JP2004311966A - ロードロックシステム及び露光処理システム並びにデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロードロックシステムは、基板を格納する格納ポート10と外部の圧力より低い圧力に維持された処理空間内で該基板を処理するための処理室1との間に配置されるロードロック室3と、ロードロック室3内に除湿された環境を形成する除湿ユニット97と、を備える。ロードロックシステムはまた、格納ポート10及びロードロック室3の間に他の室9を備え、除湿ユニット97は、他の室9を除湿する。
【選択図】 図2
Description
2 予備室
3 ロードロック室
4、5 ゲートバルブ
7、8 搬送手段
9 クリーンブース又はミニエンバイロメント
10 格納ポート
12 排気手段
97 除湿ユニット
971 冷却部
972 加熱部
973 ミストフィルタ
974 湿度計
975 制御部
Claims (14)
- 基板を格納する格納ポートと、外部の圧力より低い圧力に維持された処理空間内で該基板を処理するための処理室と、の間に配置されるロードロック室と、
前記ロードロック室内に除湿された環境を形成する除湿ユニットと、
を備えることを特徴とするロードロックシステム。 - 前記除湿ユニットは、前記ロードロック室内の温度が低下したときに該ロードロック室内の水分が結露しないように、前記ロードロック室内の湿度を制御する制御部を有することを特徴とする請求項1に記載のロードロックシステム。
- 前記除湿ユニットは、
前記ロードロック室に連通された管と、
前記管に配置された冷却部及び加熱部と、
前記冷却部及び前記加熱部をそれぞれ制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載のロードロックシステム。 - 前記除湿ユニットは、前記管の中で前記冷却部と前記加熱部との間に配置された、水分を除去するためのフィルタを有することを特徴とする請求項3に記載のロードロックシステム。
- 前記格納ポート及び前記ロードロック室の間に他の室を備え、
前記除湿ユニットは、前記他の室を除湿することを特徴とする請求項1に記載のロードロックシステム。 - 前記除湿ユニットは、前記ロードロック室内の温度が低下したときに該ロードロック室内の水分が結露しないように、前記他の室内の湿度を制御する制御部を有することを特徴とする請求項5に記載のロードロックシステム。
- 前記制御部は、前記ロードロック室内及び前記他の室内の湿度を各々算出し、
前記除湿ユニットは、前記制御部による算出結果に基づいて、前記他の室から前記ロードロック室内に流入した気体の水分が該ロードロック室内の温度が低下したときに結露しないように、該他の室内の湿度を制御することを特徴とする請求項6に記載のロードロックシステム。 - 前記除湿ユニットは、
前記他の室に連通された管と、
前記管に配置された冷却部及び加熱部と、
前記冷却部及び前記加熱部をそれぞれ制御する制御部と、
を有することを特徴とする請求項5に記載のロードロックシステム。 - 前記他の室内の静電気を除去する除電部を有することを特徴とする請求項5乃至請求項8のいずれか1項に記載のロードロックシステム。
- 前記他の室は、前記格納ポートと前記ロードロック室との間で前記基板を搬送する搬送部を含むことを特徴とする請求項5乃至請求項9のいずれか1項に記載のロードロックシステム。
- 露光処理システムであって、
基板を格納する格納ポートと、
外部の圧力より低い圧力に維持された処理空間内で該基板に露光処理するための露光処理部と、
前記格納ポート及び前記露光処理部の間に配置されるロードロック室と、
前記ロードロック室内に除湿された環境を形成する除湿ユニットと、
を備えることを特徴とする露光処理システム。 - 前記除湿ユニットは、前記ロードロック室へ除湿されたガスを供給することを特徴とする請求項11に記載の露光処理システム。
- 前記格納ポート及び前記ロードロック室の間にミニエンバイロメント室を備え、
前記除湿ユニットは、前記ミニエンバイロメント室へ除湿されたガスを供給することを特徴とする請求項11に記載の露光処理システム。 - デバイスの製造方法であって、
請求項11乃至請求項13のいずれか1項に記載の露光処理システムを用いて、基板を露光する露光工程と、
露光された前記基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
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