束するために光学経路上に設置され、スキャナと媒体表面との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含む。球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含むF−θレンズ組立品は、媒体表面において光パワー密度を増大させる。
【0008】
別の実施形態において、本発明は、画像を媒体表面に形成する、一連の画素を高光パワーで直接描画するイメージング装置を提供する。この装置は、平行レーザ光源を含む第1メージングモジュールを含み、レーザ光源は、媒体表面を走査して画像を表示するマルチモードレーザビームを射出する。光学経路がレーザ光源と媒体表面との間に規定される。光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナが設けられ、スキャナは、走査線を媒体表面に生成するために回転軸を中心として回転するようになっている。光学組立品が、平行レーザビームを媒体表面に形成収束するために光学経路上に設置される。光学組立品は、スキャナと媒体との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含む。球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含むF−θレンズ組立品は、媒体表面におけるパワー密度を増加させる。第1機構が、レーザイメージング装置の動作時のスキャナの回転軸方向の第1方向に第1メージングモジュールを並進運動させるために設けられる。一形態において、フィーダー機構が、スキャナ組立品の回転軸にほぼ垂直な方向にスキャナ組立品と媒体表面との間で相対運動をさせるために設けられる。フィーダー機構タイミングが、スキャナおよび並進機構と連けい(すなわち同期)される。
【0009】
添付図面が本発明のさらなる理解を与えるために含まれ、そしてこの明細書に取り込まれ、その一部を構成する。図面は本発明の実施形態を示し、記述と共に本発明の原理を説明するのに役立つ。本発明の他の実施形態、および本発明の所期の利点の多くが、添付図面と関連して検討された場合に、次の詳細な説明を参照してより良く理解されたときに、容易に認識される。ここで、同じ参照数字が図全体にわたって同じ部品を示す。
【0010】
〔詳細な説明〕
好ましい実施形態の次の詳細な説明において、その説明の一部を形成する関連図面に対して参照が行われ、関連図面に、本発明が実行される具体的な実施形態として図示される。本発明の本旨を逸脱することなく、他の実施形態が利用されることがあり、かつ構造上または論理的変更が行われることがあることを理解する必要がある。従って、次の詳細な説明は限定的な意味で理解されるべきではなく、本発明の範囲は特許請求の範囲によって規定される。
【0011】
図1において、レーザイメージング装置、すなわち本発明に基づく装置が全体として符号20で示されている。レーザイメージング装置20は、画像を媒体表面22に形成する一連の画素を高光パワーで直接描画する動作の状態で示されている。レーザイメージング装置20は、画像を媒体表面22に直接露光するレーザビームを方向づけし、収束し、かつ縮小するために独特の装置を利用している。レーザイメージング装置20は、画像を形成するために媒体表面において高光パワー密度を必要とする媒体に使用することに適したコンパクトなレーザイメージング組立品を備えている。
【0012】
一例の実施形態において、レーザイメージング装置20は、平行光源24、スキャナ26、および光学組立品28を含む。レーザ光源24は、媒体表面22上を走査して画像を表示する平行レーザビーム30を射出する。光学経路32がレーザ光源24と媒体表面22との間に規定される。スキャナ26は光学経路32上に設置された鏡面34を含む。光学組立品28は、媒体表面22に平行レーザビーム30を形成し収束するために、光学経路32全体にわたって設置される。光学組立品28は、スキャナ26と媒体表面22との間に、光学経路32上に設置されたF−θレンズ組立品36を含む。この明細書で詳細に後述される一実施形態において、F−θレンズ組立品36は球面レンズおよび円環レンズを含む。F−θレンズ組立品36は、媒体表面における光パワー密度を増加させる。光学組立品28は、媒体表面22にレーザビーム30を形成し収束するために、少なくとも一方向で1以下の倍率を有する。F−θレンズ組立品は、少なくとも一方向で1未満の倍率を有する縮小レンズ組立品であることが好ましい。
【0013】
一実施形態において、レーザイメージング装置20は、より大きな印刷またはイメージング装置の一部として使用される。レーザイメージング装置20の動作時、レーザイメージング装置20は、方向矢印42によって示され、回転軸40を中心としてスキャナ26を回転させるスキャナモータ38(M1)をさらに含む。並進機構44がレーザイメージング装置20に並進運動を行わせる。並進機構44はモータ(M2として示される)を含むことがある。具体的には、レーザイメージング装置20の動作時、走査線46が媒体22を走査し、「高速走査」方向と呼ばれる。同時に、並進機構44は、レーザイメージング装置20を媒体表面22にわたって、走査線46にほぼ垂直な(そして回転軸40にほぼ平行な(すなわち沿った))方向48に、並進的に動かすように動作し、「低速走査」方向と呼ばれる。
【0014】
制御装置50が動作して、イメージング装置20に対するイメージング処理を制御する。制御装置50は、一連の論理演算を実行し、かつイメージング装置20の部品とインタフェースするのに適したマイクロプロセッサによる制御装置、または他の制御装置であることが好ましい。制御装置50は、コンピュータ制御またはマイクロプロセッサによるスキャナ装置によって生成されるディジタル画像データのような、ディジタル画像データ52をディジタルデータ源54から受信する。ディジタル画像データは、媒体表面22に直接描画される画像を表示する、一連のディジタル画像値である。制御装置50は、ディジタル画像データ52を平行光源24へ送信する。具体的には、制御装置50が動作して、平行光源24へ与えられるディジタル画像データ52を、スキャナモータ38を介したスキャナ26の回転と並進機構44を介したレーザイメージング装置20の並進運動を含む、イメージング装置20の動作とに整合させる。
【0015】
一例の実施形態において、平行光源24は、比較的低入力パワーのマルチモードレーザダイオード、マイクロレンズ、およびコリメータレンズを含む。一実施形態において、マルチモードレーザダイオードは、単一エミッタキャビティを有する半導体レーザダイオードである。マルチモードレーザダイオードは200mW〜4Wにわたるパワーを有する。一実施形態において、マルチモードレーザダイオードから射出されるレーザビーム光は、1μm×50μm〜1μm×500μmまでにわたる。従って、所望のパワー密度を媒体表面において得るために、レーザビームは光学組立品28を通して一方向(すなわち低速走査方向)で約40〜60μmに縮小される一方、レーザ光が他の方向(すなわち高速走査方向)では20μmまで拡大される。レーザビームがマルチモードレーザダイオードから放射される位置で、レーザビームは発散する。従って、マイクロレンズはマルチモードレーザダイオードの端部に設置されて、光ビームの発散特性を低下させる。1つの適当なマイクロレンズが、Blue Sky of San Jose,Californiaから入手できる。1つの適当なレーザダイオードは、SDL of San Jose,Californiaから入手できるマルチモードレーザダイオードである。
【0016】
代替として、光源24は平行光源の代わりにファイバー結合光源であることがある。例えば、レーザ光源は60〜104μmにわたるファイバー結合ダイオードを含むことができる。他の適当な光源が、本明細書を読んだ後に、当業者には明らかになるであろう。
【0017】
1つの好ましい実施形態において、スキャナ26は多面または多角形スキャナである。提示された例の実施形態において、多角形スキャナは、走査線46を形成するために、レーザビーム30を媒体表面22を横断して方向づけし、8つの鏡状の側面または切子面を有する。従って、スキャナ26の1回転で、多角形スキャナの各面から1本ずつ、8本の走査線を媒体表面22を横切って走査する。代替として、他のミラー装置を、走査線46を形成するために、レーザビーム30を媒体表面22を横断して方向づけ/再び方向を変えることに利用することがある。代替的な一実施形態においては、スキャナ26が、鏡面を完全な回転でなくて前後に動かすか、または振動させて、走査期間を短くしたガルバノメータースキャナである。ガルバノメータースキャナのタイミング動作が、「鋸歯」波形で特徴づけられ得る。鋸歯波形は、当業者にとって既知であるように、走査時により長い線形化部分、および短い帰線時間を有して、次の走査のためにミラーの急速な再配置を可能にする。別の実施形態においては、スキャナ26が調波共振スキャナである。鏡面の大きい振動が、正弦波振動をもたらす共振周波数において、またはその近くで持続される。さらに別の実施形態においては、スキャナ26がホログラフィックディスクスキャナである。他の適当な光方向変更組立品が、本明細書を読んだ後に、当業者には明らかであろう。
【0018】
F−θレンズ組立品36は動作して、レーザビーム30を媒体表面22に形成し、収束し、そして縮小する。具体的には、低速走査方向におけるレーザビーム32の縮小が、より高いエネルギーのレーザビームを媒体表面22に与える。F−θレンズ(またはフラットフィールドレンズ)組立品36は、1未満の倍率を有する縮小レンズ組立品であることが好ましい。F−θレンズ組立品36は、光学組立品28全体とともに、0.6未満の倍率を有して、50kW/cm2より大きいパワー密度を媒体表面22にもたらし、より好ましくは100〜600kW/cm2のパワー密度を媒体表面22にもたらすことがより好ましい。従って、平行レーザ光源24の入力パワーが比較的小さいが、縮小された収束ビームのパワー密度が、いくつかの媒体型による要求に応じて、媒体表面22において大きい。レーザイメージング装置20による縮小は、比較的長さの短いハイパワー密度走査線46となる。一例の実施形態において、走査線46の長さが25.4mm(1インチ)より小さい。別の例の実施形態において、走査線46の長さが12.7mm(1/2インチ)より小さい。従って、本発明によるレーザイメージング装置20は、ハイパワー密度光源を必要とする媒体で使用するのに適当である。一形態において、媒体表面22は、画像の媒体表面における直接イメージングのために比較的大きい光パワー密度を必要とする。一形態において、媒体22は、十分なパワー密度のレーザビーム露光によってイメージ形成できる、金属/酸化金属イメージ形成層(例えば黒酸化アルミニウムをベースとする媒体)を含む。適当なイメージング媒体が、Bills他による、“Process of Imaging Black Metal Thermally Imageable Transparency Elements”と題する、1998年6月16日発行の米国特許第5,766,827号、およびFitzer他による、“Method of Imaging an Article”と題する、1997年5月19日提出の米国特許出願第09/314,554号に開示され、これら両方ともMinnesota Mining and Manufacturing Company of St.Paul,MN,U.S.A.に譲渡され、参照して本明細書に織り込まれる。本発明による直接レーザイメージング装置と共に使用する他の適当な媒体が、本出願を読んだ後に、当業者には明らかであろう。
【0019】
一例の実施形態において、レーザイメージング装置20は、ラベル作成装置の一部として使用される。一形態において、ラベル作成装置は、ラベル情報を酸化金属をベースとする媒体に直接描画する。一実施形態において、ラベル作成装置は製造、包装、および発送処理の一部として使用される。
【0020】
図2は、本発明による光学組立品28を含むレーザイメージング装置20の一例の実施形態の「高速走査」を示す図であり、これは図1を参照して提示され、説明されたレーザイメージング装置20と類似であり得る。イメージング装置20は光学組立品28に加えて、スキャナ26、光方向変更機構76、および光源24などの機械的部品を含む。図3が、図2に示されるメージング装置の「低速走査」を示す図である。
【0021】
提示された一例の実施形態において、光学組立品28はF−θレンズ組立品36を含み、そしてファイバー光非球面・平面レンズまたはマイクロレンズ70、コリメータレンズ72、および円柱レンズ74をさらに含む。光方向変更機構が使用され、符号76で示される。光学経路32は平行光源24と媒体表面22との間に規定される。平行光源24はマルチモードレーザダイオード78を含む。マイクロレンズ70は、光がレーザダイオード78から放射される位置に設置される。マイクロレンズ70は、レーザビーム80がレーザダイオード78から放射される(すなわち出る)ときに、その発散を低下させるファイバー光非球面・平面レンズである。コリメータレンズ72は、レーザダイオード78とスキャナ26との間の光学経路上に設置される。コリメータレンズ72は作用して、発散レーザビーム80がコリメータレンズ72を通過するときに、それをコリメート(平行にする)して、コリメートされた(すなわち平行な)レーザビーム30を生じる。
【0022】
円柱レンズ74は、コリメータレンズ72とスキャナ26との間に設置される。1つの好ましい実施形態において、円柱レンズ74は平凸レンズである。円柱レンズ74の焦点が鏡面34上にある。円柱レンズ74は、「高速軸」方向におけるレーザビーム30の形状を変えないように方向付ける。「低速軸」方向(図3参照)において、円柱レンズ74は作用して、レーザビーム30をスキャナ26の鏡面34に収束する。従って、レーザビーム30は鏡面34において長円形状を有する。
【0023】
一形態において、円柱レンズ74の位置(例えばコリメータレンズ72に対する位置)は、光学経路上の焦点を変えるために、光学経路32上で変更することが可能である。従って、円柱レンズ74はレーザビームを媒体表面に収束するために動かすことができる。別の形態において、円柱レンズ組立品は、光学経路32上の焦点の変化を可能にする多成分装置の一部である。また、フィードバック装置が、自動焦点装置の一部として円柱レンズ74と共に使用するために設けられることもある。
