JP2004148413A - プラズマディスプレイパネルの隔壁研削用金属粉末 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの隔壁研削用金属粉末 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004148413A JP2004148413A JP2002313340A JP2002313340A JP2004148413A JP 2004148413 A JP2004148413 A JP 2004148413A JP 2002313340 A JP2002313340 A JP 2002313340A JP 2002313340 A JP2002313340 A JP 2002313340A JP 2004148413 A JP2004148413 A JP 2004148413A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal powder
- low
- glass layer
- weight
- melting glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
【解決手段】平均粒径が10μm以上、30μm以下;最大粒径が100μm以下を、共に満足する金属粉末である。この金属粉末を被加工物に噴射して研削加工する方法である。
【選択図】 図1
Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、低融点ガラス層に噴射され、この低融点ガラス層を研削加工する金属粉末、この金属粉末を用いた研削方法、及びこの金属粉末を用いた低融点ガラス層のパターン形成方法、並びにこの方法により製造されたプラズマディスプレイパネルの隔壁に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、プラズマディスプレイ(以下、PDPと記す)の隔壁を製造する方法の一つとして、サンドブラスト法が広く採用されている。このサンドブラスト法は、通常、電極が設けられたガラス等の基板上に、ブラスト性を有する厚さ1mm以下の低融点ガラス層を形成し、この低融点ガラス層に、マスキングテープ等を所定の間隔(例えば、幅50〜600μm)で塗布又は印刷した後、この表面側から研削材を噴射してブラスト加工することで、前記低融点ガラス層をガラス等の基板に到達する深さまで研削する方法である。
【0003】
このサンドブラスト法に使用される研削材としては、例えば、アルミナサンド、ガラスビーズ、炭酸カルシウム等が使用されている。
【0004】
例えば、特開2001−9727号公報(特許文献1)には、以下に示す式(1)、(2)、(3)、(4)及び(5)を共に満足する無機粒子粉体からなる研削材が記載されている。
【0005】
(1) 10≦A≦0.8C
(2) 0.03C≦B≦0.5C
(3) 50≦C≦800
(4) 30≦D≦95
(5) E2 −3.5≦E1 ≦E2 −0.5
但し、
A:研削材の最大粒子径(μm)
B:研削材の平均粒子径(μm)
C:加工ピッチで隔壁幅d1 +研削溝幅d2 (μm)
D:粒子の不定形を示す指数(%)で、粒子投影面積の外接円に対する面積率を示す。
E1 :研削材のモース硬度
E2 :基板又は電極のいずれか低い方のモース硬度
そして研削材としては、天然、合成のいずれの無機粒子粉体でもよく、天然の無機粒子粉体としては石灰石、重晶石、石膏が、合成無機粒子粉体としては炭酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸カルシウム等が好ましいことが開示されている。
【0006】
また、特開2001−122644号公報(特許文献2)には、金属粉末を90%以上含有する研削材を用いて、低融点ガラスを研削加工する技術が開示されている。
〔特許文献1〕
特開2001−9727号公報
〔特許文献2〕
特開2001−122644号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開2001−9727号公報に記載された研削材は比重が小さいため、衝突エネルギーが小さく、研削力が小さい。このため、加工に時間がかかり、生産性が悪くなるという欠点がある。
【0008】
また、研削材の粒子が脆いため、この粒子が噴射(ブラスト)により破壊されて品質が変化し、これを再利用すると、被加工物の品質にばらつきが生じてしまう。
【0009】
そしてまた、アルミナサンドやガラスビーズは、粒子の硬度が高いため、ブラスト時に、研削対象以外の物、例えば、マスキング、ガラス基板、電極等に損傷を与えてしまう虞がある。
【0010】
また、炭酸カルシウムは、それ自身の硬度は低いが、天然の石灰石を粉砕して製造されるため、微量の不純物を含んでいる。この不純物の中には、例えば、二酸化珪素等の硬質の物質が含まれているため、前記アルミナサンドやガラスビーズと同様に、研削対象以外の物に損傷を与えてしまう虞がある。
