JP2004124260A - クリーニング用ツール - Google Patents

Abstract

　【課題】　コーティング装置のアノードを迅速にクリーニングする改良されたツールを提供する。
　【解決手段】　コーティング装置のアノードをクリーニングするツール１０は、コードレスの動力ドリルのような駆動装置１９により駆動される回転するブラシ２０を有する。回転するブラシ２０および駆動装置１９は、支持構造体１６、およびコーティング装置に関連したシャフトにツールを連結させるアダプタ１４に接続されている。ツール１０はさらに、支持構造体１６に接続されてオペレータがアノードがクリーニングされているのを見れるようにする光源２４を含んでいる。
　【選択図】　図１

Description

　本発明は、低圧プラズマスプレイコーティング装置におけるアノード（陽極）をクリーニングするためのツールに関するものである。

　現在、通常は１週間である、低圧プラズマスプレイコーティング装置における長期に亘る稼働において、プラズマガン上のアノードの内側にプラズマコーティングの蓄積物（堆積物）が付着する。この蓄積物はコーティングスプレイの偏向ないし偏りの原因となり、コーティングが行われるエアフォイル上のコーティングの堆積に支障をきたす。この状況を是正するため、装置オペレータは真空状態を解除し、ワイヤブラシを手に持ってアノード内側の過剰な蓄積物を取り除く必要がある。この作業の完了後、オペレータは装置上の全てのシールを清浄化し、装置を真空状態に戻さなければならない。この工程には製造を開始するまえに約２時間から３時間を必要とする。この問題に対処するより良い手法が求められている。

　従って、本発明の目的は、コーティング装置のアノードをより迅速にクリーニングするための改良されたツールを提供することにある。
　本発明の別の目的は、コーティング装置におけるアノードをクリーニングするための改良された方法を提供することにある。

　上記の各目的は、本発明のアノードのクリーニング用のツールおよびクリーニング方法により達成される。
　本発明によれば、コーティング装置のアノード（陽極）をクリーニングつまり清浄化するためのツールが提供される。このアノードクリーニングツールは、概略的には、ルールをシャフトに連結するための手段、アノードをクリーニングするための手段、およびクリーニング手段を操作するための手段とを有してなり、前記操作手段は連結手段に接続されている。

　本発明のアノードクリーニングツールの他の詳細は、それに付随する他の目的および特長と共に、以下の詳細な説明および図面に詳しく述べられている。各図においては同様な構成要素は同様な参照符号が付けられている。

　添付図面を参照して、低圧プラズマスプレイコーティング装置のガンのような、コーティング装置のアノード１２をクリーニングするためのツール１０が例示されている。ツール１０は、アダプタ１４、およびアダプタ１４に接続された支持構造体１６を含んでいる。アダプタ１４は、コーティングされる部品を保持するために通常使用されるスティングシャフト１８内に嵌め込まれないし嵌合されている。アダプタ１４およびスティングシャフト１８は当業分野において公知であるいずれかの適切な手段を使用して一緒に連結されている。アダプタ１４は、図示したような裁頭円錐形状のようないずれかの所要の形状を有している。

　支持構造体１６は当業分野において公知であるいずれかの適切な材料から形成される。例えば、支持構造体１６はプラスチック材料から形成される。支持構造体１６に据付られているのは、アノード１２をクリーニングするためのブラシ２０を駆動するための装置１９である。本発明の好ましい実施形態において、駆動装置１９はコードレスの回転ドリルないし動力ドリル（電動ドリル）から構成される。コードレスの動力ドリルは市販のいずれかのコードレスの動力ドリルであって良い。ブラシ２０は、駆動装置１９内のチャック２２内に嵌め込まれないし嵌合される回転ブラシを有してなる。ブラシ２０は、ワイヤ材料あるいはいずれかの適切なブラシ材料から形成される。

　アノード１２がクリーニングされている所をオペレータが見ることができるようにするため、支持構造体１６には光源２４が固着されている。光源２４はマグライトのようなフラッシュライトを有してなる。本発明の好ましい実施形態において、光源２４は、支持構造体に対して移動できるように、支持構造体１６に固着されている。光源を支持構造体に対して移動できるように支持構造体１６に固着するために、当業分野において公知であるいずれかの適切な手段が使用される。例えば、光源２４および支持構造体１６にはピボットピン構造部が取付けられる。

　動作においては、オペレータは、コーティング装置内に部品を装填ないし搭載するのと全く同じようにツールが装填ないし搭載される。コーティングチャンバ内にツール１０を挿入する前に、オペレータは駆動装置１９の動作を開始し、また光源２４をオンにする。オペレータは次いでロードロック（load lock）を閉じ、コーティング装置の真空チャンバ内の圧力レベルを１０^−３Ｔｏｒｒに下げる。ガンないしアノード１２は次いでコンピュータにより位置決めされ、コンピュータはコーティング装置をブラシ２０により接触されるクリーニング位置に操作する。ブラシ２０は、その回転により、アノードないしガン１２がブラシ２０上で下降する際に堆積物を払い落とす。アノードないしガン１２がクリーニングされた後は、ツール１０は引っ込んでロードロック内に戻り、チャンバは通気された大気レベルに戻り、オペレータはツール１０を取り外しないし取り除く。よって、本発明のツール１０はコーティング装置のクリーニングのためのダウンタイムつまり中断時間を著しく減らすことができて、生産性を高めることができる。

　以上の通り、本発明によれば、上述した各目的、手段および特長を十分に満足できるアノードクリーニングツールが提供されることは明らかである。また、上記説明では本発明をその好ましい実施形態に基づいて説明したが、上記説明を参照することで当業者には他の代替え、変更、および変形は自明である。よって、本発明は特許請求の範囲内のこれら代替え、変更、および変形を含むものである。

本発明に係わるアノードクリーニングツールの斜視図である。

符号の説明

　１０　ツール
　１２　アノード
　１４　アダプタ
　１６　支持構造体
　１９　駆動装置
　２０　ブラシ
　２４　光源

Claims (8)

1. 　コーティング装置におけるアノードをクリーニングするためのツールであって、
   　前記ツールをシャフトに連結するための手段と、
   　アノードをクリーニングするための手段と、および
   　前記クリーニング手段を駆動するための手段とを有してなり、前記駆動手段が前記連結手段に接続されている、ことを特徴とするツール。
2. 　前記連結手段が、前記シャフト内に嵌合するためのアダプタと、支持構造体とを有してなる、ことを特徴とする請求項１記載のツール。
3. 　前記駆動手段が、前記クリーニング手段を回転運動させるための手段を有してなる、ことを特徴とする請求項２記載のツール。
4. 　前記回転運動させるための手段が、コードレスの回転ドリルを有してなる、ことを特徴とする請求項２記載のツール。
5. 　前記支持構造体に取付けられた光源をさらに有してなる、ことを特徴とする請求項２記載のツール。
6. 　前記光源が前記支持構造体に対して移動自在である、ことを特徴とする請求項５記載のツール。
7. 　コーティング装置のアノードをクリーニングするためのツールであって、
   　支持構造体と、
   　前記支持構造体の一端に取付けられ且つ前記ツールをシャフトに接続するためのアダプタと、
   　前記支持構造体に取付けられたコードレスの電気ドリルと、
   　前記コードレスの電気ドリルに接続された回転ブラシとを有してなる、ツール。
8. 　前記支持構造体に接続された光源をさらに有してなる、ことを特徴とする請求項７記載のツール。
   
   

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