JPH069512Y2 - 水中カセットへのウエハ−収納装置 - Google Patents
水中カセットへのウエハ−収納装置Info
- Publication number
- JPH069512Y2 JPH069512Y2 JP1984098160U JP9816084U JPH069512Y2 JP H069512 Y2 JPH069512 Y2 JP H069512Y2 JP 1984098160 U JP1984098160 U JP 1984098160U JP 9816084 U JP9816084 U JP 9816084U JP H069512 Y2 JPH069512 Y2 JP H069512Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- underwater
- shooter
- center line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は水中カセットへのウエハー収納装置に関するも
のである。
のである。
従来の技術 半導体単結晶棒をスライスして得たウエハーに、ラッピ
ング、エッチング、鏡面仕上、検査等の処理を行う際
は、各工程の終了時に数十枚のウエハーをカセットに収
納して次の工程装置に送る。従来はこの収納をピンセッ
トで１枚づつ取り出してカセットにいれるか、やゝ自動
化して第１図に示すように、モーター１で動かすゴムベ
ルト２にウエハー３を載せて空気中を搬送し、カセット
４の溝５に収納する毎にモーター６によりカセットを一
ピッチづつ上昇させていれている。
ング、エッチング、鏡面仕上、検査等の処理を行う際
は、各工程の終了時に数十枚のウエハーをカセットに収
納して次の工程装置に送る。従来はこの収納をピンセッ
トで１枚づつ取り出してカセットにいれるか、やゝ自動
化して第１図に示すように、モーター１で動かすゴムベ
ルト２にウエハー３を載せて空気中を搬送し、カセット
４の溝５に収納する毎にモーター６によりカセットを一
ピッチづつ上昇させていれている。
考案が解決しようとする問題点 しかし各処理工程が進捗しウエハー表面のミラー化が完
成に近づくと、ウエハーが空気にふれゴムベルトやカセ
ットとこすれることによるきず等が無視できなくなると
いう欠点をもつ。これはＬＳＩ用のウエハーの場合は致
命的といってもよい。
成に近づくと、ウエハーが空気にふれゴムベルトやカセ
ットとこすれることによるきず等が無視できなくなると
いう欠点をもつ。これはＬＳＩ用のウエハーの場合は致
命的といってもよい。
問題点を解決するための手段 本考案は上記欠点を解消するため、ウエハーをカセット
に収納する工程をすべて水中で水力によって行い、酸
化、汚染、きずの発生を防ぐことを目的とするものであ
る。
に収納する工程をすべて水中で水力によって行い、酸
化、汚染、きずの発生を防ぐことを目的とするものであ
る。
すなわち本考案は、その表面の中心線の両側に所定間隔
で少なくとも２列に並び、該中心線に向かって１５°±
５°、該表面に対し３０°±５°傾斜して開口した多数
のノズルを有し、該ノズルから噴射される水の圧力によ
り、ウエハーを該中心線に沿って水中移送する水平シュ
ーターと、該シューターによって搬送されてきたウエハ
ーを収納する度に、１ピッチづつ低下させてウエハーを
収納する水中カセットを具備することを特徴とする水中
カセットへのウエハー収納装置を提供するものである。
で少なくとも２列に並び、該中心線に向かって１５°±
５°、該表面に対し３０°±５°傾斜して開口した多数
のノズルを有し、該ノズルから噴射される水の圧力によ
り、ウエハーを該中心線に沿って水中移送する水平シュ
ーターと、該シューターによって搬送されてきたウエハ
ーを収納する度に、１ピッチづつ低下させてウエハーを
収納する水中カセットを具備することを特徴とする水中
カセットへのウエハー収納装置を提供するものである。
作用 以下図面によって本考案を詳細に説明する。第２図は代
表的な鏡面研摩方法において使用する、ウエハー３を数
枚貼付したプレート７の斜視図である。作業効率をあげ
るため、ウエハーはこのようにプレートに貼付して鏡面
研摩を行う。
表的な鏡面研摩方法において使用する、ウエハー３を数
枚貼付したプレート７の斜視図である。作業効率をあげ
るため、ウエハーはこのようにプレートに貼付して鏡面
研摩を行う。
鏡面研摩を終了すると、第３図に示すようにプレート７
を水槽８の水中に浸漬して空気との接触を断つ。次には
がし棒（図示せず）で各ウエハーをプレートよりはがし
シューター９の上に載置する。この操作は水中で行う簡
単な作業であるから、ウエハーを汚染したりきずをつけ
るおそれはほとんどない。
を水槽８の水中に浸漬して空気との接触を断つ。次には
がし棒（図示せず）で各ウエハーをプレートよりはがし
シューター９の上に載置する。この操作は水中で行う簡
単な作業であるから、ウエハーを汚染したりきずをつけ
るおそれはほとんどない。
シューター９は、裏面に給水管１０をもつシューターベ
ース１１にねじ止めまたは接着によって固定される。
ース１１にねじ止めまたは接着によって固定される。
第４図はシューター９の拡大平面図であるが、水平をな
すシューター表面のウエハー進行方向に向う中心線Ａ−
Ａ′の両側に、所定間隔で２列にならんだノズル１２を
備え、各ノズルは中心線Ａ−Ａ′に向って１５°±５°
傾斜している。傾斜がこの範囲より大きくなると、ウエ
ハーのおどりが大きくなって円滑な収納ができず、小さ
くなるとウエハーは中心線をはずれて正しく収納されな
い。第５図は第４図のＢ−Ｂ線を通るノズルの縦断面を
示す。図より明らかなように、ノズルはシューターの表
面に対し３０°±５°傾斜し、シューター表面に達して
開口１３となり裏面に達して開口１４となる。傾斜がこ
の範囲より大きくなると、ウエハーは水面にふきあげら
えておどりが激しくなり円滑な収納ができず、小さくな
るとウエハーは沈下してシューター面に接触し易くな
る。第６図はシューターベース１１の拡大平面図で、中
央に給水管１０の開口１５があり、これを中心にして日
の字型の配水溝１６が各開口１４の下まで達している。
したがって送水機（図示せず）より給水管１０に送られ
た水は配水溝１６をたどって開口１４に達し、傾斜した
ノズル１２を通って開口１３より噴射される。ウエハー
がシューター９よりカセット４に移動する毎に、検知器
（図示せず）の信号によって駆動モーター１７を働かせ
てカセットを一ピッチづつ低下させ、次のウエハーを収
納する態勢を整える。
すシューター表面のウエハー進行方向に向う中心線Ａ−
Ａ′の両側に、所定間隔で２列にならんだノズル１２を
備え、各ノズルは中心線Ａ−Ａ′に向って１５°±５°
傾斜している。傾斜がこの範囲より大きくなると、ウエ
ハーのおどりが大きくなって円滑な収納ができず、小さ
くなるとウエハーは中心線をはずれて正しく収納されな
い。第５図は第４図のＢ−Ｂ線を通るノズルの縦断面を
示す。図より明らかなように、ノズルはシューターの表
面に対し３０°±５°傾斜し、シューター表面に達して
開口１３となり裏面に達して開口１４となる。傾斜がこ
の範囲より大きくなると、ウエハーは水面にふきあげら
えておどりが激しくなり円滑な収納ができず、小さくな
るとウエハーは沈下してシューター面に接触し易くな
る。第６図はシューターベース１１の拡大平面図で、中
央に給水管１０の開口１５があり、これを中心にして日
の字型の配水溝１６が各開口１４の下まで達している。
したがって送水機（図示せず）より給水管１０に送られ
た水は配水溝１６をたどって開口１４に達し、傾斜した
ノズル１２を通って開口１３より噴射される。ウエハー
がシューター９よりカセット４に移動する毎に、検知器
（図示せず）の信号によって駆動モーター１７を働かせ
てカセットを一ピッチづつ低下させ、次のウエハーを収
納する態勢を整える。
［実施例］ 直径１５cm、厚さ０．３cmのシリコンウエハーを本願考
案の装置により搬送したときの状況を下表に示す。
案の装置により搬送したときの状況を下表に示す。
考案の効果 以上により、ウエハーは傾斜したノズルからの新しい噴
射水により常に中心線Ａ−Ａ′上の水中を迅速に送られ
てカセット４に確実に収納され、空気およびゴムベルト
との接触による酸化、汚染を受けることはなく、またカ
セットに入りこむ際水膜を介しているのできずの発生も
ない。しかも装置は簡単で信頼性が高く有用な考案であ
る。
射水により常に中心線Ａ−Ａ′上の水中を迅速に送られ
てカセット４に確実に収納され、空気およびゴムベルト
との接触による酸化、汚染を受けることはなく、またカ
セットに入りこむ際水膜を介しているのできずの発生も
ない。しかも装置は簡単で信頼性が高く有用な考案であ
る。
第１図は従来のウエハーの搬送装置を、第２図はウエハ
ーを貼付したプレートの斜視図を、第３図は本考案によ
る水中カセットへのウエハー収納装置を、第４図は本考
案のシューターの拡大平面図を、第５図は第４図のＢ−
Ｂ線を通るノズルの縦断面図を、第６図はシューターベ
ースの平面図を示す。 １……モータ、２……ゴムベルト、 ３……ウエハー、４……水中カセット、５……溝、 ６……モーター、７……プレート、８……水槽、 ９……シューター、１０……給水管、 １１……シューターベース、１２……ノズル、 １３，１４，１５……開口、１６……配水溝、 １７……モーター。
ーを貼付したプレートの斜視図を、第３図は本考案によ
る水中カセットへのウエハー収納装置を、第４図は本考
案のシューターの拡大平面図を、第５図は第４図のＢ−
Ｂ線を通るノズルの縦断面図を、第６図はシューターベ
ースの平面図を示す。 １……モータ、２……ゴムベルト、 ３……ウエハー、４……水中カセット、５……溝、 ６……モーター、７……プレート、８……水槽、 ９……シューター、１０……給水管、 １１……シューターベース、１２……ノズル、 １３，１４，１５……開口、１６……配水溝、 １７……モーター。
Claims (1)
- 【請求項１】その表面の中心線の両側に所定間隔で少な
くとも２列に並び、該中心線に向かって１５°±５°、
該表面に対し３０°±５°傾斜して開口した多数のノズ
ルを有し、該ノズルから噴射される水の圧力により、ウ
エハーを該中心線に沿って水中移送する水平シューター
と、該シューターによって搬送されてきたウエハーを収
納する度に、１ピッチづつ低下させてウエハーを収納す
る水中カセットを具備することを特徴とする水中カセッ
トへのウエハー収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984098160U JPH069512Y2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 水中カセットへのウエハ−収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984098160U JPH069512Y2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 水中カセットへのウエハ−収納装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113934U JPS6113934U (ja) | 1986-01-27 |
| JPH069512Y2 true JPH069512Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=30657709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984098160U Expired - Lifetime JPH069512Y2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 水中カセットへのウエハ−収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069512Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4395165A (en) * | 1980-12-19 | 1983-07-26 | International Business Machine Corp. | Chip shuttle track |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP1984098160U patent/JPH069512Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6113934U (ja) | 1986-01-27 |
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