【0024】
光方向変更機構76は、光学経路32上の円柱レンズ74とスキャナ26との間に設置される。光方向変更機構76は、スキャナ26の鏡面34においてレーザビーム30を(レーザビームが媒体22まで延びることのないように)方向変更して、レーザイメージング装置20をコンパクトな設計構成にすることを可能にする。1つの好ましい実施形態において、光方向変更機構76は直角プリズムである。第1面90および第2面92は反射防止膜を含み、レーザビーム30が直角プリズムを通過するときに、内部全反射を可能にする。従って、直角プリズムはビーム30を折り曲げて、ビームをスキャナ26の鏡面34の方向へ向け直す。代替として、光方向変更機構76はミラー組立品である。
【0025】
1つの好ましい実施形態において、スキャナ26は多角形スキャナである。スキャナ26が回転すると、レーザビーム30はF−θレンズ組立品36を透して走査し、走査線46を媒体表面22(位置94、96、および98に示される)に生成する。F−θレンズ36は、レーザビーム30が走査線46上の各位置(例えば位置94、96、98)において媒体表面22に対して直角(すなわち垂直)であるように、+/−7度以内のテレセントリックレンズである。
【0026】
一実施形態において、F−θレンズ組立品36は3つの個別レンズからなる。F−θレンズ組立品36は、第1球面レンズ100、第2球面レンズ102、および非球面円環レンズ104を含む。第1球面レンズ100および第2球面レンズ102は、高屈折率ガラスの球面レンズである。非球面円環レンズ104は、プラスチックまたはポリマーのレンズである。一実施形態において、第1球面レンズ100は平凸レンズであり、第2球面レンズ102は両凸面レンズである。第1球面レンズ100および第2球面レンズ102は、レーザビーム30を媒体表面22に対してほぼ垂直(すなわち直角)に向けるためにフィールド平坦化レンズとして作用する。さらに、第1球面レンズ100および第2球面レンズ102は、レーザビーム30をいくらか縮小する。非球面円環レンズ104は、レーザビーム30の縮小の大部分を行い、レーザビーム30を媒体表面22において所望の方法で収束し形成する。
【0027】
図3は、図2に示される光学組立品28の低速走査を示す図である。図3に示されるように、低速軸方向において、円柱レンズ74はスキャナ26の鏡面34に焦点を有する。従って、円柱レンズ74は、レーザビーム30を鏡面34の低速走査方向に収束するように作用する。鏡面34を出る際に、レーザビームは、それがF−θレンズ36に届くまでの間に発散する。
【0028】
図4〜図10は、レーザビーム30が光学組立品28を通過するときの、光学経路上のいくつかの表面におけるレーザビーム30の形状を示す。参照はまた図1および図2にも行われる。参照のために、高速軸はFSによって表わされ、低速軸はSSによって表わされる。
【0029】
図4において、コリメータレンズ72を出た平行レーザビーム30は、ほぼコリメートされ、すなわち平行であり、ほぼ円形状に表示される。図5において、光方向変更機構76を出たレーザビームは、ほぼ長円形である。レーザビーム30は円柱レンズ74を通過することにより、低速軸方向に鏡面34で収束される。その結果、レーザビーム30は一方向に発散して行き、高速軸方向により長く、かつ低速軸方向により短くなる。
【0030】
図6は、スキャナ26の鏡面34におけるビームの形状を示す。レーザビーム30は線状に見える。レーザビーム30を低速走査軸上に鏡面34に収束するが、その長さを高速走査軸上では維持する。
【0031】
図7〜図10は、レーザビーム30がF−θレンズ、即ち、第1球面レンズ100、第2球面レンズ102、および非球面円環レンズ104を通過するときのレーザビーム30の形状および収束を示す。図7は、第1球面レンズ100の第1面におけるレーザビームの形状を示す。鏡面34を出ると、レーザビーム30は低速走査軸方向に発散して行き、ほぼ長円形または長楕円形に見える。図8は、非球面円環レンズ104の非球面におけるレーザビームの形状を示す。再び、レーザビーム30は低速走査軸方向に発散し続けて、長円形のレーザビームを生じる。図9は、非球面円環レンズ104の円環面におけるレーザビームの形状を示す。レーザビーム30は丸みのある正方形であり、成形され、縮小され、そして収束される。図10は、円環レンズの出口におけるレーザビームの形状を示す。レーザビーム30は大体長楕円形であり、縮小され、媒体表面22に収束される。
【0032】
図11は、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を示す図である。追加のレーザパワーをレーザイメージング装置20に供給して、より大きいパワー密度およびより速い走査速度を媒体表面22において可能にすることが望ましい場合がある。すなわち、合成レーザ源が利用されることがある。提示された例の実施形態において、第1レーザ源110および第2レーザ源112が重畳され、レーザイメージング装置20に対してレーザビームパワーを供給する。第1レーザ源110および第2レーザ源112は、レーザビームを合成する前に、別々に平行である。具体的には、第1レーザ源110からのレーザビームはコリメータレンズ114を通過し、第2レーザ源112からのレーザビームはコリメータレンズ116を通過する。第1レーザ源110からのレーザビームおよび第2レーザ源112からのレーザビームは、偏光キューブプリズム118で合成される。しかしながら、第1レーザ源110からのレーザビームは偏光キューブプリズムを真っ直ぐに通過するので、偏光面は、それがキューブに入る前に、90度回転させられる必要があり、これは半波リターダ120の使用によって成就される。代替として、図12に示されるように、単一コリメータ122が、合成レーザビームを平行にするために、半波リターダ120後の光学経路上に設置されることがある。
【0033】
図13は、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を示す図である。レーザイメージング装置20Aが、光学的効率を向上させるために、2色性ミラー、および異なる波長を有する2つのレーザの使用を含む。この装置は、2色性ミラー119、第1レーザ光源110、および第2レーザ光源112を含む。2色性ミラー119は、光の1波長がミラーを通過し、光の別の波長が反射されることを可能にする。一実施形態において、異なる波長を有する2つのレーザ光源を備えるレーザ光装置の場合、2色性ミラー119は、より短い波長のレーザ光を反射する一方で、より長い波長を有するレーザ光が通過することを可能にする。一例の実施形態において、光源110は975ナノメートル光源であり、光源112は808ナノメートル光源である。作用において、808ナノメートル光源112はミラー119から光学経路に反射される。975ナノメートル光源110はミラー119を通って、また光学経路に伝送される。光源110の波長は光源112の波長に比較的近いことが好ましい。2色性ミラー119を用いる光学組立品28は、2つのレーザ光源を合成する場合に損失がより少ない。
【0034】
図14は、2次元すなわちx−y面において直接描画するために使用される、レーザイメージング装置20の一例の実施形態を示す図である。本発明によるレーザイメージング装置が20で示される。レーザイメージング装置20は、x−yプロッターまたはインクジェットプリンタに類似のプリンタまたはイメージング装置で利用され得る。提示された一例の実施形態において、イメージング装置100は第1制御カートリッジ102および第2制御カートリッジ104を含む。イメージング材料または媒体が符号22に配置される。イメージング装置100はプログラムされて、レーザイメージング領域106内で描画することができる。一実施形態において、制御カートリッジ102は、レーザイメージング装置20の第1方向108への並進運動を起こす。第1方向108はx軸方向として表示されている。制御カートリッジ104は、レーザイメージング装置20の第2方向110への運動を起こす。第2方向110は、y軸方向として表示されている。従って、レーザイメージング装置20は、レーザイメージング領域106内の所望領域112を正確に描画するために、制御装置50を介して正確に制御される。
【0035】
図15において、3次元または第3方向に描画するために、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を図示する図が示されている。提示されているように、レーザイメージング装置20は、描画中に第3方向または「z」方向にさらに動かされることもある。即ち、レーザイメージング装置20は、媒体を3次元面で描画するために利用され得る。動作において、3次元面22aが制御装置50内に格納された走査座標により最初に走査される。これに応答して、媒体表面22aの3次元構造を補うように制御装置50は、第1のx方向、第2のy方向、および第3のz方向に動かすために、イメージング装置20を動作する。
【0036】
図16において、本発明によるレーザイメージング装置の別の例の実施形態を図示する図が示されている。レーザイメージング装置120が、レーザイメージング装置20a、20b、20c、20dとして示される、レーザイメージング装置20のグループまたはアレイを含む。レーザイメージング装置アレイ122が、部分的または全媒体イメージング領域を同時に直接描画するために、2つ以上のレーザイメージング装置が一斉に利用されることを可能にする。提示された例の実施形態において、各イメージング装置20a、20b、20c、20dは、124a、124b、124c、124dに表示されている、12.7mm(1/2インチ)走査線を描画する。従って、イメージング装置120の動作が、方向矢印126によって示される、イメージング材料を幅50.8mm(2インチ)の欄の同時走査を可能にする。図17に示されるように、第1アレイ120aおよび第2アレイ120bによって示される、2つのレーザイメージングアレイが合成されて、レーザイメージング装置またはモジュールの2×4アレイを形成することがある。レーザイメージングモジュールの2×4アレイの使用が、媒体を直接描画する速度を増大(すなわち倍増)する。
【0037】
本発明の多数の特徴および利点が前の説明で述べられた。勿論、この開示は多くの点で例示に過ぎないことが理解されるだろう。変更が細部で、特に本発明の範囲を超えずに部品の形状、大きさ、および配置の点で行われ得る。本発明の範囲は、特許請求の範囲に表現した言葉で規定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明による光学組立品を含むレーザイメージング装置の一例の実施形態略図である。
【図2】
本発明によるレーザイメージング装置で使用される光学組立品の一例の実施形態を示す「高速走査」の図である。
【図3】
図2の光学組立品の「低速走査」の図である。
【図4】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図5】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図6】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図7】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図8】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図9】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図10】
本発明によるレーザイメージング装置の光学経路上におけるレーザビームの形状の一例の実施形態を示す図である。
【図11】
本発明によるレーザイメージング装置の光学組立品の別の例の実施形態を示す図である。
【図12】
本発明によるレーザイメージング装置の光学組立品の別の例の実施形態を示す図である。
【図13】
本発明によるレーザイメージング装置の光学組立品の別の例の実施形態を示す図である。
【図14】
2次元(x−y)座標系で使用された、本発明によるレーザイメージング装置の一例の実施形態を示す図である。
【図15】
2次元(x、y、およびz)座標系で使用された、本発明によるレーザイメージング装置の一例の実施形態を示す図である。
【図16】
本発明によるマルチモジュール・レーザイメージング装置の一例の実施形態を示す図である。
【図17】
本発明によるマルチモジュール・レーザイメージング装置の別の例の実施形態を示す図である。
Claims (26)
- 高光パワー密度で画像を媒体表面に直接描画するレーザイメージング装置であって、
前記画像を前記媒体表面に表示するレーザビームを放射するレーザ光源と、
前記レーザ光源と前記媒体表面との間に規定される光学経路と、
前記光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナと、
前記レーザビームを前記媒体表面に形成し収束するために、前記光学経路上に設置され、前記スキャナと前記媒体表面との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含み、前記F−θレンズ組立品は、球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含み、前記媒体表面において光パワー密度を増大させている光学組立品と、を備えるレーザイメージング装置。 - 前記光学組立品が、1未満の倍率を少なくとも一方向に有する、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記F−θレンズ組立品が縮小レンズ組立品である、請求項2に記載のレーザイメージング装置。
- 前記円環レンズが前記球面レンズの表面に設置される、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記スキャナが多角形スキャナである、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記スキャナがガルバノメータースキャナである、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記レーザ光源がマルチモードレーザ光源である、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記レーザ光源が、単一エミッタキャビティを有するマルチモード半導体レーザダイオードを含む平行レーザ光源である、請求項7に記載のレーザイメージング装置。
- 前記レーザ光源を出る前記レーザビームが、1μm×50μm〜1μm×300μmに及ぶ、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記レーザ光源が、60〜104μmに及ぶファイバー結合ダイオードを含む、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記光学組立品が、前記平行レーザ光源と前記スキャナとの間の光学経路上に設置され、かつ前記鏡面において一方向に焦点を有する平凸レンズをさらに含む、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 前記平凸レンズは、前記焦点を変更するために前記光学経路上を動かすことのできる、請求項11に記載のレーザイメージング装置。
- 前記平凸レンズとスキャナとの間の光学経路上に設置された光方向変更機構をさらに備える、請求項11に記載のレーザイメージング装置。
- 前記スキャナが動作して、前記レーザビームを前記媒体表面上で25.4mm(1インチ)以下の走査線に沿って走査する、請求項1に記載のレーザイメージング装置。
- 画像を媒体表面に形成する、一連の画素を高光パワー密度で直接描画するイメージング装置であって、
前記画像を前記媒体表面に表示するマルチモードレーザビームを射出する平行レーザ光源、
前記レーザ光源と前記媒体表面との間に規定される光学経路、
前記光学経路上に設置された鏡面を有し、走査線を前記媒体表面に生成するために回転軸を中心に回転可能であるスキャナ、および
前記平行レーザビームを前記媒体表面に形成し収束するために、前記光学経路上に設置され、前記スキャナと前記媒体表面との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含み、前記F−θレンズ組立品は、球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含み、前記媒体表面において光パワー密度を増大させている光学組立品
を備える第1イメージングモジュールと、
レーザイメージング装置の動作時、前記第1イメージングモジュールを第1方向に前記スキャナの回転軸に沿って並進運動させる第1機構と、を備える装置。 - 前記第1イメージングモジュールを前記第1方向と異なる第2方向に動かす第2機構をさらに備える、請求項15に記載の装置。
- 前記第1イメージングモジュールを前記第1方向および前記第2方向と異なる第3方向に動かして、多次元面の直接描画を可能にする第3機構をさらに備える、請求項16に記載の装置。
- 前記第1イメージングモジュールに類似の第2イメージングモジュールをさらに備える、請求項15に記載の装置。
- 前記第1イメージングモジュールを前記第2イメージングモジュールに直接結びつける、請求項18に記載の装置。
- 前記スキャナ組立品の回転軸にほぼ垂直な方向に、前記スキャナ組立品と前記媒体表面との間で相対運動をさせるフィーダー機構をさらに備える、請求項15に記載の装置。
- 前記フィーダー機構が、前記スキャナ組立品に関係する前記媒体を動かすように前記媒体を携わらせる、請求項15に記載の装置。
- 前記F−θレンズ組立品が1未満の倍率を有する、請求項15に記載の装置。
- 前記スキャナが動作して、前記レーザビームを前記媒体表面で25.4mm(1インチ)以下の走査線に沿って走査する、請求項15に記載の装置。
- 画像を媒体表面に高光パワーで直接描画するレーザイメージング装置であって、
第1波長を有し、かつ前記画像を前記媒体表面に表示する第1マルチモードレーザビームを射出する第1平行レーザ光源と、
第2波長を有し、かつ前記画像を前記媒体表面に表わす第2マルチモードレーザビームを射出する第2平行レーザ光源と、
前記第1レーザ光源、前記第2レーザ光源および前記媒体表面の間に規定された光学経路と、
平行レーザビームを規定する前記第1レーザビームを前記第2レーザビームに合成するために、前記光学経路上に設置された合成機構と、
前記光学経路上に設置された鏡面を有するスキャナと、
前記平行レーザビームを前記媒体表面に形成し収束するために、前記光学経路上に設置され、前記スキャナと前記媒体表面との間の光学経路上に設置されたF−θレンズ組立品を含み、前記F−θレンズ組立品は、球面レンズ、非球面レンズ、および円環レンズを含み前記媒体表面において光パワー密度を増大させている光学組立品と、を備える装置。 - 前記第1波長が前記第2波長とほぼ同じであり、前記合成機構が偏光キューブプリズムである、請求項24に記載の装置。
- 前記第1波長が前記第2波長と異なり、前記合成機構が2色性ミラーである、請求項24に記載の装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008009446A (ja) * | 2003-12-25 | 2008-01-17 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2009510535A (ja) * | 2005-10-07 | 2009-03-12 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | Fシータ対物レンズおよびfシータ対物レンズを備えたスキャナ装置 |
KR101103965B1 (ko) | 2009-06-25 | 2012-01-06 | 가부시키가이샤 니프코 | 압상장치 |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4397571B2 (ja) | 2001-09-25 | 2010-01-13 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射方法およびレーザ照射装置、並びに半導体装置の作製方法 |
US6750423B2 (en) | 2001-10-25 | 2004-06-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation method, laser irradiation apparatus, and method of manufacturing a semiconductor device |
US6700096B2 (en) | 2001-10-30 | 2004-03-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser apparatus, laser irradiation method, manufacturing method for semiconductor device, semiconductor device, production system for semiconductor device using the laser apparatus, and electronic equipment |
TWI289896B (en) * | 2001-11-09 | 2007-11-11 | Semiconductor Energy Lab | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method of manufacturing a semiconductor device |
TWI291729B (en) * | 2001-11-22 | 2007-12-21 | Semiconductor Energy Lab | A semiconductor fabricating apparatus |
KR100967824B1 (ko) * | 2001-11-30 | 2010-07-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치의 제작방법 |
US7133737B2 (en) * | 2001-11-30 | 2006-11-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Program for controlling laser apparatus and recording medium for recording program for controlling laser apparatus and capable of being read out by computer |
JP3934536B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-06-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射装置およびレーザ照射方法、並びに半導体装置の作製方法 |
US7214573B2 (en) * | 2001-12-11 | 2007-05-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a semiconductor device that includes patterning sub-islands |
US20040062682A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-01 | Rakow Neal Anthony | Colorimetric sensor |
US7449146B2 (en) * | 2002-09-30 | 2008-11-11 | 3M Innovative Properties Company | Colorimetric sensor |
US7338820B2 (en) * | 2002-12-19 | 2008-03-04 | 3M Innovative Properties Company | Laser patterning of encapsulated organic light emitting diodes |
JP4282985B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-06-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
US7397592B2 (en) * | 2003-04-21 | 2008-07-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Beam irradiation apparatus, beam irradiation method, and method for manufacturing a thin film transistor |
US6894843B2 (en) * | 2003-05-23 | 2005-05-17 | Foxlink Image Technology Co., Ltd. | Optical apparatus for a line scanner system with reduced optical total track |
US20050155500A1 (en) * | 2004-01-16 | 2005-07-21 | Icon Textile Laser Systems, Inc. | Screen printing and laser treating system and method |
KR100634539B1 (ko) * | 2005-02-07 | 2006-10-13 | 삼성전자주식회사 | 주사 광학 이미징 시스템 |
KR20080039449A (ko) * | 2005-08-02 | 2008-05-07 | 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하 | 선 초점을 생성하기 위한 광학 시스템, 그러한 광학시스템을 이용하는 스캐닝 시스템, 및 기판의 레이저 공정방법 |
JP2007110064A (ja) | 2005-09-14 | 2007-04-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザアニール方法及び装置 |
US7556774B2 (en) * | 2005-12-21 | 2009-07-07 | 3M Innovative Properties Company | Optochemical sensor and method of making the same |
US8293340B2 (en) * | 2005-12-21 | 2012-10-23 | 3M Innovative Properties Company | Plasma deposited microporous analyte detection layer |
CN100443954C (zh) * | 2006-03-17 | 2008-12-17 | 郎欢标 | 光学输入方法、设备及该设备的分光式镜头模组 |
US7767143B2 (en) | 2006-06-27 | 2010-08-03 | 3M Innovative Properties Company | Colorimetric sensors |
US7857463B2 (en) * | 2007-03-29 | 2010-12-28 | Texas Instruments Incorporated | Optical system for a thin, low-chin, projection television |
WO2010046830A1 (en) * | 2008-10-21 | 2010-04-29 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Patterned oled device, method of generating a patterning, system for patterning and method of calibrating the system |
KR101669301B1 (ko) | 2008-12-23 | 2016-10-25 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 미세다공성 유기실리케이트 재료를 갖는 유기 화학적 센서 |
KR101821936B1 (ko) | 2008-12-23 | 2018-01-24 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 미세다공성 유기실리케이트 재료를 갖는 유기 화학적 센서 |
KR101124347B1 (ko) * | 2011-01-25 | 2012-03-23 | 주식회사아톤 | 사각 방향으로 조사되는 스캔된 레이저 빔을 이용한 대상물의 가공 방법 및 그 장치 |
US9442073B2 (en) | 2011-03-28 | 2016-09-13 | 3M Innovative Properties Company | Sensor comprising a masking layer adhesive |
US9348137B2 (en) | 2011-06-10 | 2016-05-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical scanning apparatus, system and method |
US8531751B2 (en) * | 2011-08-19 | 2013-09-10 | Orbotech Ltd. | System and method for direct imaging |
ES2609481T3 (es) * | 2012-07-04 | 2017-04-20 | Saint-Gobain Glass France | Dispositivo y procedimiento para el procesamiento por láser de sustratos de gran superficie utilizando al menos dos puentes |
CA2887922A1 (en) | 2012-10-10 | 2014-10-09 | John Tamkin | System for distributing auto-stereoscopic images |
US8797611B2 (en) | 2012-12-12 | 2014-08-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Illumination assembly |
DE102016211811B4 (de) | 2016-06-30 | 2022-02-24 | Trumpf Laser Gmbh | F-Theta-Objektiv und Scannervorrichtung damit |
TWI666526B (zh) * | 2017-10-31 | 2019-07-21 | 旭東機械工業股份有限公司 | 無光罩雷射直寫曝光機 |
TWI625604B (zh) * | 2016-12-29 | 2018-06-01 | 旭東機械工業股份有限公司 | 穿透式雷射直接成像系統 |
DE112018007245T5 (de) * | 2018-03-08 | 2020-11-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser-radar |
GB2580052B (en) * | 2018-12-20 | 2021-01-06 | Exalos Ag | Source module and optical system for line-field imaging |
CN112631078A (zh) * | 2019-10-08 | 2021-04-09 | 旭东机械工业股份有限公司 | 反射式无掩膜激光直写曝光机 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4099830A (en) | 1976-12-15 | 1978-07-11 | A. J. Bingley Limited | Optical systems including polygonal mirrors rotatable about two axes |
US4499437A (en) | 1981-07-08 | 1985-02-12 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method providing improved control of a laser beam |
JPS5986025A (ja) | 1982-11-10 | 1984-05-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光量補正装置 |
US4796038A (en) | 1985-07-24 | 1989-01-03 | Ateq Corporation | Laser pattern generation apparatus |
US5241330A (en) | 1990-10-02 | 1993-08-31 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Beam recording with scanning speed change due to F.θ lens characteristics |
US5298729A (en) | 1992-02-14 | 1994-03-29 | Ncr Corporation | Multiple depth of field optical scanner |
US5309178A (en) | 1992-05-12 | 1994-05-03 | Optrotech Ltd. | Laser marking apparatus including an acoustic modulator |
JPH0631974A (ja) | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Hitachi Koki Co Ltd | 光記録方法 |
US5392149A (en) | 1992-10-20 | 1995-02-21 | E-Systems, Inc. | Polygonal mirror optical scanning system |
JPH06202024A (ja) | 1992-11-13 | 1994-07-22 | Minolta Camera Co Ltd | レーザビーム走査光学系 |
JPH06305189A (ja) | 1993-04-23 | 1994-11-01 | Canon Inc | 画像形成方法 |
US5625402A (en) | 1993-04-30 | 1997-04-29 | Eastman Kodak Company | Digital printers using multiple lasers or laser arrays with different wavelengths |
JP2951842B2 (ja) | 1993-08-13 | 1999-09-20 | 東芝テック株式会社 | 光走査装置 |
JP3031801B2 (ja) | 1993-08-20 | 2000-04-10 | 富士写真フイルム株式会社 | 熱記録方法および装置 |
GB9318804D0 (en) | 1993-09-10 | 1993-10-27 | Ici Plc | Optical data recordal |
US5659532A (en) * | 1994-08-15 | 1997-08-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanning apparatus with polygon mirrors reflecting light beam at a constant speed larger than dθ/dt |
EP0708520A1 (en) | 1994-10-17 | 1996-04-24 | Megapower International Corporation U.S.A. | A magnetism driven engine |
EP0708550A3 (en) * | 1994-10-18 | 1998-01-14 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ablation-transfer-imaging using zero order laser beams in a flat-field scanner |
KR960032037A (ko) | 1995-02-25 | 1996-09-17 | 김광호 | 광주사장치 |
EP0732221B1 (en) | 1995-03-16 | 1999-01-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Black metal thermally imageable transparency elements |
US5822345A (en) | 1996-07-08 | 1998-10-13 | Presstek, Inc. | Diode-pumped laser system and method |
US5929892A (en) | 1996-08-26 | 1999-07-27 | Hewlett-Packard Company | Beam deflecting for enhanced laser printer scanning |
US5875206A (en) | 1996-09-10 | 1999-02-23 | Mitsubishi Chemical America, Inc. | Laser diode pumped solid state laser, printer and method using same |
US5867298A (en) | 1996-12-16 | 1999-02-02 | Eastman Kodak Company | Dual format pre-objective scanner |
US6023059A (en) | 1998-01-14 | 2000-02-08 | Eastman Kodak Company | Dual format pre-objective scanner |
-
2000
- 2000-10-10 US US09/685,754 patent/US6396616B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-02-16 EP EP01916119A patent/EP1324883B1/en not_active Expired - Lifetime
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- 2001-02-16 WO PCT/US2001/005154 patent/WO2002030675A1/en active IP Right Grant
- 2001-02-16 AU AU2001243181A patent/AU2001243181A1/en not_active Abandoned
- 2001-10-09 TW TW090124986A patent/TW523968B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008009446A (ja) * | 2003-12-25 | 2008-01-17 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP4533407B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2010-09-01 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
JP2009510535A (ja) * | 2005-10-07 | 2009-03-12 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | Fシータ対物レンズおよびfシータ対物レンズを備えたスキャナ装置 |
JP4681651B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-05-11 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | Fシータ対物レンズおよびfシータ対物レンズを備えたスキャナ装置 |
US8102581B2 (en) | 2005-10-07 | 2012-01-24 | Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg | Lens system and scanner device equipped therewith |
KR101103965B1 (ko) | 2009-06-25 | 2012-01-06 | 가부시키가이샤 니프코 | 압상장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE339318T1 (de) | 2006-10-15 |
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DE60123092D1 (de) | 2006-10-26 |
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TW523968B (en) | 2003-03-11 |
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