JP2678182B2 - 可変波長フィルタ - Google Patents
可変波長フィルタInfo
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- JP2678182B2 JP2678182B2 JP3174164A JP17416491A JP2678182B2 JP 2678182 B2 JP2678182 B2 JP 2678182B2 JP 3174164 A JP3174164 A JP 3174164A JP 17416491 A JP17416491 A JP 17416491A JP 2678182 B2 JP2678182 B2 JP 2678182B2
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- liquid crystal
- wavelength
- filter
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- wavelength filter
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Description
【０００１】
【産業上の技術分野】本発明は光ファイバ中の波長多重
された光信号の任意の波長の光信号を選択的にかつ可変
に取り出す可変波長フィルタに属するものである。
された光信号の任意の波長の光信号を選択的にかつ可変
に取り出す可変波長フィルタに属するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバによる光通信は大容量の情報
を高速に伝送することができるために、最近急速に実用
化されつつある。しかし現時点では、ある特定の波長の
光パルスを伝送しているのみである。多数の異なった周
波数の光パルスを伝送することができれば、さらに大容
量の情報を伝送することができる。これを波長多重（Ｗ
ＤＭ）、周波数多重通信（ＦＤＭ）と呼び、現在活発に
研究されている。周波数多重通信においては多数の周波
数の光パルスの中から選択的に任意の波長、周波数の光
のみを選び出す可変波長フィルタが必要となる。従来こ
の種のフィルタとして、モータで角度を制御するグレー
ティング、ピエゾ素子で共振器長を制御するエタロンが
あるが、機械式制御のためモジュールが大型となる欠点
があった。またブラッグリフレクターをもつ半導体光導
波路を用いた可変波長フィルタがあるが、可変波長範囲
が狭いという欠点があった。さらにＳｉ基板上に形成し
た石英導波路マッハツェンダ干渉計もあるが多段に接続
しなければならず、また制御系も複雑となる欠点があっ
た。
を高速に伝送することができるために、最近急速に実用
化されつつある。しかし現時点では、ある特定の波長の
光パルスを伝送しているのみである。多数の異なった周
波数の光パルスを伝送することができれば、さらに大容
量の情報を伝送することができる。これを波長多重（Ｗ
ＤＭ）、周波数多重通信（ＦＤＭ）と呼び、現在活発に
研究されている。周波数多重通信においては多数の周波
数の光パルスの中から選択的に任意の波長、周波数の光
のみを選び出す可変波長フィルタが必要となる。従来こ
の種のフィルタとして、モータで角度を制御するグレー
ティング、ピエゾ素子で共振器長を制御するエタロンが
あるが、機械式制御のためモジュールが大型となる欠点
があった。またブラッグリフレクターをもつ半導体光導
波路を用いた可変波長フィルタがあるが、可変波長範囲
が狭いという欠点があった。さらにＳｉ基板上に形成し
た石英導波路マッハツェンダ干渉計もあるが多段に接続
しなければならず、また制御系も複雑となる欠点があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そして、上記の機械式
フィルタや半導体光導波路フィルタの欠点を解決するた
め、我々はファブリペローエタロン内に液晶を充填し、
電圧を印加することによりエタロンの光学的ギャップを
可変するようにしたフィルタを考案した（特願平２−４
１２３７６）。この通常構造のフィルタの代表的特性は
バンド幅約０．４ｎｍ、ロス２ｄＢ、可変幅約１００ｎ
ｍ、フィネス約２５０である。エタロン型のフィルタで
はバンド幅の約５倍で２０ｄＢの消光比をとることがで
きるため、波長間隔２ｎｍで約５０波多重の通信への適
用が可能になる。しかし周波数多重通信に適用するため
にはさらにバンド幅を０．１ｎｍ以下に狭くする必要が
あった。バンド幅を狭くするにはキャビティ長を長くす
ればよい。我々は７０μｍのキャビティギャップとする
ことによりバンド幅０．１ｎｍ、可変幅１０ｎｍのフィ
ルタを作製したが、ロスが１０ｄＢと大きいことが欠点
であった。
フィルタや半導体光導波路フィルタの欠点を解決するた
め、我々はファブリペローエタロン内に液晶を充填し、
電圧を印加することによりエタロンの光学的ギャップを
可変するようにしたフィルタを考案した（特願平２−４
１２３７６）。この通常構造のフィルタの代表的特性は
バンド幅約０．４ｎｍ、ロス２ｄＢ、可変幅約１００ｎ
ｍ、フィネス約２５０である。エタロン型のフィルタで
はバンド幅の約５倍で２０ｄＢの消光比をとることがで
きるため、波長間隔２ｎｍで約５０波多重の通信への適
用が可能になる。しかし周波数多重通信に適用するため
にはさらにバンド幅を０．１ｎｍ以下に狭くする必要が
あった。バンド幅を狭くするにはキャビティ長を長くす
ればよい。我々は７０μｍのキャビティギャップとする
ことによりバンド幅０．１ｎｍ、可変幅１０ｎｍのフィ
ルタを作製したが、ロスが１０ｄＢと大きいことが欠点
であった。
【０００４】このため我々はキャビティギャップの大き
な素子のロスの低減を図るため、液晶層の一部を透明な
ガラス板で置き換えた構造（２層キャビティ構造）を持
つ液晶可変波長フィルタを考案した（特願平３−１３４
１４）。このフィルタのバンド幅は約０．０５ｎｍ、ロ
ス４ｄＢ、可変幅約１０ｎｍ、フィネス２００である。
しかし本構造素子はバンド幅は狭いが、可変幅は１０ｎ
ｍと小さいという欠点があった。
な素子のロスの低減を図るため、液晶層の一部を透明な
ガラス板で置き換えた構造（２層キャビティ構造）を持
つ液晶可変波長フィルタを考案した（特願平３−１３４
１４）。このフィルタのバンド幅は約０．０５ｎｍ、ロ
ス４ｄＢ、可変幅約１０ｎｍ、フィネス２００である。
しかし本構造素子はバンド幅は狭いが、可変幅は１０ｎ
ｍと小さいという欠点があった。
【０００５】本発明は、上記に示した２つの液晶フィル
タの欠点を克服し、バンド幅が０．０５ｎｍ以下と狭
く、なおかつ可変幅が１００ｎｍ以上と広い液晶可変波
長フィルタ素子の構造を提案するものである。
タの欠点を克服し、バンド幅が０．０５ｎｍ以下と狭
く、なおかつ可変幅が１００ｎｍ以上と広い液晶可変波
長フィルタ素子の構造を提案するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ガラス基板、透明電極、高反射ミラー、
配向膜、液晶、配向膜、高反射ミラー、透明電極、ガラ
ス基板を積層してなる液晶可変波長フィルタであって、
これら液晶可変波長フィルタを２枚重ね合わせた構造を
持ち、一方の液晶可変波長フィルタの液晶層の一部が透
明なガラスに置き換えられた構造とされて、両者のキャ
ビティギャップが異ならされていることを特徴としてい
る。
に、本発明は、ガラス基板、透明電極、高反射ミラー、
配向膜、液晶、配向膜、高反射ミラー、透明電極、ガラ
ス基板を積層してなる液晶可変波長フィルタであって、
これら液晶可変波長フィルタを２枚重ね合わせた構造を
持ち、一方の液晶可変波長フィルタの液晶層の一部が透
明なガラスに置き換えられた構造とされて、両者のキャ
ビティギャップが異ならされていることを特徴としてい
る。
【０００７】
【作用】本発明によれば、２つの液晶可変波長フィルタ
を積層し、且つ一方の液晶可変波長フィルタの液晶層の
一部を透明なガラスに置き換えて、両者のキャビティギ
ャップが異なる構成とすることにより、バンド幅が狭
く、可変幅の広い液晶可変波長フィルタを実現すること
ができる。また、単に液晶層の一部を透明なガラスに置
き換えた構造であるので、極めて容易にかつ低コストに
て各液晶可変波長フィルタのキャビティギャップを異な
らせることができる。
を積層し、且つ一方の液晶可変波長フィルタの液晶層の
一部を透明なガラスに置き換えて、両者のキャビティギ
ャップが異なる構成とすることにより、バンド幅が狭
く、可変幅の広い液晶可変波長フィルタを実現すること
ができる。また、単に液晶層の一部を透明なガラスに置
き換えた構造であるので、極めて容易にかつ低コストに
て各液晶可変波長フィルタのキャビティギャップを異な
らせることができる。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例を図１〜図４を参照して説明
する。図１に本発明の可変波長フィルタの構造を示す。
基本的には通常構造の液晶可変波長フィルタと２層構
造キャビティを持つ液晶可変波長フィルタを重ね合わ
せた構造を持つ。液晶フィルタのキャビティ長は液晶
フィルタのキャビティ長の５倍である。図１におい
て、１はホモジニアス配向したネマチック液晶層、２は
液晶と屈折率の一致したガラス板（ＢＫ−７ガラス）、
３は液晶用配向膜、４は誘電体ミラー、５はインジュウ
ムチンオキサイド（ＩＴＯ）透明電極、６はガラス基
板、７はＡＲコート、８は２枚のガラス板をロスのない
ように接着する屈折率マッチングした接着剤であり、９
−１、９−２はそれぞれの液晶を駆動するための電源で
ある。１０はそれぞれの電源に印加する電圧を決定する
コントロール系である。
する。図１に本発明の可変波長フィルタの構造を示す。
基本的には通常構造の液晶可変波長フィルタと２層構
造キャビティを持つ液晶可変波長フィルタを重ね合わ
せた構造を持つ。液晶フィルタのキャビティ長は液晶
フィルタのキャビティ長の５倍である。図１におい
て、１はホモジニアス配向したネマチック液晶層、２は
液晶と屈折率の一致したガラス板（ＢＫ−７ガラス）、
３は液晶用配向膜、４は誘電体ミラー、５はインジュウ
ムチンオキサイド（ＩＴＯ）透明電極、６はガラス基
板、７はＡＲコート、８は２枚のガラス板をロスのない
ように接着する屈折率マッチングした接着剤であり、９
−１、９−２はそれぞれの液晶を駆動するための電源で
ある。１０はそれぞれの電源に印加する電圧を決定する
コントロール系である。
【０００９】図２、図３に、通常構造の可変波長フィル
タおよび２層構造キャビティを持つ液晶可変波長フィ
ルタの共振波長の印加電圧依存性をそれぞれ示す。液
晶フィルタは１．６μｍから１．５μｍまでスペクト
ルを連続に可変可能であるが、バンド幅が０．４ｎｍと
広い。これに対し、フィルタはバンド幅は０．０５ｎ
ｍと狭いが、１．５μｍ−１．６μｍの間に約１０本の
スペクトルが現れ、可変幅は約１０ｎｍと狭い。これら
の波長−電圧特性を制御系に記憶させ、波長をインプッ
トするとそれに対応した電圧を印加できるようにした。
表１にそれぞれの液晶フィルタの構造パラメータおよび
特性を示す。
タおよび２層構造キャビティを持つ液晶可変波長フィ
ルタの共振波長の印加電圧依存性をそれぞれ示す。液
晶フィルタは１．６μｍから１．５μｍまでスペクト
ルを連続に可変可能であるが、バンド幅が０．４ｎｍと
広い。これに対し、フィルタはバンド幅は０．０５ｎ
ｍと狭いが、１．５μｍ−１．６μｍの間に約１０本の
スペクトルが現れ、可変幅は約１０ｎｍと狭い。これら
の波長−電圧特性を制御系に記憶させ、波長をインプッ
トするとそれに対応した電圧を印加できるようにした。
表１にそれぞれの液晶フィルタの構造パラメータおよび
特性を示す。
【００１０】
【表１】 ──────────────────────────────────── 通常構造素子 ２層キャビティ構造素子 液晶フィルタ 液晶フィルタ ──────────────────────────────────── ミラー反射率 ９９％ ９９％ キャビティギャップ １５μｍ ガラス層（５５μｍ）液晶（１５μｍ） ──────────────────────────────────── フィネス 約２５０ 約２００ 可変波長幅 約１００ｎｍ 約１０ｎｍ バンド幅 ０．４ｎｍ ０．０５ｎｍ 透過率 ６０％ ４０％ ────────────────────────────────────
【００１１】これらの２つの液晶波長フィルタを積層す
ると、両者の共振波長が異なるため、どの波長の光も透
過しない。制御系と駆動電源をｏｎ状態にし、１．６μ
ｍの共振波長になるようにそれぞれ電源９−１、９−２
よりフィルタ、に電圧を印加した。その結果、フィ
ルタ、には電圧１８Ｖ、２．０Ｖがそれぞれ印加さ
れ、１．６μｍの光が透過した。これらを繰り返し、波
長を１．６μｍから１．５μｍまで可変した。
ると、両者の共振波長が異なるため、どの波長の光も透
過しない。制御系と駆動電源をｏｎ状態にし、１．６μ
ｍの共振波長になるようにそれぞれ電源９−１、９−２
よりフィルタ、に電圧を印加した。その結果、フィ
ルタ、には電圧１８Ｖ、２．０Ｖがそれぞれ印加さ
れ、１．６μｍの光が透過した。これらを繰り返し、波
長を１．６μｍから１．５μｍまで可変した。
【００１２】図４に駆動電源９−１、９−２の電圧と透
過スペクトル波長の関係をプロットして示す。この時の
スペクトルのバンド幅は０．０４ｎｍであり、シフト量
は１００ｎｍであった。また透過率は約２０％であっ
た。通常バンド幅の約５倍離れた波長で２０ｄＢの消光
比を得られるので、０．２ｎｍ間隔で１．５μｍ〜１．
６μｍまで約５００波の光を多重しても、本フィルタに
より１つの波長の光を選択できる。即ち５００波長多重
通信が可能である。
過スペクトル波長の関係をプロットして示す。この時の
スペクトルのバンド幅は０．０４ｎｍであり、シフト量
は１００ｎｍであった。また透過率は約２０％であっ
た。通常バンド幅の約５倍離れた波長で２０ｄＢの消光
比を得られるので、０．２ｎｍ間隔で１．５μｍ〜１．
６μｍまで約５００波の光を多重しても、本フィルタに
より１つの波長の光を選択できる。即ち５００波長多重
通信が可能である。
【００１３】次に、本発明に関連した参考例を図５及び
図６を参照して説明する。前述した実施例では２枚の液
晶の片方に液晶のキャビティの一部をガラスに置き換え
た素子を用いたが、両者のキャビティギャップが異な
り、キャビティ全体が液晶である場合を、参考例として
下記に示す。図５にこの参考例の可変波長フィルタの構
造を示す。基本的には通常構造の液晶可変波長フィルタ
′′を２枚重ね合わせた構造を持つ。表２にそれぞ
れの液晶フィルタの構造パラメータおよび特性を示す。
図６を参照して説明する。前述した実施例では２枚の液
晶の片方に液晶のキャビティの一部をガラスに置き換え
た素子を用いたが、両者のキャビティギャップが異な
り、キャビティ全体が液晶である場合を、参考例として
下記に示す。図５にこの参考例の可変波長フィルタの構
造を示す。基本的には通常構造の液晶可変波長フィルタ
′′を２枚重ね合わせた構造を持つ。表２にそれぞ
れの液晶フィルタの構造パラメータおよび特性を示す。
【００１４】
【表２】 ──────────────────────────────────── 通常構造素子′ 通常構造素子′ 液晶フィルタ 液晶フィルタ ──────────────────────────────────── ミラー反射率 ９５％ ９９．５％ キャビティギャップ ８μｍ ３０μｍ ──────────────────────────────────── フィネス 約５０ 約４００ 可変波長幅 約１５０ｎｍ 約２０ｎｍ バンド幅 ２ｎｍ ０．１ｎｍ 透過率 ６０％ ４０％ ──────────────────────────────────── これらの２つの液晶波長フィルタを積層すると、両者の
共振波長が異なるため、どの波長の光も透過しない。制
御系と駆動電源をｏｎ状態にし、１．６μｍの共振波長
になるようにそれぞれ電源９−１、９−２よりフィルタ
′、′に電圧を印加した。その結果′、′には
電圧３Ｖ、０Ｖがそれぞれ印加され１．６μｍの光が透
過した。これらを繰り返し、波長を１．６μｍから１．
５μｍまで可変した。図６に駆動電源９−１、９−２の
電圧と透過スペクトル波長の関係をプロットして示す。
この時のスペクトルのバンド幅は０．０８ｎｍであり、
シフト量は１００ｎｍであった。また透過率は約２０％
であった。通常バンド幅の約５倍離れた波長で２０ｄＢ
の消光比を得られるので、０．４ｎｍ間隔で１．５μｍ
〜１．６μｍまで約２５０波の光を多重しても、本フィ
ルタにより１つの波長の光を選択できる。即ち２５０波
長多重通信が可能である。
共振波長が異なるため、どの波長の光も透過しない。制
御系と駆動電源をｏｎ状態にし、１．６μｍの共振波長
になるようにそれぞれ電源９−１、９−２よりフィルタ
′、′に電圧を印加した。その結果′、′には
電圧３Ｖ、０Ｖがそれぞれ印加され１．６μｍの光が透
過した。これらを繰り返し、波長を１．６μｍから１．
５μｍまで可変した。図６に駆動電源９−１、９−２の
電圧と透過スペクトル波長の関係をプロットして示す。
この時のスペクトルのバンド幅は０．０８ｎｍであり、
シフト量は１００ｎｍであった。また透過率は約２０％
であった。通常バンド幅の約５倍離れた波長で２０ｄＢ
の消光比を得られるので、０．４ｎｍ間隔で１．５μｍ
〜１．６μｍまで約２５０波の光を多重しても、本フィ
ルタにより１つの波長の光を選択できる。即ち２５０波
長多重通信が可能である。
【００１５】なお、前述した実施例では、キャビティギ
ャップの異なる２つの液晶可変波長フィルタを積層し、
これら２つの液晶可変波長フィルタを共振波長となるよ
うにそれぞれ別電源で駆動することにより、波長多重さ
れた光信号の任意の波長の光信号を一つ選択的に取り出
すようにしたが、ここで、ガラス基板６上の透明電極５
をパターニングすることにより、各画素において、波長
多重された光信号の内の複数の波長の光信号を取り出す
ことが可能となる。なお、前記透明電極５のパターンと
しては、実施例の各液晶可変波長フィルタあるいは
、参考例の各液晶可変波長フィルタ′あるいは′
において、以下の（一）〜（四）に示すような形態が挙
げられる。 （一）前面側と後面側のそれぞれの透明電極５を平行な
ストライプにパターニングし、前面側の透明電極５と後
面側の透明電極５との方向を互いに直交する位置関係に
配置することによりＸＹマトリクス電極を形成する。 （二）一方側の透明電極５を全面に形成し、他方側の透
明電極５を画素状にパターニングし、それぞれの画素に
別々の電圧を供給させるようにする。 （三）一方側の透明電極５を全面に形成し、他方の透明
電極５を画素状にパターニングし、隣接する画素同士を
抵抗を持つ薄膜伝導膜で連結する。 （四）一方の透明電極５を全面に形成し、他方の透明電
極５を画素状にパターニングし、それぞれの画素に個別
に薄膜トランジスタを設けるようにする。そして、上記
（一）〜（四）の構成によって、各液晶可変波長フィル
タ、、′、′内に多数の可変波長フィルタを有
するフィルタアレイを形成することができる。
ャップの異なる２つの液晶可変波長フィルタを積層し、
これら２つの液晶可変波長フィルタを共振波長となるよ
うにそれぞれ別電源で駆動することにより、波長多重さ
れた光信号の任意の波長の光信号を一つ選択的に取り出
すようにしたが、ここで、ガラス基板６上の透明電極５
をパターニングすることにより、各画素において、波長
多重された光信号の内の複数の波長の光信号を取り出す
ことが可能となる。なお、前記透明電極５のパターンと
しては、実施例の各液晶可変波長フィルタあるいは
、参考例の各液晶可変波長フィルタ′あるいは′
において、以下の（一）〜（四）に示すような形態が挙
げられる。 （一）前面側と後面側のそれぞれの透明電極５を平行な
ストライプにパターニングし、前面側の透明電極５と後
面側の透明電極５との方向を互いに直交する位置関係に
配置することによりＸＹマトリクス電極を形成する。 （二）一方側の透明電極５を全面に形成し、他方側の透
明電極５を画素状にパターニングし、それぞれの画素に
別々の電圧を供給させるようにする。 （三）一方側の透明電極５を全面に形成し、他方の透明
電極５を画素状にパターニングし、隣接する画素同士を
抵抗を持つ薄膜伝導膜で連結する。 （四）一方の透明電極５を全面に形成し、他方の透明電
極５を画素状にパターニングし、それぞれの画素に個別
に薄膜トランジスタを設けるようにする。そして、上記
（一）〜（四）の構成によって、各液晶可変波長フィル
タ、、′、′内に多数の可変波長フィルタを有
するフィルタアレイを形成することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明してきたように、液晶キャビテ
ィとする液晶エタロン形の液晶可変波長フィルタにおい
て、２つの液晶可変波長フィルタを積層し、且つ一方の
液晶可変波長フィルタの液晶層の一部を透明なガラスに
置き換えた構造として、両者のキャビティギャップが異
なる構成とすることにより、バンド幅が狭く、可変幅の
広い液晶可変波長フィルタを実現することができる。ま
た、単に液晶層の一部を透明なガラスに置き換えた構造
であるので、極めて容易にかつ低コストにて各液晶可変
波長フィルタのキャビティギャップを異ならせることが
できる。
ィとする液晶エタロン形の液晶可変波長フィルタにおい
て、２つの液晶可変波長フィルタを積層し、且つ一方の
液晶可変波長フィルタの液晶層の一部を透明なガラスに
置き換えた構造として、両者のキャビティギャップが異
なる構成とすることにより、バンド幅が狭く、可変幅の
広い液晶可変波長フィルタを実現することができる。ま
た、単に液晶層の一部を透明なガラスに置き換えた構造
であるので、極めて容易にかつ低コストにて各液晶可変
波長フィルタのキャビティギャップを異ならせることが
できる。
【図１】 本発明の実施例を示す可変波長フィルタの構
造
造
【図２】 通常構造の可変波長フィルタの共振波長の
印加電圧依存性を示すグラフ。
印加電圧依存性を示すグラフ。
【図３】 通常構造の２層構造キャビティを持つ液晶可
変波長フィルタの共振波長の印加電圧依存性を示すグ
ラフ。
変波長フィルタの共振波長の印加電圧依存性を示すグ
ラフ。
【図４】 本発明の可変波長フィルタの可変波長特性を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図５】 本発明に関連した参考例を示す可変波長フィ
ルタの構造。
ルタの構造。
【図６】 図５の可変波長フィルタの可変波長特性を示
したグラフ。
したグラフ。
１ ホモジニアス配向したネマチック液晶層 ２ ガラス板 ３ 液晶用配向膜 ４ 誘電体ミラー ５ インジュウムチンオキサイド（ＩＴＯ）透明電極 ６ ガラス基板 ７ ＡＲコート ８ 接着剤 ９−１ 電源 ９−２ 電源 １０ コントロール系
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス基板、透明電極、高反射ミラー、
配向膜、液晶、配向膜、高反射ミラー、透明電極、ガラ
ス基板を積層してなる液晶可変波長フィルタであって、
これら液晶可変波長フィルタを２枚重ね合わせた構造を
持ち、一方の液晶可変波長フィルタの液晶層の一部が透
明なガラスに置き換えられた構造とされて、両者のキャ
ビティギャップが異ならされていることを特徴とする可
変波長フィルタ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3174164A JP2678182B2 (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 可変波長フィルタ |
| US07/829,383 US5321539A (en) | 1991-02-04 | 1992-02-03 | Liquid crystal Fabry-Perot etalon with glass spacer |
| DE69202993T DE69202993T2 (de) | 1991-02-04 | 1992-02-03 | Elektrisch steuerbares, wellenlängenselektives Filter. |
| EP92101834A EP0498375B1 (en) | 1991-02-04 | 1992-02-03 | Electrically tunable wavelength-selective filter |
| CA002060576A CA2060576C (en) | 1991-02-04 | 1992-02-03 | Electrically tunable wavelength-selective filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3174164A JP2678182B2 (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 可変波長フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0519227A JPH0519227A (ja) | 1993-01-29 |
| JP2678182B2 true JP2678182B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=15973822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3174164A Expired - Lifetime JP2678182B2 (ja) | 1991-02-04 | 1991-07-15 | 可変波長フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2678182B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0125996D0 (en) * | 2001-10-30 | 2001-12-19 | Qinetiq Ltd | Tunable filter |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5938565B2 (ja) * | 1973-01-17 | 1984-09-18 | シャープ株式会社 | 光学フイルタ− |
| JPS5835424A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Canon Inc | 液晶フアブリ−ペロ−干渉装置 |
-
1991
- 1991-07-15 JP JP3174164A patent/JP2678182B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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| JPH0519227A (ja) | 1993-01-29 |
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