JP2004111648A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n−GaAs基板202上に、順次、n−AlGaInPクラッド層204、活性層206、p−AlGaInPクラッド層208、p−AlGaAs電流拡散層210が電流狭窄メサ構造に積層される。p−AlGaAs電流拡散層210上の周縁部にはリング状の周縁電極部215が形成されており、その内側が光出射面wを構成する。また、光出射面w上には周縁電極部215と共通のアノードである中心電極部220(AuBe)が形成されている。周縁電極部215のAuBeコンタクト電極214は直接p−AlGaAs電流拡散層210と接触するが、中心電極部220は高濃度のp型不純物を含むp−GaAsコンタクト層222を介してp−AlGaAs電流拡散層210と電気的に接合される。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光効率の優れた半導体発光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
図1に従来の半導体発光素子の例(第1従来例)の断面構成を示す。この例では、アノードとして機能するAuBeコンタクト電極118及びCrAu合金ボンディング電極116が電流狭窄メサ構造の最上層周縁部に形成されており、アノード形成部で囲まれた領域wが光出射面を構成する。アノード形成部は、発光に必要な電流を通電させるために一定の大きさを持つ必要があり、電流狭窄メサ構造表面の相当面積を占めることになる。アノードから供給された電流は、順次、p−GaAsコンタクト層112、p−AlGaAs電流拡散層110、p−AlGaInPクラッド層108、活性層106、n−AlGaInPクラッド層104、n−GaAs基板102を介して、カソード117に流れ出る。
【0003】
また、半導体発光素子の別の従来例として、例えば特開平8−340132の面発光ダイオード(第2従来例)及び特開平10−256602の半導体発光素子(第3従来例)が挙げられる。第2従来例の面発光ダイオードでは、電流狭窄メサ構造の最上層に同心円をなすように複数のリング状電極が形成されている。
【0004】
第3従来例の半導体発光素子のシート電極は、膜厚を極めて薄くした光透過性金属膜の上に、実際に電流を供給するアルミ電極がメッシュ状に形成されたものである。
【0005】
【特許文献1】特開平8−340132号公報
【0006】
【特許文献2】特開平10−256602号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の半導体発光素子には次のような問題点があった。すなわち、第1従来例の半導体発光素子では、アノードが電流狭窄メサ構造の最上層周縁部に配置されているので、電流狭窄メサ構造の中心部から外側に向かって電流密度が高くなる。そのため、活性層106において発生する光が電流狭窄メサ構造の外側、すなわちアノードとp−GaAsコンタクト層112との接合面の下部で強くなる。その結果、発生した光の多くがアノード形成部で遮光されることになり、発光効率が低下する。
【0008】
第2従来例の面発光ダイオードでも、第1従来例と比べると電流狭窄メサ構造の中心部における電流密度が高くなるが、外側にも大きい電流が流れるので、発生した光の多くが周縁部に位置する電極形成部で遮光されることになる。
【0009】
第3従来例では、光出射面(シート電極)の下部で集中的に光が発生することになるが、電流路が狭くなるので大電流駆動の際に発熱で発光効率が低下することになる。
【0010】
そこで、本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、電極形成部での遮光による発光効率の低下と、大電流駆動の際の電流集中による発光効率の低下の双方を防止できる半導体光発光素子を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の半導体発光素子は、第1導電型半導体層が裏側に形成され、かつ第1導電型半導体層とPN接合を形成する第2導電型半導体層が表側に形成された半導体積層部と、半導体積層部の表側に形成されると共に第2導電型半導体と電気的に接合された表側電極と、半導体積層部の裏側に形成されると共に第1導電型半導体と電気的に接合された裏側電極とを備え、第1導電型半導体層と第2導電型半導体層との間で発生した光が、第2導電型半導体層を介して、半導体積層部の表側から外部に取り出される半導体発光素子であって、表側電極は、第2導電型半導体層の周縁部に環状に形成されると共に光を外部に出射させる光出射面の縁を構成する周縁電極部と、光出射面上に位置する中心電極部とを含んで構成され、周縁電極部と裏側電極とを通る電流路の抵抗が、中心電極部と裏側電極とを通る電流路の抵抗よりも高いことを特徴とする。
【0012】
中心電極部と裏側電極とを通る電流路の抵抗が相対的に低いので、光出射面の下部における電流密度が高くなる。そのため、発生した光の多くが周縁電極部(電極形成部)で遮光されることなく光出射面から外部に出射することができる。また、大電流駆動の際には相対的に高抵抗の周縁電極部と裏側電極とを通る電流路にも分散して電流が流れるので、電流集中による発光効率の低下も防ぐことができる。
【0013】
本発明の半導体発光素子は、周縁電極部は第2導電型半導体層と直接接触しており、中心電極部と第2導電型半導体層との間には、第2導電型半導体層と同じ導電型の不純物をより高濃度に含むオーミックコンタクト層が介在することが好適である。
【0014】
また本発明の半導体発光素子は、第2導電型半導体層における中心電極部との接触部近傍に、第2導電型半導体層と同じ導電型の不純物が他の部分よりも高濃度に注入された高濃度キャリア注入領域が形成されていることが好適である。
【0015】
中心電極部との接触部近傍における半導体層のキャリア濃度が高くなるので、空乏層が薄くなる。そのため、中心電極部と裏側電極とを通る電流路の抵抗が相対的に低くなるように容易に設計することができる。
【0016】
本発明の半導体発光素子は、第2導電型半導体層における周縁電極部との接触部近傍に、プロトンが注入されたプロトン注入領域が形成されていることが好適である。
【0017】
プロトン注入により、周縁電極部との接触部近傍における半導体層の不純物が不活性となり、キャリア濃度が低下することにより抵抗が高くなる。そのため、中心電極部と裏側電極とを通る電流路の抵抗が相対的に低くなるように容易に設計することができる。
【0018】
本発明の半導体発光素子は、周縁電極部を構成する金属材料と第2導電型半導体層とのショットキー障壁が、中心電極部を構成する金属材料と第2導電型半導体層とのショットキー障壁よりも高いことが好適である。
【0019】
周縁電極部を構成する金属材料と第2導電型半導体層とのショットキー障壁(金属材料の仕事関数と第2導電型半導体層の電気親和力との差)が、中心電極部を構成する金属材料と第2導電型半導体層とのショットキー障壁よりも高いので、中心電極部との界面における第2導電型半導体層の空乏層は相対的に薄くなる。かかる金属材料を周縁電極部及び中心電極部の構成物質として選択することにより、中心電極部と裏側電極とを通る電流路の抵抗が相対的に低くなるように容易に設計することができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の半導体発光素子の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0021】
(第1実施形態)
第1実施形態の半導体発光素子2の構造を説明する。図2は、半導体発光素子2の光出射面wの正面図である。なお、図2は、第2、第3及び第4実施形態の半導体発光素子の光出射面wの正面図でもある。光出射面wは、リング状の周縁電極部215によって囲まれており、光出射面w上に中心電極部220が形成されている。中心電極部220は、周縁電極部215よりも径の小さい同心円をなすリング状部と、リング状部から周縁電極部215に放射状に延びる複数の直線部とにより構成される。周縁電極部215と中心電極部220により構成される表側電極(アノード)は、光発生部に十分な電流を供給するために相応の大きさである必要があるが、発生した光を効率良く光出射面wから外部に出射させるためには、光出射面w上の中心電極部220の幅を狭くし、周縁電極部215の幅を太くするのが望ましい。
【0022】
図3は、図2に示す半導体発光素子2のIII−III線断面図である。半導体発光素子2は、n−GaAs基板202上に化合物半導体層が形成されている。具体的には、n−GaAs基板202上に、n−AlGaInPクラッド層204、活性層206、p型の不純物を含むp−AlGaInPクラッド層208、p型の不純物を含むp−AlGaAs電流拡散層210が、順次、形成される。n−GaAs基板202及びn−AlGaInPクラッド層204が第1導電型半導体層を構成し、p−AlGaInPクラッド層208及びp−AlGaAs電流拡散層210が第2導電型半導体層を構成する。かかる化合物半導体層はアノード電極及びカソード電極が形成された後、エッチングによりメサ状に成形される。
【0023】
p−AlGaAs電流拡散層210上には、周縁部にリング状のAuBeコンタクト電極214が形成され、その外側にSiN絶縁膜212が形成されている。AuBeコンタクト電極214及びSiN絶縁膜212の上にCrAu合金ボンディング電極216が形成されている。AuBeコンタクト電極214及びCrAu合金ボンディング電極216が周縁電極部215を構成する。前述のとおり、周縁電極部215の内側は、活性層206で発生した光を外部に出射させる光出射面wとなっている。
【0024】
p−AlGaAs電流拡散層210上の光出射面wに相当する領域に、上述の中心電極部220のパターンに従って、高濃度のp型不純物を含むp−GaAsコンタクト層222が形成されている。さらに、p−GaAsコンタクト層222の上に、AuBeの中心電極部220が形成されている。中心電極部220は、直線部の端においてAuBeコンタクト電極214の内側側面と接触しており、周縁電極部215と中心電極部220は共通のアノードとして機能する。
【0025】
以上のように周縁電極部215及び中心電極部220が形成されたp−AlGaAs電流拡散層210上の光出射面wに相当する領域は、反射防止手段として機能するSiN反射防止膜218で覆われている。
【0026】
n−GaAs基板202の裏面中心部には、カソード217が形成されている。CrAu合金ボンディング電極216及びカソード217は、電源(図示せず)と接続されている。
【0027】
【0028】
電源を駆動させ、低電圧を印加すると、AuBeコンタクト電極214とp−AlGaAs電流拡散層210との界面における空乏層が更に拡大し、電流を遮断する。他方、p−AlGaAs電流拡散層210はキャリア(正孔)濃度が高いので、中心電極部220との界面のおける空乏層は薄く、大きい電流が流れる。そのため、化合物半導体積層部(電流狭窄メサ)における電流は、内側の電流密度が高く、外側の電流密度が低い分布となる。活性層206で発生する光の分布も内側で強く、外側で弱くなる。その結果、活性層206で発生した光の多くが、周縁電極部215で遮光されることなく光出射面wから外部に出射する。また、周縁電極部215に加えて中心電極部220を設けることによって周縁電極部215の幅を狭めることができ、その結果光出射面wの面積が広くなるという効果もある。
【0029】
電源の印加電圧を高くすると、AuBeコンタクト電極214とp−AlGaAs電流拡散層210との界面における電流が大きくなり、周縁電極部215とカソード217を通る電流路にも大きい電流が流れるようになる。そのため、半導体発光素子2に大きい電流を流したときでも、化合物半導体積層部(電流狭窄メサ)の中心部における電流集中によって発光効率が低下するのを防ぐことができる。
【0030】
周縁電極部と半導体層との接触面積を小さくすると共に中心電極部と半導体層との接触面積を大きくすることにより、所望の電流密度を達成することも考えられるが、この場合大きな中心電極部が光出射面から出射する光を遮光してしまうおそれがある。そのため、本実施形態のように接触面積の調整以外の方法で所望の電流密度を得るのが望ましい。
【0031】
(第2実施形態)
第2実施形態の半導体発光素子3の構造を説明する。図4は、半導体発光素子3の断面図である。なお、図4における断面線は、図2のIII−III線に対応する。半導体発光素子3においては、中心電極部220が、p−GaAsコンタクト層222を介さず、直接p−AlGaAs電流拡散層210と接触している。他方、p−AlGaAs電流拡散層210における中心電極部220との接合部には、他の部分よりも高濃度のp型不純物が注入された高濃度キャリア注入領域230が形成されている。その他の点では、半導体発光素子3の構造は、第1実施形態の半導体発光素子2の構造と同じである。
【0032】
半導体発光素子3でも、半導体発光素子2と同様、中心電極部220が、キャリア(正孔)濃度の高い半導体を介して、通常のキャリア(正孔)濃度の領域(p−AlGaAs電流拡散層210における高濃度キャリア注入領域230以外の領域)に電気的に接合されている。そのため、半導体発光素子2と同じ作用・効果を有する。
【0033】
(第3実施形態)
第3実施形態の半導体発光素子4の構造を説明する。図5は、半導体発光素子4の断面図である。なお、図5における断面線は、図2のIII−III線に対応する。半導体発光素子4においては、中心電極部220が、p−GaAsコンタクト層222を介さず、直接p−AlGaAs電流拡散層210と接触している。他方、p−AlGaAs電流拡散層210における周縁電極部215との接合部には、プロトン(H+)が注入されたプロトン注入領域240が形成されている。プロトン注入領域240ではプロトン注入によりAlGaAs結晶の欠陥が多くなり、電気抵抗が高くなる。ここでプロトン注入領域240のプロトン濃度は、周縁電極部215とp−AlGaAs電流拡散層210との間の抵抗が、中心電極部220とp−AlGaAs電流拡散層210との界面に逆方向電圧が印加されたときの抵抗よりも高くなるように、調整されている。その他の点では、半導体発光素子4の構造は、第1実施形態の半導体発光素子2の構造と同じである。
【0034】
次に、半導体発光素子4の作用・効果を説明する。半導体発光素子4では、中心電極部220との界面における半導体層のキャリア(正孔)濃度が高くないので厚い空乏層が生じ、中心電極部220(アノード)からp−AlGaAs電流拡散層210へ流れる電流が妨げられる。しかし、周縁電極部215からp−AlGaAs電流拡散層210へ流れる電流も、プロトン注入領域240におけるより高い電気抵抗で妨げられる。そこで、半導体発光素子4の化合物半導体積層部(電流狭窄メサ)における電流も、内側の電流密度が高く、外側の電流密度が低い分布となる。そのため、半導体発光素子2と同様の作用・効果を有する。
【0035】
(第4実施形態)
第4実施形態の半導体発光素子5の構造を説明する。図6は、半導体発光素子5の断面図である。なお、図6における断面線は、図2のIII−III線に対応する。半導体発光素子5においては、中心電極部220が、p−GaAsコンタクト層222を介さず、直接p−AlGaAs電流拡散層210と接触している。他方、半導体発光素子2の周縁電極部215では、AuBeコンタクト電極214に代えてCrAu合金製のコンタクト電極250が用いられている。その他の点では、半導体発光素子5の構造は、第1実施形態の半導体発光素子2の構造と同じである。
【0036】
次に、半導体発光素子5の作用・効果を説明する。CrAu合金と化合物半導体AlGaAsとのショットキー障壁は、AuBeと化合物半導体AlGaAsとのショットキー障壁よりも高く、周縁電極部215を通る電流路の電気抵抗が相対的に大きくなる。そこで、半導体発光素子5の化合物半導体積層部(電流狭窄メサ)における電流も、内側の電流密度が高く、外側の電流密度が低い分布となる。そのため、半導体発光素子2と同様の作用・効果を有する。
【0037】
なお、本実施形態において適用される周縁電極部215、中心電極部220の金属材料の選択は、CrAu合金、AuBeに限定されるものではなく、接触する半導体とのショットキー障壁の異なる2つの金属を適宜選択することができる。
【0038】
本発明の半導体発光素子における表側電極のパターンとしては、図1に示すもの以外に様々な実施形態が考えられる。図7は、実施形態として考えられる表側電極のパターンを示す図である。
【0039】
電極パターンの第1変形例を図7Aに示す。第1変形例は、中心電極部220のリング状部がない点で図1に示す電極パターンと異なる。
【0040】
電極パターンの第2変形例を図7Bに示す。第2変形例では、中心電極部220は、周縁電極部215のリング状部よりも径の小さい同心円をなすリング状部と、各端部が周縁電極部215のリング状部に繋がる十字形をなす十字形部とにより構成される。また、周縁電極部215においては、光出射面wの中心点の方向にリング状部から4本の線状の電極が突き出ている。
【0041】
電極パターンの第3変形例を図7Cに示す。第3変形例では、中心電極部220は、周縁電極部215のリング状部よりも径の小さい同心円をなすリング状部のみによって構成されている。また、周縁電極部215においては、リング状部から中心電極部220に繋がる8本の線状の電極が延びている。
【0042】
電極パターンの第4変形例を図7Dに示す。第4変形例では、周縁電極部215は、リング状部と、リング状部から光出射面wの中心点の方向に突き出た8本の線状部とにより構成される。中心電極部220は、周縁電極部215のリング状部よりも径の小さい同心円をなすリング状部のみによって構成されている。表側電極部は、さらに周縁電極部215と中心電極部220とを接続する中間電極部260を備える。中間電極部260は、周縁電極部215のリング状部よりも径が小さくかつ中心電極部220よりも径が大きい同心円をなすリング状部と、周縁電極部215の線状部から中心電極部220に延びる線状部とにより構成されている。
【0043】
電極パターンの第5変形例を図7Eに示す。第5変形例では、周縁電極部215が2重のリング状部を備える。また、周縁電極部215では、8本の線状部が、外側のリング状部から内側のリング状部へ延び、さらに内側のリング状部から突き出ている。その他の点では、第5変形例の電極パターンは、第4変形例の電極パターンと同じである。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体発光素子によれば、電極形成部での遮光による発光効率の低下と、大電流駆動の際の電流集中による発光効率の低下の双方を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の半導体発光素子の例(第1従来例)の断面構成図である。
【図2】半導体発光素子2の光出射面wの正面図である。
【図3】図2に示す半導体発光素子2のIII−III線断面図である。
【図4】半導体発光素子3の断面図である。
【図5】半導体発光素子4の断面図である。
【図6】半導体発光素子5の断面図である。
【図7】実施形態として考えられる表側電極のパターンを示す図である。
【符号の説明】
1、2、3、4、5…半導体発光素子、102、202…n−GaAs基板、104、204…n−AlGaInPクラッド層、106、206…活性層、108、208…p−AlGaInPクラッド層、110、210…p−AlGaAs電流拡散層、112…p−GaAsコンタクト層、114…SiN絶縁膜、116…AuBeコンタクト電極、117、217…カソード、118…CrAu合金ボンディング電極、120…SiN反射防止膜、212…SiN絶縁膜、214…AuBeコンタクト電極、215…周縁電極部、216…CrAu合金ボンディング電極、218…SiN反射防止膜、220…中心電極部、222…p−GaAsコンタクト層、230…高濃度キャリア注入領域、240…プロトン注入領域、250…CrAu合金コンタクト電極、260…中間電極部。
Claims (5)
- 第1導電型半導体層が裏側に形成され、かつ前記第1導電型半導体層とPN接合を形成する第2導電型半導体層が表側に形成された半導体積層部と、前記半導体積層部の表側に形成されると共に前記第2導電型半導体と電気的に接合された表側電極と、前記半導体積層部の裏側に形成されると共に前記第1導電型半導体と電気的に接合された裏側電極とを備え、前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との間で発生した光が、前記第2導電型半導体層を介して、前記半導体積層部の表側から外部に取り出される半導体発光素子であって、
前記表側電極は、前記第2導電型半導体層の周縁部に環状に形成されると共に前記光を外部に出射させる光出射面の縁を構成する周縁電極部と、前記光出射面上に位置する中心電極部とを含んで構成され、
前記周縁電極部と前記裏側電極とを通る電流路の抵抗が、前記中心電極部と前記裏側電極とを通る電流路の抵抗よりも高い
ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記周縁電極部は前記第2導電型半導体層と直接接触しており、
前記中心電極部と前記第2導電型半導体層との間には、前記第2導電型半導体層と同じ導電型の不純物をより高濃度に含むオーミックコンタクト層が介在する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記第2導電型半導体層における前記中心電極部との接触部近傍に、前記第2導電型半導体層と同じ導電型の不純物が他の部分よりも高濃度に注入された高濃度キャリア注入領域が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記第2導電型半導体層における前記周縁電極部との接触部近傍に、プロトンが注入されたプロトン注入領域が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。 - 前記周縁電極部を構成する金属材料と前記第2導電型半導体層とのショットキー障壁が、前記中心電極部を構成する金属材料と前記第2導電型半導体層とのショットキー障壁よりも高い
ことを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002272104A JP2004111648A (ja) | 2002-09-18 | 2002-09-18 | 半導体発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002272104A JP2004111648A (ja) | 2002-09-18 | 2002-09-18 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004111648A true JP2004111648A (ja) | 2004-04-08 |
JP2004111648A5 JP2004111648A5 (ja) | 2005-10-13 |
Family
ID=32269216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002272104A Pending JP2004111648A (ja) | 2002-09-18 | 2002-09-18 | 半導体発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004111648A (ja) |
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A521 | Written amendment |
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