【0011】
一方、金属粉末は、特開2001−122644号公報に開示されているように、リサイクル可能である等のメリットを有するが、ブラストによる衝突エネルギーに起因する発熱で、研削材が酸化、変色し、PDPにその色が移る(酸化物が付着する)とか、酸化によって生成したスケールが研削材から剥離するという虞がある。この剥離したスケールは、研削されたリブ材(低融点ガラスペースト)と共に回収される。ここで、研削されたリブ材は、ペーストとして再利用される場合があるが、前記剥離したスケールを含んだ状態で再利用されるので、後の焼成工程でPDPの隔壁が変色してしまう虞がある。
【0012】
また、研削材がブラスト装置内の経路を搬送される際に、当該研削材の粒子同士が接触することにより静電気が発生し、これらの粒子が凝集する場合がある。この凝集が生じると、ブラスト装置のノズルから噴射される研削材の噴射量が不安定となり、研削不良を起こす虞がある。
【0013】
本発明は、このような従来の問題点を解決することを課題とするものであり、研削材としての金属粉末の品質の変化を防止し、被加工物の研削を高い品質で歩留まり良く短時間で行うことができる金属粉末を提供することを目的とする。
【0014】
また、金属粉末の品質の変化を防止し、被加工物の研削を高い品質で歩留まり良く短時間で行うことができる研削方法、及び低融点ガラス層のパターン形成方法を提供することを目的とするものである。
【0015】
そしてまた、前記低融点ガラス層のパターン形成方法を用いて製造されたプラズマディスプレイパネルの隔壁を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明は、C:0.1重量%以下、Si:1.5重量%以下、Mn:1.0重量%以下、Cr:9〜30重量%、Al:5.0重量%以下、チタン1.0重量%以下で、残部がFeおよび不可避元素からなる金属粉末を、研削材として提供するものである。
【0017】
この金属粉末は、金属であるため比重が高く、優れた研削力を得ることができる。また、その平均粒径も優れた研削力が得られる範囲に設定(10μm≦平均粒径≦30μm)されている。したがって、被加工物に対する加工時間を短縮することができ、生産性を向上することができる。
【0018】
そしてまた、本発明にかかる金属粉末は、その最大粒径を100μm以下に設定することで、より最適な研削力が得られると共に、例えば、狭い間隔の隙間部分を研削する際に、当該隙間に金属粉末が詰まることを防止することができる。そしてさらに、この金属粉末の最大粒径は、80μm以下であることがより好ましい。
【0019】
また、前記のように、金属粉末は、C:0.1重量%以下、Si:1.5重量%以下、Mn:1.0重量%以下、Cr:9〜30重量%、Al:5.0重量%以下、Ti:1.0重量%以下で、残部が鉄分と不可避成分で構成されるステンレス鋼または耐熱鋼とすることができる。
【0020】
この構成の金属粉末は、前述した利点に加え、優れた耐酸化性を有することができる。なお、各々の成分の意義は、以下の通りである。
【0021】
Cは、耐酸化性を向上させるCrと結びつき、炭化物(Cr23C6)を生成する。このため、酸化皮膜中のCr2O3が減少することとなり、耐酸化性が低下するので、C添加の上限を0.1重量%に設定した。
【0022】
Siは、粒子表面に酸化皮膜(SiO2)を生成すると考えられており、耐酸化性を向上させる元素である。しかし、Siを過度に添加すると、Siは酸素と結合しやすい元素であり、前記のスケールが生成し易くなるので、添加の上限を1.5重量%に設定した。
【0023】
Mnは、スピネル酸化物(MnCr2O4、MnSiO3)を生成し、不動態皮膜である酸化クロム(Cr2O3)を減少させるため、耐酸化性を低下させる元素である。したがって、添加の上限を1.5重量%に設定した。
【0024】
Crは、粒子表面に酸化皮膜(Cr2O3)を生成し、耐酸化性を向上させる元素である。したがって、9重量%〜30重量%の割合で添加した。好ましくは17〜21重量%の範囲とする。
【0025】
Alは、粒子表面に酸化皮膜(Al2O3)を生成すると考えられており、耐酸化性を向上させる元素である。しかしながら、過度に添加してもその効果は期待できないので、添加の上限を5.0重量%に設定した。好ましくは2〜4重量%の範囲とする。
【0026】
Tiは、Cと結合しやすい元素であり、微細な炭化物(TiC)を生成する。このため、クロム炭化物の生成を抑えることができ、耐食性の低下を防ぐので、耐酸化性を向上させる元素である。しかしながら、過度に添加してもその効果は期待できないので、添加の上限を1.0重量%に設定した。好ましくは0.1〜0.6%の範囲とする。
【0027】
また、本発明にかかる他の金属粉末は、前述した金属粉末100重量%に対し、流動性及び耐吸湿性を付与する物質を0.01〜5重量%の割合で混合することができる。この流動性及び耐吸湿性を付与する物質は、例えば、粉末の状態で前述した金属粉末に混合される。
【0028】
