JP2004503898A - ワード線及び選択線における電圧を正確に制御するためにフラッシュメモリxデコーダの容量性負荷を減少させる方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、より広くは、NORフラッシュメモリ・アーキテクチャにおいて用いられる行デコーダに関し、より詳細には、選択ワード線及びブロック選択線における電圧を正確に制御するためにフラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させるための装置及び方法を含む半導体集積回路メモリ装置に関する。
【0001】
(背景技術)
当該技術分野において一般に知られているように、近年重要なメモリ装置として出現しているものに「フラッシュEEPROM」と呼ばれる一種の不揮発性メモリ装置があり、これは、EPROMの集積度の利点とEEPROMの電気的消去機能を組み合わせたものである。かかるフラッシュEEPROMは、電気的に消去が可能であり、かつセルサイズが小さい。従来のフラッシュEEPROMメモリ装置では、半導体基板上に複数の1トランジスタ・コアセルが形成され、各セルは、Pタイプの導電型の基板と、この基板と一体的に形成されたNタイプの導電型のソース領域及びNタイプの導電型のドレイン領域とからなっている。フローティングゲートは、薄い誘電体層によって基板から分離されている。コントロールゲートは、別の誘電体層によってフローティングゲートから分離され、ソース領域とドレイン領域は、基板内のP型のチャネル領域によって分離されている。
【0002】
フラッシュメモリに用いられるアーキテクチャの1つのタイプは、典型的にはNORフラッシュメモリ・アーキテクチャと呼ばれており、これは、複数のセクタに分割されたフラッシュEEPROMセルのアレイ(フローティングゲート装置)である。さらに、各セクタ内のメモリセルは、ワード線の行と、該ワード線の行と交差するビット線の列に沿って配列されている。各セクタにおいて各セルトランジスタのソース領域は、共通ノードに結合されている。従って、特定のセクタ内の全てのセルを同時に消去することができ、各セクタ毎に消去を行うことができる。セルトランジスタのコントロールゲートはワード線に結合され、そのドレインはビット線に結合されている。
【0003】
フラッシュEEPROMセルを従来の方法でプログラミングするときは、ドレイン領域とコントロールゲートに、ソース領域に印加される電位よりも高い所定の電位が印加される。例えば、コントロールゲートVG に約+9Vの電圧が印加されている状態でドレイン領域に約+5.5Vの電圧VD が印加される。これらの電圧によって「ホットエレクトロン」が生成され、このホットエレクトロンは薄い誘電体層を通過してフローティングゲート上に加速される。このホットエレクトロンの注入により、フローティングゲートのしきい値は約2V〜4V程度上昇する。
【0004】
フラッシュEEPROMセルを従来の方法で消去するときは、ソース領域に正の電位(例えば、+5V)が印加される。コントロールゲートには負の電位(例えば、−8V)が印加され、ドレイン領域はフローティング状態とされる。フローティングゲートとソース領域の間に強い電界が生じ、ファウラー−ノルトハイム・トンネリングによってフローティングゲートからソース領域に負の電荷が引き抜かれる。
【0005】
フラッシュEEPROMセルが正しくプログラミングされているかどうかを判定するときは、読み出し電流の大きさが測定される。典型的には、読み出し動作モードでは、ソース領域はグランド電位(0V)に保持され、コントロールゲートは約+5Vの電位に保持される。ドレイン領域は+1V〜+2Vの電位に保持される。かかる条件下で、プログラミングされていない(ロジック「1」を記憶している)セルには、約50FA〜100FAのレベルの電流が流れ、プログラミングされた(ロジック「0」を記憶している)セルには、それよりもかなり少ない電流が流れる。
【0006】
例えば、図1に例示する64Mb(メガビット)のNORフラッシュメモリアレイ・アーキテクチャは、4個の縦方向ブロック10、12、14及び16からなっている。縦方向ブロック10〜16の各個は、32個のセクタから構成されている。128個のセクタの各個は、256行のワード線及び2048列のビット線に沿って配列された512Kビットのデータを記憶する。さらに、セクタSからS127の各個は、2個のアレイブロック(図2の(a)及び(b))AB−1及びAB−2からなっている。各セクタ内のワード線を左側と右側からそれぞれデコードするために、4個の縦方向ブロック10〜16の間に複数のXデコーダ18が配置されている。
【0007】
さらに、外部から供給される電圧あるいはオフチップ電源電圧VCCよりも高い電圧を内部で生成しなければならない場合がある。例えば、+3.0VのVCCで動作するフラッシュEEPROMにおいて、メモリセルの読み出し動作モードでは約+4.5Vの高い電圧を生成する必要があることが知られている。そのため、半導体メモリには、一般に、外部電源電圧よりも高く昇圧された出力信号を生成するための内部電圧昇圧回路が含まれている。
【0008】
図1の(a)に、ワード線用の昇圧電圧を生成するための従来技術に係る簡単な図を示す。電圧昇圧回路2が、ノードN1にワード線供給電圧VPXGを生成するために用いられており、この電圧は、対応するXデコーダ18を介してメモリアレイの4個の縦方向ブロック10〜16内の各セクタS〜S127内の適当なワード線に伝達される。ワード線供給電圧VPXGは、典型的には+4.0V〜+5.0Vの範囲内にあり、これは、公称+3.0Vの入力電源電圧VCCより高く昇圧されたものである。この昇圧された電圧VPXGは、読み出し動作モードの期間中各セクタ内の全てのワード線において維持されるべき望ましい目標電圧である。
【0009】
しかしながら、ワード線に印加される昇圧電圧VPXGは、昇圧回路によって生成されるため、電源電圧VCC、プロセス、温度等によって大きく変化する。このため、ワード線電圧はそれほど正確なものとはならず、読み出し動作中にその誤差が生じる可能性がある。さらに、この昇圧電圧VPXGによって、ワード線負荷経路と関連した容量(5pF〜8pF)と、Xデコーダ内のNウエル負荷経路と関連した寄生容量(約30pF)の両方を駆動しなければならない。その結果、選択されたワード線における昇圧電圧は、読み出しモード時に速やかに充電されなければならない高い容量性負荷のために低下することになる。
【0010】
これに鑑み、選択されたワード線及びブロック選択線における電圧を正確に制御するためにフラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させる方法を提供する必要が高まってきている。これは、本発明において、選択されたワード線及びブロック選択線までの経路をNウエル寄生負荷までの経路から分離することによって達成される。
【0011】
(発明の開示)
従って、本発明の総括的な技術上の利点は、フラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させるための装置及び方法であって、比較的簡単な構成で、かつ製造が容易で、読み出しの際に選択されたワード線及びブロック選択線における電圧を、従来技術のメモリ装置を上回る短い時間で正確に制御するように改善された装置及び方法を提供することである。
【0012】
また、本発明の技術上の利点は、選択されたワード線及びブロック選択線における電圧の正確な制御を効率的かつ効果的に行うためにフラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させるための装置及び方法を提供することである。
【0013】
本発明の他の技術上の利点は、ワード線Nウエル領域と関連した大きい容量性負荷に起因する選択ワード線上の容量性負荷を減少させるために、ワード線Nウエル領域への第1の昇圧電圧の印加と、選択ワード線への第2の昇圧電圧の印加を別々に行うデコーダ回路を含むフラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させるための装置及び方法を提供することである。
【0014】
本発明の更に他の技術上の利点は、読み出し動作モードの期間中、ワード線Nウエル領域を駆動するための、電源電圧よりも高い第1の昇圧電圧と、選択されたワード線を駆動するための、電源電圧よりも高い第2の昇圧電圧とを生成する昇圧回路を含むフラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させるための装置及び方法を提供することである。
【0015】
本発明の好適な実施形態によれば、選択されたワード線における電圧を正確に制御するためにメモリ装置における容量性負荷を減少させるための方法が提供される。ワード線Nウエル領域を駆動するために、電源電圧よりも高い第1の昇圧電圧が生成される。また、読み出し動作モードの期間中、選択されたワード線を駆動するために、電源電圧よりも高い第2の昇圧電圧が生成される。デコーダ回路は、ワード線Nウエル領域と関連した大きい容量性負荷に起因する選択ワード線上の容量性負荷を減少させるために、ワード線Nウエル領域への第1の昇圧電圧の印加と、選択ワード線への第2の昇圧電圧の印加を別々に行うために設けられている。
【0016】
(発明を実施するための最良の形態)
以下、フラッシュメモリXデコーダの容量性負荷を減少させるためのデコーダ構成及び方法について説明する。以下の説明では、本発明の完全な理解を可能にするために、特定の回路構成や構成要素等の幾つかの特定の詳細について説明する。しかしながら、本発明がそのような特定の詳細が無くても実施できることは当業者には明らかなはずである。他の例において、本発明の動作原理の理解と特に関連のない周知のプロセスや回路、制御線等については、わかり易くするために、意図的に省略した。
【0017】
次に、図面を詳細に参照すると、図1に、4個の縦方向ブロック10、12、14及び16を含む64MbのNORフラッシュメモリ・アーキテクチャがブロック図の形態で示される。縦方向ブロック10〜16の各個は、32個のセクタから構成されている。128個のセクタS〜S127の各個は、256行のワード線及び2048列のビット線に沿って配列された512Kビットのデータを記憶する。従って、メモリ容量は、256(ワード線)×2048(ビット)×128(セクタ)=64Mbである。
【0018】
4個の縦方向ブロック10〜16のうちの1つを選択するために、VPXGMUXセレクタ回路20とVPSGMUXセレクタ回路22(それぞれ1つのみを図示)が設けられている。実際には、8個のVPXGMUXセレクタ回路20が用いられており、縦方向ブロック10〜16の各個の左側と右側に1個ずつ配置されている。また、4個のVPSGMUXセレクタ回路22が用いられており、縦方向ブロック10〜16の各個の左側に1個ずつ配置されている。セレクタ回路20は、第1の昇圧回路23からライン24上に昇圧信号VBOOSTWLを受け取り、ライン26上にワード線信号VWORDLINEを受け取る。セレクタ回路20は、ライン27上に+4.5V〜+6.2Vの範囲のNウエル信号VPXGHを送るのに用いられ、ワード線Nウエル領域に接続可能となっている。また、VPXGMUXセレクタ回路20は、ライン28上に約+4.2Vのワード線信号VPXGを送り、選択されたワード線に接続可能となっている。図3にVPXGMUXセレクタ回路20の詳細な回路図を示す。
【0019】
同様に、VPSGMUXセレクタ回路22は、第2の昇圧回路29からライン30上に昇圧信号VBOOST_SGを受け取り、ライン32上に選択信号VSELを受け取り、ライン34上に選択ゲート信号VSGATEを受け取る。セレクタ回路22は、ライン36上に+4.5V〜+6.2Vの範囲のNウエル信号VPSGHを送るのに用いられ、選択ゲートNウエル領域に接続可能となっている。また、セレクタ回路22は、ライン38上に約+1.5Vの選択ゲート信号VPSGを送り、選択ゲートトランジスタの各ゲートに接続可能となっている。図4にVPSGMUXセレクタ回路22の詳細な回路図を示す。
【0020】
さらに、各セクタをその左側と右側からデコードするために、本発明に係る複数のXデコーダ18が、縦方向ブロック10〜16の各ブロック間とブロック10及び16の各々の外側に配置されている。図2(a)及び(b)には、図1のアレイ・アーキテクチャのセクタS〜S127のうち1個のセクタSと共に用いられるXデコーダ18のうちの1個のブロック構成が示される。
【0021】
図2(a)及び(b)に示すように、1個のセクタSは、2つのアレイブロックAB−1及びAB−2からなっている。上側のアレイブロックAB−1は、その上側部分と下側部分で選択ゲートトランジスタ(SGT)ブロック40に接続されている。同様に、下側のアレイブロックAB−2は、その上側部分と下側部分で選択ゲートトランジスタ(SGT)ブロック40に接続されている。Xデコーダ18は、選択された縦方向ブロック内の32のセクタのうちの1個を選択するVPXワード線セクタ選択デコーダ42、xd_vwl縦方向デコーダ44、xc_selセクタ選択デコーダ46a,46b、xd_hwl横方向デコーダ48a,48b、及びワード線ドライバ49を有している。デコーダ46a及び46bは、構成が同じであり、デコーダ46aは上側アレイブロックAB−1と共に用いられ、デコーダ46bは下側アレイブロックAB−2と共に用いられている。同様に、デコーダ48a及び48bは、構成が同じであり、デコーダ48aはアレイブロックAB−1と関連付けられており、デコーダ48bはアレイブロックAB−2と関連付けられている。
【0022】
図5にVPXワード線セクタ選択デコーダ42の詳細な回路図を示す。VPXデコーダ42は、VPXGMUXセレクタ回路20からライン50上にNウエル信号VPXGHを受け取り、ライン52上にワード線信号VPXGを受け取る。VPXデコーダ42は、ライン54上にNウエル電圧VPXHを生成し、ライン56上にセクタ選択ワード線電圧VPXを生成する。VPXデコーダ42は、1対の交差結合されたPチャネルトランジスタ502,504と、出力トランジスタ506,508とを含む。トランジスタ502及び504のソースとNウエル領域とは、相互に接続されると共に、Nウエル信号VPXGHを受け取るように接続されている。トランジスタ502のゲートとトランジスタ504のドレインは、ノードNA2で接続されている。トランジスタ504のゲートとトランジスタ502のドレインは、ノードNA1で接続されている。
【0023】
