JP2004241447A - 回路装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】半導体素子13とバイパスコンデンサ14が内蔵された回路装置10を提供する。
【解決手段】本発明の回路装置10は、少なくとも1層の導電パターンと、導電パターンに固着される回路素子13と、回路素子および導電パターンを被覆して全体を支持する封止樹脂16とを具備し、回路素子は、半導体素子13および半導体素子13の近傍に配置されたバイパスコンデンサ14から成り、電源または接地電位と接続される前記導電パターン上に、前記バイパスコンデンサが配置される構成と成っている。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路装置に関し、特に半導体素子とバイパスコンデンサとが内蔵された回路装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、電子機器にセットされる回路装置は、携帯電話、携帯用のコンピューター等に採用されるため、小型化、薄型化、軽量化が求められている。例えば、回路装置として半導体装置を例にして述べると、一般的な半導体装置として、最近ではCSP(チップサイズパッケージ)と呼ばれる、チップのサイズと同等のウェハスケールCSP、またはチップサイズよりも若干大きいサイズのCSPが開発されている(例えば、特許文献1を参照)。
【0003】
図6は、支持基板としてガラスエポキシ基板101を採用した、チップサイズよりも若干大きいCSP100を示すものである。ここではガラスエポキシ基板101にトランジスタチップTが実装されたものとして説明していく。
【0004】
このガラスエポキシ基板101の表面には、第1の電極102A、第2の電極102Bおよびダイパッド103が形成され、裏面には第1の裏面電極105Aと第2の裏面電極105Bが形成されている。そしてスルーホールTHを介して、前記第1の電極102Aと第1の裏面電極105Aが、第2の電極102Bと第2の裏面電極105Bが電気的に接続されている。またダイパッド103には前記ベアのトランジスタチップTが固着され、トランジスタのエミッタ電極と第1の電極102Aが金属細線104を介して接続され、トランジスタのベース電極と第2の電極102Bが金属細線104を介して接続されている。更にトランジスタチップTを覆うようにガラスエポキシ基板101に樹脂層106が設けられている。このような構成を有するCSP100は、ガラスエポキシ基板101を採用するが、ウェハスケールCSPと違い、チップTから外部接続用の裏面電極105A、105Bまでの延在構造が簡単であり、安価に製造できるメリットを有する。
【0005】
図7を参照して、上記したCSP100等の素子が、実装基板PSに実装されることにより、1つのモジュールが構成される。実装基板PSには、CSPの他にも、半導体素子を内蔵する回路装置110、チップ抵抗CRおよびチップコンデンサCCが表面および裏面に実装されている。そして、実装基板PSの表面および裏面に形成された導電路により個々の回路素子は電気的に接続されていた。この様な構造で、例えば携帯、OA機器等の中に実装されるモジュールが構成されていた。また、CSP100に内蔵される半導体素子には、デジタル回路やアナログ回路等が内蔵されている。そして、これらの回路の誤作動防止または動作の安定化を目的として、チップコンデンサCCを、バイパスコンデンサとして用いる場合もあった。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−339151号公報(第1頁、第1図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図7に示すような従来例では、CSP100に内蔵される半導体素子とチップコンデンサCCとは、CSP100内部の導電路および基板PSの表面に形成される導電路を経由して、電気的に接続されていた。従って、バイパスコンデンサとして機能するチップコンデンサCCと、半導体素子との距離が長くなってしまい、半導体素子の誤作動防止ができない問題があった。
【0008】
更に、半導体素子とチップコンデンサCCとが別個の回路装置として基板PSに実装されていることから、基板PSのサイズが大型のものとなってしまう問題があった。
【0009】
本発明は上記した問題を鑑みて成されたものであり、本発明の主な目的は、半導体素子とバイパスコンデンサとが内蔵された小型の回路装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の回路装置は、中央部に配置された半導体素子と、前記半導体素子の外周部に設られ、前記半導体素子と導電パターンとの接続を行う接続領域と、前記接続領域の外側の領域に延在する前記導電パターンに固着されたバイパスコンデンサとを具備することを特徴とする。
【0011】
更に、本発明の回路装置は、少なくとも1層の導電パターンと、前記導電パターンに固着される回路素子と、前記回路素子および前記導電パターンを被覆して全体を支持する封止樹脂とを具備し、前記回路素子は、半導体素子および前記半導体素子の近傍に配置されたバイパスコンデンサから成り、電源または接地電位と接続される前記導電パターン上に、前記バイパスコンデンサが配置されることを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
一般に樹脂封止されたパッケージ、CSP等の半導体装置は、プリント基板や金属基板等に実装される。例えば携帯電話等の電子機器では、この中の部分的なシステムを担う回路がプリント基板等に実装されている。上記した半導体装置もこのシステムの一部を担う。ここで、半導体装置の周囲には一般的に外付け部品として、ノイズ対策の為の多数個のチップコンデンサが、半導体装置周囲のプリント基板上に固着されている。これらノイズ対策品としてのチップコンデンサ(バイパスコンデンサ)は、その容量の大きさのために半導体素子の表面に作り込むことは現状ではできない。バイパスコンデンサは、半導体素子に別の付加機能を追加するものではなく、半導体素子へ侵入するノイズの除去および動作の安定化のためのものである。従って、バイパスコンデンサは、半導体素子の機能を最良の状態にするためのものであると言える。
【0013】
本発明は、上記問題点を考え、半導体素子の直近にバイパスコンデンサを設けることによりこの問題を解決し、更に、実装基板上に別途にバイパスコンデンサを固着する作業工程を省くことができる。ここでは、半導体素子はアナログ回路およびデジタル回路が作りこまれたものであり、両回路に電源を供給するために、チップコンデンサは2個以上が必要となるが、本発明はこれらを1つのパッケージ内に収納させたものである。
【0014】
しかも、半導体素子と導電パターンとを接続する金属細線の接続部から、バイパスコンデンサまでの距離は、金属細線の長さと同等か若しくはそれ以下の距離で接続されている。また、中央部に配置された半導体素子の周囲を囲むように、バイパスコンデンサの長手方向が半導体素子の側辺に沿って配置されている。従って、パッケージ品としての回路装置の一側辺の長さは、半導体素子の一側辺の長さと、バイパスコンデンサの短手方向の長さを加算した長さとほぼ同等にすることができる。即ち、半導体素子とそのノイズ対策品としてのバイパスコンデンサとを内蔵しているにも係わらず、小型の回路装置を提供することができる。
【0015】
図1を参照して、本発明の回路装置10の構成を説明する。図1(A)は回路装置10の断面図であり、図1(B)は図1(A)のX−X’での平面図である。本発明の回路装置10は、中央部に配置された半導体素子13と、半導体素子13の外周部に設られ、半導体素子13と導電パターンとの接続を行う接続領域と、接続領域の外側の領域に延在する導電パターン11、12に固着されたバイパスコンデンサ14とを具備する構成となっている。更に、本発明の回路装置10は、少なくとも1層の導電パターンと、導電パターンに固着される回路素子13と、回路素子および導電パターンを被覆して全体を支持する封止樹脂16とを具備し、回路素子は、半導体素子13および半導体素子13の近傍に配置されたバイパスコンデンサ14から成り、電源または接地電位と接続される前記導電パターン上に、前記バイパスコンデンサが配置される構成と成っている。このような構成を以下にて詳述する。
【0016】
図1(A)を参照して、導電パターンは第1の導電パターン11および第2の導電パターン12とから構成される。これらの導電パターンはロウ材の付着性、ボンディング性、メッキ性が考慮されてその材料が選択され、材料としては、Cuを主材料とした導電箔、Alを主材料とした導電箔またはFe−Ni等の合金から成る導電箔等が採用される。ここでは、第1の導電パターン11と第2の導電パターン12とは絶縁層20を介して2層に積層されている。そして、各々の導電パターンは、接続手段17(コンタクトホールまたはスルーホール)により電気的に接続されている。また、導電パターンは、主に接地電位と接続される導電パターンと電源と接続される導電パターンとから構成されるが、このことの詳細は、図2および図3を参照して後述する。また、絶縁層20を介して3層以上に積層された導電パターンが形成されても良い。
【0017】
また、第1の導電パターン11および第2の導電パターン12は、被覆樹脂18によりほぼ全域が覆われている。第1の導電パターン11は、半導体素子13またはバイパスコンデンサ14との電気的接続を行う箇所を除いた領域が、被覆樹脂18により覆われている。第2の導電パターン12は、外部電極19が形成される箇所を除いた領域が、被覆樹脂18により覆われている。
【0018】
図1(B)を参照して、半導体素子13は回路装置10の中央部付近に配置され、第1の導電パターン11と電気的に絶縁して固着されている。半導体素子13の表面には、デジタル信号を処理する回路とアナログ信号を処理する回路等が密に構成されている。また、数百ギガヘルツ以上の周波数で動作するデジタル回路やアナログ回路が、半導体素子13の表面に形成されてもよい。半導体素子13の周辺部には電極が形成されており、金属細線15を介して、半導体素子13周辺部の第1の導電パターン11と接続されている。即ち、半導体素子13の周辺部には、第1の導電パターン11により接続領域が形成されている。また、半田ボール等のバンプを用いて、半導体素子13をフェイスダウンで第1の導電パターン11に接続することも可能である。この場合は、半導体素子13と第1の導電パターン11との接続距離を更に短くすることができる。
【0019】
バイパスコンデンサ14は、周辺部付近の第1の導電パターン11に半田等のロウ材を介して固着されている。ここでは、複数個のバイパスコンデンサ14が、その長手方向と回路装置10の周辺部とが平行になるように、複数個が配置されている。また、バイパスコンデンサ14は、第1の導電パターン11および金属細線15を介して、半導体素子13の電源端子に接続されている。従って、半導体素子13に形成された回路の、誤作動防止および動作の安定化を行うことができる。更に、バイパスコンデンサ14としては、比較的容量の大きいチップコンデンサを用いることができる。
【0020】
また、バイパスコンデンサ14は、半導体素子13が有する個々の電源端子および接地端子に対応して設けられている。即ち、半導体素子13の電源端子および接地端子は、金属細線15を介して第1の導電パターン11に接続され、この第1の導電パターン11を跨ぐようにして1つのバイパスコンデンサ14が固着されている。従って、半導体素子13の全ての電源端子に安定した値の電圧の電源を供給することができる。更にまた、バイパスコンデンサ14は、一方の電極が接地端子となる第1の導電パターン11に固着され、他方の電極が電源に接続された第1の導電パターン11に固着されている。
【0021】
封止樹脂16は、半導体素子13、金属細線15および導電パターンを被覆している。封止樹脂16としては、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂を全般的に採用することができる。更に、本発明の回路装置10は、封止樹脂16により全体が支持されている。即ち、装置の薄型化およびパターンの微細化を実現するために、各導電パターンの厚さは50〜70μm以下に薄く形成されており、好適には、10〜30μm程度に形成される。そして、導電パターンは、封止樹脂16の剛性により全体が支持されている。
【0022】
上記した構成により、本発明の回路装置10の平面的な大きさは、半導体素子13、接続領域、バイパスコンデンサ14およびそれらの間隔により決定される。具体的には、回路装置10の中央部に半導体素子13が配置され、半導体素子13の周辺部に接続領域が設けられ、接続領域を囲むように複数個のバイパスコンデンサ14が配置されている。更に、バイパスコンデンサ14はその長手方向を半導体素子13の側面と平行にして配置されている。従って、半導体素子13の周辺部から回路装置10の外周部までの長さは、接続領域の幅とバイパスコンデンサ14の短手方向の長さと、それらの間隔とを加算した長さになる。
【0023】
図2を参照して、第1の導電パターン11の構成を説明する。図2(A)は回路装置10の断面図であり、図2(B)は図1(A)のX−X’での平面図である。即ち、図2(B)では、第1の導電パターン11の配置を示している。
【0024】
図2(B)を参照して、第1の導電パターン11は、電源と接続される電源パターンと、接地電位と接続される接地パターンから主に成る。同図では、電源と接続される第1の導電パターン11をクロスのハッチングで示し、接地電位と接続される第1の導電パターン11を斜線のハッチングで示している。
【0025】
具体的に各パターンの説明を行うと、第1の電源パターン11Aは、半導体素子13が有するデジタル回路の電源端子と接続されたパターンである。第1の接地パターン11Bは、半導体素子13が有するデジタル回路の接地端子と接続されたパターンである。第2の電源パターン11Cは、半導体素子13が有するアナログ回路の電源端子と接続されたパターンである。第2の接地パターン11Eは、半導体素子13が有するアナログ回路の接地端子と接続されたパターンである。また、上記のパターンの他にも、金属細線15のボンディングパッドとなるパッド部11Eや、外部の水晶発振部と接続されたパターンが構成されてもよい。また、図2(B)では、半導体素子13が載置される領域を点線で示している。
【0026】
