JP4641276B2 - レーザ加工機およびウインドセル - Google Patents

レーザ加工機およびウインドセル Download PDF

Info

Publication number
JP4641276B2
JP4641276B2 JP2006096066A JP2006096066A JP4641276B2 JP 4641276 B2 JP4641276 B2 JP 4641276B2 JP 2006096066 A JP2006096066 A JP 2006096066A JP 2006096066 A JP2006096066 A JP 2006096066A JP 4641276 B2 JP4641276 B2 JP 4641276B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
brush
wind cell
wind
cell
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006096066A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007268557A5 (ja
JP2007268557A (ja
Inventor
充 増田
靖 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Via Mechanics Ltd filed Critical Hitachi Via Mechanics Ltd
Priority to JP2006096066A priority Critical patent/JP4641276B2/ja
Priority to KR1020070013177A priority patent/KR20070098478A/ko
Priority to TW096104773A priority patent/TW200738386A/zh
Priority to CNA2007100794203A priority patent/CN101045272A/zh
Publication of JP2007268557A publication Critical patent/JP2007268557A/ja
Publication of JP2007268557A5 publication Critical patent/JP2007268557A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4641276B2 publication Critical patent/JP4641276B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • B23K26/0853Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
    • B23K37/04Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work
    • B23K37/0408Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work for planar work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • B23K2101/42Printed circuits

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

本発明はレーザ加工機およびレーザ加工機に使用され、集光レンズを保護するためのウインドセルに関する。
レーザ加工の場合、加工に伴ってガスや塵が発生する。発生したガスや塵が集光レンズの表面に大量に付着すると、レーザビームの強度が減衰して加工能率および加工品質が低下する。集光レンズは、加工精度を左右する部品であり、取り付けに関する許容公差が極めて小さい。そこで、集光レンズの被加工物側にウインドセル(カバーレンズまたはウインドウレンズともいう。)を配置し、発生したガスや塵が集光レンズに付着しないようにしておく。そして、取り付けに関する許容公差が大きいウインドセルを定期的に取り外して表面を清掃している。
レーザ加工機の稼働率を向上させるため、ウインドセルの交換を自動化したレーザ加工機もある(特許文献1)。
特開平10−193153号公報
しかし、ウインドセルの交換を自動化する場合、ウインドセル交換装置が必要になるだけでなく、複数のウインドセルを用意しておく必要があり、イニシャルコストが高価になる。
また、ウインドセルの交換を自動化しても、ウインドセルの清掃が不要になるわけではないため、ウインドセルを清掃する際に、表面を傷つけないようにする必要がある。
本発明の目的は、上記した課題を解決し、ウインドセルの清掃が容易なレーザ加工機およびレーザ加工機に使用されるウインドセルを提供するにある。
上記課題を解決するため、本発明は、レーザ発振器からのレーザビームを集光レンズにより、XYテーブルに載置されて位置決めされる被加工物上に集光して加工を行うレーザ加工機において、前記集光レンズの前記被加工物側に配置されたウインドセルと、前記XYテーブルに配置され、前記ウインドセルの表面を清掃し得るクリーニング装置と、を備え、前記クリーニング装置は、前記レーザビームによる前記被加工物の加工に際しては、前記ウインドセルから離れた位置にあり、前記ウインドセルの清掃に際して該ウインドセルに当接して清掃することを特徴とする。
この場合、前記クリーニング装置は、中心軸の回りに回転可能なブラシと、前記ブラシを前記ウインドセルに当接する位置と離間する位置とに上記中心軸の方向に昇降する昇降装置と、を備えるように構成することができる。
さらに、吸塵装置を備え、前記ブラシの中心付近を吸塵装置に接続することができる。
また、本発明は、上記レーザ加工機に用いられるウインドセルであって、前記ウインドセルの基材をゲルマニウムとし、前記被加工物と対向する側の表面にDLCコーテイングを施したことを特徴とする。
ウインドセルをレーザ加工機から取り外す必要がないので、清掃時間を短縮することができる。また、ウインドセルの基材をゲルマニウムとし、前記被加工物の対向する側の表面にDLCコーテイングを施すと、ウインドセルの取り扱い時の損傷を予防することができる。
以下、図面を参照しながら本発明について説明する。
図1は本発明に係るレーザ加工機の正面一部断面図、図2はクリーニング装置の構成図であり、(a)は正面図、(b)は平面図である。また、図3はブラシの断面図である。
Xテーブル10は図示を省略する駆動系によりベース11上をX方向(図の左右方向)に移動自在である。Yテーブル9は図示を省略する駆動系によりXテーブル10上をY方向(図の紙面に垂直な方向)に移動自在である。Yテーブル9の側面には後述するクリーニング装置Aが配置されている。Yテーブル9上にはワークであるプリント基板8が固定されている。
門型のコラム30はベース11上に固定されている。コラム30の上面には、レーザ発振器1、全反射ミラー3、4が配置されている。コラム30の側面には、ミラー6a,6bを回転させるスキャナモータ5a、5b、集光レンズ7、ウインドセル20およびカメラ12が配置されている。集光レンズ7の軸線はYテーブル9に垂直なZ方向(図の上下方向)である。
電源コントローラ14はレーザ発振器1に電力を供給する。NC装置15は、レーザ加工機の各部および電源コントローラ14、カメラ12、後述するクリーニング装置Aを制御する。
図2に示すように、Yテーブル9の側面にはブラケット50が固定されている。シリンダ51はピストンロッド52の移動方向がZ方向になるようにしてブラケット50に支持されている。ピストンロッド52の先端には、L字型のホルダ53が支持されている。ブラシホルダ54はホルダ53に支持されている。ブラシホルダ54の内部にはモータが配置されている。このモータの出力軸の先端には、ブラシ55が配置されている。
図3に示すように、ブラシ55は植毛部55aと保持部55bとから構成されている。植毛部55aの外形は円形状であり、略均一の密度で毛が配置されている。植毛部55aの外径はウインドセル20の外径の1/3〜1/2よりもやや大きい程度である。保持部55bは内部に空洞部55cが形成されており、植毛部55aの外縁には空洞部55cと表面を接続する複数の穴55dが設けられている。空洞部55cはモータの出力軸に設けられた空洞部を介して集塵装置56に接続されている。
次に、動作を説明する。
加工をする場合には、予めブラシ55を図2(a)に実線で示す位置、すなわち、ピストンロッド52を縮めた位置に位置決めしておく。
先ず、カメラ12により、プリント基板8に設けられた位置決めマークを撮像し、プリント基板8のYテーブル9に関する位置(X軸に対する傾き等)を確認する。次に、Xテーブル10とYテーブル9を動作させ、プリント基板8のいずれかの加工領域の中心を集光レンズ7の軸線に一致させた後、スキャナモータ5a、5bを動作させてミラー6a,6bを所望の位置に位置決めする。次に、レーザ発振器1を動作させてパルス状のレーザビーム2を出力させる。レーザ発振器1から出力されたレーザビーム2は全反射ミラー3、4、ミラー6a、6bに反射されて集光レンズ7に入射し、集光レンズ7により集光されてプリント基板8の加工位置に垂直に入射し、プリント基板8に穴をあける。以下、スキャナモータ5a、5bを動作させて当該加工領域内の穴を加工し、加工が終了したら、Xテーブル10とYテーブル9を動作させ、次の加工領域の中心を集光レンズ7の軸線に一致させる。以下、総ての加工領域の加工が終了するまで、上記の動作を繰り返す。
加工数が予め定める数(あるいは加工時間)に達した場合には、Xテーブル10とYテーブル9を動作させ、ブラシ55の軸線(回転中心軸)をウインドセル20の中心に位置決めし、シリンダ51を動作させてピストンロッド52を伸ばし、図2(a)に2点鎖線で示すように、植毛部55aの先端ウインドセル20の表面に当接するように上記ブラシをその軸線方向に上昇する。次に、図示を省略する集塵機を動作させると共にブラシ55を回転させた状態で、Xテーブル10とYテーブル9を動作させ、例えば、ブラシ55の軌跡が図2(b)に2点鎖線で示すものになるようにして、ウインドセル20の表面を清掃する。ウインドセル20の表面に付着していた塵等は、穴55dを介して集塵装置56に回収される。
なお、この実施形態の場合、ブラシ55を回転させるようにしたので、植毛部55aを環状にしても良い。また、植毛部55aを環状にすると共に、植毛部55aで囲まれる領域に穴55dを配置するようにしても良い。また、ブラシ55を回転させるようにしたが、固定であっても良い。
なお、ウインドセル20の表面に耐摩耗性に優れる材質のコーテイング処理をしておくと、ウインドセル20の寿命を伸ばすことが可能になる。本発明者は、ウインドセル20の材質をゲルマニウムとし、表面にDLC(DIAMOND LIKE COATING)コーテイング処理を行うことにより、従来よりも寿命を長くすることができることを確認した。該ウインドセルは、クリーニング装置を配置したレーザ加工機に用いて好適であるが、必ずしもクリーニング装置と共に用いなくてもよく、クリーニング装置を備えていないレーザ加工機であっても、例えばレーザ加工機から取り外した場合に発生する取り扱い時の損傷を防止することができる。
本発明に係るレーザ加工機の正面一部断面図である。 本発明に係るクリーニング装置の構成図である。 本発明に係るブラシの断面図である。
符号の説明
1 レーザ発振器
7 集光レンズ
8 被加工物(プリント基板)
9 Yテーブル
20 ウインドセル
51 昇降装置(シリンダ)
55 ブラシ
56 集塵装置
A クリーニング装置

Claims (3)

  1. レーザ発振器からのレーザビームを集光レンズにより、XYテーブルに載置されて位置決めされる被加工物上に集光して加工を行うレーザ加工機において、
    前記集光レンズの前記被加工物側に配置されたウインドセルと、
    前記XYテーブルに配置され、中心軸の回りに回転可能なブラシと、前記ブラシを前記ウインドセルに当接する位置と離間する位置とに前記中心軸の方向に昇降する昇降装置とを有するクリーニング装置と、を備え、
    前記クリーニング装置は、前記レーザビームによる前記被加工物の加工に際しては、前記昇降装置により前記ブラシを前記ウインドセルと離間する位置に保持し、前記ウインドセルの清掃に際しては、前記XYテーブルを、前記ブラシが前記ウインドセルに対応する位置に移動した状態で、前記昇降装置により前記ブラシを前記ウインドセルに当接する位置に移動して該ブラシを回転することにより清掃してなる、レーザ加工機。
  2. 吸塵装置を備え、
    前記吸塵装置に接続する吸引口を前記ブラシ近傍に配置した、ことを特徴とする請求項に記載のレーザ加工機。
  3. 請求項1又は2記載のレーザ加工機に用いられるウインドセルであって、
    前記ウインドセルの基材をゲルマニウムとし、前記被加工物と対向する側の表面にDLCコーテイングを施したことを特徴とするウインドセル。
JP2006096066A 2006-03-30 2006-03-30 レーザ加工機およびウインドセル Expired - Fee Related JP4641276B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006096066A JP4641276B2 (ja) 2006-03-30 2006-03-30 レーザ加工機およびウインドセル
KR1020070013177A KR20070098478A (ko) 2006-03-30 2007-02-08 레이저가공기 및 윈도우 셀
TW096104773A TW200738386A (en) 2006-03-30 2007-02-09 Laser machining apparatus and window cell
CNA2007100794203A CN101045272A (zh) 2006-03-30 2007-03-05 激光加工机以及窗单元

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006096066A JP4641276B2 (ja) 2006-03-30 2006-03-30 レーザ加工機およびウインドセル

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2007268557A JP2007268557A (ja) 2007-10-18
JP2007268557A5 JP2007268557A5 (ja) 2008-04-10
JP4641276B2 true JP4641276B2 (ja) 2011-03-02

Family

ID=38671896

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006096066A Expired - Fee Related JP4641276B2 (ja) 2006-03-30 2006-03-30 レーザ加工機およびウインドセル

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4641276B2 (ja)
KR (1) KR20070098478A (ja)
CN (1) CN101045272A (ja)
TW (1) TW200738386A (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101518854B (zh) * 2008-02-29 2011-08-31 深圳市大族激光科技股份有限公司 透镜的吸尘保护装置
CN101884981B (zh) * 2010-06-10 2012-12-26 北京中电科电子装备有限公司 晶片清洁装置
KR101272839B1 (ko) * 2011-03-04 2013-06-10 이무석 콘택트렌즈의 통기공 가공장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57145644U (ja) * 1981-01-28 1982-09-13
JPH0347692A (ja) * 1989-07-15 1991-02-28 Fujitsu Ltd レーザ加工機
JP2004314128A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Sintokogio Ltd 金属部材表面の改質方法
JP2004361862A (ja) * 2003-06-09 2004-12-24 Mitsubishi Electric Corp 集光レンズ装置、レーザ加工装置、集光レンズの調整方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57145644U (ja) * 1981-01-28 1982-09-13
JPH0347692A (ja) * 1989-07-15 1991-02-28 Fujitsu Ltd レーザ加工機
JP2004314128A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Sintokogio Ltd 金属部材表面の改質方法
JP2004361862A (ja) * 2003-06-09 2004-12-24 Mitsubishi Electric Corp 集光レンズ装置、レーザ加工装置、集光レンズの調整方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070098478A (ko) 2007-10-05
TW200738386A (en) 2007-10-16
CN101045272A (zh) 2007-10-03
JP2007268557A (ja) 2007-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103753098B (zh) 涡轮发动机叶片自动化修复设备及其修复方法
JP4947146B2 (ja) レーザ加工装置
JP6946153B2 (ja) ウエーハの生成方法およびウエーハ生成装置
JP5459484B2 (ja) ダイシング装置及びダイシング方法
JP2005052948A (ja) 工具交換装置及び工具洗浄方法
CN111871964A (zh) 一种用于清洗轴对称结构工件表面的激光清洗装置及方法
CN108971775B (zh) 一种用于金属的激光打孔方法及设备
JP5394204B2 (ja) 切削ブレードの消耗量管理方法
JP2017205866A (ja) 液体誘導レーザ加工および放電加工の組み合わせ
JP4641276B2 (ja) レーザ加工機およびウインドセル
JP2018194416A (ja) 工具検査装置、加工機械、加工機械の工具検査方法
US20100072077A1 (en) Electrolytic deburring apparatus and method
JP2005297039A (ja) レーザー加工装置
JP2006339373A (ja) 溝形成方法
JP7123643B2 (ja) レーザー加工装置
JP6557131B2 (ja) 分割装置
JPH07178620A (ja) 放電加工機
CN115401337B (zh) 基于超快激光的陶瓷基板划片加工方法及系统
CN213968093U (zh) 一种动力电池托盘激光清洗系统
WO2020170953A1 (ja) 軸受部品とそれに付着する異物を除去する方法と装置
JP3705900B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの銀電極リペア方法
JP2004209534A (ja) レーザ・パンチ複合加工機及びワーク加工屑清掃方法
CN118268736B (zh) 一种激光切割装置及用于毛巾架的切割方法
CN111974596A (zh) 一种用于大型法兰类零件安装孔自动清理和喷涂的系统装置
JP5536534B2 (ja) ガラス板の分割方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080222

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080222

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100423

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100506

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100705

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101124

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101126

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4641276

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210

Year of fee payment: 3

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees