JPS5835424A - 液晶フアブリ−ペロ−干渉装置 - Google Patents
液晶フアブリ−ペロ−干渉装置Info
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- JPS5835424A JPS5835424A JP13508181A JP13508181A JPS5835424A JP S5835424 A JPS5835424 A JP S5835424A JP 13508181 A JP13508181 A JP 13508181A JP 13508181 A JP13508181 A JP 13508181A JP S5835424 A JPS5835424 A JP S5835424A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、液晶を使用して可ＷｈＩＩ分をなくした液晶
ファブラーベロー千渉装置に閤するものであ為。
ファブラーベロー千渉装置に閤するものであ為。
波長を測定するために、ノアブタ−４ＣＩ−ペアを帛い
て被検光の分光分布を測定す為ξとが行なわれている。
て被検光の分光分布を測定す為ξとが行なわれている。
この方法は第１図に示すように被検光りを２枚の半透明
の干渉ミラーｉｂ、ｉｌｌから虞為ファプリーペロー４
１１に入射させ、その透過干渉光の強度を光の入射角を
変化させながら光学系２を介して観察両番て観察し、そ
の分光分布を測定す為ものである。然しこの壜台の干渉
ミラーｌ ａ ｓ １ ｋ同志の両隅をｄとすると、入
射角θと液長上の関係は次の（１）式の関係式とな為た
めに、入射角θが大となるに従って波長遥択性が悪くな
るという欠点があった。
の干渉ミラーｉｂ、ｉｌｌから虞為ファプリーペロー４
１１に入射させ、その透過干渉光の強度を光の入射角を
変化させながら光学系２を介して観察両番て観察し、そ
の分光分布を測定す為ものである。然しこの壜台の干渉
ミラーｌ ａ ｓ １ ｋ同志の両隅をｄとすると、入
射角θと液長上の関係は次の（１）式の関係式とな為た
めに、入射角θが大となるに従って波長遥択性が悪くな
るという欠点があった。
２４ｃｍａ＠ｚｍλ （醜は整数）・・・（１）そのた
め第２図に示すようなピエゾ素子４；ピエゾ瓢Ｗｋ回路
５を用いて、入射角・を変化させ為代４３に干渉ミラー
１ｍ、１ｂ（Ｄ！ｍ謳纏を直接変化させて分光分布を一
定する方法もある。然しこの方法でも干渉ミラー１ｂを
移動婁昔纂ピエゾ素子４がその形状艮び骨性として高精
度を必要とすｂために高価となるという欠点がある。
め第２図に示すようなピエゾ素子４；ピエゾ瓢Ｗｋ回路
５を用いて、入射角・を変化させ為代４３に干渉ミラー
１ｍ、１ｂ（Ｄ！ｍ謳纏を直接変化させて分光分布を一
定する方法もある。然しこの方法でも干渉ミラー１ｂを
移動婁昔纂ピエゾ素子４がその形状艮び骨性として高精
度を必要とすｂために高価となるという欠点がある。
本発明の目的は、上述の従来例の欠点を除去し、分光分
析を安価なしかも可動部分のない安定した装置から成鳥
液晶ファブツーペロー干渉装置を提供することにあり、
その内容は、フ１ブツーベローペアの２枚の干渉【ラー
閤に１印加電圧により反射率の＊化す為液晶を配置した
ことを時機とするものである。
析を安価なしかも可動部分のない安定した装置から成鳥
液晶ファブツーペロー干渉装置を提供することにあり、
その内容は、フ１ブツーベローペアの２枚の干渉【ラー
閤に１印加電圧により反射率の＊化す為液晶を配置した
ことを時機とするものである。
次に本発明を第３図以下に図示の実施例に基づいて詳細
Ｅ説明する。
Ｅ説明する。
第３図に於いて、１１）ａ、１＠Ｉｓは７７ブツーペロ
ーベア１０を構成する干渉ミラーてあり、透明体から成
り互に平行に配置され対向画は高い反射率を有する反射
面１１Ｊｌ、１１ｂとなっている。
ーベア１０を構成する干渉ミラーてあり、透明体から成
り互に平行に配置され対向画は高い反射率を有する反射
面１１Ｊｌ、１１ｂとなっている。
この反射ｍ１ｌｌｓ、１ｌｂｋは、光透過性を有すると
共に導電性の高い薄膜ｔｚａ、を叩すがコーティングさ
れている。これらの干渉ミラーｊ ｔｌ ａ ％１（１
１１１１ｃは、電界（より所定の関係て履祈皐が変化す
る例えばネオマチイック液晶１ｓが挟着されており、そ
の周囲は液晶１ｓを平行ｋｌｌ持す為ための導電性を有
しない物質から虞為スペーチ１４Ｅより包ＩＩ８れてい
る。薄膜１２ｍ、１２ｋには液晶ＩＭＥ電界を印加する
ための電界を制御で自為電源１Ｓが接続されてい為、更
に液晶１ｓの温度を測定するために、白金抵抗線やナー
ミスタのような温度センナ１６が液晶部分或いはその近
傍ＳＣ＠み込まれており、その温度を表示部１７て表示
するよう把なっている。ファプリーペローペア１０の後
部には、＊＊いは光電子増倍管のように光の強度を測宣
し得為観察系１０が配置され、これｋは必要に応じてレ
ンズ系が纏み込まれている。又、ツァブリーペローベ１
１・の両画の被検光もの入射’ＩＩＫは、Ｉ！晶１１１
Ｅ対して異常光を与え為偏光子１９が設けられている。
共に導電性の高い薄膜ｔｚａ、を叩すがコーティングさ
れている。これらの干渉ミラーｊ ｔｌ ａ ％１（１
１１１１ｃは、電界（より所定の関係て履祈皐が変化す
る例えばネオマチイック液晶１ｓが挟着されており、そ
の周囲は液晶１ｓを平行ｋｌｌ持す為ための導電性を有
しない物質から虞為スペーチ１４Ｅより包ＩＩ８れてい
る。薄膜１２ｍ、１２ｋには液晶ＩＭＥ電界を印加する
ための電界を制御で自為電源１Ｓが接続されてい為、更
に液晶１ｓの温度を測定するために、白金抵抗線やナー
ミスタのような温度センナ１６が液晶部分或いはその近
傍ＳＣ＠み込まれており、その温度を表示部１７て表示
するよう把なっている。ファプリーペローペア１０の後
部には、＊＊いは光電子増倍管のように光の強度を測宣
し得為観察系１０が配置され、これｋは必要に応じてレ
ンズ系が纏み込まれている。又、ツァブリーペローベ１
１・の両画の被検光もの入射’ＩＩＫは、Ｉ！晶１１１
Ｅ対して異常光を与え為偏光子１９が設けられている。
但しこの偏光子１？はファプリーペローペア１０の後Ｉ
ｉＥ配置しても支障はない。
ｉＥ配置しても支障はない。
偏光子１９ｉ（より直線偏光された被検光りは、液晶す
るを含むファプリーペローペア１０に入射し、干渉Ｌ５
−１ｆｌａ、ｔａｂの反射ｍｌ １ ｍ。
るを含むファプリーペローペア１０に入射し、干渉Ｌ５
−１ｆｌａ、ｔａｂの反射ｍｌ １ ｍ。
１１ｂにより多重反射し干渉現象が生ずる。このと會あ
為波長４に対す為液晶１ｓの１折率が諺４でああとする
と、次の謁係式を貴見した場合のみ波長４の被検光りは
ファブツ？ペローペア１＠を透過し観察系１ｓＥ入射し
出力す為ことＫｔ）。
為波長４に対す為液晶１ｓの１折率が諺４でああとする
と、次の謁係式を貴見した場合のみ波長４の被検光りは
ファブツ？ペローペア１＠を透過し観察系１ｓＥ入射し
出力す為ことＫｔ）。
２−鳳４−輪 （論は定数）・・・■電源１５の印加
電圧を変化８４に為と液晶１ｓの履折本が変化し、他の
波長！ｔＥ対す為馬衝率鴫となり、！ｄ跪λ、＝納の関
係を満是す為ようになる。同様にして印加電圧をｌｌ！
七宴豐ながら、ファブ９−−４０−ペア１・を透過す為
光量を観察す為ことにより、被検光りの波長分Ｉ１１が
観察て会為。
電圧を変化８４に為と液晶１ｓの履折本が変化し、他の
波長！ｔＥ対す為馬衝率鴫となり、！ｄ跪λ、＝納の関
係を満是す為ようになる。同様にして印加電圧をｌｌ！
七宴豐ながら、ファブ９−−４０−ペア１・を透過す為
光量を観察す為ことにより、被検光りの波長分Ｉ１１が
観察て会為。
このと台にパラメータの１つとして、液晶１ｓの履折本
の分散が生ずるため、被検光Ｌ＃赤外域の低分散の光に
対して＠ａＣ有効てあ為、然し分散が無視て舎ない波長
域ては、これを補正すＪ＆必要がある。又、従来から液
晶は烏祈車の温度Ｉｋ賽性が高いため、ＩＩ＃に測定器
のような高精度な数値を必要とす轟ものには不向会とさ
れていた６本発明では液晶１ｓの温度センナ−１４ＩＣ
より検出し、表示部１７に表示す為ことにより必要Ｅｌ
ａｅてその影響を補正て舎るようになりている。＊ち、
履錆率の温度及び波長に対す為数値を補正することによ
り正しい波長を検出することが可能であ為。又は液晶１
３の温度を成る一定温度化す為ために液晶１ｓ及びファ
プリーペローペア１０を恒温書に入れて温度センチ１６
の値が常に一定に保持するようにしてもよい。この壜台
屹は履折皐の温度に対する数値は殆ど無視すｂことがで
会為。
の分散が生ずるため、被検光Ｌ＃赤外域の低分散の光に
対して＠ａＣ有効てあ為、然し分散が無視て舎ない波長
域ては、これを補正すＪ＆必要がある。又、従来から液
晶は烏祈車の温度Ｉｋ賽性が高いため、ＩＩ＃に測定器
のような高精度な数値を必要とす轟ものには不向会とさ
れていた６本発明では液晶１ｓの温度センナ−１４ＩＣ
より検出し、表示部１７に表示す為ことにより必要Ｅｌ
ａｅてその影響を補正て舎るようになりている。＊ち、
履錆率の温度及び波長に対す為数値を補正することによ
り正しい波長を検出することが可能であ為。又は液晶１
３の温度を成る一定温度化す為ために液晶１ｓ及びファ
プリーペローペア１０を恒温書に入れて温度センチ１６
の値が常に一定に保持するようにしてもよい。この壜台
屹は履折皐の温度に対する数値は殆ど無視すｂことがで
会為。
第４図は他の実施例を示すものてあり、先の実施例に対
してデジタル演算回路２０が付加されている。観察系１
８＆び温度センチ１６の出力はムＤＯ（アナ寥グ・デジ
タル変換回路）２１及び２２を介して演算部２６に入力
され、電源１５の電位はムＤ０２４を介して同様に演算
部２３に入力されゐ、又、演算部！２からはＤム０（デ
ジタル・アナーグ賓ＩＩ＆回路）２Ｂを介して電源１ｓ
の電位を制御することもで會るようになってい為、演算
部２７６には、液晶１ｓの異常光線反射率の電位、波長
、温度に対するデータを記憶している記憶部２６が接線
されている。
してデジタル演算回路２０が付加されている。観察系１
８＆び温度センチ１６の出力はムＤＯ（アナ寥グ・デジ
タル変換回路）２１及び２２を介して演算部２６に入力
され、電源１５の電位はムＤ０２４を介して同様に演算
部２３に入力されゐ、又、演算部！２からはＤム０（デ
ジタル・アナーグ賓ＩＩ＆回路）２Ｂを介して電源１ｓ
の電位を制御することもで會るようになってい為、演算
部２７６には、液晶１ｓの異常光線反射率の電位、波長
、温度に対するデータを記憶している記憶部２６が接線
されている。
従って、液晶１墨への印加電圧、欄察畢１８及び温度セ
ン４ｊ１６か＆の出力により、演算回路２０では被検光
ｘ、ｅ＠長を、自動的に求めることが可能となる。
ン４ｊ１６か＆の出力により、演算回路２０では被検光
ｘ、ｅ＠長を、自動的に求めることが可能となる。
又、第３ｓＥ示・す構成Ｅ１にいて、入射す為光を十分
ＩＣＣ炎長純度良い単色光とす為こと区より、そのａ力
のビータの中と波長より液晶１墨の履折率を測定するこ
ともて舎る。
ＩＣＣ炎長純度良い単色光とす為こと区より、そのａ力
のビータの中と波長より液晶１墨の履折率を測定するこ
ともて舎る。
以上説明したように本発明１ｃａｉ波晶フアブツーぺ蓼
−干渉装置は、ファブヲーーｔ５−ベア中に履折皐が電
界により変化す為液晶を挿入す番ξとｋより、高価格な
ピエゾ素子を層い為従来のフ１ブツーぺａ−干渉装置と
岡等の効果を得ることがで舎る。しかもピエゾ素子の壜
台は、厘鋤−路が直流高圧であるのに対し、本発明ＳＣ
Ｓ為鋏置装は交流低圧で済むので、取扱いや、資金＠ｅ
画で有刹である。又、ピエゾ素子の巻金は、ツ１ブツー
ベロ−ベアの片方の干渉ミラーが機械的ＥＷｈ＜ために
、横構が複雑となり、ｂｈ−）強度を要す為のに対して
、本発明に係る装置ては１１に論部分がな（、極めて簡
単な構造とな為刹点が１為。
−干渉装置は、ファブヲーーｔ５−ベア中に履折皐が電
界により変化す為液晶を挿入す番ξとｋより、高価格な
ピエゾ素子を層い為従来のフ１ブツーぺａ−干渉装置と
岡等の効果を得ることがで舎る。しかもピエゾ素子の壜
台は、厘鋤−路が直流高圧であるのに対し、本発明ＳＣ
Ｓ為鋏置装は交流低圧で済むので、取扱いや、資金＠ｅ
画で有刹である。又、ピエゾ素子の巻金は、ツ１ブツー
ベロ−ベアの片方の干渉ミラーが機械的ＥＷｈ＜ために
、横構が複雑となり、ｂｈ−）強度を要す為のに対して
、本発明に係る装置ては１１に論部分がな（、極めて簡
単な構造とな為刹点が１為。
第１１１１び第ｉｍｌは従来のファプリーぺＶ−干渉装
置の説明図、第ｓｌ！ｌ及び第４図は本発明に係る液晶
ツアブリーペａ−干渉装置の実施例である。 符号１ｏはファプリーベリーペア、１０ａ。 噛Ｏｂは干渉ミラー、ｌｌａ、１２には薄膜、１墨は液
晶、１４はスペーサ、１５は電源、１６は温度センナ、
１８は観察系、１９は偏光子、２０は演算回路である。 響許出願人 キャノン株式査社１１２１１ 籐３ａａ
置の説明図、第ｓｌ！ｌ及び第４図は本発明に係る液晶
ツアブリーペａ−干渉装置の実施例である。 符号１ｏはファプリーベリーペア、１０ａ。 噛Ｏｂは干渉ミラー、ｌｌａ、１２には薄膜、１墨は液
晶、１４はスペーサ、１５は電源、１６は温度センナ、
１８は観察系、１９は偏光子、２０は演算回路である。 響許出願人 キャノン株式査社１１２１１ 籐３ａａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ ファプリー４０−ペアの１枚の干渉ミツ−閤に１印
加電圧によυ馬−率の変化する液晶を配置したことを畳
敷とすｈ液晶ツアブツー鴫四−千一義量。 ２．１１１検光の光路に偏光子を配置した時評請求ｍ１
ｃｉｌ明な導電薄膜を諭し、液晶を挟着した時評請求の
範舊第１項記載の液晶ファブ９−−ｔロー干渉懐置。 ４、液晶の温度を検出す為ためのセンナを配置した時評
請求の範−第１項ＩＭ！蛎の筐晶ファブツー、ＬＷ−干
渉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13508181A JPS5835424A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 液晶フアブリ−ペロ−干渉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13508181A JPS5835424A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 液晶フアブリ−ペロ−干渉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835424A true JPS5835424A (ja) | 1983-03-02 |
Family
ID=15143386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13508181A Pending JPS5835424A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 液晶フアブリ−ペロ−干渉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835424A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0135003A2 (en) * | 1983-07-29 | 1985-03-27 | The Perkin-Elmer Corporation | Apparatus for detecting the presence of coherent radiation in the presence of non-coherent ambient radiation |
| JPS62178219A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光波長選択素子 |
| JPH02146526A (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-05 | Seiko Instr Inc | 液晶素子 |
| JPH03273217A (ja) * | 1990-03-23 | 1991-12-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 可変波長フィルタモジュール |
| JPH0519227A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 可変波長フイルタ |
| US5321539A (en) * | 1991-02-04 | 1994-06-14 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Liquid crystal Fabry-Perot etalon with glass spacer |
| WO1999019686A1 (fr) * | 1996-04-08 | 1999-04-22 | Herutsu Kogyo Kabushiki Kaisha | Interferometre |
| WO2014019399A1 (zh) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | 天津奇谱光电技术有限公司 | 一种固定频率间隔和单模输出的可调谐光学滤波器 |
| CN106197260A (zh) * | 2016-09-06 | 2016-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 法布里珀罗腔及其制造方法、干涉仪及光波长测量方法 |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13508181A patent/JPS5835424A/ja active Pending
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