JP2004190129A - 局所電流を制御して均一なめっき厚を実現するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本プロセスは、アノードを有するめっき浴を準備するステップと、カソードを構成する基板を、めっき浴内にアノードから離して浸漬するステップを含む。めっき浴内の基板とアノードの間には、基板表面に隣接させ基板表面から離した状態で、めっきする金属フィーチャに一致して異なるサイズの開口を有するスクリーニング部分を含んだ第2のカソードが配置される。該スクリーニング部分はめっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有する。本プロセスは、電流をめっき浴に流して基板とアノードの間、および第2のカソードとアノードの間に印加するステップと、基板上に異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするステップを更に含む。
【選択図】図1
Description
内部にアノードを有する電気めっき浴を準備するステップと、
カソードを構成する基板を、前記アノードから離した状態で前記電気めっき浴に浸漬するステップと、
電気めっきする金属フィーチャに一致する異なるサイズの開口を有するスクリーニング部分を含んだ第2のカソードを、前記電気めっき浴内の前記基板と前記アノードの間にかつ前記基板の表面に隣接させ前記基板の表面から離した状態で配置するステップであって、前記第2のカソードのスクリーニング部分が、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有するものであるステップと、
電流を、前記電気めっき浴に通して前記基板と前記アノードの間および前記第2のカソードと前記アノードの間に印加し、前記基板の表面に異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするステップと
を含むプロセス。
(2)前記第2のカソードがワイヤ・メッシュを含む、上記(1)に記載のプロセス。
(3)前記第2のカソードのスクリーニング部分がワイヤ・メッシュを含み、前記メッシュが、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口をワイヤ間に有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口をワイヤ間に有する、上記(1)に記載のプロセス。
(4)電気めっきする金属フィーチャが、異なる間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする高密度フィーチャ領域が、狭い間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする低密度フィーチャ領域が、広い間隔で配置された金属線を含む、上記(1)に記載のプロセス。
(5)電気めっきするフィーチャの平面図を得、前記フィーチャの平面図上で異なる領域を画定し、前記フィーチャの平面図上での異なる領域に対しめっきする領域の割合を計算することによって、電気めっきするフィーチャの密度を決定するステップをさらに含む、上記(1)に記載のプロセス。
(6)前記フィーチャの平面図上での異なる領域に対しめっきする領域の割合を計算した結果に対応して異なるサイズの開口を有するメッシュを生成することによって、前記第2のカソードを構成するステップをさらに含む、上記(5)に記載のプロセス。
(7)前記ワイヤ・メッシュが直径約0.001〜0.05インチ(約0.025〜1.3mm)のワイヤで作製される、上記(2)に記載のプロセス。
(8)前記第2のカソードのスクリーニング部分の、より大きいサイズの開口が、電気めっきする高密度フィーチャ隣接領域に比べて縮小されたサイズのものである、上記(1)に記載のプロセス。
(9)基板表面の異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするためのプロセスで使用される第2のカソードのスクリーンを作製する方法であって、
表面に電気めっきする異なる密度の金属フィーチャのパターンを提供するステップと、
パターン上に所定サイズの異なる領域を特定するステップと、
前記特定した領域のそれぞれに関し、電気めっきする領域の割合を決定するステップと、
隣接領域に関し、存在する場合には電気めっきする領域の割合の差を決定するステップと、
隣接領域間の、電気めっきする領域の割合の差に基づいて、電気めっきする金属フィーチャの異なる密度を特定するステップと、
電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有する第2のカソードのスクリーンを形成するステップと
を含む方法。
(10)前記第2のカソードがワイヤ・メッシュを含み、前記第2のカソードのスクリーンの開口が、ワイヤ・メッシュのワイヤ間の隙間を構成する、上記(9)に記載の方法。
(11)前記第2のカソードのスクリーンがワイヤ・メッシュを構成し、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を前記メッシュのワイヤ間に形成し、かつ電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を前記メッシュのワイヤ間に形成するステップを含む、上記(9)に記載の方法。
(12)電気めっきするパターン上の金属フィーチャが、異なる間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする高密度フィーチャ領域が、狭い間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする低密度フィーチャ領域が、広い間隔で配置された金属線を含む、上記(9)に記載の方法。
(13)前記ワイヤ・メッシュが直径約0.001〜0.05インチ(約0.025〜1.3mm)のワイヤで作製される、上記(10)に記載の方法。
(14)前記第2のカソードのスクリーンの、より大きいサイズの開口が、電気めっきする高密度フィーチャ隣接領域に比べて縮小されたサイズのものである、上記(9)に記載の方法。
(15)基板表面の異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするための装置であって、
内部にアノードを有する電気めっき浴と、
前記電気めっき浴に浸漬され前記アノードから離して配置されるカソードを構成する、めっきされる基板と、
前記電気めっき浴の前記基板と前記アノードの間で、前記基板表面に隣接し前記基板表面から離れるよう配置された、電気めっきする金属フィーチャに一致する異なるサイズの開口を有するスクリーニング部分を含む第2のカソードであって、前記第2のカソードのスクリーニング部分が、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有するものである第2のカソードと、
電流を前記電気めっき浴に流して前記基板と前記アノードの間に印加するための第1の電源と、
電流を前記電気めっき浴に流して前記第2のカソードと前記アノードの間に印加するための第2の電源と
を含む装置。
(16)前記第2のカソードのスクリーニング部分がワイヤ・メッシュを構成する、上記(15)に記載の装置。
(17)前記第2のカソードのスクリーニング部分がワイヤ・メッシュを構成し、前記メッシュが、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を前記ワイヤ間に有し、かつ電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を前記ワイヤ間に有する、上記(15)に記載の装置。
(18)電気めっきする金属フィーチャが、異なる間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする高密度フィーチャ領域が、狭い間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする低密度フィーチャ領域が、広い間隔で配置された金属線を含む、上記(15)に記載の装置。
(19)前記ワイヤ・メッシュが直径約0.001〜0.05インチ(約0.025〜1.3mm)のワイヤで作製される、上記(16)に記載の装置。
(20)前記第2のカソードのスクリーニング部分の、より大きいサイズの開口が、電気めっきする高密度フィーチャ隣接領域に比べて縮小されたサイズのものである、上記(15)に記載の装置。
24 電源
26 電源
28 アノード
30 基板
32 シーフ・プレート
34 めっきタンク
40 スクリーニング部分
Claims (20)
- 基板表面の密度が異なる金属フィーチャを電気めっきするためのプロセスであって、
内部にアノードを有する電気めっき浴を準備するステップと、
カソードを構成する基板を、前記アノードから離した状態で前記電気めっき浴に浸漬するステップと、
電気めっきする金属フィーチャに一致する異なるサイズの開口を有するスクリーニング部分を含んだ第2のカソードを、前記電気めっき浴内の前記基板と前記アノードの間にかつ前記基板の表面に隣接させ前記基板の表面から離した状態で配置するステップであって、前記第2のカソードのスクリーニング部分が、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有するものであるステップと、
電流を、前記電気めっき浴に通して前記基板と前記アノードの間および前記第2のカソードと前記アノードの間に印加し、前記基板の表面に異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするステップと
を含むプロセス。 - 前記第2のカソードがワイヤ・メッシュを含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記第2のカソードのスクリーニング部分がワイヤ・メッシュを含み、前記メッシュが、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口をワイヤ間に有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口をワイヤ間に有する、請求項1に記載のプロセス。
- 電気めっきする金属フィーチャが、異なる間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする高密度フィーチャ領域が、狭い間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする低密度フィーチャ領域が、広い間隔で配置された金属線を含む、請求項1に記載のプロセス。
- 電気めっきするフィーチャの平面図を得、前記フィーチャの平面図上で異なる領域を画定し、前記フィーチャの平面図上での異なる領域に対しめっきする領域の割合を計算することによって、電気めっきするフィーチャの密度を決定するステップをさらに含む、請求項1に記載のプロセス。
- 前記フィーチャの平面図上での異なる領域に対しめっきする領域の割合を計算した結果に対応して異なるサイズの開口を有するメッシュを生成することによって、前記第2のカソードを構成するステップをさらに含む、請求項5に記載のプロセス。
- 前記ワイヤ・メッシュが直径約0.001〜0.05インチ(約0.025〜1.3mm)のワイヤで作製される、請求項2に記載のプロセス。
- 前記第2のカソードのスクリーニング部分の、より大きいサイズの開口が、電気めっきする高密度フィーチャ隣接領域に比べて縮小されたサイズのものである、請求項1に記載のプロセス。
- 基板表面の異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするためのプロセスで使用される第2のカソードのスクリーンを作製する方法であって、
表面に電気めっきする異なる密度の金属フィーチャのパターンを提供するステップと、
パターン上に所定サイズの異なる領域を特定するステップと、
前記特定した領域のそれぞれに関し、電気めっきする領域の割合を決定するステップと、
隣接領域に関し、存在する場合には電気めっきする領域の割合の差を決定するステップと、
隣接領域間の、電気めっきする領域の割合の差に基づいて、電気めっきする金属フィーチャの異なる密度を特定するステップと、
電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有する第2のカソードのスクリーンを形成するステップと
を含む方法。 - 前記第2のカソードがワイヤ・メッシュを含み、前記第2のカソードのスクリーンの開口が、ワイヤ・メッシュのワイヤ間の隙間を構成する、請求項9に記載の方法。
- 前記第2のカソードのスクリーンがワイヤ・メッシュを構成し、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を前記メッシュのワイヤ間に形成し、かつ電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を前記メッシュのワイヤ間に形成するステップを含む、請求項9に記載の方法。
- 電気めっきするパターン上の金属フィーチャが、異なる間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする高密度フィーチャ領域が、狭い間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする低密度フィーチャ領域が、広い間隔で配置された金属線を含む、請求項9に記載の方法。
- 前記ワイヤ・メッシュが直径約0.001〜0.05インチ(約0.025〜1.3mm)のワイヤで作製される、請求項10に記載の方法。
- 前記第2のカソードのスクリーンの、より大きいサイズの開口が、電気めっきする高密度フィーチャ隣接領域に比べて縮小されたサイズのものである、請求項9に記載の方法。
- 基板表面の異なる密度の金属フィーチャを電気めっきするための装置であって、
内部にアノードを有する電気めっき浴と、
前記電気めっき浴に浸漬され前記アノードから離して配置されるカソードを構成する、めっきされる基板と、
前記電気めっき浴の前記基板と前記アノードの間で、前記基板表面に隣接し前記基板表面から離れるよう配置された、電気めっきする金属フィーチャに一致する異なるサイズの開口を有するスクリーニング部分を含む第2のカソードであって、前記第2のカソードのスクリーニング部分が、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を有し、電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を有するものである第2のカソードと、
電流を前記電気めっき浴に流して前記基板と前記アノードの間に印加するための第1の電源と、
電流を前記電気めっき浴に流して前記第2のカソードと前記アノードの間に印加するための第2の電源と
を含む装置。 - 前記第2のカソードのスクリーニング部分がワイヤ・メッシュを構成する、請求項15に記載の装置。
- 前記第2のカソードのスクリーニング部分がワイヤ・メッシュを構成し、前記メッシュが、電気めっきする高密度フィーチャ領域に隣接してより大きいサイズの開口を前記ワイヤ間に有し、かつ電気めっきする低密度フィーチャ領域に隣接してより小さいサイズの開口を前記ワイヤ間に有する、請求項15に記載の装置。
- 電気めっきする金属フィーチャが、異なる間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする高密度フィーチャ領域が、狭い間隔で配置された金属線を含み、電気めっきする低密度フィーチャ領域が、広い間隔で配置された金属線を含む、請求項15に記載の装置。
- 前記ワイヤ・メッシュが直径約0.001〜0.05インチ(約0.025〜1.3mm)のワイヤで作製される、請求項16に記載の装置。
- 前記第2のカソードのスクリーニング部分の、より大きいサイズの開口が、電気めっきする高密度フィーチャ隣接領域に比べて縮小されたサイズのものである、請求項15に記載の装置。
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