第1の電源パターン11Aは、第1の接地パターン11Bよりも幅が狭く形成されている。これは、第1の電源パターン11Aから射出される電磁波が半導体素子13の回路に与える影響を最小にするためである。第1の電源パターン11Aから発生する電磁波の半導体素子13への影響を最小にするためには、半導体素子13を迂回して第1の電源パターン11Aを引き回すことが考えられる。しかしながら、回路装置10の小型化やパターンの高密度化を優先して、本発明では、第1の電源パターン11Aは、半導体素子13の下方にも延在している。従って、第1の電源パターン11Aをできうる限り細くすることにより、そこから発生する電磁波の量を最小化して、半導体素子13の回路に与える影響を抑止することができる。また、上記のことより、半導体素子13の下方に寄生容量が発生してしまうことも抑制することができる。更に上記のことは、第2の電源パターン11Cについても同様である。
【0027】
更に、第1の電源パターン11Aは、第1の接地パターン11Bにより囲まれている。電磁波(ノイズ)が発生する第1の電源パターン11Aに近接して、第1の接地パターン11Bを設けることにより、その電磁波を導電パターンの延在方向に局在化することができる。従って、第1の電源パターン11Aが半導体素子13に与える悪影響を最小にすることができる。このような構成および効果は、第2の電源パターン11Cおよび第2の接地パターン11Dについても同様である。
【0028】
図3を参照して、第2の導電パターン12の構成を説明する。図3(A)は回路装置10の断面図であり、図3(B)は図1(A)のX−X’での平面図である。即ち、図3(B)では、下層の第2の導電パターン12の構成を示している。
【0029】
図3(B)を参照して、第2の導電パターン12は、電源と接続される電源パターンと、接地電位と接続される接地パターンと、外部電極19が形成されるパッド部12Eから主に成る。同図では、電源と接続される第2の導電パターン12をクロスのハッチングで示し、接地電位と接続される第2の導電パターン12を斜線のハッチングで示している。
【0030】
具体的には、第1の電源パターン12Aは、半導体素子13が有するデジタル回路に電源端子と接続されたパターンである。第1の接地パターン12Bは、半導体素子13が有するデジタル回路の接地端子と接続されたパターンである。第2の電源パターン12Cは、半導体素子13が有するアナログ回路の電源端子と接続されたパターンである。第2の接地パターン12Eは、半導体素子13が有するアナログ回路の接地端子と接続されたパターンである。
【0031】
第2の導電パターン12は、第1の導電パターン11と比較すると半導体素子13からの距離が長いことから、第2の導電パターン12から発生する電磁波の問題は、第1の導電パターン11が有する問題よりも小さい。しかしながら、上述したように、外部からの影響を受けやすいアナログ回路が半導体素子13に形成されていることから、第2の導電パターン12もノイズ対策が施されている。
【0032】
具体的には、第1の電源パターン12Aは、第1の接地パターン12Bよりも細く形成されている。このことによる効果は上述したので省略する。そして、第1の電源パターン12Aおよび第2の電源パターン12Cは、第1の接地パターン12Bおよび第2の接地パターン12Dにより囲まれて配置されている。上述した第1の導電パターン11では、第1の電源パターン11Aは第1の接地パターン11Bで囲まれ、第2の電源パターン11Cは第2の接地パターン11Dにより個別に囲まれていた。ここでは、第1の電源パターン12Aに隣接して第2の電源パターン12Cが設けられ、両電源パターンを囲むようにして、左側に第1の接地パターン12Bが設けられ、右側に第2の接地パターン12Dが設けられている。従って、第1の電源パターン12Aおよび第2の電源パターン12Cから発生する電磁波を、第2の導電パターン12の延在方向に局在化することができる。従って、両電源パターンから発生する電磁波が半導体素子13に与える影響を抑制することができる。
【0033】
電源パターンおよび接地パターンを除いた領域には、裏面に外部電極19が付着されるパッド部12Eが形成される。パッド部12Eは、半導体素子13の近傍まで配線部が延在して、第1の導電パターン11および金属細線を介して、半導体素子13と電気的に接続している。
【0034】
図4を参照して、回路装置10の裏面の構造に関して説明する。図4(A)は回路装置10の断面図であり、図4(B)は図1(A)のX−X’での平面図である。
【0035】
図4(B)を参照して、第2の導電パターン12の裏面には、半田等のロウ材から成る外部電極19が多数個形成されている。ここでは、裏面の周辺部付近に、2列に外部電極19が整列している。そして、半導体素子13の載置領域に対応する裏面には、マトリックス状の外部電極19が形成されている。ここでは、外部電極19は、電源端子、接地端子、デジタル信号の入出力端子、アナログ信号の入出力端子、電流が流れないダミー端子等を構成している。
【0036】
図5を参照して、回路装置10の回路構成の概略を説明する。回路装置10に内蔵される半導体素子13は、金属細線15、導電パターンを経由して外部電極と電気的に接続されており、同図では、この外部電極19を円印で示している。
【0037】
DVDDは半導体素子13のデジタル回路に電源が供給される端子であり、第1の電源パターン11Aを介して半導体素子13と接続されている。DVSSは接地電位となっており、第1の接地パターン11Bを介して半導体素子13のデジタル回路と接続されている。AVDDは半導体素子13のアナログ回路に電源が供給される端子であり、第2の電源パターン11Cを介して半導体素子13と接続されている。AVSSは接地電位となっており、第2の接地パターン11Dを介して半導体素子13のアナログ回路と接続されている。
【0038】
Ainはアナログ信号が入力される端子であり、Dinはデジタル信号が入力される端子である。両者とも導電パターンおよび金属細線を介して半導体素子13と接続されている。また、AoutおよびAinは、アナログ信号およびデジタル信号が出力される端子である。
【0039】
バイパスコンデンサ14は、第1の導電パターン11Aと第1の接地パターン11Bとを短絡させるように設けられている。従って、印可される電源の電圧値を安定化させることができるので、半導体素子13に設けられたデジタル回路の誤動作を防止でき、更に、副射ノイズの発生を抑制することができる。また、第2の電源パターン11Cおよび第2の接地パターン11Dを短絡させるように、バイパスコンデンサ14が設けられている。従って、半導体素子13のアナログ回路の動作の安定化を図ることができる。
【0040】
上記から明らかなように、本発明では、バイパスコンデンサ14が回路装置に内蔵されており、更に、半導体素子13に極めて近い位置にあるので、このようなバイパスコンデンサ14の効果を最大にすることができる。従って、AinおよびDinから入力したアナログ信号およびデジタル信号は、半導体素子13内部で処理された後に、AoutおよびDoutから安定して出力される。
【0041】
以上にて本発明の回路装置10の構成について説明を行ったが、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。例えば、上述の説明では、第1の導電パターン11および第2の導電パターン12に於いて、電源パターンは接地パターンよりも細く形成されるが、電源パターンを接地パターンよりも太く形成することも可能である。具体的には、半導体素子13に形成される回路に大電流が流れる場合、その電流量に応じて電源パターンは太く形成される。このような場合は、接地パターンに比して電源パターンが太くなることも考えられる。電源パターンが太くなるに応じて、そこから発生する電磁波(ノイズ)の量も多くなるが、電源パターンを接地パターンで囲むことにより、その電磁波が半導体素子13に悪影響を与えるのを防止することができる。
【0042】
【発明の効果】
本発明では、以下に示すような効果を奏することができる。
【0043】
本発明の回路装置10では、中央部に設けた半導体素子13の周囲に、半導体素子13と導電パターン11とを接続する接続領域を設け、更に接続領域を囲むようにバイパスコンデンサ14を配置している。従って、ノイズ対策が施され且つ小型の回路装置を提供することができる。従って、このような回路装置10をセットに組み込むことにより、別途に用意されるノイズ対策を不要にすることができる。
【0044】
更に、半導体素子13とバイパスコンデンサ14とは、金属細線12および第1の導電パターン11を介して極めて短い距離で接続されているため、バイパスコンデンサ14の効果を最大にすることができる。また、個々の一対の接地端子および電源端子に対して、一つのバイパスコンデンサを組み込むことができるので、半導体素子13の誤作動防止および動作安定化の効果を更に向上させることができる。
【0045】
更に、第1の導電パターン11および第2の導電パターン12の電源と接続されるパターンは、できるだけ細く形成される。従って、電源パターンから発生する電磁波に起因した半導体素子13の誤動作を抑制することができる。
【0046】
更に、第1の導電パターン11および第2の導電パターン12では、電源パターンを接地パターンで囲んでいることから、電源パターンから発生する電磁波に起因した半導体素子13の誤動作を更に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回路装置を説明する断面図(A)、平面図(B)である。
【図2】本発明の回路装置を説明する断面図(A)、平面図(B)である。
【図3】本発明の回路装置を説明する断面図(A)、平面図(B)である。
【図4】本発明の回路装置を説明する断面図(A)、平面図(B)である。
【図5】本発明の回路装置を説明する回路図である。
【図6】従来の回路装置を説明する断面図である。
【図7】従来の回路装置を説明する断面図である。
【符号の説明】
10 回路装置
11 第1の導電パターン
11A 第1の電源パターン
11B 第1の接地パターン
11C 第2の電源パターン
11D 第2の接地パターン
12 第2の導電パターン
12A 第1の電源パターン
12B 第1の接地パターン
12C 第2の電源パターン
12D 第2の接地パターン
13 半導体素子
14 バイパスコンデンサ
15 金属細線
16 封止樹脂
17 接続手段
18 被覆樹脂
19 外部電極
20 絶縁層

Claims (15)

  1. 中央部に配置された半導体素子と、
    前記半導体素子の外周部に設られ、前記半導体素子と導電パターンとの接続を行う接続領域と、
    前記接続領域の外側の領域に延在する前記導電パターンに固着されたバイパスコンデンサとを具備することを特徴とする回路装置。
  2. 前記半導体素子と前記導電パターンとの接続は、金属細線により行うことを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  3. 前記導電パターンは前記半導体素子の下方にも延在され、電源と接続される前記導電パターンは、接地電位と接続される前記導電パターンよりも細く形成されることを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  4. 前記導電パターンは前記半導体素子の下方にも延在され、接地電位と接続される前記導電パターンは、電源と接続される前記導電パターンの両側に配置されることを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  5. 前記半導体素子は回路装置の中央部に配置され、前記半導体装置を囲むように複数個の前記バイパスコンデンサが配置されることを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  6. 前記半導体装置には、アナログ信号の処理を行う回路とデジタル信号の処理を行う回路とが構成されることを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  7. 前記導電パターンは、多層の配線構造を有することを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  8. 前記バイパスコンデンサは、その長手方向が前記半導体素子の側辺と平行になるように配置されることを特徴とする請求項1記載の回路装置。
  9. 前記半導体素子から回路装置の外周部までの距離は、前記バイパスコンデンサの短手方向の長さと、前記半導体素子と前記バイパスコンデンサとの間隔により決定されることを特徴とする請求項8記載の回路装置。
  10. 少なくとも1層の導電パターンと、前記導電パターンに固着される回路素子と、前記回路素子および前記導電パターンを被覆して全体を支持する封止樹脂とを具備し、
    前記回路素子は、半導体素子および前記半導体素子の近傍に配置されたバイパスコンデンサから成り、
    電源または接地電位と接続される前記導電パターン上に、前記バイパスコンデンサが配置されることを特徴とする回路装置。
  11. 前記導電パターンは前記半導体素子の下方にも延在され、電源と接続される前記導電パターンは、接地電位と接続される前記導電パターンよりも細く形成されることを特徴とする請求項10記載の回路装置。
  12. 前記導電パターンは前記半導体素子の下方にも延在され、接地電位と接続される前記導電パターンは、電源と接続される前記導電パターンの両側に配置されることを特徴とする請求項10記載の回路装置。
  13. 前記半導体素子は回路装置の中央部に配置され、前記半導体装置を囲むように複数個の前記バイパスコンデンサが配置されることを特徴とする請求項10記載の回路装置。
  14. 前記半導体装置には、アナログ信号の処理を行う回路とデジタル信号の処理を行う回路とが構成されることを特徴とする請求項10記載の回路装置。
  15. 前記導電パターンは、多層の配線構造を有することを特徴とする請求項10記載の回路装置。
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JP2007294863A (ja) * 2006-03-31 2007-11-08 Sanyo Electric Co Ltd 回路装置
JP2011258757A (ja) * 2010-06-09 2011-12-22 Toshiba Corp 半導体装置

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