JP2004186576A - 外部共振器レーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】消費電力を低減した外部共振器レーザを提供する。
【解決手段】本発明に係る外部共振器レーザ1は、LD20と、LD20に光学的に接続された外部共振器10とを備え、LD20で発せられた光をLD20の反射端面22と外部共振器10との間で発振させる外部共振器レーザ1において、外部共振器10は、所定波長の光を反射すると共に温度に応じて反射波長が変化するグレーティング12aと、グレーティング12a上に積層した薄膜抵抗13と、薄膜抵抗13に電流を加えることによって薄膜抵抗13を加熱する電極14と、を有する。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明に係る外部共振器レーザ1は、LD20と、LD20に光学的に接続された外部共振器10とを備え、LD20で発せられた光をLD20の反射端面22と外部共振器10との間で発振させる外部共振器レーザ1において、外部共振器10は、所定波長の光を反射すると共に温度に応じて反射波長が変化するグレーティング12aと、グレーティング12a上に積層した薄膜抵抗13と、薄膜抵抗13に電流を加えることによって薄膜抵抗13を加熱する電極14と、を有する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発振波長を変えることができる外部共振器レーザに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、発振波長の設定を行うことができる波長可変外部共振器レーザが、特許文献1などにより知られている。
【0003】
特許文献1に記載された波長可変外部共振器レーザは、レーザ発光素子と、結晶にグレーティングが形成された外部分布反射器と、が光結合されて構成される。そして、外部分布反射器の温度を制御することによって外部分布反射器の反射波長を変化させ、発振波長を変化させる。この波長可変外部共振器レーザでは、ペルチェ素子によって外部分布反射器の温度を制御している。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−233894号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した波長可変外部共振器レーザは、ペルチェ素子によって外部分布反射器の温度制御を行っているため、消費電力が大きかった。また、上記した波長可変外部共振器レーザでは、温度検知のみによってフィードバックを行っているが、この制御においてはキャビティ内に温度勾配が生じ、その温度勾配が外気温度によって変動するため、DWDM光ファイバ通信に要求される10pm以下の波長安定性を達成することは困難であった。
【0006】
そこで、本発明は上記課題を解決し、消費電力を低減させた外部共振器レーザを提供することを目的とする。さらに、波長安定性を高めた外部共振器レーザを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る外部共振器レーザは、励起光源と、励起光源に光学的に接続された外部共振器とを備え、励起光源で発せられた光を励起光源と外部共振器との間で発振させる外部共振器レーザにおいて、外部共振器は、所定波長の光を反射すると共に温度に応じて反射波長が変化するフィルタと、フィルタ上に積層した導電層と、導電層に電流を加えることによって導電層を加熱する電極と、を有することを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、外部共振器は、所定波長の光を反射するフィルタ上に導電層を積層し、この導電層を加熱する構成により、数十mA以下の電流と数百mW以下の小電力でフィルタの温度を制御でき、小電力で発振波長を制御することができる。
【0009】
上記外部共振器レーザは、励起光源とフィルタとの間で発振する光の波長を検出する波長検出手段をさらに備え、波長検出手段によって検出された発振波長に基づいて、電極によって導電層に加える電流を制御する、ことを特徴としても良い。
【0010】
このように発振波長を検出する波長検出手段を備え、検出された発振波長に基づいて外部共振器の温度制御を行うことにより、キャビティ内の温度勾配による波長のぶれを低減し、精度の高い波長制御を実現することができる。
【0011】
上記外部共振器レーザにおいて、フィルタは、基板上に作成した導波路に設けられたグレーティングであることが好ましい。
【0012】
上記外部共振器レーザにおいて、フィルタは、ファイバグレーティングであることが好ましい。
【0013】
上記外部共振器レーザにおいて、フィルタは、誘電体多層膜であることが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明に係る外部共振器レーザの好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【0015】
図1は、実施形態に係る外部共振器レーザ1を模式的に示す図である。外部共振器レーザ1は、励起光源である半導体レーザ(LD)20と、LD20に光学的に結合された外部共振器10と、を有する。
【0016】
次に、外部共振器10の構成について説明する。図2は、外部共振器10の構成を示す断面図である。外部共振器10は、SiO2基板11と、そのSiO2基板11上に作成された導波路12と、導波路12に設けられたグレーティング12aと、導波路12のグレーティング12aが設けられた部分に積層された薄膜抵抗(導電層)13と、薄膜抵抗13に電流を加えるための電極14と、を有する。
【0017】
グレーティング12aは、位相マスクを通して導波路12に紫外光を照射する方法によって形成することができる。このグレーティング12aは、温度によって反射する光の波長が変化するグレーティング12aである。また、薄膜抵抗13は、Cr、NiCr、TaSiなどの金属によって数μmの金属層を蒸着又はスパッタで形成し、その金属層の両端に金を蒸着又はパターン化して電極14を形成し、ワイヤボンディング15することによって形成することができる。それぞれの電極14は、4〜5mm程度の間隔をあけて形成されることが好ましい。
【0018】
LD20は、光の反射率が高い光反射端面22と、光の透過率が大きい光透過端面21とを有し、それぞれの端面に活性層が挟まれている。活性層で発せられた光は、光反射端面22で反射され、または直接に光透過端面21から出射される。外部共振器10は、LD20の光透過端面21の側に配置され、LD20から出射された光のうち、所定波長の光を反射する。これにより、その所定波長の光は、外部共振器10とLD20の光反射端面22との間で発振して増幅される。
【0019】
また、LD20の光反射端面22の側には、その端面から出射される光を検出する波長検出手段30が配置されている。波長検出手段30は、透過率が波長依存性を持つフィルタ(例えばエタロン)と、そのフィルタを透過した光を受光するフォトダイオードと、によって構成することができる。これにより、LD20の光反射端面22から出射される光によって発振波長を検出することができる。また、波長検出手段30は、LD20及び外部共振器10の電極14にそれぞれ接続されている。波長検出手段30によって検出された波長に基づいて薄膜抵抗13に加える電流及びLD20に加える電流を制御し、発振波長を一定に保つ。
【0020】
次に、実施形態に係る外部共振器レーザ1の動作について説明する。まず、外部から入力された信号に基づいてLD20に電流が印加される。そして、LD20で励起された光は透過端面21から出射され、出射された光の所定波長成分が外部共振器10のグレーティング12aによって反射される。グレーティング12aで反射された光は再びLD20内に入り、LD20の光反射端面22において反射される。このように所定波長の光は、LD20の光反射端面22とグレーティング12aとによって繰り返し反射され、発振して増幅される。
【0021】
この際、グレーティング12a上に積層された薄膜抵抗13に電流を加えてグレーティング12aの温度を制御し、グレーティング12aによって反射する光の波長を変化させることにより、外部共振器レーザ1の発振波長を制御することができる。
【0022】
本実施形態に係る外部共振器レーザ1においては、グレーティング12a上に薄膜抵抗(導電層)13を積層し、この薄膜抵抗13に電流を加えることによってグレーティング12aの温度を制御する構成とすることで、小電力でグレーティング12aの温度を制御して発振波長を制御することができる。従来のペルチェ素子を用いた温度制御では、グレーティング12aを100℃前後に維持するために通常4W程度の電力を要していたが、本実施形態における構成によれば、抵抗値200〜300Ωの薄膜抵抗13を用いた場合に100℃に維持するために必要な電力は100〜400mWであった。
【0023】
また、本実施形態における外部共振器レーザ1は、発振波長を検出する波長検出手段30を有し、波長検出手段30によって検出された発振波長に基づいて、LD20及びグレーティング12aに加える電流を制御しているので、キャビティ内の温度勾配による波長のぶれを低減させることができる。これにより、温度によって波長を制御する構成によっても、高い精度で波長を制御できる。
【0024】
以上、本発明の外部共振器レーザ1の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
【0025】
上記実施形態においては、グレーティング12aを透過した光をレーザ光として取り出していたが、図3に示されるように波長検出手段30が配置された側からレーザ光を取り出すこととしても良い。この場合には、光反射端面22を透過した光をビームスプリッタによって分離し、分離された一方の光を波長検出用の光として利用し、分離された他方の光をレーザ光として取り出すことができる。
【0026】
上記実施形態においては、LD20を挟んで波長検出手段30と外部共振器10とが配置されているが、本発明の外部共振器レーザはこの構成に限定されるものではない。例えば、図4に示されるように、外部共振器10を挟んで波長検出手段30とLD20とを配置して構成しても良い。さらに、レーザ光を取り出す方向についても、LD20の光反射端面22からレーザ光L1を取り出しても良いし、グレーティング12aを透過した光をレーザ光L2として波長検出手段30の側から取り出しても良い。
【0027】
上記実施形態においては、外部共振器10において光を反射させるフィルタとして、基板11上に形成された導波路12にグレーティング12aを形成したが、フィルタはファイバグレーティングであっても良いし、誘電体多層膜であってもよい。
【0028】
また、上記実施形態においては、励起光源としてLD20を用いたが、半導体光AMPを用いてもよい。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、外部共振器は、所定波長の光を反射すると共に温度によって反射波長が変化するフィルタ上に導電層を積層し、この導電層を加熱する構成により、数十mA以下の電流と数百mW以下の小電力で温度制御でき、これにより小電力で発振波長を制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る外部共振器レーザの模式図である。
【図2】実施形態における外部共振器の断面図である。
【図3】外部共振器レーザの他の例を示す模式図である。
【図4】外部共振器レーザの他の例を示す模式図である。
【符号の説明】
1…外部共振器レーザ、10…外部共振器、11…SiO2基板、12…導波路、12a…グレーティング、13…薄膜抵抗、14…電極、15…ボンディング、20…LD、30…波長検出手段。
【発明の属する技術分野】
本発明は、発振波長を変えることができる外部共振器レーザに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、発振波長の設定を行うことができる波長可変外部共振器レーザが、特許文献1などにより知られている。
【0003】
特許文献1に記載された波長可変外部共振器レーザは、レーザ発光素子と、結晶にグレーティングが形成された外部分布反射器と、が光結合されて構成される。そして、外部分布反射器の温度を制御することによって外部分布反射器の反射波長を変化させ、発振波長を変化させる。この波長可変外部共振器レーザでは、ペルチェ素子によって外部分布反射器の温度を制御している。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−233894号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した波長可変外部共振器レーザは、ペルチェ素子によって外部分布反射器の温度制御を行っているため、消費電力が大きかった。また、上記した波長可変外部共振器レーザでは、温度検知のみによってフィードバックを行っているが、この制御においてはキャビティ内に温度勾配が生じ、その温度勾配が外気温度によって変動するため、DWDM光ファイバ通信に要求される10pm以下の波長安定性を達成することは困難であった。
【0006】
そこで、本発明は上記課題を解決し、消費電力を低減させた外部共振器レーザを提供することを目的とする。さらに、波長安定性を高めた外部共振器レーザを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る外部共振器レーザは、励起光源と、励起光源に光学的に接続された外部共振器とを備え、励起光源で発せられた光を励起光源と外部共振器との間で発振させる外部共振器レーザにおいて、外部共振器は、所定波長の光を反射すると共に温度に応じて反射波長が変化するフィルタと、フィルタ上に積層した導電層と、導電層に電流を加えることによって導電層を加熱する電極と、を有することを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、外部共振器は、所定波長の光を反射するフィルタ上に導電層を積層し、この導電層を加熱する構成により、数十mA以下の電流と数百mW以下の小電力でフィルタの温度を制御でき、小電力で発振波長を制御することができる。
【0009】
上記外部共振器レーザは、励起光源とフィルタとの間で発振する光の波長を検出する波長検出手段をさらに備え、波長検出手段によって検出された発振波長に基づいて、電極によって導電層に加える電流を制御する、ことを特徴としても良い。
【0010】
このように発振波長を検出する波長検出手段を備え、検出された発振波長に基づいて外部共振器の温度制御を行うことにより、キャビティ内の温度勾配による波長のぶれを低減し、精度の高い波長制御を実現することができる。
【0011】
上記外部共振器レーザにおいて、フィルタは、基板上に作成した導波路に設けられたグレーティングであることが好ましい。
【0012】
上記外部共振器レーザにおいて、フィルタは、ファイバグレーティングであることが好ましい。
【0013】
上記外部共振器レーザにおいて、フィルタは、誘電体多層膜であることが好ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明に係る外部共振器レーザの好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【0015】
図1は、実施形態に係る外部共振器レーザ1を模式的に示す図である。外部共振器レーザ1は、励起光源である半導体レーザ(LD)20と、LD20に光学的に結合された外部共振器10と、を有する。
【0016】
次に、外部共振器10の構成について説明する。図2は、外部共振器10の構成を示す断面図である。外部共振器10は、SiO2基板11と、そのSiO2基板11上に作成された導波路12と、導波路12に設けられたグレーティング12aと、導波路12のグレーティング12aが設けられた部分に積層された薄膜抵抗(導電層)13と、薄膜抵抗13に電流を加えるための電極14と、を有する。
【0017】
グレーティング12aは、位相マスクを通して導波路12に紫外光を照射する方法によって形成することができる。このグレーティング12aは、温度によって反射する光の波長が変化するグレーティング12aである。また、薄膜抵抗13は、Cr、NiCr、TaSiなどの金属によって数μmの金属層を蒸着又はスパッタで形成し、その金属層の両端に金を蒸着又はパターン化して電極14を形成し、ワイヤボンディング15することによって形成することができる。それぞれの電極14は、4〜5mm程度の間隔をあけて形成されることが好ましい。
【0018】
LD20は、光の反射率が高い光反射端面22と、光の透過率が大きい光透過端面21とを有し、それぞれの端面に活性層が挟まれている。活性層で発せられた光は、光反射端面22で反射され、または直接に光透過端面21から出射される。外部共振器10は、LD20の光透過端面21の側に配置され、LD20から出射された光のうち、所定波長の光を反射する。これにより、その所定波長の光は、外部共振器10とLD20の光反射端面22との間で発振して増幅される。
【0019】
また、LD20の光反射端面22の側には、その端面から出射される光を検出する波長検出手段30が配置されている。波長検出手段30は、透過率が波長依存性を持つフィルタ(例えばエタロン)と、そのフィルタを透過した光を受光するフォトダイオードと、によって構成することができる。これにより、LD20の光反射端面22から出射される光によって発振波長を検出することができる。また、波長検出手段30は、LD20及び外部共振器10の電極14にそれぞれ接続されている。波長検出手段30によって検出された波長に基づいて薄膜抵抗13に加える電流及びLD20に加える電流を制御し、発振波長を一定に保つ。
【0020】
次に、実施形態に係る外部共振器レーザ1の動作について説明する。まず、外部から入力された信号に基づいてLD20に電流が印加される。そして、LD20で励起された光は透過端面21から出射され、出射された光の所定波長成分が外部共振器10のグレーティング12aによって反射される。グレーティング12aで反射された光は再びLD20内に入り、LD20の光反射端面22において反射される。このように所定波長の光は、LD20の光反射端面22とグレーティング12aとによって繰り返し反射され、発振して増幅される。
【0021】
この際、グレーティング12a上に積層された薄膜抵抗13に電流を加えてグレーティング12aの温度を制御し、グレーティング12aによって反射する光の波長を変化させることにより、外部共振器レーザ1の発振波長を制御することができる。
【0022】
本実施形態に係る外部共振器レーザ1においては、グレーティング12a上に薄膜抵抗(導電層)13を積層し、この薄膜抵抗13に電流を加えることによってグレーティング12aの温度を制御する構成とすることで、小電力でグレーティング12aの温度を制御して発振波長を制御することができる。従来のペルチェ素子を用いた温度制御では、グレーティング12aを100℃前後に維持するために通常4W程度の電力を要していたが、本実施形態における構成によれば、抵抗値200〜300Ωの薄膜抵抗13を用いた場合に100℃に維持するために必要な電力は100〜400mWであった。
【0023】
また、本実施形態における外部共振器レーザ1は、発振波長を検出する波長検出手段30を有し、波長検出手段30によって検出された発振波長に基づいて、LD20及びグレーティング12aに加える電流を制御しているので、キャビティ内の温度勾配による波長のぶれを低減させることができる。これにより、温度によって波長を制御する構成によっても、高い精度で波長を制御できる。
【0024】
以上、本発明の外部共振器レーザ1の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
【0025】
上記実施形態においては、グレーティング12aを透過した光をレーザ光として取り出していたが、図3に示されるように波長検出手段30が配置された側からレーザ光を取り出すこととしても良い。この場合には、光反射端面22を透過した光をビームスプリッタによって分離し、分離された一方の光を波長検出用の光として利用し、分離された他方の光をレーザ光として取り出すことができる。
【0026】
上記実施形態においては、LD20を挟んで波長検出手段30と外部共振器10とが配置されているが、本発明の外部共振器レーザはこの構成に限定されるものではない。例えば、図4に示されるように、外部共振器10を挟んで波長検出手段30とLD20とを配置して構成しても良い。さらに、レーザ光を取り出す方向についても、LD20の光反射端面22からレーザ光L1を取り出しても良いし、グレーティング12aを透過した光をレーザ光L2として波長検出手段30の側から取り出しても良い。
【0027】
上記実施形態においては、外部共振器10において光を反射させるフィルタとして、基板11上に形成された導波路12にグレーティング12aを形成したが、フィルタはファイバグレーティングであっても良いし、誘電体多層膜であってもよい。
【0028】
また、上記実施形態においては、励起光源としてLD20を用いたが、半導体光AMPを用いてもよい。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、外部共振器は、所定波長の光を反射すると共に温度によって反射波長が変化するフィルタ上に導電層を積層し、この導電層を加熱する構成により、数十mA以下の電流と数百mW以下の小電力で温度制御でき、これにより小電力で発振波長を制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係る外部共振器レーザの模式図である。
【図2】実施形態における外部共振器の断面図である。
【図3】外部共振器レーザの他の例を示す模式図である。
【図4】外部共振器レーザの他の例を示す模式図である。
【符号の説明】
1…外部共振器レーザ、10…外部共振器、11…SiO2基板、12…導波路、12a…グレーティング、13…薄膜抵抗、14…電極、15…ボンディング、20…LD、30…波長検出手段。
Claims (5)
- 励起光源と、前記励起光源に光学的に接続された外部共振器とを備え、前記励起光源で発せられた光を前記励起光源と前記外部共振器との間で発振させる外部共振器レーザにおいて、
前記外部共振器は、
所定波長の光を反射すると共に温度に応じて反射波長が変化するフィルタと、
前記フィルタ上に積層した導電層と、
前記導電層に電流を加えることによって前記導電層を加熱する電極と、
を有することを特徴とする外部共振器レーザ。 - 前記励起光源と前記フィルタとの間で発振する光の波長を検出する波長検出手段をさらに備え、
前記波長検出手段によって検出された発振波長に基づいて、前記電極によって前記導電層に加える電流を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載の外部共振器レーザ。 - 前記フィルタは、基板上に作成した導波路に設けられたグレーティングであることを特徴とする請求項1又は2に記載の外部共振器レーザ。
- 前記フィルタは、ファイバグレーティングであることを特徴とする請求項1又は2に記載の外部共振器レーザ。
- 前記フィルタは、誘電体多層膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の外部共振器レーザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002354109A JP2004186576A (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | 外部共振器レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002354109A JP2004186576A (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | 外部共振器レーザ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004186576A true JP2004186576A (ja) | 2004-07-02 |
Family
ID=32755226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002354109A Pending JP2004186576A (ja) | 2002-12-05 | 2002-12-05 | 外部共振器レーザ |
Country Status (1)
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---|---|
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Citations (8)
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-
2002
- 2002-12-05 JP JP2002354109A patent/JP2004186576A/ja active Pending
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