JP2004096124A - 基板洗浄システムおよび基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板洗浄装置100の製造メーカーのコンピューター61と、洗浄制御データを記憶できるユーザー内の基板洗浄装置100とをネットワーク62を介して通信可能に接続し、新たな洗浄制御データを製造メーカーのコンピューター61からネットワーク62を介してユーザー内の基板洗浄装置100にダウンロード可能に構成しているので、ネットワーク62を介して製造メーカーのコンピューター61から基板洗浄装置100に新たな洗浄制御データをダウンロードすることができる。
【選択図】 図12
Description
すなわち、オペレータは基板を洗浄するごとに毎回々々、多種多様な洗浄制御データを試行錯誤しながら設定しなければならず手間であり、作業効率が悪いという問題があった。
すなわち、請求項1に記載の発明である基板洗浄システムは、基板洗浄装置の製造メーカーのコンピューターと、洗浄制御データを記憶できるユーザー内の基板洗浄装置とをネットワークを介して通信可能に接続し、新たな洗浄制御データを前記製造メーカーのコンピューターからネットワークを介して前記ユーザー内の基板洗浄装置にダウンロード可能に構成したものである。
洗浄制御データを記憶できるユーザー内の基板洗浄装置は、ネットワークを介して基板洗浄装置の製造メーカーのコンピューターと通信可能に接続されている。新たな洗浄制御データは、基板洗浄装置の製造メーカーのコンピューターからネットワークを介して、ユーザー内の基板洗浄装置にダウンロードされる。
図1は本発明の一実施例に係る基板洗浄装置の全体構成を示す縦断面図であり、図2はその平面図、図3は制御系の構成を示すブロック図である。
4 … 基板保持機構
6a … 純水供給用のノズル
6b … 洗浄液供給用のノズル
12 … 洗浄ブラシ
25 … 高圧洗浄ノズル
27 … 超音波洗浄ノズル
50 … 制御部
54 … 外部記憶装置
55 … 記憶媒体
56 … ドライバ
57 … 設定器
Claims (2)
- 基板洗浄装置の製造メーカーのコンピューターと、洗浄制御データを記憶できるユーザー内の基板洗浄装置とをネットワークを介して通信可能に接続し、
新たな洗浄制御データを前記製造メーカーのコンピューターからネットワークを介して前記ユーザー内の基板洗浄装置にダウンロード可能に構成した基板洗浄システム。 - 基板洗浄装置の製造メーカーのコンピューターとネットワークを介して通信可能に接続され、かつ、新たな洗浄制御データを前記製造メーカーのコンピューターからネットワークを介してダウンロード可能に構成した基板洗浄装置。
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