JP2004082282A - 半導体ブロックのスライス方法 - Google Patents
半導体ブロックのスライス方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004082282A JP2004082282A JP2002247386A JP2002247386A JP2004082282A JP 2004082282 A JP2004082282 A JP 2004082282A JP 2002247386 A JP2002247386 A JP 2002247386A JP 2002247386 A JP2002247386 A JP 2002247386A JP 2004082282 A JP2004082282 A JP 2004082282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- semiconductor
- semiconductor block
- slicing
- blocks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】供給リール8から供給されるワイヤー6を複数の間隔保持用ローラー5間に配置して巻き取りリールで巻き取りながら角柱状の半導体ブロック3a、3bをスライスする半導体ブロックのスライス方法であって、上記角柱状の半導体ブロック3a、3bの上記ワイヤー6と対向する面や上面を上記半導体ブロック3a、3bの両側に配設された複数の間隔保持用ローラー5の上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させてスライスすることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ブロックのスライス方法に関し、特に半導体ブロック等をワイヤーソーでスライスする半導体ブロックのスライス方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子や太陽電池に用いられる半導体ウエハーは、チョクラルスキー法や鋳造法等により作成された単結晶や多結晶の半導体ブロックから形成される。このような半導体ブロックから一定の厚みのウエハーを切り出す装置としてワイヤーソーが用いられる。このワイヤーソーによる半導体ブロックのスライス方法を図3と図4を用いて説明する。
【0003】
図3は従来のワイヤーソーを示す図である。図3において、11はスラリー供給ノズル、12はスラリー受け、13a、13bは半導体ブロック、14はスライス台、15は間隔保持用ローラ、16はワイヤー、17はディップ槽、18はワイヤー供給リールである。
【0004】
このワイヤーソーは、直径約100〜300μmのピアノ線などの一本のワイヤー16を通常2〜4本の間隔保持用ローラー15上に設けた多数の溝に巻きつけて一定ピッチで互いに平行となるように配置し、ワイヤーを一定方向または双方向に走行させる。このワイヤー16にスラリー供給ノズル11からスラリー受け12を介してスラリーと呼ばれるオイルまたは水にSiCなどの砥粒を混合した切削液を供給しながら半導体ブロック13(13a、13b)をワイヤー16に押圧して半導体ブロック13の下方から上方に向けて徐々にスライスしていく。このワイヤーソーによるスライスでは多数の半導体ウエハーに同時にスライスすることができ、また外周刃や内周刃などを使用する他のスライス方法と比べてスライス精度が高くかつ使用しているワイヤーが細いためカーフロス(切り代)を少なくできるという利点がある。
【0005】
図4は従来の半導体ブロックのスライスにおける半導体ブロック13a、13bとワイヤー16との位置関係を示す図である。従来のスライス方法では半導体ブロック13a、13bにおけるワイヤー16と対向する面がワイヤー16と平行となるように配置されていた。すなわち、図4に示すように半導体ブロック13aの下端の辺ABと半導体ブロック13bの下端の辺CDは、ワイヤー16と平行な状態に配置されていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来の半導体ブロック13a、13bのスライス方法では、スライス開始部分で半導体ブロック13a、13bとワイヤー16が平行であるためにワイヤー16が線状に半導体ブロック13a、13bと当ることになる。このため、スライスを開始したときに、半導体ブロック13a、13bの下端部を走行するワイヤーが横方向に振れてワイヤー16の位置が定まらずに半導体ブロック13a、13bへのワイヤー16の切り込みがスムーズに行われず、でき上がった半導体ウエハーの寸法精度が悪化したり、段差状の傷が付いて不良の原因になることがあった。
【0007】
また、半導体ブロック13a、13bがワイヤー16を下方向に押圧するためにワイヤー16が下方向に撓むことになる。このワイヤー16が撓んだ状態でスライスを進めると、ワイヤー16が半導体ブロック13a、13bの上面の一方の端部に達したときに、その撓みのために上面のすべての辺を切りきっていない状態となる。このために、ワイヤー16が半導体ブロック13a、13bの上端近くまで切り進んだら、ワイヤー16の送り速度を落としてワイヤー16に撓みが生じないようにする必要があった。しかし、この方法ではワイヤー16の送り速度を落とすためにスライスにかかる時間が長くなるという問題があった。
【0008】
本発明は、半導体ブロックへのワイヤーの切り込みをスムーズにして、でき上がった半導体ウエハーの寸法精度を向上させたり、傷の発生をなくすことによって歩留りの向上を図ると共に、ワイヤーの送り速度を落とすことをなくスライスすることによってスライス時間を短縮することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、供給リールから供給されるワイヤーを複数の間隔保持用ローラー間に配置して巻き取りリールで巻き取りながら角柱状の半導体ブロックをスライスする半導体ブロックのスライス方法において、前記角柱状の半導体ブロックの前記ワイヤーと対向する面を前記半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させてスライスすることを特徴とする。
【0010】
上記半導体ブロックのスライス方法では、前記角柱状の半導体ブロックの前記ワイヤーと対向する面を前記半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して傾斜させる角度が1度以上30度以下であることが望ましい。
【0011】
請求項3に係る半導体ブロックのスライス方法では、供給リールから供給されるワイヤーを複数の間隔保持用ローラー間に配置して巻き取りリールで巻き取りながら角柱状の半導体ブロックをスライスする半導体ブロックのスライス方法において、前記角柱状の半導体ブロックの上面を前記半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させてスライスすることを特徴とする。
【0012】
上記半導体ブロックのスライス方法では、前記半導体ブロックとしてシリコンを用いてもよい。
【0013】
また、上記半導体ブロックのスライス方法では、前記半導体ブロックを複数用意して、両端の半導体ブロックの上面が互いに向かい合うように所定角度傾斜させて配置してスライスすることが望ましい。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図に基づき説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るワイヤーソーの構成を示す図である。図1において、1はスラリー供給ノズル、2はスラリー受け、3a、3bは半導体ブロック、4はスライス台、5は間隔保持用ローラ、6はワイヤー6はディップ槽、8はワイヤー供給リールである。
【0015】
このワイヤーソーは、複数の間隔保持用ローラー5を離間して配置し、この複数の間隔保持用ローラー5間にワイヤー6が所定間隔に維持されるように折り返して張設し、このワイヤー6上にスライスされる半導体ブロック3a、3bを配置して構成されている。
【0016】
間隔保持用ローラー5にはワイヤー供給リール8からワイヤーが供給され、この半導体ブロック3a、3bの近傍に、スラリー供給ノズル1を有するスラリー受け2を設けている。スラリー受け2はスラリーを部分的な偏りなく供給すためなどの目的で設ける。すなわち、半導体ブロック3a、3bのスライス幅の全長にわたって、スラリーを均一に供給するために設ける。
【0017】
半導体ブロック3a、3bは、例えば太陽電池用に鋳造法により製造された約150×150×300mmの直方体の多結晶シリコンから成るブロックであり、例えばこれを同時に2本スライスする。
【0018】
スライス台4は、半導体ブロック3a、3bを保持するためのものであり、これに接着剤を用いて半導体ブロック3a、3bを接着する。
【0019】
半導体ブロック3a、3bを接着したスライス台4を半導体ブロック3a、3bが下になるように、スラリー受け2とワイヤー6の間にあるホルダー(図示せず)にセットする。このホルダーは、上下動の制御が可能で、これを下に押し下げることによって半導体ブロック3a、3bをその下にあるワイヤ−6に押圧することができる。
【0020】
このようにホルダーを傾けることにより、スライス台4及び半導体ブロック3a、3bをワイヤーに対して傾けるようにセットする。この傾ける方向は図2に示すように半導体ブロック3aと半導体ブロック3bで異なった方向にする必要がある。また、図2でワイヤー6と半導体ブロック3a、3bの下端の辺EF及びGHのなす角度K、K’は種々のテストを重ねた結果、1度以上30度以下の範囲のときに半導体ブロック3a、3bへのワイヤー6の切り込みがスムーズに入り、ウエハーに傷がついたりすることがなく、またワイヤー6の撓みによるワイヤー6の送り速度を落とす必要がなくなり、スライス時間を短縮できることが判った。すなわち、1度未満の場合は半導体ブロック3a、3bへの切り込みがスムーズに行かず、また30度を越す場合はスライス中のワイヤー6の撓み量を超える角度となってスライス速度の調整が必要となる。
【0021】
また、半導体ブロック3a、3bを同時に複数本スライスする場合は、半導体ブロック3a、3bのそれぞれ上面が向かい合うように所定角度傾斜させることが望ましい。このように半導体ブロック3a、3bのそれぞれの上面が向かい合うように所定角度傾斜させるとスライスの最終段階で撓んだワイヤー6と半導体ブロック3a、3bの上面とが略平行となるように位置させることができ、最後まで通常の速度でスライスできるようになる。要するに本発明では、上面と下面が平行な半導体ブロック3a、3bの場合、ワイヤー6の撓む角度と半導体ブロック3a、3bの上面の傾斜角度とが略同一になるように設定すればよい。このようにすることで最後まで通常の速度でスライスできるようになる。
【0022】
なお、半導体ブロック3a、3bを3個以上用意して同時にスライスする場合は、ワイヤー6の撓みにそって全体の上面が湾曲して位置するように配置すればよく、その場合は両端の半導体ブロックの上面が互いに向かい合うように配設することとなる。すなわち、このような場合は、中央に配設される半導体ブロックは必ずしも傾斜させなくてもよい。
【0023】
半導体ブロック3a、3bの外側下部に配置される間隔保持用ローラー5は、直径150〜250mm、長さ400〜500mmで、一般的にはウレタンゴムできており、その表面に400〜600μm程度のピッチでワイヤー6のはまる多数の溝が形成されている。この2本の間隔保持用ローラー2本を約500mmの間隔で同一高さに配置する。
【0024】
ワイヤー6としては、直径が例えば140〜180μmのようなものが用いられ、ワイヤー供給リール8より供給され、螺旋状に2本の間隔保持用ローラー5の間に上記のピッチで配置される。
【0025】
以上の状態で、装置上部に設けた数本のスラリーノズル1からその下のスラリー受け2を介してスラリーをワイヤー6に適量供給しながら間隔保持用ローラー5を高速回転さることにより、ワイヤー6を400〜700m/minで走行させて半導体ブロック3a、3bを保持したスライス台4を下降させることによって半導体ブロック3a、3bをワイヤー6に押しつけて半導体ブロック3a、3bをスライスしていく。
【0026】
この場合、半導体ブロック3a、3bがワイヤー6を下方向へ押圧するためにワイヤー6の中央部が下方向に撓むことになるが、この撓んだ状態で切断を進めても、半導体ブロック3a、3bの上面部の成す角度がワイヤーの撓みの角度と概略同一となるため、スライスが進んでワイヤー6が半導体ブロック3a、3bは上面近傍に近づいてもワイヤー6の送り速度を落とす必要がなくなり、スライス時間の短縮が図れる。
【0027】
【発明の効果】
以上のように、請求項1に係る半導体ブロックのスライス方法では、半導体ブロックのワイヤーと対向する面を半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させたことにより、半導体ブロックへの切り込みがスムーズになり、これによりでき上がった半導体ウエハーの精度の向上及び傷の発生がなくなり、安定したスライスが可能となる。
【0028】
また、請求項3に係る半導体ブロックのスライス方法では、半導体ブロックの上面を半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させたことにより、ワイヤーの送り速度を落とすことなく最後までスライスでき、スライス時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体ブロックのスイライス方法に用いるワイヤーソーを示す図である。
【図2】本発明に係る半導体ブロックのスライス方法における半導体ブロックとワイヤーとの位置関係を示す図である。
【図3】従来の半導体ブロックのスライス方法に用いるワイヤーソーを示す図である。
【図4】従来の半導体ブロックのスライス方法における半導体ブロックとワイヤーとの位置関係を示す図である。
【符号の説明】
1 スラリーノズル
2 スラリー受け
3(3a、3b) 半導体ブロック
4 スライス台
5 間隔保持用ローラー
6 ワイヤー
7 ディップ槽
8 ワイヤー供給リール
Claims (5)
- 供給リールから供給されるワイヤーを複数の間隔保持用ローラー間に配置して巻き取りリールで巻き取りながら角柱状の半導体ブロックをスライスする半導体ブロックのスライス方法において、前記角柱状の半導体ブロックの前記ワイヤーと対向する面を前記半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させてスライスすることを特徴とする半導体ブロックのスライス方法。
- 前記角柱状の半導体ブロックの前記ワイヤーと対向する面を前記半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して傾斜させる角度が1度以上30度以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体ブロックのスライス方法。
- 供給リールから供給されるワイヤーを複数の間隔保持用ローラー間に配置して巻き取りリールで巻き取りながら角柱状の半導体ブロックをスライスする半導体ブロックのスライス方法において、前記角柱状の半導体ブロックの上面を前記半導体ブロックの両側に配設された複数の間隔保持用ローラーの上縁部を結んだ線に対して所定角度傾斜させてスライスすることを特徴とする半導体ブロックのスライス方法。
- 前記半導体ブロックがシリコンであることを特徴とする請求項1又は3記載の半導体ブロックのスライス方法。
- 前記半導体ブロックを複数用意して、両端の半導体ブロックの上面が互いに向かい合うように所定角度傾斜させて配置してスライスすることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体ブロックのスライス方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002247386A JP2004082282A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 半導体ブロックのスライス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002247386A JP2004082282A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 半導体ブロックのスライス方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004082282A true JP2004082282A (ja) | 2004-03-18 |
Family
ID=32055049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002247386A Pending JP2004082282A (ja) | 2002-08-27 | 2002-08-27 | 半導体ブロックのスライス方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004082282A (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006061043A1 (de) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Freiberger Compound Materials Gmbh | Werkstückhalterung und verfahren zum drahtsägen |
JP2006272756A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Kyocera Corp | 半導体ブロックの保持装置 |
JP2007234765A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Seiko Epson Corp | 圧電素子ユニットの製造方法及び固定治具 |
JP2010034160A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法及び太陽電池の製造方法 |
CN101733849A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-06-16 | 阿特斯(中国)投资有限公司 | 一种硅棒的切割方法 |
CN101879758A (zh) * | 2010-04-01 | 2010-11-10 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种多线切割机中的晶棒安装方法 |
CN101879759A (zh) * | 2010-04-01 | 2010-11-10 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种多线切割机的主辊开槽方法 |
CN101913208A (zh) * | 2010-07-19 | 2010-12-15 | 常州天合光能有限公司 | 一种晶块切片方法 |
JP2011104746A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Komatsu Ntc Ltd | 薄ウェーハ加工方法 |
CN102107464A (zh) * | 2010-11-29 | 2011-06-29 | 上海申和热磁电子有限公司 | 硅晶锭切割装置及切割方法 |
CN102133775A (zh) * | 2011-01-14 | 2011-07-27 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种晶体硅块安装的方法 |
CN102229213A (zh) * | 2011-06-23 | 2011-11-02 | 英利能源(中国)有限公司 | 一种硅块线锯机床及其硅块固定装置 |
CN102267196A (zh) * | 2011-07-15 | 2011-12-07 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种多线切割机的布线方法 |
CN104175408A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-03 | 天津英利新能源有限公司 | 一种硅块的切割方法 |
CN106112942A (zh) * | 2016-08-24 | 2016-11-16 | 高佳太阳能股份有限公司 | 一种硅锭周转架 |
CN106182471A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-12-07 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种多晶硅棒切割方法 |
-
2002
- 2002-08-27 JP JP2002247386A patent/JP2004082282A/ja active Pending
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8061345B2 (en) | 2004-12-10 | 2011-11-22 | Freiberger Compound Materials Gmbh | Method for wire sawing |
JP2008522838A (ja) * | 2004-12-10 | 2008-07-03 | フライベルガー・コンパウンド・マテリアルズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ワークホルダ及びワイヤーソーイング方法 |
JP4874262B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2012-02-15 | フライベルガー・コンパウンド・マテリアルズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ワイヤーソーイング方法 |
WO2006061043A1 (de) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Freiberger Compound Materials Gmbh | Werkstückhalterung und verfahren zum drahtsägen |
JP2006272756A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Kyocera Corp | 半導体ブロックの保持装置 |
JP4721743B2 (ja) * | 2005-03-29 | 2011-07-13 | 京セラ株式会社 | 半導体ブロックの保持装置 |
JP2007234765A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Seiko Epson Corp | 圧電素子ユニットの製造方法及び固定治具 |
JP2010034160A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法及び太陽電池の製造方法 |
JP2011104746A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Komatsu Ntc Ltd | 薄ウェーハ加工方法 |
CN101733849A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-06-16 | 阿特斯(中国)投资有限公司 | 一种硅棒的切割方法 |
CN101879759A (zh) * | 2010-04-01 | 2010-11-10 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种多线切割机的主辊开槽方法 |
CN101879758A (zh) * | 2010-04-01 | 2010-11-10 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种多线切割机中的晶棒安装方法 |
CN101913208A (zh) * | 2010-07-19 | 2010-12-15 | 常州天合光能有限公司 | 一种晶块切片方法 |
CN102107464A (zh) * | 2010-11-29 | 2011-06-29 | 上海申和热磁电子有限公司 | 硅晶锭切割装置及切割方法 |
CN102133775A (zh) * | 2011-01-14 | 2011-07-27 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种晶体硅块安装的方法 |
CN102229213A (zh) * | 2011-06-23 | 2011-11-02 | 英利能源(中国)有限公司 | 一种硅块线锯机床及其硅块固定装置 |
CN102267196A (zh) * | 2011-07-15 | 2011-12-07 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种多线切割机的布线方法 |
CN104175408A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-03 | 天津英利新能源有限公司 | 一种硅块的切割方法 |
CN104175408B (zh) * | 2014-08-21 | 2016-06-08 | 天津英利新能源有限公司 | 一种硅块的切割方法 |
CN106182471A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-12-07 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种多晶硅棒切割方法 |
CN106112942A (zh) * | 2016-08-24 | 2016-11-16 | 高佳太阳能股份有限公司 | 一种硅锭周转架 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004082282A (ja) | 半導体ブロックのスライス方法 | |
CN1788965B (zh) | 晶棒的切割方法及其装置 | |
US7311101B2 (en) | End supporting plate for single crystalline ingot | |
JPH08306647A (ja) | 半導体ウェーハをダイシングする方法と装置 | |
JPH08281549A (ja) | ワイヤーソー装置 | |
JP2010097976A (ja) | シリコンブロックの切出し方法 | |
JP3325676B2 (ja) | シリコンインゴットのスライス加工方法 | |
JP2010194706A (ja) | 基板の製造方法 | |
JP2005019823A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
US9192996B2 (en) | Wire guide, wire saw apparatus including the same, and method for slicing ingot using the same | |
JPH07106288A (ja) | 半導体基板の形成方法 | |
JP2010076070A (ja) | 基板の製造方法および太陽電池素子 | |
JP2004082283A (ja) | ワイヤーソー | |
KR101229971B1 (ko) | 잉곳 절단 방법 | |
JP3973843B2 (ja) | 半導体ウェハ及びその製造方法 | |
KR101967192B1 (ko) | 와이어 쏘 장치 | |
JP5355249B2 (ja) | ワイヤーソー装置 | |
JP3967969B2 (ja) | ワイヤーソー | |
JP2007175784A (ja) | ワイヤーソー装置 | |
JP2014061576A (ja) | 基板の製造方法 | |
JP2021070115A (ja) | ワイヤー取り外し方法 | |
JP2005108889A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JP2004335531A (ja) | 硬脆性材料の切断方法 | |
JP2010105114A (ja) | ワイヤーソー装置 | |
JPH069512Y2 (ja) | 水中カセットへのウエハ−収納装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050118 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060912 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20061113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070426 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20070508 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20070720 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 |