JP2004191729A - 波長可変フィルタ - Google Patents
波長可変フィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004191729A JP2004191729A JP2002360581A JP2002360581A JP2004191729A JP 2004191729 A JP2004191729 A JP 2004191729A JP 2002360581 A JP2002360581 A JP 2002360581A JP 2002360581 A JP2002360581 A JP 2002360581A JP 2004191729 A JP2004191729 A JP 2004191729A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- transparent
- transparent electrode
- tunable filter
- reflecting mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【解決手段】第1の透明基板である石英ガラス8Aと、第1の反射ミラー5Aと、第1の透明電極4Aと、液晶層1と、第2の透明電極4Bと、第2の反射ミラー5Bと、第2の透明基板である石英ガラス8Bとを備え、この順序に配されて構成された波長可変フィルタであって、第2の反射ミラー5Bと第2の透明電極4Bとの間に透明層である石英ガラス2が形成されている波長可変フィルタとする。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長可変フィルタに関し、詳しくは波長多重された光信号から任意所望の波長の光信号を選択的にかつ可変に取り出す、波長可変フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】
波長分割多重通信においては、多数の波長の光パルスの中から、選択的に任意所望の波長の光のみを選び出す波長可変フィルタが必要となる。従来、様々な波長可変フィルタが検討されており、例えばエタロンのキャビティ内に液晶を充填し、電圧を印加することにより、液晶の実質的屈折率を変化させエタロンの光路長である光学的ギャップを変化させる液晶エタロン型波長可変フィルタがある。その液晶エタロン型波長可変フィルタにおいて、波長分割多重通信で必要な透過光ピークの半値幅を得るために、エタロンキャビティ内にガラス板を配置し、エタロンキャビティ長を長くしたものがある。
【0003】
図4に、従来の液晶エタロン型の波長可変フィルタの構成例を示す。ARコート9A、9Bが施されたガラス基板12A、12Bの内面側から透明電極4A、4B、反射ミラー5A、5Bが施されている。また、ガラス基板12Aにはさらに液晶用配向膜3Aが施され液晶層1と接している。ガラス基板12Bには、液晶用配向膜3Bが施された別のガラス基板11が重ねられ、液晶用配向膜3Bと液晶層1とが接している。ガラス基板12Aとガラス基板12Bとの間には、スペーサ7A、7Bおよびスペーサ用のガラス板13A、13Bとが挟まれており、ガラス基板12Aとガラス基板12Bとの間隔を一定に保っている。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−45618号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の液晶エタロン型波長可変フィルタでは、図4に示すようにキャビティの吸収を低減するためにエタロンキャビティ外に透明電極4A、4Bを配置していたため、液晶層1と透明電極4A、4Bとの距離が離れ液晶層1を駆動させるために必要な電圧が数十ボルトと、非常に大きな電圧が必要であった。しかし、液晶層駆動用に汎用駆動回路を使用するためには10V(ボルト)以下の低電圧が好ましく、また通電状態での高信頼性を確保するためにも液晶層への低電圧駆動が必要である。
【0006】
そこで本発明の目的は、液晶を充填した波長可変フィルタにおいて、10V以下の低電圧駆動ができる波長可変フィルタを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第1の透明基板と、第1の反射ミラーと、第1の透明電極と、液晶層と、第2の透明電極と、第2の反射ミラーと、第2の透明基板とを備え、この順序に配されて構成された波長可変フィルタであって、第1の反射ミラーと第1の透明電極との間および/または第2の反射ミラーと第2の透明電極との間に透明層が形成されていることを特徴とする波長可変フィルタを提供する。
【0008】
また、前記透明層がガラス基板からなり第1の反射ミラーと第1の透明電極との間に形成され、かつ2つの透明電極のうち少なくとも第1の透明電極がITO膜からなる上記の波長可変フィルタを提供する。
【0009】
さらに、第1および第2の透明電極が厚さ5〜10nmのITO膜からなる上記の波長可変フィルタを提供する。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明は波長可変フィルタに関するものであり、この波長可変フィルタは第1の透明基板と、第1の反射ミラーと、第1の透明電極と、液晶層と、第2の透明電極と、第2の反射ミラーと、第2の透明基板とを備えている。そしてこの順序に配置されて波長可変フィルタが構成されているが、さらに第1の反射ミラーと第1の透明電極との間、または第2の反射ミラーと第2の透明電極との間の透明層が形成されている。
【0011】
このように構成することにより、第1の透明電極と第2の透明電極との間、すなわち液晶層に印加すべき電圧を小さくできるという効果を生ずる。さらに、透明層を挟むことにより、広帯域光源からの光から特定の波長の光を選択的に共振するエタロンを構成でき、さらに、透過光ピークの半値幅を小さくできる。また、透明層は第1の反射ミラーと第1の透明電極との間および第2の反射ミラーと第2の透明電極との間に形成してもよい。
【0012】
ここで、反射ミラーとは、使用波長帯域である例えば波長1470〜1630nmからなる入射光に対して80%以上の反射率を有し、一部の光が透過するようゼロでない透過率を有するものである。また液晶層は所定の厚さを保持するために、公知のスペーサが用いられる。
【0013】
また、第1の透明基板および第2の透明基板の反射ミラーとは反対側の表面に反射防止膜を形成する。
【0014】
透明基板としては、例えばガラス基板、アクリルやポリカーボネートなどのプラスチック基板、SiやLiNbO3などの無機結晶からなる無機材料基板などが使用できる。反射ミラーとしては、例えば金属の薄膜、高屈折率誘電体膜と低屈折率誘電体膜を交互に波長オーダの光学膜厚程度で積層した誘電体多層膜などが使用できるが波長の選択性を持たせるためには誘電体多層膜が好ましく用いられる。誘電体多層膜を構成する高屈折率誘電体膜としてTa2O5、TiO2、Nb2O5、Siなどが用いられ、低屈折率誘電体膜としてSiO2、MgF2、Al2O3などが用いられる。
【0015】
また、透明電極としてはIn2O3にSnO2が添加されたITOなどの酸化物膜や、Au、Alなどの金属膜を用いることができる。ITO膜を用いる方が金属膜に比べ、透過性が高く、機械的耐久性が優れているため好ましい。
【0016】
なお、反射ミラーとして例えばSiとSiO2を交互に積層した誘電体多層膜の場合、不純物元素をドープしてSi膜層に導電性を付与することにより透明電極としても機能する。また、AuやAgなどの金属を薄膜化して用いることにより、光吸収は大きいが反射ミラーと電極の両方の機能を発現できる。
【0017】
さらに、使用する液晶としては、通常液晶ディスプレイなどで使用されるネマチック液晶が好ましく用いられるが、特にこれには限定されず、電圧印加に伴い実質的な屈折率変化が生じエタロン光路長である光学的ギャップを変化させる媒質であるような液晶も用いることができる。また、液晶以外でも、固体化された高分子液晶や3次元的微細構造を有する高分子網目中に液晶が含浸した高分子/液晶複合体などいずれでもよい。
【0018】
また、透明層が無機材料からなり、第1の反射ミラーと第1の透明電極との間に形成され、かつ2つの透明電極のうち少なくとも第1の透明電極がITO膜からなる波長可変フィルタとすることが好ましい。透明層がガラス基板であると、耐久性に優れ好ましく、石英ガラス基板であれば熱膨張および光吸収が小さく透過率が高いことからさらに好ましい。なお、第1の反射ミラーと第1の透明電極との間、または第2の反射ミラーと第2の透明電極との間のいずれでもよいが、一方の間に形成する方が波長可変フィルタを作製する工程数が少なく、作業効率がよいので好ましい。
【0019】
反射ミラーの形成されたガラス基板面に石英ガラスを接着した後、所望の厚さまで石英ガラスを研磨して透明層を形成してもよい。または、反射ミラーの形成されたガラス基板面に蒸着、CVDやスパッタなどの成膜法を用いて透明層を形成してもよい。
【0020】
さらに、第1および第2の透明電極が厚さ5〜10nmのITO膜からなる波長可変フィルタとすることが好ましい。透明電極のITO膜が10nmより厚いと光の吸収量が増加する。また、5nmより薄いとITO膜がアイランド状となり電気抵抗が大きくなる。
【0021】
【実施例】
図1に本実施例の波長可変フィルタの構造を模式的に示す。裏面にARコート9Aおよび9Bをあらかじめ形成した第1および第2の透明基板である石英ガラス基板8Aおよび8B上に、第1の反射ミラー5Aおよび第2の反射ミラー5Bとして波長1500nmから16nmで反射率95%および透過率約5%の誘電体多層膜を形成した基板100および基板110を作成した。
【0022】
厚さ45μmの石英ガラス基板2を透明層として、石英ガラスと屈折率がほぼ等しい接着剤で基板110の反射ミラー5B面に接着して基板120を作成した。基板100の反射ミラー5A面上および基板120の石英ガラス基板2面上に、膜厚が7nmのITOの第1の透明電極4Aおよび第2の透明電極4Bを形成し、第1の透明電極4Aおよび第2の透明電極4B上に、液晶用配向膜3Aおよび3Bを厚さ50nm形成し、それぞれ、対向する面内の液晶分子の配向方向が平行となるよう配向処理を施した。
【0023】
次に、石英ガラス基板2上に、液晶ディスプレイ用の直径7.5μmのスペーサ7Aおよび7Bをシール材6Aおよび6Bと混ぜ合わせた接着剤で、シールパターン層を形成し、液晶用配向膜3AおよびITO膜の第1の透明電極4Aの設けられた基板100を貼り合わせた。その後、配向膜3Aと3Bとの間にネマチック液晶を充填して液晶層1を形成した。
【0024】
このように作成した波長可変フィルタに対して、1550nm波長帯域で広い発光スペクトルを持つ広帯域光源からの光を、液晶分子の配向方向と同じ偏光方向で入射させ、その出射光を光スペクトルアナライザーで観測した。電圧無印加時の透過スペクトルを図2に示す。波長1550nm付近での2つのピークの間隔は14nm、その半値幅は0.36nmであり、透過光波長の最大透過率は約50%で、挿入損失は約3dBであった。
【0025】
さらに、この波長可変フィルタの液晶層1に、電源10を用いて矩形波状の交流電圧を、第1の透明電極4Aと第2の透明電極4Bを介して印加した場合の透過光ピーク波長の変化の測定結果を、図3に黒丸と実線で示す。約5Vの印加により約18nmの波長可変動作が確認されるとともに、波長変化は飽和しており液晶が駆動しきったことを示している。比較のために、図4に示した従来構成の場合の波長可変動作を、点線で図3に示した。
【0026】
本実施例では、厚さ45μmの石英ガラス基板2を第2の反射ミラー5B面に接着し、透明層とした構成例について説明したが、第1の反射ミラー5Aおよび第2の反射ミラー5Bの面上に、厚さ20μm程度のSiO2厚膜や透明なポリイミド膜、または厚さ10μm程度のSi膜などを成膜して、透明層としてもよい。
【0027】
また、液晶の駆動電圧を10V以下にするためには液晶層の厚さを15μm以下にする必要があるため、液晶層の厚さが15μm以下で、かつ、液晶層の厚さと、第1の反射ミラー5Aと第2の反射ミラー5Bの間に設けられる透明層の厚さの合計が15μm以上であることが好ましい。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液晶エタロン型の波長可変フィルタにおいて、エタロンキャビティ外に透明電極を配置する従来の構成とは異なり、エタロンキャビティー内に透明電極を配置することにより、液晶駆動電圧を10V以下に抑えることができ、さらに、透明電極の膜厚を7nmと薄くすることにより、従来の構成と同等の透過率を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶エタロン型の波長可変フィルタの構成例を示す側面図。
【図2】本発明の液晶エタロン型の波長可変フィルタの電圧無印加時の透過スペクトルを示す図。
【図3】本発明の液晶エタロン型の波長可変フィルタの透過光ピーク波長の電圧印加による波長変化を示す図。
【図4】従来の液晶エタロン型の波長可変フィルタの構成例を示す側面図。
【符号の説明】
1:液晶層
2、8A、8B:石英ガラス基板
3A、3B:液晶用配向膜
4A、4B:透明電極
5A、5B:反射ミラー
6A、6B:シール材
7A、7B:スペーサ
9A、9B:ARコート
10:矩形波交流電源
11、12A、12B:ガラス基板
13A、13B:スペーサ用のガラス板
Claims (3)
- 第1の透明基板と、第1の反射ミラーと、第1の透明電極と、液晶層と、第2の透明電極と、第2の反射ミラーと、第2の透明基板とを備え、この順序に配されて構成された波長可変フィルタであって、第1の反射ミラーと第1の透明電極との間および/または第2の反射ミラーと第2の透明電極との間に透明層が形成されていることを特徴とする波長可変フィルタ。
- 前記透明層がガラス基板からなり第1の反射ミラーと第1の透明電極との間に形成され、かつ2つの透明電極のうち少なくとも第1の透明電極がITO膜からなる請求項1記載の波長可変フィルタ。
- 第1および第2の透明電極が厚さ5〜10nmのITO膜からなる請求項1または2記載の波長可変フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002360581A JP4513258B2 (ja) | 2002-12-12 | 2002-12-12 | 波長可変フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002360581A JP4513258B2 (ja) | 2002-12-12 | 2002-12-12 | 波長可変フィルタ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004191729A true JP2004191729A (ja) | 2004-07-08 |
JP2004191729A5 JP2004191729A5 (ja) | 2005-12-02 |
JP4513258B2 JP4513258B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=32759623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002360581A Expired - Fee Related JP4513258B2 (ja) | 2002-12-12 | 2002-12-12 | 波長可変フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4513258B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008046162A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Canon Inc | 反射光学素子および撮像装置 |
US7711019B2 (en) | 2007-02-09 | 2010-05-04 | Fibest Limited | Variable wavelength light source |
JP4692486B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2011-06-01 | 株式会社大真空 | 光学フィルタおよび光学フィルタの製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05249426A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長選択フィルタ及び透過波長制御方法 |
JPH05249507A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光スイッチ及び光路切替方法 |
JPH06148692A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長可変液晶光フィルタ |
JPH08510334A (ja) * | 1993-04-30 | 1996-10-29 | ヴィデオジェット システムズ インターナショナル インコーポレイテッド | 光学装置 |
JPH11125801A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-05-11 | Yazaki Corp | 波長選択フィルタ |
-
2002
- 2002-12-12 JP JP2002360581A patent/JP4513258B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05249426A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長選択フィルタ及び透過波長制御方法 |
JPH05249507A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光スイッチ及び光路切替方法 |
JPH06148692A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長可変液晶光フィルタ |
JPH08510334A (ja) * | 1993-04-30 | 1996-10-29 | ヴィデオジェット システムズ インターナショナル インコーポレイテッド | 光学装置 |
JPH11125801A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-05-11 | Yazaki Corp | 波長選択フィルタ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4692486B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2011-06-01 | 株式会社大真空 | 光学フィルタおよび光学フィルタの製造方法 |
JP2008046162A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Canon Inc | 反射光学素子および撮像装置 |
US7711019B2 (en) | 2007-02-09 | 2010-05-04 | Fibest Limited | Variable wavelength light source |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4513258B2 (ja) | 2010-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4075781B2 (ja) | 波長可変フィルタ | |
US6271899B1 (en) | Tunable nano-phase polymer dispersed liquid crystal filter | |
JP3979982B2 (ja) | 干渉性変調器および表示装置 | |
EP1465004B1 (en) | Liquid crystal variable wavelength filter unit, and driving method thereof | |
US7372608B2 (en) | Light control device and light control system using the same | |
US9244266B2 (en) | Tunable optical filter and method of manufacture thereof | |
US20120207425A1 (en) | Optical Waveguide Device | |
JP2006201472A (ja) | 光制御装置 | |
JPH06194639A (ja) | 液晶表示パネル | |
CN108594502B (zh) | 液晶调谐等离激元诱导透明与法布里腔杂化模式的滤波器 | |
JP2003279914A (ja) | 波長可変光学素子 | |
JP4633088B2 (ja) | 干渉性変調器および表示装置 | |
Lequime | Tunable thin film filters: review and perspectives | |
JP4513258B2 (ja) | 波長可変フィルタ | |
JP2002365601A (ja) | 波長可変光フィルタ | |
JP3281603B2 (ja) | 波長可変フィルタ | |
JP2003270602A (ja) | 亜鉛ニオブ酸鉛−チタン酸鉛混晶系強誘電体単結晶を用いた電気光学効果素子及びそれを用いた光スイッチ | |
JP2888372B2 (ja) | 可変波長フィルタモジュール | |
JP2568782B2 (ja) | 可変波長フィルタ | |
JP4639663B2 (ja) | 波長可変ミラーおよび波長可変レーザ | |
WO2005036241A1 (ja) | 波長可変フィルタ及びその製造方法 | |
JP2010175785A (ja) | 波長可変フィルタ | |
JPH09258116A (ja) | 波長可変フィルタ | |
JP2001021880A (ja) | 半値幅無段階可変液晶エタロン | |
JP2678182B2 (ja) | 可変波長フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051007 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090414 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100420 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100503 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140521 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |