CN101879759A - 一种多线切割机的主辊开槽方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种多线切割机的主辊开槽方法，该方法是当测量出钢线每增加1个单位的磨损量时，相应的主辊开槽的间距依次缩小0.5～1个相同单位。采用本发明方法，因主辊开槽的间距依次降低，可以对钢线逐渐由粗变细，切割的缝隙由大变小的结果进行反向补偿，使切割的硅片保持均匀，提高了产品合格。
Description
技术领域
本发明涉及一种多线切割机的主辊开槽方法，主要用于切割晶棒。
背景技术
目前，在多线切割晶棒生产硅片的过程中，使用的钢线在切割机中是来回切割晶棒并多次使用的，在切割磨损后，钢线逐渐由粗变细，切割的缝隙由大变小，导致切割下来的硅片存在较早切割的薄，较晚切割的厚的现象。产生这种现象的根本原因在于主辊采用均匀开槽的方法，即槽与槽之间的间距一致。
发明内容
本发明的目的是提供能使切割的硅片厚薄均匀的一种用于多线切割晶棒的主辊开槽方法。
本发明采取的技术方案是：一种多线切割机的主辊开槽方法，其特征在于当测量出钢线每增加1个单位的磨损量时，相应的主辊开槽的间距依次缩小0.5～1个相同单位。
采用本发明方法，因主辊开槽的间距依次降低，可以对钢线逐渐由粗变细，切割的缝隙由大变小的结果进行反向补偿，使切割的硅片保持均匀，提高了产品合格。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
1、将在多线切割机中使用过的钢线进行前端和后端的粗细测量，计算出差值，即磨损量。如果是新线，可根据以往测量的数据预估磨损量。
2、根据差值，按1∶0.5～1的比例，将主辊开槽的间距依次缩小0.5～1个相同单位。
3、安装好上述的主辊，开始切割。
4、在下一次切割前，重复上述操作即可。
Claims (1)
1.一种多线切割机的主辊开槽方法，其特征在于当测量出钢线每增加1个单位的磨损量时，相应的主辊开槽的间距依次缩小0.5～1个相同单位。
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