JP2004221430A - 半導体装置およびそのマスクパターン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボンディングパッド部において、パッド電極の下の層間絶縁膜に複数のスルーホールが設け、そこに金属膜を埋め込むことによりボンディング強度を向上させた半導体装置であって、該スルーホール(スルーホールパターン5’)が、ボンディングパッドの縦方向および横方向それぞれに複数配置され、ボンディングパッドの横方向の隣り合うスルーホールの間において、縦方向に延在する直線上にスルーホールが複数配置されており、該縦方向が半導体装置の電気的測定時にボンディングパッドにプローブが当てられる方向(A−A’方向)と一致している。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置、特に、ボンディング強度向上のため、ボンディングパッド部にスルーホールを設けたものにおいて、プロービング強度の低下を防止した半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ボンディング強度を向上させた半導体装置としては、従来、図10および図11に示すようなものがある(例えば、特許文献1参照。)。以下、これを従来技術1と称する。
【0003】
図10は、従来技術1のボンディングパッド部の平面図、図11は図10の10A−10A’における断面図を示している。
【0004】
従来技術1では、図11に示すように、半導体基板111上に形成された層間絶縁膜112aの上に、第1のパッド電極114aが形成され、第1のパッド電極114a上に、シリコン酸化膜等からなる層間絶縁膜112bが形成され、層間絶縁膜112bに複数のスルーホール115が形成されている。複数のスルーホール115には金属層116が埋めこまれ、その上面は層間絶縁膜112bよりも低くされている。第2のパッド電極114bが金属層116および層間絶縁膜112b上に形成され、それを覆う保護膜113に設けられた開口に露出した第2のパッド電極114bの上面がボンディングパッドとなる。
【0005】
従来技術1では、上記のようにスルーホール115に埋めこまれる金属層116の上面を層間絶縁膜112bよりも低くすることにより、第2の金属パッド114bと層間絶縁膜112bとの界面が凹凸になるため、第2の金属パッド114bと層間絶縁膜112bとの密着性が向上し、ボンディング時における界面の滑りが防止され、ボンディング強度が向上する。
【0006】
しかしながら、従来技術1では、パッド電極114bにプローブを当てて電気的測定を行なう際に、プローブが当たる時の衝撃によって、層間絶縁膜112bにクラックが発生するという問題が生じることがわかった。そしてその原因は、図10に示すように、複数のスルーホール115が、マトリクス状に整列しているため、10B−10B’線上のように、層間絶縁膜112bが直線状に連続して存在する部分があり、プローブをこの方向に当てると、その層間絶縁膜112bの直線状の連続した部分にクラックが発生し易いためであると判明した。すなわち、層間絶縁膜として用いられるシリコン酸化膜等の絶縁膜はクラックが発生し易い膜であるため、図12に示すように、プローブ120を図の矢印の方向に当てると、その方向における層間絶縁膜112bの直線状の連続した部分に121のようにクラックが発生する。また、下層のパッド電極114aは、一般に上層の電極よりも厚さを薄くする場合が多く、このような場合、プローブの当たる衝撃の程度によっては、層間絶縁膜112bだけでなく、その下のパッド電極114aまで、あるいはさらにその下の層間絶縁膜112aにまでクラックが達する場合もある。このように、大きなクラックが発生すると、ボンディング強度の低下等の問題が生じることとなる。
【0007】
一方、別の従来技術として、図13および図14に示されるようなものがある(例えば、特許文献2参照。)。以下、これを従来技術2と称する。
【0008】
図13は、従来技術2のボンディングパッド部の斜視図、図14は図13の13A−13A’における断面図を示している。
【0009】
従来技術2では、図14に示すように、半導体基板131上の絶縁膜132a上に形成された絶縁膜132bに複数の溝135が設けられ、その溝を埋め込むように電極層134が形成されている。電極層および絶縁膜132b上に絶縁膜133が形成され、該絶縁膜133に形成された開口に露出する電極層134の上面がボンディングパッドとなっている。複数の溝135は、図13のように、13A−13A’の方向に複数平行に配置されている。
【0010】
なお、従来技術2において、溝135は、図15の平面図に示すように、縦横に交差するように(格子状に)形成される場合もある。
【0011】
このような従来技術2においては、図13の13A−13A’の方向(溝135と交差する方向)には、絶縁膜132bが直線状にならず、不連続となっているため、プローブによる電気的測定の際、この方向にプローブを当てれば、上記従来技術1で生じるようなクラックの発生は防止、あるいは低減できると考えられる。溝135が図15のように形成される場合も同様である。
【0012】
【特許文献1】
特許第2964999号公報
【特許文献2】
特開2000−357708号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術2では、図14および図15のいずれも、溝135の開口面積が大きいために、溝形成のためのエッチングにおいて、加工が困難になるという問題が生じる。
【0014】
すなわち、この溝135を形成するためのエッチング処理は、図示しない素子領域においてスルーホールを形成するためのエッチング処理と同時に行なわれるのが工程の増加を防ぐために好ましいが、溝135の開口面積は、素子領域のスルーホールと比較して非常に大きいため、素子領域のスルーホールと溝135のエッチング速度は大きく異なることになる。そのため、素子領域のスルーホールとボンディングパッド部の溝135とを同時にそれぞれ所望の深さに加工するのは極めて困難である。
【0015】
したがって、本発明の目的は、ボンディングパッド部のボンディング強度を高くするとともに、プロービングにおいて層間絶縁膜にクラックが発生するのを防止することが可能であり、容易に製造することが可能な半導体装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体装置は、半導体基板上に選択的に設けられた第1パッド電極と、上記第1パッド電極上に設けられた第1絶縁膜と、上記第1パッド電極上において上記第1絶縁膜に選択的に設けられ、上記第1パッド電極に達する複数のスルーホールと、上記複数のスルーホールそれぞれに埋め込まれた金属層と、上記第1絶縁膜および上記複数のスルーホール上に選択的に設けられた第2パッド電極と、上記第2パッド電極の周辺部および上記第1絶縁膜を覆い、上記第2パッド電極の上記周辺部を除く上面を露出する開口を有する第2絶縁膜とを備え、上記第2パッド電極の上記開口に露出した上面がボンディングパッドとなる半導体装置であって、上記複数の第1スルーホールは、上記ボンディングパッドの縦方向および横方向それぞれに複数配置され、
上記横方向の隣り合う第1スルーホールの間において、上記縦方向に延在する直線上に上記第1スルーホールが複数配置されており、上記縦方向が上記半導体装置の電気的測定時に上記ボンディングパッドにプローブが当てられる方向と一致することを特徴としている。
【0017】
このように、本発明によれば、半導体装置の電気的測定の際、プローブの当たる方向には第1絶縁膜が連なって存在せず、その方向の直線上には必ず複数のスルーホールに埋め込まれた金属層が介在しており、金属層は外部からストレスが加わってもクラックが発生し難いため、プローブの押圧によるクラックの発生を抑制することができる。また、スルーホールは、ボンディングパッドの縦方向および横方向のいずれにも複数形成されているため、そのホールの大きさは、ボンディングパッド部以外の素子領域に形成されるスルーホールの大きさと同等、あるいは大きさの差を小さくすることができ、従って、容易に両者を同時に形成することが可能となる。
【0018】
また、本発明の半導体装置では、隣り合うスルーホールの間の領域を通る全ての方向の直線上に前記第1スルーホールが複数配置されていてもよい。かかる構成によれば、プローブの当たる方向が、上記縦方向と若干ずれた場合においても、そのずれた方向の直線上にも第1絶縁膜は連なって存在しないため、より確実にクラックの発生を防止できる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の上記および他の目的、特徴および利点を明確にすべく、添付した図面を参照しながら、本発明の実施の形態を以下に詳述する。
【0020】
〔第1実施例〕
図1は、本発明の第1実施例による半導体装置におけるボンディングパッド部のマスクパターンを示している。図2は、図1のA−A’線に対応するボンディングパッド部および素子領域の一部の断面図を示している。
【0021】
図2に示されるように、ボンディングパッド部は、半導体基板1上に設けられたシリコン酸化膜からなる層間絶縁膜2a上に第1のパッド電極4aが形成され、パッド電極4a上に、シリコン酸化膜からなる層間絶縁膜2bが形成され、層間絶縁膜2bに複数のスルーホール5が形成され、複数のスルーホール5には、タングステン膜が埋めこまれて金属プラグ6が形成されている。さらに、層間絶縁膜2bおよび複数の金属プラグ6上に第2の電極パッド4bが形成され、電極パッド4b上にシリコン酸化膜からなる層間絶縁膜2cおよび保護膜3としてポリイミド膜が形成され、電極パッド4bの上面を露出するように保護膜3および層間絶縁膜2cに開口が設けられている。
【0022】
図1における各パターンは、5’が図2のスルーホール5に、3’が図2の保護膜3の開口に、4a’がパッド電極4aに、4b’が電極パッド4bに対応している。なお、スルーホールパターン5’は正方形をなしているが、このマスクパターンを用いて形成される図2のスルーホール5は、角が丸くなるため、図10の従来技術におけるスルーホール115と同様に円形となる。
【0023】
本実施例のスルーホール5のマスクパターン5’は、図1に示されるように、本発明に従って、ボンディングパッド部におけるボンディングパッドの縁部を除く縦方向(A−A’方向)のいずれの場所においてもシリコン酸化膜2bがスルーホール5によって不連続とされるように配置されている。すなわち、横方向(B−B’方向)に隣り合うスルーホールの間の縦方向に延在する領域には、必ず複数のスルーホールが配置されている。なお、図1においては、スルーホールパターンは一部のみ示し、その他は省略しているが、実際はパッド全域(保護膜3の開口に露出する部分)に渡ってスルーホールが配置される。
【0024】
そして、上記のように配置された複数のスルーホール5を有するボンディングパッドが、パッド電極4bにプローブを当てて電気的測定を行なう際に、図1のA−A’の方向がプローブの当たる方向と一致するように半導体チップ上に配置される。すなわち、プローブ100は、図2に示されるような方向でパッド電極4bに押し当てられる。
【0025】
本実施例によれば、上記のように、プロービングの際、プローブが当たる方向において、シリコン酸化膜2bが不連続になっており、クラックの発生し難い材質である金属プラグ6が介在していることにより、プローブが電極パッド4bに当たる衝撃によってシリコン酸化膜2bに大きなクラックが発生することを防止することができる。プローブ100の当たった部分のシリコン酸化膜2bに若干のクラックが発生する場合もあるが、すぐ隣に金属プラグ6が存在することにより、クラックはそれ以上大きくならず、半導体装置として問題とならない程度にクラックの発生を抑えることができる。
【0026】
また、図2に示されるように、素子領域には、層間絶縁膜2a上に第1の配線7aが、層間絶縁膜2b上に第2の配線7bが形成され、第1および第2の配線7a,7bを接続するスルーホール8が層間絶縁膜2bに形成され、スルーホール8にはタングステン膜が埋めこまれて、第1および第2配線を電気的に接続する金属プラブ9が形成されている。
【0027】
本半導体装置の製造においては、第1の配線7aと第1のパッド電極4aとが同時に(同じ工程で)、第2の配線7bと第2のパッド電極4bとが同時に形成される。また、ボンディングパッド部のスルーホール5と素子部のスルーホール8とが同時に、タングステンプラグ6および9とが同時に形成される。
【0028】
スルーホール5および8は、層間絶縁膜2b上にレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクに、層間絶縁膜2bをエッチングすることにより同時に形成される。
【0029】
本実施例においては、図1に示されるように、ボンディングパッド部に形成されるスルーホールが、パッドの縦方向(プロービングの方向)だけでなく、横方向(プロービング方向と垂直な方向)にも複数形成されているため、ボンディングパッド部のスルーホール5の面積が、素子部のスルーホール9の面積に対して極端に大きくなってしまうことがない。従って、パッド部スルーホール5と素子部スルーホール9とを同時に形成する場合でも、エッチング速度に大きな差が生じないため、スルーホール5および9それぞれを所望の深さに形成することが可能となる。
【0030】
ここで、面積の異なるホールを同時に開口する場合、面積の小さいホールではエッチング速度が遅いため、アンダーエッチングに、面積の大きいホールではエッチング速度が早いため、オーバーエッチングになり、このエッチング速度の差が10%を越えると、製造上のエッチマージンを確保できない。したがって、パッド部のスルーホール5の面積を、素子部のスルーホール9の面積に対し、エッチング速度の差が10%以下となるような面積とするのが好ましい。
【0031】
このように、本実施例によれば、ボンディング耐性向上のためにパッド部に設ける複数のスルーホールを、該スルーホールが形成される層間絶縁膜がプロービングの方向に不連続となるように配置し、さらに、プロービング方向と垂直な方向にもスルーホールを複数配置した構成とすることにより、ボンディング耐性を向上させるとともに、プロービングにおけるクラックの発生を抑えることが可能であり、且つ加工性のよい半導体装置が得られる。
【0032】
なお、本実施例では、図2に示されるように、層間絶縁膜2bと第2パッド電極4bとの界面は平坦となっており、図11の従来技術のように凹凸にはなっていないが、図2のように平坦であっても、スルーホール5に埋めこまれるタングステンプラグ6は、パッド電極4bとの密着性が良いため、スルーホール5が複数設けられていることにより、層間絶縁膜2bおよびタングステンプラグ6の上面とパッド電極4bとの界面の密着性が高くなるため、十分なボンディング耐性が得られる。勿論、本発明においても、図11のように界面を凹凸にしてもかまわない。
【0033】
〔第2実施例〕
図3および図4は、本実施例による半導体装置におけるボンディングパッド部のマスクパターンを示している。
【0034】
図3は、図1のスルーホールパターン5’を十字状にした場合のマスクパターン、図4は、スルーホールパターン5’をL字状にした場合のマスクパターンを示している。
【0035】
図3および4のA−A’線に対応するボンディングパッド部および素子領域の一部の断面図は、実施例1と同様、図2のようになっている。なお、これらのスルーホールパターン5’を用いて形成されるスルーホール5の形状は、十字、L字の角部が丸みを帯びたものとなる。
【0036】
図3および図4においても、第1実施例と同様に、複数のスルーホールパターンが、A−A’の方向、すなわちプロービングの方向に層間絶縁膜であるシリコン酸化膜2bが不連続となるように配置されており、これにより、プロービング時のクラックを抑制することができる。
【0037】
また、十字・L字のスルーホールパターンの面積は、第1実施例と同様、素子部に形成されるスルーホールとこれら十字またはL字のスルーホールとを同時に形成する際に、エッチング速度の差が10%以下となるような大きさとされている。したがって、スルーホールの加工性も良い。
【0038】
さらに、本実施例では、図3および図4のように、ホールパターンを矩形以外の形状にすることにより、スルーホール5を第1実施例よりも密に配置することが可能となる。このように、スルーホール5(金属プラグ6)が密に配置されることにより、金属プラグ6および層間絶縁膜2bの上面と電極パッド4bの下面との界面の密着性が高まるため、第1実施例よりもさらにボンディング強度を向上させることができる。
【0039】
[第3実施例]
図5〜9は、本実施例による半導体装置におけるボンディングパッド部のマスクパターンを示している。図5〜9のA−A’線に対応するボンディングパッド部および素子領域の一部の断面図は、実施例1と同様、図2のようになっている。なお、これらのスルーホールパターン5’を用いて形成されるスルーホール5の形状も、角部が丸みを帯びたものとなる。
【0040】
図5〜9に示すように、本実施例では、スルーホールパターン5’がそれぞれ、階段状、V字、H字、T字、I字(長方形)、となっており、適宜向きを変える等して配置することにより、シリコン酸化膜2bが全ての方向に不連続とされている。すなわち、隣り合うスルーホールに挟まれた領域を通る全ての方向の直線上に、必ず複数のスルーホールが配置されている。
【0041】
また、図5〜9のスルーホールパターン5’の面積も、第1実施例と同様、素子部に形成されるスルーホールとこれらボンディングパッド部のスルーホール5とを同時に形成する際に、エッチング速度の差が10%以下となるような大きさとされている。したがって、スルーホールの加工性も良い。
【0042】
第1および第2実施例では、シリコン酸化膜2bがプロービングの方向に不連続となるようにスルーホール5を配置しており、これにより、プロービング時のクラックの発生を十分に抑えることが可能と考えられるが、プローブの押圧の仕方によっては、衝撃が大きくなる、あるいは衝撃の伝わる方向がプローブを当てる方向とずれてしまうというような場合も考えられ、このような場合、第1および第2実施例の構成では、クラックを十分に防止できない可能性も考えられる。すなわち、第1および第2実施例では、図1、3および4のB−B’線上のように、シリコン酸化膜2bが直線状に連続して存在する部分があり、この方向にプロービングの衝撃が伝わった場合、クラックが発生する可能性がある。
【0043】
これに対し、本実施例では、上記のようにシリコン酸化膜2bが全ての方向に不連続となるようなスルーホール5の形状および配置とすることにより、プロービング時にボンディングパッドに加わる衝撃の方向がプローブの方向とずれた場合でも、確実にクラックの発生を抑制することが可能となる。
【0044】
以上、本発明の実施の形態につき説明してきたが、本発明は上記各実施例に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施例は適宜変更され得ることは明らかである。
【0045】
例えば、スルーホールパターンは、上記したものに限らず、プロービングの方向に層間絶縁膜2bが不連続となるようにできるものであり、かつ加工性の良いものであればどのような形状でもよい。
【0046】
また、上記各実施例では、ボンディングパッドの縁部にはスルーホールが配置されない例を示したが、縁部に接して配置されるスルーホールがあっても構わない。
【0047】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、ボンディングパッド部にスルーホールを設けることによりボンディング強度を向上させるとともにプロービング時のクラック発生を抑制し、かつ加工性の良好な半導体装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図2】図1のA−A’線に対応する半導体装置の断面図である。
【図3】本発明の第2実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図4】本発明の第2実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図5】本発明の第3実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図6】本発明の第3実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図7】本発明の第3実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図8】本発明の第3実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図9】本発明の第3実施例による半導体装置のボンディングパッド部のマスクパターンを示す図である。
【図10】従来技術1による半導体装置のボンディングパッドの平面図である。
【図11】図10の10A−10A’における断面図である。
【図12】従来技術1における問題点を説明するためのボンディングパッドの平面図である。
【図13】従来技術2による半導体装置のボンディングパッドの斜視図である。
【図14】図13の13A−13A’における断面図である。
【図15】従来技術2の別の例によるボンディングパッドの平面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板
2a、2b、2c、112a、112b、132a、132b 層間絶縁膜
3、113、133 保護膜
4a、4b、114a、114b パッド電極
5、8、115 スルーホール
3’,4a’,4b’,5’ マスクパターン
6、9、116 金属プラグ
7a、7b 配線
100、120 プローブ
121 クラック
134 電極層
135 溝
Claims (11)
- 半導体基板上に選択的に設けられた第1パッド電極と、
前記第1パッド電極上に設けられた第1絶縁膜と、
前記第1パッド電極上において前記第1絶縁膜に選択的に設けられ、前記第1パッド電極に達する複数の第1スルーホールと、
前記複数の第1スルーホールそれぞれに埋め込まれた第1金属層と、
前記第1絶縁膜および前記複数の第1スルーホール上に選択的に設けられた第2パッド電極と、
前記第2パッド電極の周辺部および前記第1絶縁膜を覆い、前記第2パッド電極の前記周辺部を除く上面を露出する開口を有する第2絶縁膜とを備え、
前記第2パッド電極の前記開口に露出した上面がボンディングパッドとなる半導体装置であって、
前記複数の第1スルーホールは、前記ボンディングパッドの縦方向および横方向それぞれに複数配置され、
前記横方向の隣り合う第1スルーホールの間において、前記縦方向に延在する直線上に前記第1スルーホールが複数配置されており、前記縦方向が前記半導体装置の電気的測定時に前記ボンディングパッドにプローブが当てられる方向と一致することを特徴とする半導体装置。 - 隣り合う前記第1スルーホールの間の領域を通る全ての方向の直線上に前記第1スルーホールが複数配置されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1スルーホールの形状は、円形であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置。
- 前記第1スルーホールの形状は、円形以外であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置。
- 前記第1スルーホールの形状は、十字、L字、T字、I字、V字およびH字のいずれかであることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記ボンディングパッドが形成される領域と異なる領域において、
前記第1パッド電極と同一層に選択的に設けられた第1配線と、
前記第2パッド電極と同一層に選択的に設けられた第2配線と、
前記第1絶縁膜に選択的に設けられ、前記第1配線に達する第2スルーホールと、
前記第2スルーホールに埋め込まれ、前記第1配線と第2配線とを電気的に接続する第2金属層とを更に備え、
前記第1スルーホールの面積は、前記第2スルーホールの面積に対し、エッチング速度の差が10%以下となる面積であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。 - 半導体装置のボンディングパッドの下に設けられる複数のスルーホールの形成に用いられるマスクパターンであって、
縦方向および横方向それぞれに複数のスルーホールパターンを備え、
前記横方向の隣り合うスルーホールパターンの間において、前記縦方向に延在する直線上に前記スルーホールパターンが複数配置されていることを特徴とするマスクパターン。 - 隣り合う前記スルーホールパターンの間の領域を通る全ての方向の直線上に前記第1スルーホールが複数配置されていることを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
- 前記スルーホールパターンの形状は、矩形であることを特徴とする請求項7または8記載の半導体装置。
- 前記スルーホールパターンの形状は、矩形以外であることを特徴とする請求項7または8記載の半導体装置。
- 前記スルーホールパターンの形状は、十字、L字、T字、V字およびH字のいずれかであることを特徴とする請求項10記載の半導体装置。
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