出力トランジスタ506は、そのソースとNウエル領域が接続されると共に、Nウエル信号VPXGHを受け取るように接続されている。また、トランジスタ506のゲートは、ノードNA2に接続され、そのドレインは、Nウエル電圧VPXHを生成するためにライン54に接続されている。出力トランジスタ508は、そのソースが個別のワード線信号VPXGを受け取るように接続され、ゲートはノードNA2に接続され、ドレインはセクタ選択ワード線電圧VPXを生成するためにライン56に接続されている。従来技術とは違い、トランジスタ508のソースとNウエル領域は互いに分離され、かつそのソースはVPXGH信号に拘束されないので、VPXG信号はVPXGH信号から絶縁されている。
【0024】
動作においては、ノードNA2が選択セクタに対して低いレベルにあるとき、トランジスタ502がターンオンし、ライン54上に+4.5V〜+6.2Vの範囲で変化するVPXHNウエル電圧を生成する。また、トランジスタ508がターンオンして、ライン56上に約+3.8VのVPXワード線電圧を送る。このように、Nウエル領域に供給されるライン54上のVPXH電圧が、ワード線に供給されるライン56上のVPX電圧から分離されていることがわかる。その結果、Nウエル領域経路に起因する大きい寄生容量性負荷(約30pF)が、ワード線経路に起因する小さい容量性負荷(約5pF〜8pF)から分離される。ワード線負荷経路内の容量は非常に小さいので、選択されたワード線に正確な電圧を速やかに生成することができる。さらに、ワード線電圧に必要なほどにはNウエル負荷経路を正確に制御する必要がないので、より簡単な昇圧回路によって大きい負荷のNウエル負荷経路を駆動することが可能となる。
【0025】
図6にxd_vwl縦方向ワード線デコーダ44の詳細な回路図を示す。縦方向ワード線デコーダ44は、VPXデコーダ42からライン58上にNウエル電圧VPXHを受け取り、ライン60上にセクタ選択ワード線電圧VPXを受け取る。縦方向デコーダ44は、ライン62上に縦方向選択ワード線電圧VWLを生成する。縦方向デコーダ44は、1対の交差結合されたPチャネルトランジスタ602,604と、出力トランジスタ606とを含む。トランジスタ602及び604のソース領域とNウエル領域は、相互に接続されると共に、Nウエル電圧VPXHを受け取るように接続されている。トランジスタ602のゲートとトランジスタ604のドレインは、ノードNN2で接続されている。トランジスタ604のゲートとトランジスタ602のドレインは、ノードNN1で接続されている。
【0026】
出力トランジスタ606は、そのNウエル領域がNウエル信号VPXHを受け取るように接続されており、そのソースがセクタ選択ワード線電圧VPXを受け取るように接続されている。また、トランジスタ606のゲートはノードNN2に接続されており、そのドレインは、縦方向選択ワード線電圧VWLを生成するためにライン62に接続されている。
【0027】
xd_sel選択ゲートデコーダ46a及び46bは構成が同じであるので、その一方だけを詳細に示せば十分である。図7に選択ゲートデコーダ46aの詳細な回路図を示す。デコーダ46aは、VPSGMUXセレクタ22からライン64上にNウエル信号VPSGHを受け取り、ライン66上に選択ゲート信号VPSGを受け取る。デコーダ46aは、ライン68上に選択ゲート電圧SEL68を生成する。デコーダ46aは、1対の交差結合されたPチャネルトランジスタ702,704と、出力トランジスタ706とを含む。トランジスタ702及び704のソース領域とNウエル領域は、相互に接続されると共に、Nウエル信号VPSGHを受け取るように接続されている。トランジスタ702のゲートとトランジスタ704のドレインは、ノードSELBで接続されている。トランジスタ704のゲートとトランジスタ702のドレインは、ノードNN4で接続されている。出力トランジスタ706は、そのNウエル領域がNウエル信号VPSGHを受け取るように接続されており、そのソースは、選択ゲート信号VPSGを受け取るように接続されている。従って、トランジスタ706のソース領域とNウエル領域は互いに分離され、かつソースはVPSGH信号に拘束されていないので、VPSG信号はVPSGH信号から絶縁されている。また、トランジスタ706のゲートはノードSELBに接続され、そのドレインはライン68に接続され、選択ゲート電圧SELを生成する。
【0028】
xd_hwl横方向ワード線デコーダ48a及び48bは構成が同じであるので、その一方だけを詳細に示せば十分である。図8にxd_hwl横方向ワード線デコーダ48aの詳細な回路図を示す。デコーダ48aは、VPX生成回路42からライン70上にNウエル電圧VPXHを受け取る。デコーダ48aは、ライン72上に横方向選択ワード線電圧HWLPを受け取る。横方向ワード線デコーダ48aは、1対の交差結合されたPチャネルトランジスタ802,804と出力トランジスタ806とを含む。トランジスタ802及び804のソース領域とNウエル領域は、相互に接続されると共に、Nウエル信号VPXHを受け取るように接続されている。トランジスタ802のゲートとトランジスタ804のドレインは、ノードNN3で接続されている。トランジスタ804のゲートとトランジスタ802のドレインは、ノードNN0で接続されている。出力トランジスタ806は、そのソース領域とNウエル領域が接続されると共に、Nウエル信号VPXHを受け取るように接続されている。また、トランジスタ806のゲートはノードNN3に接続され、そのドレインは、横方向選択ワード線電圧HWLPを生成するためにライン72に接続されている。
【0029】
次に、図9を参照すると、128個のワード線ドライバ49のうちの1個の回路構成が示される。1個のセクタ内の256本のワード線の各々にワード線ドライバがあることを理解されたい。ワード線ドライバ49は、デコーダ44からライン74上に縦方向選択ワード線電圧VWLを受け取り、VPX生成回路42からライン76上にNウエル信号VPXH78を受け取り、横方向デコーダ48aからライン78上に横方向選択ワード線電圧HWLPを受け取る。ワード線ドライバ49は、選択されたワード線電圧WLをライン80に送る。従って、トランジスタ902のソース領域とNウエル領域は互いに分離され、かつそのソースはVPXH信号に拘束されないので、ワード線電圧VWLはNウエル信号VPXHから絶縁されている。ワード線デコーダは、Pチャネルトランジスタ902を含み、そのソースは縦方向ワード線電圧VWLを受け取るように接続され、そのゲートは横方向ワード線電圧HWLPを受け取るように接続され、そのドレインは選択ワード線電圧WLを生成するためにライン80に接続されている。トランジスタ902のNウエル領域は、Nウエル領域信号VPXHを受け取るように接続されている。動作において、トランジスタ902のゲートの横方向ワード線電圧が低いとき、トランジスタ902がターンオンして、ライン80上に縦方向ワード線電圧VWLを供給する。
【0030】
以上の詳細な説明から、本発明はフラッシュメモリXデコーダにおける容量性負荷を減少させる方法を提供していることがわかる。本発明に係るデコーダ構成は、ワード線に正確な電圧を短時間で生成するために、ワード線Nウエル領域への第1の昇圧電圧の印加と選択ワード線への第2の昇圧電圧の印加とを別々に行い、選択ワード線上の容量性負荷を減少させるデコーダ回路を含む。
【0031】
以上、現時点で本発明の好適な実施形態であると考えられるものについて例示し説明したが、当業者には、本発明の真の範囲から逸脱することなく様々な変形や修正を行うことができ、また、その構成要素に等価物を代用できることが理解されるであろう。さらに、本発明の真の範囲から逸脱することなく本発明の教示に対して特定の状況や材料を適応させるために多くの修正を行うことも可能である。従って、この発明は、本発明を実施するために考慮された最良の形態として開示された特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に含まれる全ての実施形態を含むように意図されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明のXデコーダ及び昇圧回路を利用した、従来の64MbNORフラッシュメモリアレイ・アーキテクチャを示す簡略化したブロック図であり、(a)はワード線用の昇圧電圧を生成するための従来技術を示す簡単な図である。
【図2】
(a)及び(b)は、結合されたときに、図1のメモリアレイの1個のセクタと共に用いられるXデコーダであって本発明の原理に従って構成されたXデコーダを示すブロック図である。
【図3】
図1のVPXGMUXセレクタ回路20の詳細な回路図である。
【図4】
図1のVPSGMUXセレクタ回路22の詳細な回路図である。
【図5】
図2のVPXセクタ選択回路42の詳細な回路図である。
【図6】
図2の縦方向ワード線デコーダ44の詳細な回路図である。
【図7】
図2の選択ゲート用のセクタ選択デコーダ46aの詳細な回路図である。
【図8】
図2の横方向ワード線デコーダ48aの詳細な回路図である。
【図9】
図2のワード線ドライバ回路49の詳細な回路図である。
Claims (10)
- フラッシュEEPROMメモリセルのアレイを含み、選択されたワード線及びブロック選択線における電圧を正確に制御するために容量性負荷を減少させるためのデコーディング構成を含む半導体メモリ装置であって、
複数のセクタ(S0〜S127)に分割された複数のメモリコアセルを有し、各セクタが、ワード線の行と該ワード線の行と交差するビット線の列とに沿って配列されたメモリコアセルを含む、メモリアレイと、
読み出し動作の期間中、ワード線Nウエル領域を駆動するための電源電圧よりも高い第1の昇圧電圧と、選択されたワード線を駆動するための前記電源電圧よりも高い第2の昇圧電圧とを生成するための第1の昇圧回路手段(23)と、
