JP2004264091A - ノズル孔の画像認識方法およびこれを用いた液滴吐出ヘッドの位置補正方法、ノズル孔の検査方法、ノズル孔の画像認識装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

ノズル孔の画像認識方法およびこれを用いた液滴吐出ヘッドの位置補正方法、ノズル孔の検査方法、ノズル孔の画像認識装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 Download PDF

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Abstract

【課題】機能液を充填した状態でノズル孔を精度良く画像認識等することができるノズル孔の画像認識方法およびこれを用いた液滴吐出ヘッドの位置補正方法、ノズル孔の検査方法、ノズル孔の画像認識装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッド２０のノズル孔５３を撮像し、これを画像認識するノズル孔の画像認識方法において、ノズル孔５３のメニスカス面を単周期微動させる駆動波形の液滴吐出ヘッド２０への印加に同期させて、ノズル孔５３を撮像するものである。
【選択図】 図６

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これを画像認識等するノズル孔の画像認識方法およびこれを用いた液滴吐出ヘッドの位置補正方法、ノズル孔の検査方法、ノズル孔の画像認識装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット方式を適用したカラーフィルタの成膜装置など、キャリッジに搭載した液滴吐出ヘッドに機能液供給系から機能液を供給する液滴吐出装置では、機能液の性状等によっては液滴吐出ヘッド自体の寿命が短くなるため、これを交換する必要がある。しかし、交換に際して、キャリッジに対する高い位置精度（取付け精度）を安定に維持することは、機械的精度として限界がある。
そこで、例えば特許文献１に示すノズル孔の画像認識方法を適用して、キャリッジに取付け後、ノズル孔を認識カメラによりストロボ撮像し、その位置を画像認識することで、最終的に、液滴吐出ヘッドの位置誤差をデータ上で補正する措置がとられている。この場合には、精度を考慮し、認識カメラの固定位置に液滴吐出ヘッドをキャリッジを介して移動させ、最外端の２つのノズル孔を撮像する。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３０４８１９号公報（第３頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の方法は、液滴吐出ヘッドに機能液を未だ充填していない状態で行い、データ補正後に機能液供給系を液滴吐出ヘッドに接続するが、この際、配管部材を液滴吐出ヘッドのアダプタに手作業で取り付けるため、液滴吐出ヘッドの取付け位置が僅かにずれるおそれがあった。このため、実際には、確認の意味で画像認識作業を再度行うなど、一連の交換作業が煩雑で迅速性に欠けていた。
かかる問題に鑑みると、本来的に、機能液供給系を液滴吐出ヘッドに接続してから、ノズル孔の画像認識作業を行うことが好ましい。しかし、液滴吐出ヘッドに機能液が充填された状態であると、液滴吐出ヘッドの移動に伴う慣性や機能液供給系の配管内の圧力変動により、ノズル孔のメニスカス面（ノズル孔の吐出側に形成される機能液の表面）の凹凸が一定せず、その結果、撮像画像に照射ムラが生じ、画像認識精度に影響をきたしてしまう。
【０００５】
本発明は、機能液を充填した状態でノズル孔を精度良く画像認識等することができるノズル孔の画像認識方法およびこれを用いた液滴吐出ヘッドの位置補正方法、ノズル孔の検査方法、ノズル孔の画像認識装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のノズル孔の画像認識方法は、機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これを画像認識するノズル孔の画像認識方法において、ノズル孔のメニスカス面を単周期微動させる駆動波形の液滴吐出ヘッドへの印加に同期させて、ノズル孔を撮像することを特徴とする。
この場合、ノズル孔に対し、ストロボを発光させて撮像を行うことが、好ましい。
【０００７】
同様に、本発明のノズル孔の画像認識装置は、機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これを画像認識するノズル孔の画像認識装置において、ノズル孔に撮像光を照射するストロボと、ストロボにより照射されたノズル孔を撮像する認識カメラと、ノズル孔のメニスカス面を単周期微動させる駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加するヘッド駆動ドライバと、液滴吐出ヘッドへの駆動波形の印加に同期して、ストロボを発光させるストロボ駆動ドライバと、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドに印加した駆動波形により、機能液をノズル孔から吐出させることなく、ノズル孔のメニスカス面を単周期微動させることで、メニスカス面を所定の位置へと移行させ、この状態のノズル孔を自然光またはストロボにより照射して撮像することができる。
これにより、ノズル孔を同一条件のもとで撮像できるため、例えばメニスカス面における一定の照射ムラを考慮した画像処理プロセスを予め構築しておくことで、撮像後の画像処理においてメニスカス面の照射ムラを好適に吸収して、ノズル孔を適切に認識することができる。あるいは、「同一条件」を、照射ムラを本来的に回避し得るメニスカス面の状態とすることで、メニスカス面の影響を排除できるため、複雑な画像処理を不要にしてノズル孔を適切に認識できる。また、ヘッド駆動ドライバにより、ストロボによる発光のための専用のタイミングデータを生成しないで済むことも可能となる。
【０００９】
これらの場合、駆動波形により、メニスカス面がノズル孔の内部に引き込まれるタイミングで撮像が行われることが、好ましい。
同様に、駆動波形は、メニスカス面をノズル孔の内部に引き込ませる波形であり、ストロボ駆動ドライバは、メニスカス面がノズル孔の内部に引き込むタイミングでストロボを発光させることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、メニスカス面の照射ムラという事態が生じ得ない。これにより、液滴吐出ヘッドの移動を問わず、メニスカス面の影響が完全に排除されるため、簡単な画像処理によりノズル孔を適切に且つ迅速に認識できる。また、ノズル孔の吐出側の部位に付着した異物（例えば機能液中の溶剤が固化したもの）の有無を容易に検出することもでき、吐出不良ノズルの検査に供することもできる。
【００１１】
これらの場合、認識カメラは、液滴吐出ヘッドのノズル面に対向する位置に固定されていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、移動に伴う認識カメラの位置ずれを排除でき、ノズル孔の形状を誤りなく確実に認識することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出ヘッドの位置補正方法は、上記した本発明のノズル孔の画像認識方法を用い、液滴吐出ヘッドのノズル孔の位置を画像認識する認識工程と、認識工程における認識結果に基づいて、液滴吐出ヘッドの位置データを補正するデータ補正工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、液滴吐出ヘッドを相対的に移動させてノズル孔から機能液の選択的な吐出を行う液滴吐出装置において、上記した本発明のノズル孔の画像認識装置と、液滴吐出ヘッドの位置データを記憶した記憶手段と、を備え、位置データは、ノズル孔の画像認識装置によるノズル孔の位置の画像認識結果に基づいて補正されたデータであることを特徴とする。
【００１５】
これらの構成によれば、例えば液滴吐出装置において液滴吐出ヘッドを交換した場合に、上記のノズル孔の画像認識方法・装置を用いてノズル孔の位置を画像認識し、このノズル孔の位置が設計上目標の位置（基準位置）に整合するように、画像認識結果に基づいて位置データを補正している。これにより、液滴吐出ヘッドの位置補正を高精度且つ迅速に行うことができる。また、位置補正された液滴吐出ヘッドは、ワークの目標の位置に正確に機能液を吐出することが可能となる。
【００１６】
本発明のノズル孔の検査方法は、機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これに付着する異物の有無を検査するノズル孔の検査方法において、ノズル孔のメニスカス面が内部に引き込まれる駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加し、このタイミングでノズル孔の撮像を行うことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、機能液をノズル孔から吐出させることなく、ノズル孔の内部に位置するようにメニスカス面を移行させ、この状態で、ノズル孔を撮像する。このため、撮像される画像には、メニスカス面の引き込みにより露出したノズル孔の吐出側の部位も含まれる。これにより、撮像した画像を観察あるいは画像処理することで、ノズル孔の吐出側の部位に付着した異物（例えば機能液中の溶剤が固化したもの）の有無を容易に検査することができる。
なお、異物が発見された場合には、一般的に、液滴吐出ヘッドに対し吸引処理（ノズル孔を介した機能液の強制排出）やフラッシング（機能液の捨て吐出）を行うことで異物を除去し得るが、除去できない場合には、そのノズル孔を吐出させない設定とするか、液滴吐出ヘッドを交換する。
【００１８】
この場合、液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔を有しており、検査エリアに対し、液滴吐出ヘッドの全ノズル孔から機能液を吐出させる検査吐出工程と、検査エリアの吐出結果から、吐出不良のノズル孔を特定する不良ノズル特定工程と、を有し、不良ノズル特定工程の後、吐出不良のノズル孔を検査対象のノズル孔として、液滴吐出ヘッドに駆動波形を印加してノズル孔を撮像することが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、全てのノズル孔を撮像して検査することは時間効率が悪いことから、先ず検査エリアに対し全ノズル孔から機能液を吐出させ、その結果から特定した吐出不良の疑いのあるノズル孔を撮像による検査対象としている。これにより、全てのノズル孔の検査を効率良く行うことができる。
【００２０】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、ワークとなる基板上に成膜部を形成することを特徴とする。
本発明の電気光学装置は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を、ワークとなる基板上に有することを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、上記の液滴吐出装置を用いての成膜処理であるため、電気光学装置の歩留まりを向上することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が含まれる。
【００２２】
本発明の電子機器は、上記した本発明の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、高品質な電気光学装置を搭載した電子機器を提供することができる。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ＥＬデバイス等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドのノズル孔から発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。また、液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドに機能液を充填した状態で、ノズル孔を撮像して画像認識するノズル孔の画像認識装置が組み込まれている。
【００２５】
図１は、液滴吐出装置の基本的構成を示した模式図である。同図に示すように、液滴吐出装置１は、図外の機台上に設けたＸ軸テーブル３およびＹ軸テーブル４から成るＸ・Ｙ移動機構２と、Ｙ軸テーブル４に移動自在に取り付けたメインキャリッジ５と、を備え、メインキャリッジ５には、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド２０を搭載したヘッドユニット６が保持されている。ワークである基板Ｗは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成され、Ｘ軸テーブル３に移動自在に取り付けたワークテーブル７にセットされている。
【００２６】
また、液滴吐出装置１には、液滴吐出ヘッド２０に機能液を供給する機能液供給機構８や、液滴吐出ヘッド２０のノズル孔５３を撮像してこれを画像認識する画像認識ユニット９のほか、上記のＸ・Ｙ移動機構２、液滴吐出ヘッド２０、画像認識ユニット９などの各種構成装置を統括制御するコントローラ１０（制御部８３、図３参照）が組み込まれている。さらに、図示では省略したが、液滴吐出ヘッド２０からノズル孔５３を介した機能液の吸引を行う吸引ユニットや、液滴吐出ヘッド２０の定期的なフラッシング（全ノズル孔５３からの機能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニットなどが組み込まれている。
【００２７】
Ｘ・Ｙ移動機構２は、いわゆるＸ・Ｙの２軸ロボットであり、Ｘ軸テーブル３はＹ軸テーブル４の下方に位置している。Ｘ軸テーブル３は、パルス駆動されるリニアモータ２３を内蔵したＸ軸スライダ２４を有し、これにワークテーブル７をＸ軸方向に移動自在に搭載して、構成されている。すなわち、Ｘ軸テーブル３は、ワークテーブル７を介して基板ＷをＸ軸方向に移動させる。
【００２８】
Ｙ軸テーブル４は、パルス駆動されるリニアモータ２１を内蔵したＹ軸スライダ２２を有し、これにメインキャリッジ５をＹ軸方向に移動自在に搭載して、構成されている。すなわち、Ｙ軸テーブル４は、メインキャリッジ５を介して液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動させる。このように構成されたＸ・Ｙ移動機構２により、基板Ｗに対し液滴吐出ヘッド２０を相対的にＸ・Ｙ軸方向に移動させ、液滴吐出ヘッド２０からの機能液の吐出により基板Ｗへの描画が行われる。
【００２９】
具体的には、Ｘ軸テーブル３による基板Ｗの移動に同期して液滴吐出ヘッド２０が吐出駆動する構成であり、液滴吐出ヘッド２０のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル３による基板ＷのＸ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル４による液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。
【００３０】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２０に対し、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド２０を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、基板Ｗを固定とし、液滴吐出ヘッド２０を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００３１】
機能液供給機構８は、機能液を貯留した機能液タンク３１と、機能液タンク３１と液滴吐出ヘッド２０とを配管接続する供給チューブ３２と、を備えている。供給チューブ３２は液滴吐出ヘッド２０に繋ぎ込まれており、図外の加圧送液機構等や液滴吐出ヘッド２０の吐出駆動によりこれに機能液が供給される。機能液としては、一般的なインクのほか、カラーフィルタのフィルタ材料や、描画後に金属配線として機能する液状金属材料など、各種基板の目的に対応した材料を含有する液体が用いられる。
【００３２】
ヘッドユニット６は、液滴吐出ヘッド２０を位置決め固定したサブキャリッジ３６と、サブキャリッジ３６をΘ軸方向に面内回転させるΘ軸テーブル３７と、を有している。Θ軸テーブル３７の動力源であるΘ軸モータ３８を正逆回転すると、Θ軸テーブル３７がサブキャリッジ３６をＸ−Ｙ平面内で回転させる。すなわち、Θ軸テーブル３７およびΘ軸モータ３８により、基板Ｗに対し液滴吐出ヘッド２０を相対的に角度回転させるΘ軸移動機構が構成されている。
【００３３】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、いわゆる２連のものであり、そのヘッド本体４１は、ノズル面４２を有するノズル形成プレート４３と、ノズル形成プレート４３に連なる２連のポンプ部４４と、ポンプ部４４の上方に連なる液体導入部４５とで構成されている。液体導入部４５は、供給チューブ３２が接続される２連の接続針４６を有している。ポンプ部４４の基部側の方形フランジ部４８には、液滴吐出ヘッド２０をサブキャリッジ３６にねじ固定するための一対のねじ孔４９（図示では一つのみ）が対角位置に形成されている。なお、液滴吐出ヘッド２０を図外のヘッド保持部材にねじ固定し、このヘッド保持部材をサブキャリッジ３６に固定してもよい。
【００３４】
液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体４１がサブキャリッジ３６の下面から突出して固定され、ヘッド本体４１の下部、すなわちノズル形成プレート４３には、２本のノズル列５１が相互に平行に形成されている。各ノズル列５１は、例えば１８０個のノズル５２が等ピッチでＹ軸方向に平行に並べられて構成され、計３６０個のノズル５２が全体として千鳥状に配置されている（図１０（ａ）参照）。そして、ノズル面４２に開口したノズル孔５３から機能液がドット状に吐出される。
【００３５】
ポンプ部４４は、ノズル５２の数に対応する圧力室６１および圧電素子６２（ピエゾ素子）を有し、各圧力室６１はノズル５２に連通している。ポンプ部４４は、圧電素子６２を収容した機構部６３と、ノズル形成プレート４３を接着したシリコンキャビティ６４と、機構部６３とシリコンキャビティ６４とを接合する樹脂フィルム６５と、を有している。
【００３６】
圧電素子６２は、後述するヘッド駆動ドライバ９７（図３参照）から印加される駆動信号の駆動波形（アナログの台形波）に応じて変位し、圧力室６１内に圧力変動を生じさせる。例えば、「吐出波形」（図４（ａ）参照）が圧電素子６２に印加されると、圧力室６１内の機能液は、ノズル孔５３から吐出される。
【００３７】
なお、液滴吐出ヘッド２０のノズル数、ノズル列数、ノズル列の延在方向は本実施形態に限定されないことは言うまでもない。例えば、液滴吐出ヘッド２０を同一方向に所定の角度傾けたものであってもよい。また、液滴吐出ヘッド２０が単数のものに限らず、これらが複数の場合にあっては、その配置パターンも千鳥状配置、階段状配置など任意である。
【００３８】
画像認識ユニット９は、基板Ｗから外れた液滴吐出ヘッド２０の移動経路上の位置であって、且つノズル面４２に対向する位置に固定されている。画像認識ユニット９は、例えば劣化した液滴吐出ヘッド２０の交換後、描画作業に先立ち、液滴吐出ヘッド２０の位置補正に用いられるものであり、この位置に移動させた液滴吐出ヘッド２０のノズル孔５３を撮像する。
【００３９】
画像認識ユニット９は、ノズル孔５３に撮像光を照射するストロボ７１（ＬＥＤ）と、ストロボ７１により照射されたノズル孔５３を撮像する認識カメラ７２と、を備えている。認識カメラ７２は、視野内にノズル孔５３を捕捉して撮像するいわゆるＣＣＤカメラであり、レンズ系を介して、撮像したノズル孔５３の画像を結像するＣＣＤ（撮像素子）を具備している。ＣＣＤで光電変換されたノズル孔５３の画像データは、Ａ／Ｄ変換されて、コントローラ１０の制御信号により、後述する画像処理部９４（図３参照）に出力される。
【００４０】
図３に示すように、液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、パーソナルコンピュータなどの上位コンピュータ８１と、液滴吐出ヘッド２０、画像認識ユニット９やＸ・Ｙ移動機構２などを駆動する各種ドライバを有する駆動部８２と、駆動部８２を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部８３（コントローラ１０）と、を備えている。
【００４１】
上位コンピュータ８１は、制御部８３に接続されたコンピュータ本体９１に、キーボード９２や、キーボード９２による入力結果や認識カメラ７２の撮像結果等を画面表示するディスプレイ９３を接続されて、構成されている。コンピュータ本体９１は、基板Ｗを描画するための描画データ等を制御部８３に送信する。また、コンピュータ本体９１は、認識カメラ７２で撮像したノズル孔５３の画像データを受信し、これを画像処理する画像処理部９４を有している。画像処理部９４による一連の画像処理では、例えばノズル孔５３の画像を多値化した後、ノズル孔５３の位置の計測が行われる。
【００４２】
駆動部８２は、Ｘ軸テーブル３、Ｙ軸テーブル４およびΘ軸テーブル３７の各モータ（２３，２１，３８）を駆動するモータ駆動ドライバ９６と、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子６２に駆動波形を印加するヘッド駆動ドライバ９７と、ストロボ７１を発光させるストロボ駆動ドライバ９８と、を有している。ヘッド駆動ドライバ９７が圧電素子６２に印加する駆動波形には、図４に示すように、ノズル孔５３からの機能液の吐出を伴う「吐出波形」と、機能液の吐出を伴わない「微振動波形」とが用意されている。
【００４３】
この場合、ヘッド駆動ドライバ９７は「微振動波形」のトリガ信号をストロボ駆動ドライバ９８に出力し、ストロボ駆動ドライバ９８は、入力したトリガ信号に基づいて、ストロボ７１を発光させる。すなわち、ストロボ駆動ドライバ９８は、液滴吐出ヘッド２０への「微振動波形」の印加に同期して、ストロボ７１を発光させる（詳細は後述する）。
【００４４】
制御部８３は、ＣＰＵ１０１と、ＲＯＭ１０２と、ＲＡＭ１０３と、Ｐ−ＣＯＮ１０４とを備え、これらは互いにバス１０５を介して接続されている。ＲＯＭ１０２は、ＣＰＵ１０１で処理する制御プログラムや制御データを記憶する制御プログラム領域や、描画や撮像等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。
【００４５】
ＲＡＭ１０３は、各種レジスタ群の他、主として、上位コンピュータ８１から入力した液滴吐出ヘッド２０の位置データを記憶する入力位置データ領域、描画のための描画データを記憶する描画データ領域、認識カメラ７２で撮像されＡ／Ｄ変換された画像データを一時的に記憶する画像データ記憶領域（いわゆる画像メモリ）等を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００４６】
Ｐ−ＣＯＮ１０４には、駆動部８２の各種ドライバのほか、上記の機能液供給機構８や認識カメラ７２等が接続されている。Ｐ−ＣＯＮ１０４には、ＣＰＵ１０１の機能を補うと共に周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１０４は、上位コンピュータ８１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス１０５に取り込むと共に、ＣＰＵ１０１と連動して、ＣＰＵ１０１等からバス１０５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部８２に出力する。また、Ｐ−ＣＯＮ１０４は、認識カメラ７２からのデータを取り込み、ＣＰＵ１０１と連動して、ノズル孔５３の画像データを画像処理部９４に出力する。
【００４７】
そして、ＣＰＵ１０１は、上記の構成により、ＲＯＭ１０２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１０４を介して各種信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１０３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１０４を介して駆動部８２や画像処理部９４に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。
【００４８】
例えば、ＣＰＵ１０１は、液滴吐出ヘッド２０およびＸ・Ｙ移動機構２を制御して、所定の描画条件および所定の移動条件で基板Ｗに描画を行う。また、ノズル孔５３の画像認識作業を行う場合には、画像認識ユニット９の位置にて、Ｘ・Ｙ移動機構２により液滴吐出ヘッド２０の移動動作を制御すると共に、液滴吐出ヘッド２０への微振動波形の印加、そのタイミングに対応したストロボ７１の発光および認識カメラ７２の撮り込みを制御する。
【００４９】
ここで、ノズル孔５３の画像認識方法について、図４ないし図７を参照して詳細に説明する。先ず、図４に示す二つの駆動波形について説明する。
【００５０】
同図（ａ）に示す「吐出波形」では、電圧値が中間電圧Ｖｍからスタートし、所定の電圧勾配で中間電圧Ｖｍに対しｈ１高い最大電圧まで上昇する（Ｐ１）。最大電圧が所定時間維持されたところで（Ｐ２）、所定の電圧勾配で中間電圧Ｖｍからｈ２低い最低電圧まで下降する（Ｐ３）。この最大電圧から最低電圧までの電圧変化（ｈ１＋ｈ２に相当）に対応する波形を圧電素子６２に印加することで、ノズル孔５３から機能液滴が吐出される。そして、最低電圧が所定時間維持されたところで（Ｐ４）、再び中間電圧Ｖｍに上昇し（Ｐ５）、所定時間維持される（Ｐ６）。
【００５１】
同図（ｂ）に示す「微振動波形」では、電圧値が中間電圧Ｖｍからスタートし、所定の電圧勾配θＡで中間電圧に対しｈ１高い最大電圧まで上昇する（Ｐ７）。最大電圧が所定時間（ｔ１）維持されたところで（Ｐ８）、所定の電圧勾配θＢで中間電圧Ｖｍまで下降して（Ｐ９）、中間電圧Ｖｍで維持される（Ｐ１０）。このような電圧変化（ｈ１に相当）に対応する波形を圧電素子６２に印加しても、圧力室６１内の圧力変動が小さいため、ノズル孔５３から機能液滴が吐出されず、ノズル５２における機能液が微振動するのみとなる。
【００５２】
すなわち、「微振動波形」は、機能液滴の吐出を伴わずに、ノズル孔５３のメニスカス面を単周期微動させることになる。ここで、メニスカス面とは、ノズル孔５３の吐出側に形成される機能液の表面をいう。そしてメニスカス面は、駆動波形を圧電素子６２に印加していない状態では、図５（ａ）に示すように、ノズル面４２に対し僅かに凸状の態様をなす場合がある。
【００５３】
「微振動波形」が印加されると、図４（ｂ）に示すＰ７の過程では、メニスカス面がノズル孔５３の内部へ（圧力室６１側へ）と引き込まれ始める（Ｐ１の過程も同様）。その後のＰ８の過程では、図６（ａ）に示すように、メニスカス面が所定位置に移行しその引き込まれた状態が維持されると共に、ノズル孔５３の吐出側の内周部位が露出する。そして、Ｐ９の過程で、メニスカス面は、ノズル孔５３の外方（吐出側）へと押し出され、機能液滴の吐出を伴わずに、図５（ａ）に示す元の位置に戻る（Ｐ１０）。なお、一般的に「微振動波形」には、ノズル孔５３におけるメニスカス面を構成する機能液部分を微振動により流動させ、機能液の増粘を抑制する。
【００５４】
図５は、「微振動波形」を印加しない場合における、画像認識ユニット９に対するメニスカス面の影響を説明するための説明図である。メニスカス面を変化させることなく、ノズル孔５３に対しストロボ７１を発光させると、同図（ａ）に示すように、メニスカス面に照射ムラが生じる。このため、同図（ｂ）に示す認識カメラ７２の撮像結果のように、ノズル孔５３の画像を適切に撮り込むことができず、複雑な画像前処理が必要となる。
【００５５】
一方、図６は、「微振動波形」を印加した場合における同様の説明図である。同図（ａ）に示すように、メニスカス面をノズル孔５３の内部に引き込ませた状態で、ノズル孔５３に対しストロボ７１を発光させることで、メニスカス面の照射ムラを回避することができる。これにより、メニスカス面の影響を排除できるため、同図（ｂ）に示すように、認識カメラ７２ではノズル孔５３の画像を適切に取り込むことができ、画像処理部９４における画像処理が簡単となる。
【００５６】
図７は、ノズル孔５３の画像認識方法における「微振動波形」の印加、ストロボ７１の発光および画像撮り込みのタイミングの一例を示すタイムチャートである。同図に示すように、ストロボ駆動信号は、圧電素子６２への「微振動波形」の印加開始（立ち上がり）から所定の時間遅延して立ち上がり、その信号のタイミングでストロボ７１が発光する。そして、ストロボ７１の発光中に、認識カメラ７２によってノズル孔５３の画像が撮り込まれる。
【００５７】
このように、ストロボ駆動ドライバ９８は、ヘッド駆動ドライバ９７から出力された「微振動波形」のトリガ信号に基づいて、メニスカス面がノズル孔５３の内部に引き込むタイミングでストロボ７１を発光させ（図４：Ｐ７）、同図Ｐ８に示すノズル面４２が引き込んだ状態で、ノズル孔５３の画像が認識カメラ７２に撮りこまれる。また、図７に示すように、複数回連続的に、「微振動波形」の印加やストロボ７１の発光等を行うことで、光量不足の問題が生じず、より適切に画像を撮り込むことができる。
【００５８】
そして最終的に、画像処理部９４において、ノズル孔５３の画像を画像処理することでノズル孔５３の中心位置座標を計測し、予め設定したノズル孔５３の基準位置と比較演算することで、ノズル孔５３の位置ずれ、すなわち液滴吐出ヘッド２０の位置ずれを認識することができる。
【００５９】
このように、本実施形態のノズル孔５３の画像認識方法によれば、「微振動波形」を活用することで、機能液を充填した液滴吐出ヘッド２０のノズル孔５３を適切に撮像してこれを良好に画像認識することができる。また、ストロボ７１の発光タイミングを、ヘッド駆動ドライバ９７から取得した駆動波形の印加タイミングを基点としているため、ストロボ７１による発光のための専用のタイミングデータを生成する必要がない。
【００６０】
なお、ノズル孔５３を画像認識する場合には、先ず、液滴吐出ヘッド２０をフラッシングユニットの位置に移動させ、液滴吐出ヘッド２０をフラッシング動作（ヘッド駆動ドライバ９７を用いての機能液の捨て吐出）を行うことが好ましい。
【００６１】
また、本実施形態では、メニスカス面がノズル孔５３の内部に引き込むタイミングで撮像する構成としたが、「微振動波形」等の機能液の吐出を伴わない特殊な駆動波形を用いることで、メニスカス面がノズル孔５３から突出する態様で撮像するようにしてもよい。換言すれば、ノズル孔５３におけるメニスカス面の位置が常に同一となる駆動波形を用いると共に、その位置におけるメニスカス面への一定の照射ムラを考慮した画像処理プロセスを予め構築しておくことで、撮像後の画像処理においてメニスカス面の照射ムラを好適に吸収して、ノズル孔５３を適切に認識することができる。
【００６２】
次に、上記の画像認識方法を用いた液滴吐出ヘッド２０の位置補正方法について説明する。図８は、液滴吐出ヘッド２０の位置補正方法について、液滴吐出ヘッド２０を交換した場合における一連の処理フローを示したフローチャートである。
【００６３】
先ず、ステップＳ１では、液滴吐出ヘッド２０をサブキャリッジ３６から取り外し、これに新たな液滴吐出ヘッド２０をねじ固定する。その後、図外の吸引ユニット等を用いて、機能液供給機構８の機能液を液滴吐出ヘッド２０に充填する。充填完了後（セット後）の液滴吐出ヘッド２０は、取付けの基準位置に対し、Ｘ・Ｙ・Θ軸方向に僅かに位置ずれし得る（図９の仮想線参照）。そこで、同図に示すように、最外端の２つのノズル孔５３、５３を認識対象として、上記の画像認識を行う。
【００６４】
具体的には、Ｙ軸テーブル４により液滴吐出ヘッド２０を認識カメラ７２の位置へ移動させ、撮像対象となる一方のノズル孔５３を認識カメラ７２の視野内（の中心）に臨ませる（Ｓ２）。ここで、図６に示すタイムチャートに従って、ノズル孔５３の画像を取り込む（Ｓ３）。ステップＳ４の判断分岐を経て（Ｓ４：Ｎｏ）、他方のノズル孔５３についても同様に処理される。すなわち、Ｙ軸テーブル４が再駆動して、他方のノズル孔５３が認識カメラ７２の視野内に臨み（Ｓ２）、その画像が取り込まれる（Ｓ３）。
【００６５】
その後、各ノズル孔５３の画像について画像処理され、液滴吐出ヘッド２０の位置ずれが認識された後（Ｓ５）、液滴吐出ヘッド２０の位置に関する補正データが生成される（Ｓ６）。ステップＳ６の補正データの生成では、先ず、二つのノズル孔５３のＸ・Ｙ軸方向に関する変位データ（ΔＸ，ΔＹ）をそれぞれ算出し、この二つの変位データを基に、液滴吐出ヘッド２０の回転中心を考慮してΘ軸方向に関するΘ軸補正データ（ΔΘ）が生成される。そして、Θ軸補正データを加味して、Ｘ軸方向に関するＸ軸補正データとＹ軸方向に関するＹ軸補正データとが生成される。
【００６６】
ステップＳ７における位置補正では、Θ軸補正データに基づいてΘ軸移動機構を駆動し、液滴吐出ヘッド２０を回転補正する。また、Ｘ・Ｙ軸方向に関するＸ・Ｙ軸補正データに基づいて、ＲＡＭ１０３に記憶している液滴吐出ヘッド２０の位置データが補正される。これにより、液滴吐出ヘッド２０の位置補正を含めた一連の交換作業が終了する。
【００６７】
このように、上記の画像認識方法を有効に活用して、二つのノズル孔５３の画像認識結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２０の位置データを補正しているため、サブキャリッジ３６に対する液滴吐出ヘッド２０の取付け精度をより高めることができる。また、位置補正された液滴吐出ヘッド２０は、基板Ｗの目標位置に正確に機能液滴を吐出・着弾させることが可能となる。
【００６８】
次に、図１０を参照して、ノズル孔の検査方法について説明する。このノズル孔の検査方法は、機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッド２０のノズル孔５３を撮像し、これに付着する異物（例えば機能液中の溶剤が固化したもの）の有無を検査するものである。
【００６９】
この検査の準備作業として、液滴吐出ヘッド２０を吸引ユニットの位置に移動させ、液滴吐出ヘッド２０に対し吸引処理を行うか、あるいは液滴吐出ヘッド２０をフラッシングユニットの位置に移動させ、液滴吐出ヘッド２０にフラッシング動作させる。準備完了後には先ず、検査エリア１２０に対し、液滴吐出ヘッド２０を主走査してテストパターン描画を行う。検査エリア１２０は、基板Ｗにおける不要部分、例えば周縁部や後に切断される部分などの非描画エリアで構成される。もっとも、基板Ｗに代えてターゲットプレートをワークテーブル７に導入してもよいし、ターゲットプレートを液滴吐出ヘッド２０の移動経路上に配置してもよい。
【００７０】
同図（ａ）は、検査エリア１２０に対し、液滴吐出ヘッド２０の全ノズル孔５３に機能液滴の吐出動作をさせた吐出結果を表している。図中の黒丸「●」は、各ノズル孔５３の吐出により形成された検査エリア１２０上のドットを表し、白丸「○」はノズル孔５３における機能液の不吐出を表している。この場合、検査エリア１２０の吐出結果から、白丸「○」に相当するノズル孔Ａと、基準ラインから外れた黒丸「●」に相当するノズル孔Ｂと、が吐出不良の疑いのあるノズル孔と特定される。
【００７１】
そして次の検査作業において、吐出不良のノズル孔Ａおよびノズル孔Ｂを検査対象のノズル孔として、上記の画像認識ユニット９による撮像を行う。すなわち、液滴吐出ヘッド２０を画像認識ユニット９の位置に移動させ、「微振動波形」を印加し、メニスカス面が内部に引き込むタイミングでノズル孔Ａおよびノズル孔Ｂの撮像を行う。これにより、同図（ｃ）に示すように、メニスカメ面の照射ムラという事態すら生じないことはもとより（同図（ｂ）参照）、撮像した画像には、メニスカス面の引き込みにより露出したノズル孔５３の吐出側の部位も含ませることができ、異物Ｃを照射ムラとは無関係にクローズアップさせることができる。
【００７２】
したがって、撮像した画像を、画像処理あるいはオペレータにより観察することで、ノズル孔５３の吐出側の部位に付着した異物Ｃの有無を容易に且つ効率よく検査することができる。なお、ノズル孔Ｂのように機能液滴の飛行曲がりが生じる要因は、一般的に同図（ｂ）および（Ｃ）に示す異物Ｃであることが知られている。また、ノズル孔Ａのように機能液滴の不吐出は、ノズル５２における機能液の増粘が原因であると考えられる。
【００７３】
このように、異物Ｃや不吐出が発見された場合には、液滴吐出ヘッド２０を吸引ユニットの位置に移動させ、液滴吐出ヘッド２０に対し吸引処理を行うことで、かかる不具合を解消し得る。あるいは、液滴吐出ヘッド２０をフラッシングユニットの位置に移動させ、液滴吐出ヘッド２０にフラッシング動作させてもよい。これらの回復処理を行ってもノズル孔５３が吐出不良ノズルと特定される場合には、そのノズル孔５３を吐出させない設定とするか、液滴吐出ヘッド２０を交換する処置をとればよい。
【００７４】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の材料からなる機能液を用いることで、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【００７５】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に説明し、他のデバイスについても簡単に説明する。
【００７６】
図１１は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【００７７】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【００７８】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド２０により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド２０により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。
【００７９】
同様に、図１２を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【００８０】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【００８１】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド２０に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。
【００８２】
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【００８３】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００８４】
金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００８５】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【００８６】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【００８７】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００８８】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２０に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２０を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００８９】
【発明の効果】
本発明のノズル孔の画像認識方法・装置によれば、液滴吐出ヘッドに印加した駆動波形により、ノズル孔のメニスカス面を所定の位置へと移行させて撮像しているため、ノズル孔を常に同一条件のもとで撮像できる。したがって、液滴吐出ヘッドの移動動作等に関らず、これに機能液を充填した状態において、ノズル孔の画像認識精度を高めることができると共に、画像処理のプロセスを単純化できる。
【００９０】
本発明のノズル孔の検査方法によれば、ノズル孔のメニスカス面が内部に引き込まれる駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加し、このタイミングでノズル孔の撮像を行うため、ノズル孔の吐出側の部位を画像として撮り込むことができる。したがって、その画像を観察等することで、ノズル孔の吐出側の部位に付着した異物の有無を容易に且つ適切に検査することができる。
【００９１】
本発明の液滴吐出ヘッドの位置補正方法によれば、上記のノズル孔の画像認識方法を用いて、液滴吐出ヘッドの位置データを補正するため、液滴吐出ヘッドの位置補正を高精度且つ迅速に行うことができる。
【００９２】
本発明の液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドが上記のノズル孔の画像認識装置を用いて位置補正されているため、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液をワークの目標位置に正確に着弾させることができる。
【００９３】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、機能液の着弾精度の良好な液滴吐出装置を用いて製造されるため、高品質で信頼性の高い各種の電気光学装置、電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の基本的構成を模式的に示した図であり、（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。
【図２】液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）斜視図、（ｂ）ノズル孔周りを拡大して示す断面図である。
【図３】液滴吐出装置の制御構成を示すブロック図である。
【図４】液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形を模式的に示した図であり、（ａ）吐出波形、（ｂ）微振動波形である。
【図５】微振動波形を印加しない場合におけるメニスカス面の影響を説明するための説明図であり、（ａ）ノズル孔周りの断面図、（ｂ）この撮像画面の模式図である。
【図６】微振動波形を印加した場合におけるメニスカス面の影響を説明するための説明図であり、（ａ）ノズル孔周りの断面図、（ｂ）この撮像画面の模式図である。
【図７】液滴吐出ヘッドの駆動動作、ストロボの駆動動作および認識カメラの撮込みを示すタイムチャートである。
【図８】実施形態に係る液滴吐出ヘッドの位置補正方法の処理フローを示すフローチャートである。
【図９】液滴吐出ヘッドの位置を平面的に示す説明図である。
【図１０】実施形態に係るノズル孔の検査方法について説明するための図であり、（ａ）検査エリアへの吐出結果を示した平面図、（ｂ）微振動波形を印加しない場合の撮像画面の模式図、（ｃ）微振動波形を印加した場合の撮像画面の模式図である。
【図１１】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１２】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１ 液滴吐出装置
９ 画像認識ユニット
２０ 液滴吐出ヘッド
４２ ノズル面
５２ ノズル
５３ ノズル孔
６２ 圧電素子
７１ ストロボ
７２ 認識カメラ
９７ ヘッド駆動ドライバ
９８ ストロボ駆動ドライバ
１２０ 検査エリア
４５０ 液晶表示装置
５００ 有機ＥＬ装置
Ｗ 基板（ワーク）

Claims (13)

  1. 機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これを画像認識するノズル孔の画像認識方法において、
    前記ノズル孔のメニスカス面を単周期微動させる駆動波形の前記液滴吐出ヘッドへの印加に同期させて、当該ノズル孔を撮像することを特徴とするノズル孔の画像認識方法。
  2. 前記駆動波形により、前記メニスカス面が前記ノズル孔の内部に引き込まれるタイミングで前記撮像が行われることを特徴とする請求項１に記載のノズル孔の画像認識方法。
  3. 前記ノズル孔に対し、ストロボを発光させて撮像を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のノズル孔の画像認識方法。
  4. 請求項１、２または３に記載のノズル孔の画像認識方法を用い、前記液滴吐出ヘッドのノズル孔の位置を画像認識する認識工程と、
    前記認識工程における認識結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの位置データを補正するデータ補正工程と、
    を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの位置補正方法。
  5. 機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これに付着する異物の有無を検査するノズル孔の検査方法において、
    前記ノズル孔のメニスカス面が内部に引き込まれる駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに印加し、このタイミングで当該ノズル孔の撮像を行うことを特徴とするノズル孔の検査方法。
  6. 前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔を有しており、
    検査エリアに対し、前記液滴吐出ヘッドの全ノズル孔から機能液を吐出させる検査吐出工程と、
    前記検査エリアの吐出結果から、吐出不良のノズル孔を特定する不良ノズル特定工程と、を有し、
    前記不良ノズル特定工程の後、前記吐出不良のノズル孔を検査対象のノズル孔として、前記液滴吐出ヘッドに前記駆動波形を印加して当該ノズル孔を撮像することを特徴とする請求項５に記載のノズル孔の検査方法。
  7. 機能液を充填した状態の液滴吐出ヘッドのノズル孔を撮像し、これを画像認識するノズル孔の画像認識装置において、
    前記ノズル孔に撮像光を照射するストロボと、
    前記ストロボにより照射された前記ノズル孔を撮像する認識カメラと、
    前記ノズル孔のメニスカス面を単周期微動させる駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに印加するヘッド駆動ドライバと、
    前記液滴吐出ヘッドへの前記駆動波形の印加に同期して、前記ストロボを発光させるストロボ駆動ドライバと、
    を備えたことを特徴とするノズル孔の画像認識装置。
  8. 前記駆動波形は、前記メニスカス面を前記ノズル孔の内部に引き込ませる波形であり、
    前記ストロボ駆動ドライバは、前記メニスカス面が前記ノズル孔の内部に引き込むタイミングで前記ストロボを発光させることを特徴とする請求項７に記載のノズル孔の画像認識装置。
  9. 前記認識カメラは、前記液滴吐出ヘッドのノズル面に対向する位置に固定されていることを特徴とする請求項７または８に記載のノズル孔の画像認識装置。
  10. ワークに対し、液滴吐出ヘッドを相対的に移動させてノズル孔から機能液の選択的な吐出を行う液滴吐出装置において、
    請求項７、８または９に記載のノズル孔の画像認識装置と、
    前記液滴吐出ヘッドの位置データを記憶した記憶手段と、を備え、
    前記位置データは、前記ノズル孔の画像認識装置によるノズル孔の位置の画像認識結果に基づいて補正されたデータであることを特徴とする液滴吐出装置。
  11. 請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、
    前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、前記ワークとなる基板上に成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  12. 請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、
    前記液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を、前記ワークとなる基板上に有することを特徴とする電気光学装置。
  13. 請求項１２に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
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