JP2004087813A - 放電用電極部材およびこれを用いたレーザ発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イルメナイト型構造からなる結晶相と、イルメナイト構造以外の金属酸化物の結晶相とを含むセラミックスであって、前記イルメナイト型構造からなる結晶相が前記両結晶相の総量に対して5重量%以上含有されており、さらに前記セラミックスは気孔率が5%以下である放電用電極部材、およびこの放電用電極部材を備えたガスレーザ発振器などのレーザ発振器である。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に交流放電ガスレーザ発振器、高周波放電ガスレーザ発振器、直流電源方式のガスレーザ発振器、半導体レーザ発振器などのレーザ発振器に用いられる放電用電極部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は特開平6−232482号公報に示されているレーザ発振器である。図4において、Pt等からなる一対の金属電極41はレーザガスが矢印Aで示す方向に循環する放電空間6を挟んで対向するように配置されている。電極41は、レーザガス流と直交した方向(紙面と直交した方向)に長尺な形状の誘電体セラミックス42に固着された構造となっている。
【0003】
このように構成された横流型ガスレーザ装置においては、誘電体セラミックス42、42間に高周波電源5から高周波電圧が印加されると、放電空間6を流れるレーザガスが励起され、紙面に対して垂直な方向に配置された共振器により紙面に対して垂直方向にレーザ光が発生する。また、図示しないが、電極41をさらに誘電体セラミックス42の外殻部にも形成することによって放電空間6での電力密度が均一化され、一様な放電が点弧でき、安定したレーザ出力が得られるとされている。
【0004】
このようなレーザ発振器においては、レーザ容器43と誘電体セラミックス42との間等に、静電容量による電気的結合やグロー放電により電流密度の小さい漏れ電流が流れる。この漏れ電流が発生することによって、誘電体セラミックス42の誘電損失による自己発熱が生じ、その結果、電極41と誘電体セラミックス42との熱膨張差によって電極41と誘電体セラミックス42とが剥離したり、電極が劣化するという問題があった。
【0005】
また、特開2001−251000に記載のレーザ装置では、図5に示すように、保持容器型の誘電体セラミックス42’内に電極41’を設け、絶縁板44と保持容器型の誘電体セラミックス42’との間に冷却水45を流して、前記自己発熱により生じた温度上昇を抑制するようにしている。しかしながら、図5に示した構造では、誘電体セラミックス42’を絶縁板44にボルト等で固定しているため、長時間の使用時に冷却水がもれるなどの問題があった。
【0006】
一方、レーザ発振器に用いられる前記誘電体セラミックスのような電極部材としては、特開平11−68196号に比誘電率5以上の材料を用いることが開示され、特開2001−237475号および特開2001−251000号に比誘電率20以上の酸化チタン系セラミックスまたはチタン酸バリウム系セラミックスを用いることが開示されている。
【0007】
しかしながら、このような従来の電極部材を用いたレーザ発振器においては、電極部材の比誘電率の高さから放電電流が大きくなるものの、アーク放電が発生すると絶縁破壊を起こしやすいため高出力のレーザを得ることができないという問題があった。従来の電極部材として用いられている酸化チタン系セラミックスやチタン酸バリウムといった単独の結晶相からなる電極部材は、電気的な絶縁破壊強度が強いことが知られているが、出力の大きな高周波電源により電圧を印可すると、結晶界面の応力を誘発して亀裂進展による絶縁破壊を招きやすいからである。
【0008】
また、従来の電極部材は放電時に電極のコーナー部に放電エネルギーが集中することによって、電極部材が破壊するという問題があった。また、レーザガスの解離等によりアーク放電が起こると、従来の誘電体セラミックスからなる電極部材は亀裂が発生したり、破壊したりするという問題があった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情に鑑みて完成されたもので、その目的は従来の電極部材が有する問題点を解決し、高電圧放電やアーク放電発生時においても破壊されない安定な放電用電極部材、および長時間安定してレーザ発振が可能なレーザ発振器を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の放電用電極部材は、イルメナイト型構造からなる結晶相と、イルメナイト構造以外の金属酸化物の結晶相とを含むセラミックスからなり、前記イルメナイト型構造からなる結晶相が前記両結晶相の総量に対して5重量%以上含有されており、さらに前記セラミックスは気孔率が5%以下であることを特徴とし、これにより、高出力でも破壊されず、レーザ発振器に適用した場合には、安定してレーザを発振することができるようになる。
【0011】
前記イルメナイト型構造からなる結晶相としては、MgTiO3、MnTiO3、FeTiO3、CoTiO3、NiTiO3およびZnTiO3から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。
イルメナイト型構造以外の前記金属酸化物としては、ペロブスカイト型構造からなる酸化物、例えばCaTiO3、SrTiO3およびBaTiO3から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。
【0012】
また、本発明の放電用電極部材はMgをMgO換算で1〜15重量%含有する。さらに、本発明の放電用電極部材は、Mn、Ni、Co、Ce、Al、WおよびCrの少なくとも1種をそれぞれMnO2、NiO、CoO、Al2O3、WO3およびCr2O3換算で、電極部材総量に対して、合計で5重量%以下含有する。
【0013】
本発明の放電用電極部材は、厚さが1〜20mmの基板形であるのが好ましく、さらにこの基板形電極部材のコーナー部は曲率半径1〜50mmの円弧状または辺長(面取り加工によって形成された面の辺長)が1〜50mmの面取り形状を有するのが特に好ましい。
【0014】
また、本発明のレーザ発振器は、電極が取付けられた一対の電極部材が互いに対向して配置されたものであって、前記電極部材が前記した本発明にかかる放電用電極部材であることを特徴とする。本発明のレーザ発振器は、特にガスレーザ発振器であるのがよい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について以下に説明する。レーザ発振器の電極部材として使われるセラミックスには、高電圧下で高い耐絶縁破壊性およびガスに対する高気密性を長時間維持できること、高い機械的強度を有すること、また例えばエキシマレーザに使用されるハロゲンガス等に対する高温での耐腐食性が必要である。そのためには、本発明の電極部材のように、電極部材がイルメナイト型構造からなる結晶相を5重量%以上含有し、残部がイルメナイト型構造以外の酸化物からなり、気孔率が5%以下のセラミックスからなることが重要である。
【0016】
前記イルメナイト構造からなる結晶相には、例えばMgTiO3、MnTiO3、FeTiO3、CoTiO3、NiTiO3、ZnTiO3が挙げられる。このうち、耐絶縁破壊性を向上させるためには、MgTiO3、MnTiO3およびZnTiO3のうち少なくとも1種を使用するのが好ましく、特にMgTiO3が好ましい。イルメナイト型構造からなる結晶相を5重量%以上含有するのは、耐絶縁破壊性を向上させるためである。好ましくはイルメナイト型構造からなる結晶相を8重量%以上含有する。
【0017】
また、イルメナイト型構造からなる結晶相は、50重量%以下、より好ましくは30重量%以下であるのがよい。これよりもイルメナイト型構造からなる結晶相の含有量が多くなると、イルメナイト型構造以外の酸化物が相対的に少なくなるため、耐絶縁破壊性の向上が著しくなかったり、ハロゲンガス等に対する高温での耐食性の向上が著しくなかったりするなどの問題が生じる。
