JP2004139638A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 露光光源からの光を記録情報に対応する光強度変調を行う変調手段と、該変調手段で変調された光を光記録媒体原盤上のフォトレジスト上に集光する集光光学系とが設けられて、前記フォトレジストを前記記録情報に応じてパターン露光する光記録媒体原盤露光装置であって、
   上記露光光源が、前記記録情報のクロック周波数の１倍以上２０倍以下の繰り返し周波数の超短パルスレーザよりなり、
   上記超短パルスレーザから出射されるレーザ光を分周する分周光学系が設けられてなることを特徴とする光記録媒体原盤露光装置。
2. 前記超短パルスレーザの繰り返し周波数が前記記録情報のクロック周波数の１倍以上２０倍以下の整数倍とされ、
   前記超短パルスレーザの共振器長を可変として、前記超短パルスレーザの繰り返し周波数を前記クロック周波数に同期してモードロックし、パルス発振させる外部同期機構が設けられてなることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体原盤露光装置。
3. 前記露光光源と前記分周光学系との間に、前記超短パルスレーザ光源を励起光源として非線形光学素子を用いた波長変換によって短波長化された光を出射する高次高調波発生手段が設けられることを特徴とする請求項１又は２に記載の光記録媒体原盤露光装置。
4. 上記分周光学系が、偏光ビームスプリッタ及び光遅延回路より構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光記録媒体原盤露光装置。
5. 上記分周光学系が、偏光ビームスプリッタ及び光遅延回路より構成されることを特徴とする請求項３に記載の光記録媒体原盤露光装置。
6. 前記フォトレジストの露光が、２光子吸収過程によってなされることを特徴とする請求項１又は２に記載の光記録媒体原盤露光装置。
7. 前記フォトレジストの露光が、２光子吸収過程によってなされることを特徴とする請求項３に記載の光記録媒体原盤露光装置。
8. 前記露光光源のパルス幅が１×１０^−１２秒以下であることを特徴とする請求項６に記載の光記録媒体原盤露光装置。
9. 前記露光光源のパルス幅が１×１０^−１２秒以下であることを特徴とする請求項７に記載の光記録媒体原盤露光装置。
10. 前記集光光学系から出射され、前記フォトレジストに集光されたレーザ光のスポット形状が、前記レーザ光の走査方向に延在する長円状とされることを特徴とする請求項６に記載の光記録媒体原盤露光装置。
11. 前記集光光学系から出射され、前記フォトレジストに集光されたレーザ光のスポット形状が、前記レーザ光の走査方向に延在する長円状とされることを特徴とする請求項７に記載の光記録媒体原盤露光装置。
12. 露光光源からの光を記録情報に対応して光強度変調を行い、該変調手段で変調された光を光記録媒体原盤上のフォトレジスト上に集光して、前記フォトレジストを前記記録情報に応じてパターン露光する光記録媒体原盤の露光方法であって、
    前記露光光源が、前記記録情報のクロック周波数の１倍以上２０倍以下の繰り返し周波数の超短パルスレーザよりなり、
    上記超短パルスレーザから出射されるレーザ光を分周する分周光学系を設けることを特徴とする光記録媒体原盤の露光方法。
13. 前記超短パルスレーザの繰り返し周波数を前記記録情報のクロック周波数の１倍以上２０倍以下の整数倍として、
    前記超短パルスレーザの共振器長を可変とする外部同期機構を設け、前記超短パルスレーザの繰り返し周波数を前記クロック周波数に同期してモードロックし、パルス発振させることを特徴とする請求項１２に記載の光記録媒体原盤の露光方法。
14. 前記露光光源から出射された光を、前記露光光源を励起光源とした高次高調波発生手段によって、非線形光学素子を用いた波長変換によって短波長化して出射させて前記分周光学系に入射させることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の光記録媒体原盤の露光方法。