JP2004140235A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004140235A JP2004140235A JP2002304631A JP2002304631A JP2004140235A JP 2004140235 A JP2004140235 A JP 2004140235A JP 2002304631 A JP2002304631 A JP 2002304631A JP 2002304631 A JP2002304631 A JP 2002304631A JP 2004140235 A JP2004140235 A JP 2004140235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- type
- base layer
- conductivity type
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Bipolar Transistors (AREA)
Abstract
【課題】SOI基板を用いた誘電体分離型半導体装置において、接合分離型装置と比較して高い電圧を印加した場合にも破壊しない半導体装置を提供する。
【解決手段】n型コレクタ層24と離間した位置に、p型ベース層21に接続した状態でp型ベース層21より不純物濃度の低いp−型不純物領域31を形成する。これにより、n型活性層12とp型ベース層21との境界付近であってn型コレクタ層24と対向した高電界領域における電界の集中が緩和され、従来より高い電圧の印加が可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】n型コレクタ層24と離間した位置に、p型ベース層21に接続した状態でp型ベース層21より不純物濃度の低いp−型不純物領域31を形成する。これにより、n型活性層12とp型ベース層21との境界付近であってn型コレクタ層24と対向した高電界領域における電界の集中が緩和され、従来より高い電圧の印加が可能となる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係わり、特にSOI(Silicon On Insulator)基板を用いた装置として好適なものに関する。
【0002】
【従来技術】
近年、コンピュータや通信機器等の電子機器には、複数のトランジスタや抵抗等により電気回路を構成し、1チップ上に集積化して形成した集積回路(Integrated Circuit、以下ICという)等の半導体装置が多用されている。
【0003】
このような装置のうち、高耐圧の素子を含むものは、一般にパワーICと呼ばれている。そして、駆動回路と制御回路とが一体化されたものは、モータ駆動装置等の各種用途に用いられている。
【0004】
これまで、エピタキシャル基板を用いて形成した接合分離型装置が知られていた。図8に、従来のエピタキシャル基板を用いた接合分離型装置に含まれるnpn型トランジスタの断面構成を示す。n又はp型半導体基板40上に、n+型埋め込み層41、n型エピタキシャル活性層42が形成され、活性層42の表面部分にベース層としてp型ウエル51が形成されている。このウエル51の表面部分に、エミッタ層としてn+型不純物領域52、ベース層としてp+型不純物領域53が形成されている。
【0005】
さらに、ウエル51と離間した位置に、活性層42の表面から埋め込み層41に至るまでn+型不純物領域54が形成され、この不純物領域54の表面部分にコレクタ層としてn+型不純物領域55が形成されている。
【0006】
活性層42の表面上には層間絶縁膜56が形成され、その表面上には図示されていない配線層が形成されている。層間絶縁膜56において不純物領域52、53、55上が露出するようにコンタクトホールが開口され、エミッタ電極57、ベース電極58、コレクタ電極59が形成されている。
【0007】
しかし、このような装置には、個々の素子が有する寄生容量が無視できず、また高耐圧化するためには素子分離領域の面積を大きくとる必要がある等の問題があった。
【0008】
このような問題を解決するものとして、SOI基板を用いた装置がある。SOI基板を用いた装置は誘電体分離型であるため、個々の素子の寄生容量が小さい点で優れている。さらに、素子分離をトレンチ溝を用いて行うことができるので、高耐圧化しても素子分離領域の面積を大きくとる必要がない。
図9に、従来のSOI基板を用いた誘電体分離型装置に含まれるnpn型トランジスタを示す。n又はp型半導体基板10上に埋め込み酸化膜層11が形成され、その上にn型活性層12が形成されている。
【0009】
この活性層12は、隣接する素子領域との間を、シリコン酸化膜13、多結晶シリコン膜14及びシリコン酸化膜15で分離されている。
【0010】
この活性層12の表面部分に、ベース層としてp型ウエル21が形成されている。このウエル21の表面部分に、エミッタ層としてn+型不純物領域22、ベース層としてp+型不純物領域23が形成されている。
【0011】
さらに、半導体層41の表面部分においてウエル21と離間した位置に、コレクタ層としてn+型不純物領域24が形成されている。
【0012】
活性層12の表面上に層間絶縁膜25が形成され、その表面上に図示されていない配線層が形成されている。層間絶縁膜25において不純物領域22、23、24上が露出するようにコンタクトホールが開口され、エミッタ電極26、ベース電極27、コレクタ電極28が形成されている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図9に示された構造を有する従来の誘電体分離型装置には、ベース電極27をオープンした状態でエミッタ電極26とコレクタ電極28間に電圧を印加したとき、このnpn型トランジスタは図8に示された接合分離型装置のnpn型トランジスタと比較してより低い印加電圧でブレークダウンするという問題があった。
【0014】
以下に、従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタが、接合分離型装置よりも低い印加電圧でブレークダウンすることの原理を説明する。
【0015】
図10及び図11において、ベース電極58、27をオープンにした状態でエミッタ電極57、26とコレクタ電極59、28との間に電圧を印加した場合に、電界が最も高くなるのはそれぞれ図示されたA11、A12の部分である。
【0016】
この部分A11、A12において、インパクトイオン化によってエレクトロンe−とホールh−とが発生し、エレクトロンe−はコレクタ側(不純物領域55、24)に流れる。
【0017】
ベース電極58、27がオープンであるため、ホールh−はベース電極58、27へ流れ込むことができず、ベース層(不純物領域51、21)内に蓄積する。そして、エミッタ−ベース間の電位差がビルトイン電圧を超えると、エミッタ側(不純物領域52、22)から電子が注入される。
【0018】
このとき、接合分離型装置におけるnpn型トランジスタでは、図10に示されたように、エミッタ側から注入された電子が、n+型埋め込み層41を経由してコレクタ側(不純物領域55)へ流れる。しかし、従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタでは、図11に示されたようにエミッタ側から注入された電子が高電界領域A12を経由してコレクタ側(不純物領域24)へ流れる。
【0019】
このため、インパクトイオン化に正の帰還がかかってしまい、素子がブレークダウンすることとなる。ここで、上述した従来の装置を開示するものとして、例えば以下のような文献がある。
【0020】
【特許文献1】
特願平2001−243205号(図9及び図10)
本発明は上記事情に鑑み、SOI基板を用いた誘電体分離型装置において、従来の装置と比較して高い印加電圧を用いた場合にも破壊を防止することが可能な半導体装置を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置は、
第1又は第2導電型半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された埋込酸化膜と、
前記埋込酸化膜上に形成された第1導電型活性層と、
前記活性層の表面部分において選択的に形成された第2導電型ベース層と、
前記活性層の表面部分において前記ベース層と離間した領域に形成された第1導電型コレクタ層と、
前記ベース層の表面部分において選択的に形成された第1導電型エミッタ層と、
前記活性層の表面部分における前記ベース層と前記コレクタ層とに挟まれた領域において前記ベース層に接続されるように形成され、前記ベース層より不純物濃度が低い第2導電型不純物領域と、
を備えることを特徴とする。
【0022】
あるいは本発明の半導体装置は、
第1又は第2導電型半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された埋込酸化膜と、
前記埋込酸化膜上に形成された第1導電型活性層と、
前記活性層の表面部分において選択的に形成された第2導電型ベース層と、
前記活性層の表面部分において前記ベース層と離間した領域に形成された第1導電型コレクタ層と、
前記ベース層の表面部分において選択的に形成された第1導電型エミッタ層と、
前記ベース層の表面に接続されるように形成されたベース電極と、
を備え、
前記ベース電極は、絶縁膜を介して前記ベース層の上部位置から前記コレクタ層の上部位置へ向かって延在する部分を含むことを特徴とする。
【0023】
ここで、前記活性層の表面部分における前記ベース層と前記コレクタ層とに挟まれた領域において前記ベース層に接続されるように形成され、前記ベース層より不純物濃度が低い第2導電型不純物領域をさらに備えてもよい。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0025】
(1)第1の実施の形態
図1に、本実施の形態によるSOI基板を用いた誘電体分離型装置に含まれるnpn型トランジスタの構成を示す。
【0026】
n又はp型半導体基板10上に埋め込み酸化膜11が形成され、埋め込み酸化膜11上にn+型活性層12が形成されている。n+型活性層12の表面部分においてp型ベース層21が形成され、n型活性層12の表面部分におけるp型ベース層21と離間した領域にn+型コレクタ層24が形成されている。p+型ベース層23の表面部分において、選択的にn+型エミッタ層22が形成され、p型ベース層21の表面部分であってエミッタ層22と離間した領域にp型ベース層21より不純物濃度の高いp+型ベース層23が形成されている。
【0027】
さらに本実施の形態では、n+型活性層12の表面部分において、n+型コレクタ層24と離間した位置に、p型ベース層21に接続してp型ベース層21より不純物濃度の低いp−型不純物領域31が形成されている点に特徴がある。
【0028】
このp−型不純物領域31が存在することにより、A1の部分における電界集中が緩和される。この結果、図9に示された従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタより高い電圧を印加することが可能となる。
【0029】
本実施の形態における部分A1周辺の等電位線101を図2に示し、図9及び図11に示された従来の誘電体分離型装置における部分A12周辺の等電位線201を図3に示す。従来の装置では、部分A12周辺における等電位線101の曲率が小さく、電界が集中していた。これにより、アバランシェ降伏が発生し耐圧の低下を招いていた。
【0030】
これに対し本実施の形態によれば、p−型不純物領域31の存在によって部分A1周辺の等電位線101の曲率が大きくなり、電界集中が緩和される。この結果、従来の装置と比較し高い電圧を印加した場合にも素子のブレークダウンを防止することが可能である。
【0031】
(2)第2の実施の形態
本発明の第2の実施の形態は、図4に示される構成を備えている。図1に示された上記第1の実施の形態と比較し、p−型不純物領域31が形成されておらず、その替わりにベース電極27にベース電極延在部27aが接続された状態で設けられている点で相違する。このベース電極延在部27aは、層間絶縁膜25を介してベース電極27の上部位置からコレクタ電極28の上部位置に向かって延在するように設けられている。このベース電極延在部27aの存在により、部分A2における電界集中が緩和される。これにより、図9に示された従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタより高い電圧の印加が可能となる。
【0032】
図5に、本実施の形態における部分A2周辺の等電位線102を示す。ベース電極延在部27aの存在により、部分A2周辺がベース電極27と略等電位になる。ここで、ベース電極27がオープンであっても、実際には接地電位にあると考えられる。部分A2周辺の等電位線101の曲率が大きくなることで、この部分A2における電界の集中が緩和され、従来の装置と比較し高い電圧を印加した場合であっても素子のブレークダウンを防止することができる。
【0033】
(3)第3の実施の形態
本発明の第3の実施の形態について、その構成を示す図6を用いて説明する。
本実施の形態は、図1に示された上記第1の実施の形態におけるp−型不純物領域31と、図4に示された上記第2の実施の形態におけるベース電極延在部27aとを併せて備えている。これにより、上記第1あるいは第2の実施の形態以上に、部分A3における電界集中がより大きく緩和される。
【0034】
図7に、本実施の形態における部分A3周辺の等電位線103を示す。p−型不純物領域31及びベース電極延在部27aが共に存在することにより、上記第1の実施の形態における等電位線101、上記第2の実施の形態における等電位線102より、本実施の形態の等電位線103の曲率が大きくなり、部分A3における電界の集中が緩和される。この結果、従来の装置より高い電圧を印加した場合でも素子のブレークダウンを防止することができる。
【0035】
上述した実施の形態はいずれも一例であり、本発明を限定するものではない。
本発明の技術的範囲内において、必要に応じて様々に変形することが可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体装置によれば、活性層の表面部分におけるベース層とコレクタ層との間にベース層に接続されるように形成され、ベース層より不純物濃度が低い不純物領域を備えることにより、あるいはベース電極が絶縁膜を介してベース層の上部位置からコレクタ層の上部位置へ向かって延在する部分を含むことにより、ベース層からコレクタ層に向かう位置に存在する高電界領域の電界が緩和され、エミッタとコレクタとの間に高い電圧を印加することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による半導体装置を説明するSOI基板上のnpn型トランジスタの断面図。
【図2】同半導体装置において所定の領域における電界集中が緩和されることを示す拡大図。
【図3】従来の半導体装置において所定の領域で電界が集中することを示す拡大図。
【図4】本発明の第2の実施の形態による半導体装置を説明するSOI基板上のnpn型トランジスタの断面図。
【図5】同半導体装置において所定の領域における電界集中が緩和されることを示す拡大図。
【図6】本発明の第3の実施の形態による半導体装置を説明するSOI基板上のnpn型トランジスタの断面図。
【図7】同半導体装置において所定の領域における電界集中が緩和されることを示す拡大図。
【図8】従来の接合分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタの構成を示した断面図。
【図9】従来の誘電体分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタの構成を示した断面図。
【図10】従来の接合分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタのエミッタ−コレクタ間に電圧を印加した場合に流れる電流の経路を示す断面図。
【図11】従来の誘電体分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタのエミッタ−コレクタ間に電圧を印加した場合に流れる電流の経路を示す断面図。
【符号の説明】
10 半導体基板
11 埋め込み酸化膜
12 活性層
13、15 シリコン酸化膜
14 多結晶シリコン膜
21 不純物領域(ベース層)
22 不純物領域(エミッタ層)
23 不純物領域(ベース層)
24 不純物領域(コレクタ層)
25 層間絶縁膜
26 エミッタ電極
27、27a ベース電極
28 コレクタ電極
31 p−型不純物領域
101、102、103 等電位線
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係わり、特にSOI(Silicon On Insulator)基板を用いた装置として好適なものに関する。
【0002】
【従来技術】
近年、コンピュータや通信機器等の電子機器には、複数のトランジスタや抵抗等により電気回路を構成し、1チップ上に集積化して形成した集積回路(Integrated Circuit、以下ICという)等の半導体装置が多用されている。
【0003】
このような装置のうち、高耐圧の素子を含むものは、一般にパワーICと呼ばれている。そして、駆動回路と制御回路とが一体化されたものは、モータ駆動装置等の各種用途に用いられている。
【0004】
これまで、エピタキシャル基板を用いて形成した接合分離型装置が知られていた。図8に、従来のエピタキシャル基板を用いた接合分離型装置に含まれるnpn型トランジスタの断面構成を示す。n又はp型半導体基板40上に、n+型埋め込み層41、n型エピタキシャル活性層42が形成され、活性層42の表面部分にベース層としてp型ウエル51が形成されている。このウエル51の表面部分に、エミッタ層としてn+型不純物領域52、ベース層としてp+型不純物領域53が形成されている。
【0005】
さらに、ウエル51と離間した位置に、活性層42の表面から埋め込み層41に至るまでn+型不純物領域54が形成され、この不純物領域54の表面部分にコレクタ層としてn+型不純物領域55が形成されている。
【0006】
活性層42の表面上には層間絶縁膜56が形成され、その表面上には図示されていない配線層が形成されている。層間絶縁膜56において不純物領域52、53、55上が露出するようにコンタクトホールが開口され、エミッタ電極57、ベース電極58、コレクタ電極59が形成されている。
【0007】
しかし、このような装置には、個々の素子が有する寄生容量が無視できず、また高耐圧化するためには素子分離領域の面積を大きくとる必要がある等の問題があった。
【0008】
このような問題を解決するものとして、SOI基板を用いた装置がある。SOI基板を用いた装置は誘電体分離型であるため、個々の素子の寄生容量が小さい点で優れている。さらに、素子分離をトレンチ溝を用いて行うことができるので、高耐圧化しても素子分離領域の面積を大きくとる必要がない。
図9に、従来のSOI基板を用いた誘電体分離型装置に含まれるnpn型トランジスタを示す。n又はp型半導体基板10上に埋め込み酸化膜層11が形成され、その上にn型活性層12が形成されている。
【0009】
この活性層12は、隣接する素子領域との間を、シリコン酸化膜13、多結晶シリコン膜14及びシリコン酸化膜15で分離されている。
【0010】
この活性層12の表面部分に、ベース層としてp型ウエル21が形成されている。このウエル21の表面部分に、エミッタ層としてn+型不純物領域22、ベース層としてp+型不純物領域23が形成されている。
【0011】
さらに、半導体層41の表面部分においてウエル21と離間した位置に、コレクタ層としてn+型不純物領域24が形成されている。
【0012】
活性層12の表面上に層間絶縁膜25が形成され、その表面上に図示されていない配線層が形成されている。層間絶縁膜25において不純物領域22、23、24上が露出するようにコンタクトホールが開口され、エミッタ電極26、ベース電極27、コレクタ電極28が形成されている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図9に示された構造を有する従来の誘電体分離型装置には、ベース電極27をオープンした状態でエミッタ電極26とコレクタ電極28間に電圧を印加したとき、このnpn型トランジスタは図8に示された接合分離型装置のnpn型トランジスタと比較してより低い印加電圧でブレークダウンするという問題があった。
【0014】
以下に、従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタが、接合分離型装置よりも低い印加電圧でブレークダウンすることの原理を説明する。
【0015】
図10及び図11において、ベース電極58、27をオープンにした状態でエミッタ電極57、26とコレクタ電極59、28との間に電圧を印加した場合に、電界が最も高くなるのはそれぞれ図示されたA11、A12の部分である。
【0016】
この部分A11、A12において、インパクトイオン化によってエレクトロンe−とホールh−とが発生し、エレクトロンe−はコレクタ側(不純物領域55、24)に流れる。
【0017】
ベース電極58、27がオープンであるため、ホールh−はベース電極58、27へ流れ込むことができず、ベース層(不純物領域51、21)内に蓄積する。そして、エミッタ−ベース間の電位差がビルトイン電圧を超えると、エミッタ側(不純物領域52、22)から電子が注入される。
【0018】
このとき、接合分離型装置におけるnpn型トランジスタでは、図10に示されたように、エミッタ側から注入された電子が、n+型埋め込み層41を経由してコレクタ側(不純物領域55)へ流れる。しかし、従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタでは、図11に示されたようにエミッタ側から注入された電子が高電界領域A12を経由してコレクタ側(不純物領域24)へ流れる。
【0019】
このため、インパクトイオン化に正の帰還がかかってしまい、素子がブレークダウンすることとなる。ここで、上述した従来の装置を開示するものとして、例えば以下のような文献がある。
【0020】
【特許文献1】
特願平2001−243205号(図9及び図10)
本発明は上記事情に鑑み、SOI基板を用いた誘電体分離型装置において、従来の装置と比較して高い印加電圧を用いた場合にも破壊を防止することが可能な半導体装置を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置は、
第1又は第2導電型半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された埋込酸化膜と、
前記埋込酸化膜上に形成された第1導電型活性層と、
前記活性層の表面部分において選択的に形成された第2導電型ベース層と、
前記活性層の表面部分において前記ベース層と離間した領域に形成された第1導電型コレクタ層と、
前記ベース層の表面部分において選択的に形成された第1導電型エミッタ層と、
前記活性層の表面部分における前記ベース層と前記コレクタ層とに挟まれた領域において前記ベース層に接続されるように形成され、前記ベース層より不純物濃度が低い第2導電型不純物領域と、
を備えることを特徴とする。
【0022】
あるいは本発明の半導体装置は、
第1又は第2導電型半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された埋込酸化膜と、
前記埋込酸化膜上に形成された第1導電型活性層と、
前記活性層の表面部分において選択的に形成された第2導電型ベース層と、
前記活性層の表面部分において前記ベース層と離間した領域に形成された第1導電型コレクタ層と、
前記ベース層の表面部分において選択的に形成された第1導電型エミッタ層と、
前記ベース層の表面に接続されるように形成されたベース電極と、
を備え、
前記ベース電極は、絶縁膜を介して前記ベース層の上部位置から前記コレクタ層の上部位置へ向かって延在する部分を含むことを特徴とする。
【0023】
ここで、前記活性層の表面部分における前記ベース層と前記コレクタ層とに挟まれた領域において前記ベース層に接続されるように形成され、前記ベース層より不純物濃度が低い第2導電型不純物領域をさらに備えてもよい。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0025】
(1)第1の実施の形態
図1に、本実施の形態によるSOI基板を用いた誘電体分離型装置に含まれるnpn型トランジスタの構成を示す。
【0026】
n又はp型半導体基板10上に埋め込み酸化膜11が形成され、埋め込み酸化膜11上にn+型活性層12が形成されている。n+型活性層12の表面部分においてp型ベース層21が形成され、n型活性層12の表面部分におけるp型ベース層21と離間した領域にn+型コレクタ層24が形成されている。p+型ベース層23の表面部分において、選択的にn+型エミッタ層22が形成され、p型ベース層21の表面部分であってエミッタ層22と離間した領域にp型ベース層21より不純物濃度の高いp+型ベース層23が形成されている。
【0027】
さらに本実施の形態では、n+型活性層12の表面部分において、n+型コレクタ層24と離間した位置に、p型ベース層21に接続してp型ベース層21より不純物濃度の低いp−型不純物領域31が形成されている点に特徴がある。
【0028】
このp−型不純物領域31が存在することにより、A1の部分における電界集中が緩和される。この結果、図9に示された従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタより高い電圧を印加することが可能となる。
【0029】
本実施の形態における部分A1周辺の等電位線101を図2に示し、図9及び図11に示された従来の誘電体分離型装置における部分A12周辺の等電位線201を図3に示す。従来の装置では、部分A12周辺における等電位線101の曲率が小さく、電界が集中していた。これにより、アバランシェ降伏が発生し耐圧の低下を招いていた。
【0030】
これに対し本実施の形態によれば、p−型不純物領域31の存在によって部分A1周辺の等電位線101の曲率が大きくなり、電界集中が緩和される。この結果、従来の装置と比較し高い電圧を印加した場合にも素子のブレークダウンを防止することが可能である。
【0031】
(2)第2の実施の形態
本発明の第2の実施の形態は、図4に示される構成を備えている。図1に示された上記第1の実施の形態と比較し、p−型不純物領域31が形成されておらず、その替わりにベース電極27にベース電極延在部27aが接続された状態で設けられている点で相違する。このベース電極延在部27aは、層間絶縁膜25を介してベース電極27の上部位置からコレクタ電極28の上部位置に向かって延在するように設けられている。このベース電極延在部27aの存在により、部分A2における電界集中が緩和される。これにより、図9に示された従来の誘電体分離型装置におけるnpn型トランジスタより高い電圧の印加が可能となる。
【0032】
図5に、本実施の形態における部分A2周辺の等電位線102を示す。ベース電極延在部27aの存在により、部分A2周辺がベース電極27と略等電位になる。ここで、ベース電極27がオープンであっても、実際には接地電位にあると考えられる。部分A2周辺の等電位線101の曲率が大きくなることで、この部分A2における電界の集中が緩和され、従来の装置と比較し高い電圧を印加した場合であっても素子のブレークダウンを防止することができる。
【0033】
(3)第3の実施の形態
本発明の第3の実施の形態について、その構成を示す図6を用いて説明する。
本実施の形態は、図1に示された上記第1の実施の形態におけるp−型不純物領域31と、図4に示された上記第2の実施の形態におけるベース電極延在部27aとを併せて備えている。これにより、上記第1あるいは第2の実施の形態以上に、部分A3における電界集中がより大きく緩和される。
【0034】
図7に、本実施の形態における部分A3周辺の等電位線103を示す。p−型不純物領域31及びベース電極延在部27aが共に存在することにより、上記第1の実施の形態における等電位線101、上記第2の実施の形態における等電位線102より、本実施の形態の等電位線103の曲率が大きくなり、部分A3における電界の集中が緩和される。この結果、従来の装置より高い電圧を印加した場合でも素子のブレークダウンを防止することができる。
【0035】
上述した実施の形態はいずれも一例であり、本発明を限定するものではない。
本発明の技術的範囲内において、必要に応じて様々に変形することが可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体装置によれば、活性層の表面部分におけるベース層とコレクタ層との間にベース層に接続されるように形成され、ベース層より不純物濃度が低い不純物領域を備えることにより、あるいはベース電極が絶縁膜を介してベース層の上部位置からコレクタ層の上部位置へ向かって延在する部分を含むことにより、ベース層からコレクタ層に向かう位置に存在する高電界領域の電界が緩和され、エミッタとコレクタとの間に高い電圧を印加することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による半導体装置を説明するSOI基板上のnpn型トランジスタの断面図。
【図2】同半導体装置において所定の領域における電界集中が緩和されることを示す拡大図。
【図3】従来の半導体装置において所定の領域で電界が集中することを示す拡大図。
【図4】本発明の第2の実施の形態による半導体装置を説明するSOI基板上のnpn型トランジスタの断面図。
【図5】同半導体装置において所定の領域における電界集中が緩和されることを示す拡大図。
【図6】本発明の第3の実施の形態による半導体装置を説明するSOI基板上のnpn型トランジスタの断面図。
【図7】同半導体装置において所定の領域における電界集中が緩和されることを示す拡大図。
【図8】従来の接合分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタの構成を示した断面図。
【図9】従来の誘電体分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタの構成を示した断面図。
【図10】従来の接合分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタのエミッタ−コレクタ間に電圧を印加した場合に流れる電流の経路を示す断面図。
【図11】従来の誘電体分離型半導体装置に含まれるnpn型トランジスタのエミッタ−コレクタ間に電圧を印加した場合に流れる電流の経路を示す断面図。
【符号の説明】
10 半導体基板
11 埋め込み酸化膜
12 活性層
13、15 シリコン酸化膜
14 多結晶シリコン膜
21 不純物領域(ベース層)
22 不純物領域(エミッタ層)
23 不純物領域(ベース層)
24 不純物領域(コレクタ層)
25 層間絶縁膜
26 エミッタ電極
27、27a ベース電極
28 コレクタ電極
31 p−型不純物領域
101、102、103 等電位線
Claims (3)
- 第1又は第2導電型半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された埋込酸化膜と、
前記埋込酸化膜上に形成された第1導電型活性層と、
前記活性層の表面部分において選択的に形成された第2導電型ベース層と、
前記活性層の表面部分において前記ベース層と離間した領域に形成された第1導電型コレクタ層と、
前記ベース層の表面部分において選択的に形成された第1導電型エミッタ層と、
前記活性層の表面部分における前記ベース層と前記コレクタ層とに挟まれた領域において前記ベース層に接続されるように形成され、前記ベース層より不純物濃度が低い第2導電型不純物領域と、
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 第1又は第2導電型半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された埋込酸化膜と、
前記埋込酸化膜上に形成された第1導電型活性層と、
前記活性層の表面部分において選択的に形成された第2導電型ベース層と、
前記活性層の表面部分において前記ベース層と離間した領域に形成された第1導電型コレクタ層と、
前記ベース層の表面部分において選択的に形成された第1導電型エミッタ層と、
前記ベース層の表面に接続されるように形成されたベース電極と、
を備え、
前記ベース電極は、絶縁膜を介して前記ベース層の上部位置から前記コレクタ層の上部位置へ向かって延在する部分を含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記活性層の表面部分における前記ベース層と前記コレクタ層とに挟まれた領域において前記ベース層に接続されるように形成され、前記ベース層より不純物濃度が低い第2導電型不純物領域をさらに備えることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002304631A JP2004140235A (ja) | 2002-10-18 | 2002-10-18 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002304631A JP2004140235A (ja) | 2002-10-18 | 2002-10-18 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004140235A true JP2004140235A (ja) | 2004-05-13 |
Family
ID=32451993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002304631A Pending JP2004140235A (ja) | 2002-10-18 | 2002-10-18 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004140235A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014192197A (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体装置 |
WO2021256182A1 (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-23 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2002
- 2002-10-18 JP JP2002304631A patent/JP2004140235A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014192197A (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体装置 |
WO2021256182A1 (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-23 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2021197483A (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-27 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
JP7354937B2 (ja) | 2020-06-16 | 2023-10-03 | 株式会社デンソー | 半導体装置およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI609489B (zh) | 具有薄基體之垂直半導體元件 | |
KR100780967B1 (ko) | 고전압용 쇼트키 다이오드 구조체 | |
JP2002094063A (ja) | 半導体装置 | |
WO2016017383A1 (ja) | Esd素子を有する半導体装置 | |
JP3713490B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20020195659A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2002158353A (ja) | Mos電界効果トランジスタ | |
JP4569105B2 (ja) | 半導体装置 | |
TW202015240A (zh) | 閘極控制雙載子接面電晶體及其操作方法 | |
JP4615229B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3951815B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3275850B2 (ja) | 高耐圧ダイオードとその製造方法 | |
JP2004031519A (ja) | 半導体装置 | |
JP6844273B2 (ja) | 半導体装置 | |
US6281553B1 (en) | Semiconductor device, electrostatic discharge protection device, and dielectric breakdown preventing method | |
JP2004363136A (ja) | 半導体回路装置 | |
JP2004140235A (ja) | 半導体装置 | |
JP2003092414A (ja) | 半導体装置 | |
JP2833573B2 (ja) | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ | |
JP2004288873A (ja) | 半導体装置 | |
JP2004273793A (ja) | 半導体装置 | |
JP4867251B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20230146397A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2010232673A (ja) | 半導体装置 | |
JPH10256542A (ja) | 半導体装置 |