【0018】
前記残部の金属酸化物は、イルメナイト型構造からなる結晶相と混合物を形成する結晶相からなることが望ましい。すなわち、前記セラミックスを焼結させる過程において、イルメナイト型構造からなる結晶相と、前記残部を形成する結晶相とが固溶しにくく、その結果、焼結後の前記セラミックスの結晶粒子がイルメナイト型構造からなる結晶粒子と前記残部を形成する結晶粒子とからなることが望ましい。これによって、イルメナイト型構造を有する結晶粒子が残部を構成する結晶粒子に対して、いわゆるピン止め効果として作用し、耐絶縁破壊性を向上させることができると考えられる。
【0019】
前記残部の金属酸化物としては、ペロブスカイト型構造を有する金属酸化物であるのが望ましく、特にCaTiO3、SrTiO3およびBaTiO3のうち少なくとも1種が望ましく、CaTiO3が最も望ましい。
【0020】
前記ピン止め効果は次のようなメカニズムによって起こると考えられる。一般に絶縁破壊はセラミックスの誘電現象の機構に起因する。すなわち、絶縁性を有するセラミックスに電圧を印加してセラミックス内部に電界を生じさせると、結晶内部で電界の向きに沿った分極が起こり電位差を持つ。これが誘電性を発現する仕組みであり、金属酸化物は通常、電界強度に対する分極の度合いが大きいため、一般に比誘電率の大きな材料となり得る。その一方で、結晶内部の分極は結晶の歪みを伴い、結晶界面に応力を誘発する。結晶界面に発生する応力は、分極の度合いが大きい程(すなわち比誘電率が大きい程)高い。結晶内部の分極によって生じた結晶歪み応力によって結晶粒界に亀裂が生じ、それが徐々に進展し、ついには絶縁破壊する。前記亀裂を抑制するためには、結晶界面で発生する応力に伴って生じる転位をピン止めできる作用を有する結晶を前記結晶界面に存在させることが望ましい。この作用を有する結晶相がイルメナイト型構造からなる結晶相である。
【0021】
本発明の電極部材は、イルメナイト型構造を有する結晶相を含有することにより、分極により生じた結晶粒界の亀裂はその進展を抑制され、絶縁破壊を起こしにくくなって機械強度が向上する。
【0022】
本発明において、電極部材の気孔率を5%以下とするのは、高い耐絶縁破壊性、ガスに対する耐腐食性および高気密性を有し、さらにレーザ容器内に不純物ガスを発生させないためである。気孔率を5%以内にすることにより、高出力で長時間にわたって安定したレーザを発振することができると共に、レーザ装置の故障を抑制することができる。前記気孔率は2%以下が望ましく、1%以下が特に望ましく、最も望ましくは0.3%以下である。
【0023】
また、本発明の電極部材は、MgをMgO換算で1〜15重量%含有することが望ましい。MgがMgO換算で1重量%未満である場合には前記したピン止め効果が小さくなり、耐絶縁破壊性の向上が著しくなく、逆に15重量%を越えるとMgを含む粒子のクラスター化によって亀裂が進展しやすい経路が増加して耐絶縁破壊性の向上が著しくなくなる。Mgの含有量の下限値はMgO換算で3重量%が望ましく、Mgの含有量の上限値はMgO換算で12重量%が望ましい。
【0024】
前記イルメナイト型構造およびペロブスカイト型構造の各結晶相の存在はX線回折法により確認することができる。
【0025】
イルメナイト型構造の結晶相の存在量は、イルメナイト型構造に含有される元素の量をICP発光分光分析法により定量分析する。イルメナイト型構造を構成する元素と、イルメナイト型構造以外の結晶相を構成する元素とに同一の元素が存在する場合は、同一の元素を除く元素をICP発光分光分析法により測定する。例えば、本発明の電極部材をX線回折法にて分析した結果、MgTiO3(イルメナイト型構造)およびCaTiO3(ペロブスカイト型構造)が検出された場合は、Mg量およびCa量をICP発光分光分析法で測定し、Mg量をMgTiO3量に換算、CaをCaTiO3量に換算し、得られたMgTiO3量とCaTiO3量を合計で100重量%となるように重量%に換算する。
【0026】
イルメナイト型構造からなる結晶相の含有量が5重量%以上とは、上記のようなICP発光分光分析法にて測定したイルメナイト型構造の存在量を示している。
【0027】
本発明の電極部材は、放電時における亀裂進展が進行して絶縁破壊に至ることを抑制するために、さらにMn、Ni、Co、Ce、Al、WおよびCrの少なくとも1種をそれぞれMnO2、NiO、CoO、Al2O3、WO3およびCr2O3換算で合計5重量%以下含有することが望ましい。本発明の電極部材中にMn、Ni、Co、Ce、Al、WおよびCrのいずれかを含有する場合、その存在量はICP発光分光分析法により測定し、それぞれMnO2、NiO、CoO、Al2O3、WO3およびCr2O3の重量%に換算する。
【0028】
本発明の電極部材は、小型でかつ耐絶縁破壊性を向上できるという観点から比誘電率が80〜190であることが望ましい。特に望ましくは比誘電率が110〜160である。
【0029】
本発明の電極部材が基板形状を有する場合、前記基板形の電極部材の厚さは1〜20mmであることが望ましい。基板形電極部材の厚さが1mm未満であると耐絶縁破壊性の向上が著しくなく、20mmを越えると放電時の亀裂の進展を抑制する効果が著しくないからである。
【0030】
前記基板の辺長さまたは径に対する基板厚みの比率は、下限値としては0.003が望ましく、上限値としては0.15が望ましい。この比率が0.003未満であると絶縁破壊性の向上が著しくなく、またガスに対する気密性の向上が著しくなく、逆に比率が0.15よりも大きいと放電時の亀裂の進展を抑制する効果が充分ではないおそれがある。なお、前記辺長さとは正方形の場合は一辺の長さ、長方形の場合は短辺の長さ、円形の場合は直径、その他の形状の場合は基板の面積を円の面積に換算した時の直径を用いる。
【0031】
また、前記基板形電極部材は、コーナー部が曲率半径1〜50mmの円弧状(R)または辺長1〜50mmの面取り形状(C面)を有するのが望ましい。その理由は、放電時に放電エネルギーが集中しやすい前記基板コーナー部を曲率半径1〜50mmのRまたは1〜50mmのC面とすることにより、著しく耐絶縁性を向上させることができるからである。望ましくは前記曲率半径および前記C面の下限値は3mmが望ましく、上限値は25mmが望ましい。なお、前記曲率半径とはRの平均曲率半径を意味する。
【0032】
本発明の電極部材は、例えばガスレーザ発振器用として好適に用いられ、特に炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、ヘリウム・ネオンレーザ、カドミウム・ネオンレーザ、アルゴンレーザ、クリプトンレーザ、フッ素レーザ、フッ化水素レーザ、炭酸ガス・窒素・ヘリウムガスレーザに好適であり、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザに好適であり、炭酸ガスレーザに最も好適である。また、前記ガスレーザ発振器の放電電力値が1kW以上であり、かつ、前記電極部材の放電側の厚みが1mm以上であることが望ましい。
【0033】
次に、本発明にかかる電極部材の製造方法、電極部材への金属電極形成方法およびレーザ発振試験方法について説明する。
本発明にかかる電極部材の製造方法は、具体的には例えば以下の工程(1a)〜(6a)から成る。
【0034】
(1a)出発原料として、高純度の炭酸マグネシウムおよび酸化チタンの各粉末を用いて、所望の割合となるように秤量後、純水を加え、混合原料の平均粒径が2.0μm以下、望ましくは0.6〜1.4μmとなるまで1〜100時間、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行い混合物を得る。この混合物を乾燥後、900〜1100℃で1〜10時間仮焼し、仮焼物Aを得る。
【0035】
(2a)出発原料として、高純度の炭酸カルシウムおよび酸化チタンの各粉末を用いて、所望の割合となるように秤量後、純水を加え、混合原料の平均粒径が2.0μm以下、望ましくは0.6〜1.4μmとなるまで1〜100時間、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行い混合物を得る。この混合物を乾燥後、900〜1100℃で1〜10時間仮焼し、仮焼物Bを得る。
【0036】
(3a)得られた仮焼物A、BおよびMnO2、NiO、CoO、Al2O3、WO3およびCr2O3のうち少なくとも1種を混合し、純水を加え、平均粒径が2.0μm以下、望ましくは0.6〜1.4μmとなるまで1〜100時間、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行う。
【0037】
(4a)更に、3〜10重量%のバインダーを加えてから脱水し、その後公知の例えばスプレードライ法等により造粒または整粒し、得られた造粒体又は整粒粉体等を公知の成型法、例えば金型プレス法、冷間静水圧プレス法、押し出し成形法等により電極部材を得るための形状に成形する。尚、造粒体又は整粒粉体等の形態は粉体等の固体のみならず、スラリー等の固体、液体混合物でも良い。この場合、液体は水以外の液体、例えばIPA(イソプロピルアルコール)、メタノ−ル、エタノ−ル、トルエン、アセトン等でも良い。
【0038】
(5a)得られた成形体を大気中1250〜1350℃で5〜10時間保持して焼成する。
【0039】
(6a)得られた焼成体をさらに大気中1100〜1200℃に加熱後、平均降温速度15〜40℃/時間で降温して熱処理する。
【0040】
上述の製造方法により、MgTiO3(イルメナイト構造)およびCaTiO3(ペロブスカイト型構造)の結晶相を有する電極部材を得ることができる。
【0041】
上述の製造方法において、得られるセラミックスの気孔率を5%以下にするには、例えば前記成形体の密度を前記焼成体の密度に対して55%以上、望ましくは65%以上とすればよい。
【0042】
本発明の電極部材に電極を形成する場合は、電極部材の表面に例えばAg−Pd、Ni、Au、Pt等の金属を焼き付けたり、スパッタリングする。このようにして金属電極を取付けた電極部材を一対形成し、電極間に電圧を印加してレーザを発振する。
【0043】
次に、本発明の電極部材がレーザ発振器用として好適な理由を例を挙げて説明する。
図1は本発明のガスレーザ発振器用電極部材を用いたレーザ発振器を示している。図1において、1は送風機、3は円筒形状の電極部材、4は円筒形状の電極部材3近辺に設置した電極である。5は電極4に接続した高周波電源、6は放電空間である。7は全反射鏡、8は部分透過鏡、9は熱交換器、10は部分透過鏡8から取り出されるレーザビーム、11はレーザガス配管、12はレーザガス、13は真空ポンプ、14はレーザガスボンベ、15aは供給流量調整器、15bは排出流量調整器、16はレーザ出力検出器、17は放電電流検出器、18は放電電流制御部、20は信号線、21は圧力検出器、22はレーザガス供給量制御部である。なお、図1において、電極部材3はレーザガス管11の機能を兼ね備えている。
【0044】
以上のように構成されたガスレーザ発振装置の動作を説明する。送風機1によりレーザガス配管11を通し、レーザガス管11にレーザガス12を強制的に循環させる。電極4は電極部材3直近に設置されており、このとき高周波電源5に接続された電極4から、セラミックスからなる電極部材3を介して放電空間6に高電圧が印加され、電極部材3内部にグロー放電を発生させる。
【0045】
全反射鏡7からはごく微量のレーザビームが取り出されており、それをレーザ出力検出器16に照射してレーザ出力をモニタし、放電電流制御部18で設定されているレーザ出力設定値と同じになるように放電電流検出器17によって印加電圧を制御している。レーザ出力検出器16は熱電対を用い照射されたレーザビーム出力に応じた電圧を出力する方式などがとられており、熱電対以外にもフォトダイオード、cdsセルといった光検出素子を使用することも可能である。
【0046】
レーザガスは矢印12で示すように、送風機1から圧縮されて排出され高温となるため送風機1下流側に配置された熱交換器9により冷却されている。また放電空間6を通過した後のレーザガスも放電エネルギーが印加され高温になるため同様に冷却されている。
【0047】
グロー放電により励起されたレーザガスはレーザ発振し、全反射鏡7および部分透過鏡8の間をレーザビームが往復しながら増幅され共振状態となる。この共振状態から全反射鏡7、部分透過鏡8間のレーザビームの一部が部分透過鏡8よりレーザビームとして共振器外部へ取り出され(レーザビームを矢印10で示す)、このレーザビームが金属切断、溶接などの加工に用いられる。
【0048】
レーザガスはその一部が排出流量調整器15bを通じ真空ポンプ13によってレーザ発振装置外部へ取り出され廃棄される。廃棄されたレーザガスと同量の新しいレーザガスをボンベ14から供給流量調整器15aを通してレーザ発振装置内部へ供給することにより内部圧力が一定になるよう維持している。内部圧力は圧力検出器21によって検出され、信号がレーザガス供給量制御部22に送られる。レーザガス供給量制御部22内においてあらかじめ設定されている圧力となるよう信号をドライバ19に送って供給流量調整器15aおよび排出流量調整器15bの両者または一方を制御し、圧力を一定としている。通常は排出流量調整器15aのみを制御して圧力を調節している。このとき供給流量調整器15aおよび排出流量調整器15bによって制御される真空ポンプ13からのレーザガス排出量は一定の値に固定されている。
【0049】
レーザガスは放電空間6を通過する際に放電エネルギーを与えられる。レーザガスの組成は各種のガスからなりたっているが、放電エネルギーによってその組成の一部が解離する。解離したガスはその後、逆過程を経て再度もとの組成にもどる。この解離とその逆過程は時間の経過とともに平衡状態となり、ガス配管経路内には一定量の解離したガスが存在することとなる。解離したガスは本来のレーザガスの組成とは異なるため、グロー放電が不安定となり局所的にアーク放電を発生させる。このアーク放電が発生しても本発明の電極部材を用いることにより、電極部材に微細な亀裂が入ったり、破壊したりせず使用することができる。
【0050】
しかしながら、前記アーク放電が発生すると放電電流の振動率が増大するといった悪影響が発生する。このような現象を緩和するにはガス配管経路内に存在する解離したガスの量を減少させればよい。解離したガスの量とその逆過程で元に戻ったガスの量が平衡となった状態でレーザガス中に存在する解離したガスの量が決定されている。
【0051】
そこで前記のように解離したガスを含んでいるレーザガスの一部を真空ポンプ13によってレーザ発振装置の外部へ取り出して廃棄している。廃棄されたレーザガスと同量の新しいレーザガスをレーザ発振装置内部へ供給することによりガス配管経路内に存在する解離したガスの量を減少させる。このようにしてガスレーザ発振装置を長期間使用した場合、本発明の電極部材を用いることにより、放電による電極4の摩耗、電極部材3内面における不純物の付着などを抑制することができ安定したグロー放電を得ることができる。
【0052】
また、本発明の電極部材は、小型で高出力のレーザ発振器を得るために、放電空間6に接する面に凹凸を設け、放電面積を大きくすることが望ましい。前記凹凸を設ける場合の面積は、凹凸がない場合の面積の1.5倍以上であることが望ましい。従来の電極部材では、凹凸を設けた場合、アーク放電等により破壊されやすいが、本発明の電極部材を用いた場合には、このような破壊は発生しない。
【0053】
さらに、小型で高出力のレーザ発振器を得るために、本発明の電極部材を金属電極の上に蒸着法により形成させることができる。この場合、金属電極は、放電面積を大きくするために凹凸を設けることが望ましい。前記蒸着法により作製した電極部材は、上述の本発明の電極部材の製造方法により得られたものと比較して、高電圧グロー放電に対して安定であり、アーク放電が起こっても破壊されにくい高強度な電極部材である。
【0054】
図2は本発明の電極部材を用いたレーザ発振器を示している。図2に示すように、一対の基板形電極部材3’,3’がレーザ容器24内に放電空間6を挟んで対向して配置されており、各基板形電極部材3’の裏面には金属電極4’が固着されている。高周波電源5から高周波電圧が印加されると、放電空間6を流れるレーザガスが励起され、紙面に対して垂直な方向に配置された共振器により紙面に対して垂直方向にレーザ光が発生する。図2に示す基板形電極部材3’は前記したように厚さが1〜20mmであり、コーナー部が曲率半径1〜50mmの円弧状となっている。
【0055】
尚、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更は何等差し支えない。
【0056】
【実施例】
次に、実施例を挙げて本発明の電極部材をより詳細に説明する。
実施例1
まず、以下の(1b)〜(6b)に示す手順にて本発明の電極部材を作製した。
【0057】
(1b)出発原料として、高純度の炭酸マグネシウムおよび酸化チタンの各粉末を用いて、所望の割合となるように秤量後、純水を加え、混合原料の平均粒径が2.0μm以下となるまで20時間、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行い混合物を得た。この混合物を乾燥後、1000℃で4時間仮焼し、仮焼物Aを得た。
【0058】
(2b)出発原料として、高純度の炭酸カルシウムおよび酸化チタンの各粉末を用いて、所望の割合となるように秤量後、純水を加え、混合原料の平均粒径が2.0μm以下となるまで20時間、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行い混合物を得た。この混合物を乾燥後、900〜1100℃で1〜10時間仮焼し、仮焼物Bを得た。
【0059】
(3b)得られた仮焼物AとBの合計100重量部に対して、酸化クロム(Cr2O3)を2重量%混合し、純水を加え、平均粒径が1.0〜1.5μmとなるまで、ジルコニアボール等を使用したボールミルにより湿式混合及び粉砕を行った。なお、仮焼粉AとBの混合比率は、MgTiO3およびCaTiO3換算で合計100重量部とした場合、MgTiO3が18重量%となるようにした。
【0060】
(4b)更に、3〜10重量%のバインダーを加えてから脱水し、スプレードライ法により造粒し、得られた造粒体をラバープレス法により図3のような円筒管形状に成形した。
【0061】
(5b)得られた成形体を大気中1250℃〜1350℃で5〜10時間保持して焼成した。
(6b)得られた焼成体をさらに大気中1150℃に加熱後、平均降温速度25℃/時間で降温して熱処理し、焼結セラミック管(電極部材)を得た。
【0062】
この焼結セラミック管をX線回折法により測定したところ、結晶相としてイルメナイト型構造のMgTiO3とペロブスカイト型構造のCaTiO3が検出された。さらに、Mg量およびCa量をICP発光分光分析法で測定し、Mg量をMgTiO3量に換算、CaをCaTiO3量に換算し、得られたMgTiO3量とCaTiO3量を合計で100重量%となるように重量%に換算したところ、MgTiO3量が18重量%であることが確認された。
【0063】
また、上記焼結セラミック管の気孔率を測定したところ全て0.01〜3体積%であった。また、上記焼結セラミック管の比誘電率を1MHzで測定したところ80〜180であった。
【0064】
上記焼結セラミック管である電極部材を用いて、図3に示す軸流型ガスレーザ発振器を作成した。すなわち、この軸流型ガスレーザ発振器では、電源周波数100KHzの交流電源5が印加されて放電する金属電極4の間に、レーザガスを通す放電管である焼結セラミック管として、実施例で得た電極部材3が設けられている。この電極部材3に矢印12で示すようにレーザガス(炭酸ガス)を供給し、金属電極4により放電励起して発生したレーザビーム10を100時間連続して取り出した。
その結果、実施例1の電極部材を用いた場合、100時間の放電終了後、電極部材3に亀裂、破壊は全く観察されなかった。
【0065】
実施例2
実施例1の(1b)の炭酸マグネシウムを炭酸マンガン(MnCO3)、酸化鉄(Fe2O3)、酸化コバルト(CoO)、酸化ニッケル(NiO)、酸化亜鉛(ZnO)に各々に代え、MnTiO3、FeTiO3、CoTiO3、NiTiO3およびZnTiO3換算で各々2重量%となるようにした他は、実施例1と同様に焼結セラミック管(電極部材)を得た。
これらの焼結セラミック管をX線回折法により測定したところ、結晶相として各々にイルメナイト型構造のMnTiO3、FeTiO3、CoTiO3、NiTiO3およびZnTiO3が観察された。
実施例1と同様に図3に示す軸流型ガスレーザ発振器を用いて放電を行った結果、実施例2の電極部材を用いた場合、100時間の放電終了後、電極部材3に亀裂、破壊は全く観察されなかった。
【0066】
比較例として、アルミナ、チタン酸バリウム、酸化チタン、ジルコニアまたはフォルステライトの焼結セラミック試料を用い、上記実施例と同様に100時間放電させると、放電終了後に全ての試料にクラックが発生していた。このことから、従来の電極部材ではレーザ発振器用電極部材として好適に使用することが困難であることが明らかとなった。また、比較例として作製した試料をX線回折法により測定したところ、イルメナイト構造を有する結晶相は観察されなかった。
【0067】
【発明の効果】
本発明の放電用電極部材は、イルメナイト型構造からなる結晶相と、イルメナイト構造以外の金属酸化物の結晶相とを含むセラミックスであって、前記イルメナイト型構造からなる結晶相が前記両結晶相の総量に対して5重量%以上含有されており、さらに前記セラミックスは気孔率が5%以下であることにより、高電圧放電やアーク放電発生時においても破壊されず、安定であるという効果がある。
また、本発明のレーザ発振器は、上記放電用電極部材を用いることにより、長時間にわたって安定した出力を出すことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の放電用電極部材を用いたレーザ発振装置の構成図である。
【図2】本発明の放電用電極部材を用いた他のレーザ発振器の概略図である。
【図3】本発明の放電用電極部材を用いた軸流ガスレーザ発振器を示す構成図である。
【図4】従来のレーザ発振器を示す概略図である。
【図5】従来の他のレーザ発振器を示す概略図である。
【符号の説明】
3:電極部材
4、41:電極
5:高周波電源
6:放電空間
24、43:レーザ容器
Claims (10)
- イルメナイト型構造からなる結晶相と、イルメナイト構造以外の金属酸化物の結晶相とを含むセラミックスからなり、前記イルメナイト型構造からなる結晶相が前記両結晶相の総量に対して5重量%以上含有されており、さらに前記セラミックスは気孔率が5%以下であることを特徴とする放電用電極部材。
- 前記イルメナイト型構造からなる結晶相がMgTiO3、MnTiO3、FeTiO3、CoTiO3、NiTiO3およびZnTiO3から選ばれる少なくとも1種である請求項1記載の放電用電極部材。
- 残部の前記金属酸化物がペロブスカイト型構造からなる金属酸化物である請求項1または2記載の放電用電極部材。
- 前記ペロブスカイト型構造がCaTiO3、SrTiO3およびBaTiO3から選ばれる少なくとも1種である請求項3記載の放電用電極部材。
- MgをMgO換算で1〜15重量%含有する請求項1〜4のいずれかに記載の放電用電極部材。
- Mn、Ni、Co、Ce、Al、WおよびCrの少なくとも1種をそれぞれMnO2、NiO、CoO、Al2O3、WO3およびCr2O3換算で、電極部材総量に対して、合計で5重量%以下含有する請求項1〜5のいずれかに記載の放電用電極部材。
- 厚さが1〜20mmの基板形である請求項1〜6のいずれかに記載の放電用電極部材。
- 前記基板形電極部材のコーナー部が曲率半径1〜50mmの円弧状または辺長1〜50mmの面取り形状を有することを特徴とする請求項7記載の放電用電極部材。
- 電極が取付けられた一対の電極部材が互いに対向して配置されたレーザ発振器において、前記電極部材が請求項1〜8のいずれかに記載の放電用電極部材であることを特徴とするレーザ発振器。
- ガスレーザ発振器である請求項9記載のレーザ発振器。
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