そしてまた、本発明にかかる他の金属粉末は、前述した金属粉末の表面の一部または全体に、流動性及び耐吸湿性を付与する物質を、前述した金属粉末100重量%に対し、0.01〜5重量%の割合で付着させることもできる。
【0029】
このように、前記金属粉末に流動性及び耐吸湿性(疎水性)を付与する物質を混合する、あるいは、前記金属粉末の表面の一部または全体に、流動性及び耐吸湿性を付与する物質を付着させることで、得られた金属粉末(研削材)が凝集することを防止することができる。このため、このようにして得られた金属粉末(研削材)の噴射量を安定化させ、かつ装置内搬送時の流動による静電気発生を防止することができる。さらに吸湿による品質の変化を防止することができる。
【0030】
前記流動性及び吸湿性を改善する物質としては、例えば、ステアリン酸、無水シリカ粒子等が挙げられる。
【0031】
そしてまた、前記金属粉末が噴射される被加工物としては、特に限定されるものではないが、例えば、基板上に形成された低融点ガラス層等が挙げられる。
【0032】
また、本発明は、被加工物に金属粉末を噴射し、当該被加工物を研削加工する研削方法であって、前述した金属粉末を被加工物に噴射する工程を備えた研削方法を提供するものである。
【0033】
そしてまた、本発明は、低融点ガラス層のパターン形成方法であって、基板上に低融点ガラスペーストを塗布し乾燥させ、低融点ガラス層を形成する工程と、前記低融点ガラス層にレジストを選択的に形成する工程と、前記レジストをマスクとして、前述した金属粉末を噴射して、前記低融点ガラス層を研削する工程と、前記研削工程後、不要部分を除去する工程と、前記除去工程後、前記研削された焼成する工程と、を備えた低融点ガラス層のパターン形成方法を提供するものである。
【0034】
さらにまた、本発明は、基板上に形成された低融点ガラス層を研削加工して製造されるプラズマディスプレイパネルの隔壁であって、前記低融点ガラス層のパターン形成方法を用いて製造されたプラズマディスプレイパネルの隔壁を提供するものである。
【0035】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態にかかる金属粉末について具体的に説明するが、本発明は、この実施の形態により何ら制限を受けるものではない。
【0036】
まず、表1に記載する成分値(重量%)を有する金属粉末(実施例1〜2)を製造した。また、比較として、表1に記載する成分値(重量%)を有する金属粉末(比較例1〜8)を製造した。さらに、比較として、炭酸カルシウム(比較例9)、ガラスビーズ(比較例10)、アルミナ(比較例11)を用意した。
【0037】
【表1】
【0038】
実施例1〜2、及び比較例1〜11について、平均粒径(μm)、最大粒径(μm)を、日機装株式会社製マイクロトラック粒度分析計SRA7995型を用いて測定した。この結果を表2に示す。
【0039】
【表2】
【0040】
次に、以下の方法によりPDPの隔壁を形成した。
(隔壁形成方法)
まず、42インチのガラス基板(厚さ3mm)上に、電極を150μm間隔でストライプ状に印刷形成し、その上に低融点ガラスペースト(リブ材)をコーターで塗布する。次に、これを乾燥した後、その表面にフォトレジスト(ドライフィルム)を貼り付け、紫外線で露光した後、現像し、低融点ガラスペースト上に、所望のレジストパターン(マスク)を形成した。
【0041】
次に、前記レジストパターンが形成された基板をブラスト装置にセットし、実施例1〜2の各種金属粉末を用い、前記レジストパターンをマスクとして低融点ガラスペーストの研削を行った。なお、この研削は、ブラスト装置を以下の条件に設定して行った。
【0042】
噴射ノズル口径: 9mm
金属粉末噴射圧力: 1.0kg/cm2
金属粉末噴射量: 10g/min
基板までの距離: 30cm
次に、エアブローにて、研削したリブ材及び金属粉末を除去し、溶液(水酸化ナトリウム溶液)に15分間漬けて、フォトレジストを剥離した。その後、約550℃で30分間焼成して、図1に示すPDPの隔壁を製造した。
【0043】
なお、図1において、符号10はガラス基板、符号11は電極、符号12は隔壁である。
【0044】
また、比較として、比較例1〜11にかかる金属粉末を使用した以外は、前記と同様の方法でPDPの隔壁を製造した。
【0045】
次に、前記方法で製造した各々の隔壁について、単位時間当たりの研削量、隔壁損傷状態、基板損傷状態、マスキング損傷状態、隔壁間への金属粉末の挟まり状態、金属粉末の破壊状態、大気中での焼成による変色を、以下の方法で評価した。
【0046】
単位時間当たりの研削量は、各々の金属粉末がパネル全面の研削に要した時間を計測し、この値で研削するリブ材の量(隔壁の幅、高さ、及びその間隔と、パネルの大きさから求めた値)を徐して求めた値とした。
【0047】
隔壁損傷状態、基板損傷状態、マスキング損傷状態、隔壁間への金属粉末の挟まり状態、及び金属粉末の破壊状態は、電子顕微鏡を用いて目視観察を行い、下記基準により評価した。
【0048】
○ なし(良好)
△ 若干認められる
× 認められる(不良)