選択ゲートNウエル領域を駆動するための前記電源電圧よりも高い第3の昇圧電圧と、ブロック選択線を駆動するための前記電源電圧よりも高い第4の昇圧電圧とを生成するための第2の昇圧回路手段(29)と、
前記第1及び第2の昇圧電圧に応答し、前記ワード線Nウエル領域と関連した大きい容量性負荷に起因する前記選択されたワード線上の容量性負荷を減少させるために、前記第1の昇圧電圧の前記ワード線Nウエル領域への印加と、前記第2の昇圧電圧の前記選択されたワード線への印加とを別々に行うワード線デコーダ手段を含むデコーディング構成(18)とを具備し、
該デコーディング構成が、さらに、前記第3及び第4の昇圧電圧に応答し、前記選択ゲートNウエル領域と関連した大きい容量性負荷に起因する前記ブロック選択線上の容量性負荷を減少させるために、前記第3の昇圧電圧の前記選択ゲートNウエル領域への印加と、前記第4の昇圧電圧の前記ブロック選択線への印加とを別々に行う選択ゲートデコーダ手段を含む、半導体メモリ装置。 - 前記ワード線デコーダ手段が、前記第1及び第2の昇圧電圧を受け取るように接続された入力端とNウエル電圧及び選択ワード線電圧を別々に生成するための出力端とを有するワード線セクタ選択デコーダ回路(42)を含む、請求項1に記載の半導体メモリ装置。
- 前記ワード線デコーダ手段が、さらに、前記Nウエル電圧及び前記選択ワード線電圧を受け取るように接続された入力端と縦方向選択ワード線電圧を生成するための出力端とを有する縦方向ワード線デコーダ回路(44)を含む、請求項2に記載の半導体メモリ装置。
- 前記選択ゲートデコーダ手段が、前記第3及び第4の昇圧電圧を受け取るように接続された入力端とブロック選択線電圧を生成するための出力端とを有するセクタ選択ゲートデコーダ回路(46a,46b)を含む、請求項3に記載の半導体メモリ装置。
- 前記選択ゲートデコーダ手段が、さらに、前記ワード線Nウエル領域への電圧を受け取るように接続された入力端と横方向選択ワード線電圧を生成するための出力端とを有する横方向ワード線デコーダ回路(48a,48b)を含む、請求項4に記載の半導体メモリ装置。
- 前記デコーディング構成が、さらに、前記縦方向選択ワード線電圧及び前記横方向選択ワード線電圧に応答し、選択されたワード線電圧を生成するためのワード線ドライバ手段(49)を含む、請求項5に記載の半導体メモリ装置。
- 前記第1の昇圧電圧が+4.5V〜+6.2Vの範囲内にある、請求項1に記載の半導体メモリ装置。
- 前記第2の昇圧電圧が約+3.8Vである、請求項7に記載の半導体メモリ装置。
- 前記第4の昇圧電圧が約+1.5Vである、請求項8に記載の半導体メモリ装置。
- フラッシュメモリ装置において選択されたワード線及びブロック選択線における電圧を正確に制御するために容量性負荷を減少させるための方法であって、
複数のセクタに分割された複数のメモリコアセルを有するメモリアレイであって、各セクタが、ワード線の行と該ワード線の行と交差するビット線の列とに沿って配列されたメモリコアセルを含む、前記メモリアレイを用意する段階と、
読み出し動作の期間中、ワード線Nウエル領域を駆動するための電源電圧よりも高い第1の昇圧電圧と、選択されたワード線を駆動するための前記電源電圧よりも高い第2の昇圧電圧とを生成する段階と、
選択ゲートNウエル領域を駆動するための前記電源電圧よりも高い第3の昇圧電圧と、ブロック選択線を駆動するための前記電源電圧よりも高い第4の昇圧電圧とを生成する段階と、
前記ワード線Nウエル領域と関連した大きい容量性負荷に起因する前記選択されたワード線上の容量性負荷を減少させるために、前記第1の昇圧電圧の前記ワード線Nウエル領域への印加と、前記第2の昇圧電圧の前記選択されたワード線への印加とを別々に行う段階と、
前記選択ゲートNウエル領域と関連した大きい容量性負荷に起因する前記ブロック選択線上の容量性負荷を減少させるために、前記第3の昇圧電圧の前記選択ゲートNウエル領域への印加と、前記第4の昇圧電圧の前記ブロック選択線への印加とを別々に行う段階とを含む、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/593,303 US6208561B1 (en) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | Method to reduce capacitive loading in flash memory X-decoder for accurate voltage control at wordlines and select lines |
US09/593,303 | 2000-06-13 | ||
PCT/US2001/018081 WO2001097230A2 (en) | 2000-06-13 | 2001-06-04 | Method to reduce capacitive loading in flash memory x-decoder for accurate voltage control at wordlines and select lines |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004503898A true JP2004503898A (ja) | 2004-02-05 |
JP4737918B2 JP4737918B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=24374212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002511342A Expired - Fee Related JP4737918B2 (ja) | 2000-06-13 | 2001-06-04 | ワード線及び選択線における電圧を正確に制御するためにフラッシュメモリxデコーダの容量性負荷を減少させる方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6208561B1 (ja) |
EP (1) | EP1297534B1 (ja) |
JP (1) | JP4737918B2 (ja) |
KR (1) | KR100708915B1 (ja) |
CN (1) | CN1264169C (ja) |
AT (1) | ATE357046T1 (ja) |
AU (1) | AU2001266701A1 (ja) |
BR (1) | BR0111684A (ja) |
DE (1) | DE60127260T2 (ja) |
TW (1) | TW512352B (ja) |
WO (1) | WO2001097230A2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015088208A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体記憶装置及びそれに用いられる回路装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100536613B1 (ko) * | 2004-04-09 | 2005-12-14 | 삼성전자주식회사 | 프로그램 시간을 단축할 수 있는 노어형 플래시 메모리장치 및 그것의 프로그램 방법 |
US7525853B2 (en) * | 2005-08-12 | 2009-04-28 | Spansion Llc | Semiconductor device and method for boosting word line |
KR100672104B1 (ko) * | 2005-10-28 | 2007-01-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플래시 메모리 소자 |
JP2017228325A (ja) | 2016-06-20 | 2017-12-28 | ウィンボンド エレクトロニクス コーポレーション | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2019053799A (ja) * | 2017-09-14 | 2019-04-04 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
TWI686806B (zh) * | 2019-02-13 | 2020-03-01 | 旺宏電子股份有限公司 | 記憶體裝置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0521812A (ja) * | 1991-07-16 | 1993-01-29 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体メモリ |
KR100211189B1 (ko) * | 1994-11-29 | 1999-07-15 | 다니구찌 이찌로오, 기타오카 다카시 | 양/음 고전압발생전원의 출력전위 리셋회로 |
JPH09306187A (ja) * | 1996-05-10 | 1997-11-28 | Nec Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
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-
2000
- 2000-06-13 US US09/593,303 patent/US6208561B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-06-04 WO PCT/US2001/018081 patent/WO2001097230A2/en active IP Right Grant
- 2001-06-04 AU AU2001266701A patent/AU2001266701A1/en not_active Abandoned
- 2001-06-04 EP EP01944275A patent/EP1297534B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-04 JP JP2002511342A patent/JP4737918B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-04 CN CNB018110703A patent/CN1264169C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-04 KR KR1020027016962A patent/KR100708915B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-06-04 AT AT01944275T patent/ATE357046T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-06-04 DE DE60127260T patent/DE60127260T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-04 BR BR0111684-3A patent/BR0111684A/pt not_active IP Right Cessation
- 2001-06-11 TW TW090114021A patent/TW512352B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW512352B (en) | 2002-12-01 |
US6208561B1 (en) | 2001-03-27 |
KR20030014265A (ko) | 2003-02-15 |
CN1439161A (zh) | 2003-08-27 |
AU2001266701A1 (en) | 2001-12-24 |
WO2001097230A2 (en) | 2001-12-20 |
ATE357046T1 (de) | 2007-04-15 |
CN1264169C (zh) | 2006-07-12 |
BR0111684A (pt) | 2003-07-01 |
DE60127260T2 (de) | 2007-12-20 |
KR100708915B1 (ko) | 2007-04-18 |
EP1297534B1 (en) | 2007-03-14 |
WO2001097230A3 (en) | 2002-05-30 |
JP4737918B2 (ja) | 2011-08-03 |
EP1297534A2 (en) | 2003-04-02 |
DE60127260D1 (de) | 2007-04-26 |
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JP2006313643A (ja) | 不揮発性半導体メモリ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040625 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20041201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041201 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050112 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050113 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080513 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100209 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101006 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101012 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110111 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110120 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |