JP2004343047A - 検出組立体および該検出組立体を備えたリソグラフ投影装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持構造体は、電極25と、ケーブル29と、制御装置37とを含む。ケーブル29は第一導体28と第二導体26を有する。第一導体28は、直列接続関係にあるDC電源31と第一AC電源33に接続されている。制御装置は、DC電源31を制御して、電極25に予め定められたDC電圧を加え、もって目標物に保持力を与え、かつ、目標物を静電容量的に検出するために、第一AC電源を制御して、電極25に、第一導体を介して、第一振幅および第一位相を有する予め定められた第一のAC電圧を加えるようになっている。検出組立体は、第二導体に接続された第二AC電源35を含み、制御装置が第二AC電源を制御して、前記第一振幅および第一位相の各々に等しい第二振幅および第二位相を有する所定の第二AC電圧を第二導体に加えるようになっている。
【選択図】図2
Description
(1)目標物が支持構造体上に正確に載置され、および/または、保持されているか、否かを示し、
(2)後述の数式によって計算した後に、目標物が支持構造体から離れることのないような最大限の力を目標物に働かせ、かつ
(3)支持構造体上の目標物の有無を、追加的に較正する必要もなく、高い信頼性を持って確認可能にする。
前記少なくとも一つのケーブルが、第一導体と第二導体とを有し、
第一導体が、直列接続関係にあるDC電源と第一AC電源に接続されており、
前記DC電源を制御して、前記少なくとも一つの電極に予め定められたDC電圧を加え、もって目標物に保持力を与える段階と、
目標物を静電容量的に検出するために、第一AC電源を制御して、前記少なくとも一つの電極に、第一導体を介して、第一振幅および第一位相を有する予め定められた第一のAC電圧を加える段階とを含む前記方法において、
検出組立体が、第二導体に接続された第二AC電源を含み、
前記方法が、第二AC電源を制御して、第二導体に、予め定められた第二AC電圧を加える段階を含み、
第二AC電圧が、前記第一振幅および前記第一位相の各々に実質的に等しい第二振幅および第二位相を有することを特徴とする。
目標物が支持構造体上に載置されている場合の支持構造体の第一静電容量、および、目標物が支持構造体上に載置されていない場合の支持構造体の第二静電容量のうちの少なくとも一方を決定する段階と、
決定された第一静電容量、および、決定された第二静電容量のうちの少なくとも一方をメモリーに蓄積する段階とを含むことを特徴とする。
目標物が支持構造体上に載置されている場合の支持構造体の静電容量と、載置されていない場合の支持構造体の静電容量との差を決定することによって、目標物に対する支持構造体の保持力を決定する段階と、
保持力を、移動時に支持構造体上の目標物を保持しておくために必要な予め定められた最小保持力と比較する段階と、
決定された保持力が、前記最小保持力と同等以上である時に移動させ、または、決定された保持力が、前記最小保持力未満である時に移動を差し控える段階とを含むことを特徴とする。
目標物が支持構造体上に載置されている場合の支持構造体の静電容量と、載置されていない場合の支持構造体の静電容量との差を決定することによって、目標物に対する支持構造体の保持力を決定する段階と、
保持力から、目標物に対する支持構造体の相対移動を引き起こす最大加速度を求める段階と、
最大加速度未満の加速度で移動を実行する段階とを含むことを特徴とする。
この特定のケースにおいては放射光源LAが設けられて、11〜14nmの範囲の波長を有する(例えばEUV)放射線の投影ビームPBを供給するための放射系Ex,ILと、
マスクMA(例えばレチクル)を保持するためのマスクホルダーが設けられるとともに、マスクを構成要素PLに対して正確に位置決めするための第一位置決め手段PMに結合されている第一目標物テーブル(マスクテーブル)MTと、
基板W(例えばレジスト塗布シリコンウェハ)を保持するための基板ホルダーが設けられるとともに、基板を構成要素PLに対して正確に位置決めするための第二位置決め手段PWに結合されている第二目標物テーブル(基板テーブル)WTと、
マスクMAの照射された部分を、基板Wの(例えば、ダイを含む)目標部分Cに描画するための投影系(「レンズ」)PLとを含む。
1.ステップ方式では、マスクテーブルMTが実質上静止されて、全マスク像が、一括して(すなわち、一回の「フラッシュ」で)目標部分Cに投影される。次に、基板テーブルWTが、x方向および/またはy方向に移動して、投影ビームPBが別の目標部分Cに照射される。
2.走査方式は、本質的にはステップ方式と同じであるが、所定の目標部分Cの露光は一回の「フラッシュ」だけではない。マスクテーブルMTが、所定の方向(いわゆる走査方向、例えば、y方向)にスピードvで移動可能であり、投影ビームPBがマスク像を走査するとともに、基板テーブルWTが、同時に、同一方向または反対方向にスピードV=Mvで動かされる。ここに、MはレンズPLの倍率である(典型的には、M=1/4または1/5)。このようにして、解像度を犠牲にすることなく、比較的大きい目標部分Cを露光することできる。
Ex,IL 放射系
IL 照明系(イルミネータ)
Ex ビーム拡張器
PB 投影ビーム
LA 放射光源
MT 第一目標物テーブル(マスクテーブル)
MA マスク
PM 第一位置決め手段
PL 構成要素(レンズ)
WT 第二目標物テーブル(基板テーブル)
W 基板
PW 第二位置決め手段
C 目標部分
AM 調整手段
IN インテグレータ
CO コンデンサ
IF 干渉計測手段
M1 マスク位置決めマーク
M2 マスク位置決めマーク
P1 基板位置決めマーク
P2 基板位置決めマーク
20 検出組立体
21 目標物
22 導体
23 支持構造体
25 第一電極
26 第二導体
27 第二電極
28 第一導体
29 ケーブル
31 DC電源
33 第一AC電源
35 第二AC電源
37 制御装置
39 電流計
41 アクチュエータ
Claims (15)
- 支持構造体(23)上の目標物(21)を静電容量的に検出するための検出組立体(20)であり、
該検出組立体(20)が、前記支持構造体(23)に近接して設けた少なくとも一つの電極(25)と、第一導体(28)と第二導体(26)を有する少なくとも一つのケーブル(29)と、制御装置(37)とを含み、
前記第一導体(28)は、その第一端部が前記少なくとも一つの電極(25)に接続され、かつ、第二端部が第一AC電源(33)に接続され、
前記制御装置(37)は、前記第一AC電源(33)を制御するために設けたものであり、静電容量的に前記目標物(21)を検出するために、第一振幅と第一位相を有する予め定められた第一AC電圧を、前記第一導体(28)を介して前記少なくとも一つの電極(25)に加えるようになっている前記検出組立体(20)において、
前記検出組立体(20)が、前記第二導体(26)に接続された第二AC電源(35)を含み、前記制御装置(37)が前記第二AC電源(35)を制御して、前記第一振幅および前記第一位相の各々に実質的に等しい第二振幅および第二位相を有する予め定められた第二AC電圧を前記第二導体(26)に加えるように構成されていることを特徴とする支持構造体上の目標物を静電容量的に検出するための検出組立体。 - 前記第一導体(28)には、前記少なくとも一つの電極(25)に予め定められたDC電圧を加えるためのDC電源(31)が、前記第一AC電源(33)に対して直列に配置され、もって前記目標物(21)に保持力を与えるようになっていることを特徴とする請求項1に記載された支持構造体上の目標物を静電容量的に検出するための検出組立体(20)。
- 前記目標物(21)が、ウェハまたはレチクルのうちのいずれかであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載された支持構造体上の目標物を静電容量的に検出するための検出組立体(20)。
- 前記ケーブル(29)の前記第一導体(28)が、前記ケーブル(29)の前記第二導体(26)によって少なくとも部分的に包囲されていることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載された支持構造体上の目標物を静電容量的に検出するための検出組立体(20)。
- 前記第二導体(26)が、第三の接地導体によって少なくとも部分的に包囲されていることを特徴とする請求項4に記載された支持構造体上の目標物を静電容量的に検出するための支持構造体検出組立体(20)。
- 前記第二AC電圧が、均一性の増大を伴う増幅回路を用いることによって、前記第一AC電圧から得られることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載された支持構造体上の目標物を静電容量的に検出するための検出組立体(20)。
- 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載された検出組立体(20)を含むリソグラフ投影装置(1)。
- 前記リソグラフ投影装置(1)が、前記支持構造体(23)を動かすためのアクチュエータ(41)を更に含み、
該アクチュエータ(41)が前記制御装置(37)に接続され、前記制御装置(37)が、前記アクチュエータ(41)を制御して、保持力が予め定められた値を超えた後に、前記支持構造体(23)を動かすように構成されていることを特徴とする請求項7に記載されたリソグラフ投影装置(1)。 - 前記リソグラフ投影装置(1)が、前記支持構造体(23)を動かすためのアクチュエータ(41)を更に含み、
前記アクチュエータ(41)が、前記制御装置(37)に接続され、
前記制御装置(37)が、前記目標物(21)に働く保持力を決定して、前記目標物(21)に対する最大加速度を前記アクチュエータ(41)に与えるように構成されていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載されたリソグラフ投影装置(1)。 - 支持構造体(23)上の目標物(21)を静電容量的に検出する方法であり、
前記支持構造体(23)に近接して設けた少なくとも一つの電極(25)と、前記少なくとも一つの電極(25)に接続された少なくとも一つのケーブル(29)とを含み、
前記少なくとも一つのケーブル(29)が、第一導体(28)と第二導体(26)とを有し、
前記第一導体(28)が、直列接続関係にあるDC電源(31)と第一AC電源(33)に接続されており、
前記DC電源(31)を制御して、前記少なくとも一つの電極(25)に予め定められたDC電圧を加え、もって前記目標物(21)に保持力を与える段階と、
前記目標物(21)を静電容量的に検出するために、前記第一AC電源(33)を制御して、前記少なくとも一つの電極(25)に、前記第一導体(28)を介して、第一振幅および第一位相を有する予め定められた第一のAC電圧を加える段階とを含む前記方法において、
検出組立体(20)が、前記第二導体(26)に接続された第二AC電源(35)を含み、
前記方法が、前記第二AC電源(35)を制御して、前記第二導体(26)に、予め定められた第二AC電圧を加える段階を含み、
前記第二AC電圧が、前記第一振幅および前記第一位相の各々に実質的に等しい第二振幅および第二位相を有することを特徴とする支持構造体上の目標物を静電容量的に検出する方法。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載された検出組立体(20)、または、請求項7から請求項9までのいずれか一項に記載されたリソグラフ投影装置(1)を較正するために用いられる請求項10に記載された方法において、
前記目標物(21)が前記支持構造体(23)上に載置されている場合の前記支持構造体(23)の第一静電容量、および、前記目標物(21)が前記支持構造体(23)上に載置されていない場合の前記支持構造体(23)の第二静電容量のうちの少なくとも一方を決定する段階と、
前記決定された第一静電容量、および、前記決定された第二静電容量のうちの少なくとも一方をメモリーに蓄積する段階とを含むことを特徴とする請求項10に記載された方法。 - 前記支持構造体(23)と前記目標物(21)とを一体的に移動させることができるか否かを確定するために用いられる請求項10または請求項11に記載された方法において、
前記目標物(21)が前記支持構造体(23)上に載置されている場合の前記支持構造体(23)の静電容量と、載置されていない場合の前記支持構造体(23)の静電容量との差を決定することによって、前記目標物(21)に対する前記支持構造体(23)の保持力を決定する段階と、
前記保持力を、移動時に前記支持構造体(23)上の前記目標物(21)を保持しておくために必要な予め定められた最小保持力と比較する段階と、前記決定された保持力が、前記最小保持力と同等以上である時に移動させ、または、前記決定された保持力が、前記最小保持力未満である時に移動を差し控える段階とを含むことを特徴とする請求項10または請求項11に記載された方法。 - 移動中に前記支持構造体(23)と前記目標物(21)の加速度を予め定められた値未満に維持するために用いられる請求項10から請求項12までのいずれか一項に記載された方法において、
前記目標物(21)が前記支持構造体(23)上に載置されている場合の前記支持構造体(23)の静電容量と、載置されていない場合の前記支持構造体(23)の静電容量との差を決定することによって、前記目標物(21)に対する前記支持構造体(23)の保持力を決定する段階と、
前記保持力から、前記目標物(21)に対する前記支持構造体(23)の相対移動を引き起こす最大加速度を求める段階と、
前記最大加速度未満の加速度で移動を実行する段階とを含むことを特徴とする請求項10から請求項12までのいずれか一項に記載された方法。 - 請求項10から請求項13までのいずれか一項に記載された方法を、検出組立体(20)に行わせるための指令とデータを含むコンピュータプログラム製品。
- 請求項14に記載されたコンピュータプログラム製品を含むデータ担持体。
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