大気中での焼成による変色は、各金属粉末に対し、大気中で、550℃で30分間の加熱試験を実施した後、目視観察を行い上記基準により評価した。
【0049】
これらの結果を表3に示す。
【0050】
【表3】
【0051】
表3から、本発明にかかる金属粉末(実施例1〜2)は、加工速度(単位時間当たりの研削量)が速く、非研削対象物への損傷が無いことが確認された。また、金属粉末の破壊も無く、酸化による変色も無いことが確認された。
【0052】
次に、実施例1にかかる金属粉末に、この金属粉末100重量%に対し0.3重量%のステアリン酸を加熱付着(コーティング)した金属粉末(実施例3)を製造した。また、実施例1にかかる金属粉末に、この金属粉末100重量%に対し0.05重量%の無水シリカ粒子(日本アエロジル製のアエロジルR812)を添加し混合した金属粉末(実施例4)を製造した。
【0053】
次に、実施例1、実施例3及び実施例4について、JIS Z2502に規定されている形態のロートで、オリフィス径を5mmに設定したものを使用し、各々の流動性を下記基準により評価した。この結果を表4に示す。
【0054】
◎ 実施例1と比較して非常に良く流れる
○ 実施例1に比較して良く流れる
次に、実施例1及び実施例3について、完全に乾燥した実施例1及び実施例3の金属粉末(研削材)をガラス製シャーレに秤取し、これを温度20℃、湿度80%の雰囲気に調整した恒温恒湿容器内に静置した時の、時間毎の重量の増加を計量し、これを吸湿量とした。これを元に吸湿性を下記の基準により評価した。この結果を表4に示す。
【0055】
○ 実施例1と比較して吸湿性が低い(吸湿量が少ない)
【0056】
【表4】
【0057】
表4から、実施例1にかかる金属粉末の表面にステアリン酸を加熱付着させて得た金属粉末(実施例3)は、実施例1にかかる金属粉末に比べ、流動性がさらに良くなったことが確認された。また、実施例1にかかる金属粉末に無水シリカ粒子を添加し混合した金属粉末(実施例4)は、実施例1にかかる金属粉末に比べ、流動性がさらに良くなったことが確認された。また、吸湿性が低くなっていることが確認された。
【0058】
次に、前述した隔壁形成方法において、実施例1及び実施例2にかかる金属粉末による研削を行った後、研削されたリブ材20重量%と、新しいリブ材80重量%を混合してペースト化し、これを基板に塗布し、前記と同様の方法でPDPの隔壁を製造した。このリブ材を再利用して得た各々のPDP隔壁について、大気中で550℃で焼成したところ、変色はなく、良好な結果が得られた。
【0059】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にかかる金属粉末は、研削対象以外の部分や物に損傷を与えることなく、優れた研削力を発揮することができると共に、隙間が狭い部分を研削する際に、当該隙間に金属粉末が詰まることを防止することができる。この結果、被加工物の研削を高い品質で短時間に行うことができ、生産性を向上することができる。また、本発明にかかる金属粉末は、品質変化がほとんど無いので、再利用することができ、コストの低減、環境保持に貢献することができる。
【0060】
また、この金属粉末を用いた研削方法及び低融点ガラス層のパターン形成方法も前記と同様の効果を有することができる。
【0061】
さらに、前記方法を用いて製造されたPPDの隔壁は、精度が良く、優れた品質を備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるPPDの隔壁を示す斜視図である。
【符号の説明】
10 ガラス基板
11 電極
12 隔壁
Claims (8)
- 電極が設けられた基板及びその基板上に設けられたブラスト性低融点ガラス層をブラスト加工して所定の間隔を置いて隔壁を形成するための金属粉末であって、
C:0.1重量%以下、Si:1.5重量%以下、Mn:1.0重量%以下、Cr:9〜30重量%、Al:5.0重量%以下、チタン1.0重量%以下で、残部がFeおよび不可避元素からなることを特徴とする金属粉末。 - 平均粒径が、10μm以上、30μm以下である請求項1記載の金属粉末。
- 最大粒径が、100μm以下である請求項1または請求項2記載の金属粉末。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の金属粉末100重量%に対し、流動性及び耐吸湿性を付与する物質を0.01〜5重量%の割合で混合した金属粉末。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の金属粉末の表面の一部または全体に、流動性及び耐吸湿性を付与する物質を、当該金属粉末100重量%に対し、0.01〜5重量%の割合で付着させた金属粉末。
- 基板上に形成された低融点ガラス層に金属粉末を噴射し、当該低融点ガラス層を研削加工する研削方法であって、請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の金属粉末を低融点ガラス層に噴射する工程を備えた研削方法。
- 低融点ガラス層のパターン形成方法であって、基板上に低融点ガラスペーストを塗布した後、乾燥させ、低融点ガラス層を形成する工程と、前記低融点ガラス層にレジストを選択的に形成する工程と、前記レジストをマスクとして、請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の金属粉末を前記低融点ガラス層に噴射して、前記低融点ガラス層を研削する工程と、前記研削工程後、不要部分を除去する工程と、前記除去工程後、前記研削された低融点ガラス層を焼成する工程と、を備えた低融点ガラス層のパターン形成方法。
- 基板上に形成された低融点ガラス層を研削加工して製造されるプラズマディスプレイパネルの隔壁であって、請求項7記載の低融点ガラス層のパターン形成方法を用いて製造されたプラズマディスプレイパネルの隔壁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002313340A JP3842719B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | プラズマディスプレイパネルの隔壁研削用金属粉末 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002313340A JP3842719B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | プラズマディスプレイパネルの隔壁研削用金属粉末 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004148413A true JP2004148413A (ja) | 2004-05-27 |
JP3842719B2 JP3842719B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=32457982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002313340A Expired - Fee Related JP3842719B2 (ja) | 2002-10-28 | 2002-10-28 | プラズマディスプレイパネルの隔壁研削用金属粉末 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3842719B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007152494A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 研削用粉末、研削用粉末の製造方法および研削方法 |
EP1803532A1 (en) | 2005-12-28 | 2007-07-04 | Seiko Epson Corporation | Powder for grinding and grinding method |
WO2009133920A1 (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-05 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 高硬度ショット材 |
WO2019087688A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | マコー株式会社 | 酸化スケール除去方法 |
WO2019093041A1 (ja) * | 2017-11-07 | 2019-05-16 | マコー株式会社 | ワーク処理装置及び酸化スケール除去方法 |
-
2002
- 2002-10-28 JP JP2002313340A patent/JP3842719B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007152494A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 研削用粉末、研削用粉末の製造方法および研削方法 |
JP4710577B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 研削用粉末、研削用粉末の製造方法および研削方法 |
EP1803532A1 (en) | 2005-12-28 | 2007-07-04 | Seiko Epson Corporation | Powder for grinding and grinding method |
WO2009133920A1 (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-05 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 高硬度ショット材 |
JP2009263756A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 高硬度ショット材 |
WO2019087688A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | マコー株式会社 | 酸化スケール除去方法 |
WO2019093041A1 (ja) * | 2017-11-07 | 2019-05-16 | マコー株式会社 | ワーク処理装置及び酸化スケール除去方法 |
JP2019084626A (ja) * | 2017-11-07 | 2019-06-06 | マコー株式会社 | ワーク処理装置及び酸化スケール除去方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3842719B2 (ja) | 2006-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6117195B2 (ja) | プラズマ処理装置用部品およびプラズマ処理装置用部品の製造方法 | |
JP6084464B2 (ja) | プラズマエッチング装置用部品およびプラズマエッチング装置用部品の製造方法 | |
KR100859955B1 (ko) | 플라즈마 처리 용기 내부재 및 그 제조 방법 | |
US5967047A (en) | Thermal process for applying hydrophilic layers to hydrophobic substrates for offset printing plates | |
EP1803532A1 (en) | Powder for grinding and grinding method | |
JP2004148413A (ja) | プラズマディスプレイパネルの隔壁研削用金属粉末 | |
JP2004022643A (ja) | 基板の製造方法 | |
JP4264927B2 (ja) | 薄型表示装置用基板の製造方法 | |
US20040093802A1 (en) | Abrasive, and abrasive manufacturing method and device | |
KR101043588B1 (ko) | 내 플라즈마 세라믹 코팅막 형성방법 | |
JP4981294B2 (ja) | 溶射皮膜 | |
JP4981292B2 (ja) | 溶射用粉末及び溶射皮膜の形成方法 | |
JPH10134317A (ja) | 薄膜磁気ヘッド用基板とその製造方法 | |
JP4247945B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルのリブ形成用サンドブラスト研削材及びリブ形成方法並びにリブ形成材料回収及び再利用方法 | |
JP2001113464A (ja) | プラズマディスプレイパネルのリブ形成用サンドブラスト研削材及びリブ形成方法並びにリブ形成材料回収方法 | |
WO2007105670A1 (ja) | エアロゾルデポジション法による成膜体の製造方法 | |
JP2002114968A (ja) | 研磨材及び該研磨材を用いた研磨方法 | |
JP2972200B1 (ja) | 金属表面処理方法およびその処理を施した金属材 | |
JPH11219658A (ja) | プラズマ表示装置及びその製造方法 | |
JP3719558B2 (ja) | ペースト組成物およびこれを用いたパターン形成方法 | |
JP2001202875A (ja) | プラズマディスプレイパネルのリブ形成方法及びそれにより形成されたリブ | |
KR20070037410A (ko) | 열분사 피막 | |
JP2002302648A5 (ja) | ||
JP2001157966A (ja) | サンドブラスト装置及びプラズマディスプレイパネルのリブ形成方法 | |
JPH09216162A (ja) | ブラスト加工用研磨材及び当該研磨材を用いたブラスト加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060418 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060608 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060810 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100818 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110818 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120818 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130818 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |