JP2004058288A - 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第2ヘッド部2の駆動電極23に駆動電圧を供給する配線23aと第1ヘッド部1の駆動電極13とを絶縁膜52を介して積層配置した構造とし、配線23aの一端部を支持基板5の一端部に設ける外部電極入力パッド部24に接続した。
【選択図】 図2
Description
【産業上の利用分野】
本発明は静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する加圧室(流路、インク流路、インク室、圧力室、液室、吐出室、加圧液室等とも称される。)と、この加圧室内のインクを加圧するエネルギーを発生するエネルギー発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、DNAの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【0003】
このようなインクジェットヘッドにおいては、多列化することでヘッド全体を小型化できる。例えば、特開平9−187939号公報にはヒータを加熱しインクに発生する気泡によるインクの膨張を利用したサーマル型インクジェットヘッドを各色で多列化した例が、特開2000−79683号公報及び特開平10−202850号公報には圧電効果を利用した圧電型インクジェッヘッドを多列化した例が開示されている。
【0004】
なお、特開2000−79683号公報に開示された例では、各アクチュエータ部へ駆動電圧を供給する配線を隣接するアクチュエータ部との間に形成し、駆動電圧入力パッドへ接続している。また、特開平10−202850号公報に開示された例では、同じインクジェットヘッドを多列化し駆動電極の振動伝達用ケーブルを各インクジェットヘッド毎に形成している。
【0005】
また、LSI等の電子デバイスにおける多層配線技術として、最下層の配線のみが機能素子(MOSトランジスタ)に接続されており、各配線層の全ての配線を機能素子(MOSトランジスタ)には接続せず、最下層以外の上層の配線は下層の配線にのみ接続される技術が知られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したサーマル型インクジェットヘッドを多段積層して多列化したインクジェットヘッドにあっては、駆動電圧を入力するためリード線が多段に積層配置されたインクジェットヘッドに接続されるので、駆動電圧の入力パッド部も各ヘッドの間で段差が生じ、このような駆動電圧入力パッド部の段差はリード線の接続に伴う歩留まりの低下を引き起こすという課題がある。
【0007】
また、圧電型インクジェットヘッドを多列化したインクジェットヘッドのうち、各アクチュエータ部へ駆動電圧を供給する配線を隣接するアクチュエータ部との間を通して配線し駆動電圧入力パッド部へ接続したインクジェットヘッドにあっては、アクチュエータ部の密度が配線幅に制限されるためアクチュエータ部の高密度化が非常に困難である。また、この場合、全ビット毎に接続された多数の駆動電極用配線を形成する必要があって、駆動電圧入力パッドは実装密度の制限からインクジェットヘッドの両端にのみならず上端や下端にも形成する必要があり、実装コストが高価なものとなるばかりでなく、インクジェットヘッドのサイズも大きくなることと合わせて大幅なコストアップとなるという課題がある。
【0008】
また、圧電型インクジェットヘッドを多列化したインクジェットヘッドのうち、駆動電極の振動伝達用ケーブルを各インクジェットヘッド毎に形成したインクジェットヘッドにあっては、駆動電極の振動伝達用ケーブルを各インクジェットヘッド毎に形成するため、例えば4ヘッドでは8本のケーブルが必要になり、ケーブルを含む実装コストが非常に高価なものになる。また、同じインクジェットヘッドを横に並べて多列化しているのでヘッド全体が大きくなり、しいては、記録装置全体が大きくなり、さらに、横に並べる際に各ヘッド間でアライメントずれが発生し、このアライメントずれによる画質劣化が発生するという課題がある。
【0009】
一方、電子デバイスの多層配線技術は、最下層以外の配線は下層の配線にのみ接続する技術であり多層配線をすることでチップサイズを小さくすることを目的とするものであるのに対し、液滴吐出ヘッドは全ての配線層が機能素子(ヘッドのアクチュエータ部)に直接接続し、各配線間を接続することもないので、このような多層配線技術をそのまま適用することができない。
【0010】
さらに、液滴吐出ヘッドを多列化したときには駆動電圧入力用の配線やパッドを1つのヘッドの場合よりも多く形成する必要があり、高密度実装しなければならないが、実装密度の限界から実装が困難となっている。
【0011】
本発明は上記した課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、歩留まりが向上した低コストで小型の多列型液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置を提供するところにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルを有する複数のヘッド部を同一平面内に多列配置した多列型液滴吐出ヘッドにおいて、ヘッド部又はヘッド部のビットの駆動電極に駆動電圧を供給するための配線が他のヘッド部又はヘッド部のビットの駆動電極と絶縁層を介して積層され、各配線の一端部は外部から駆動電圧を供給する接続手段を接続するための外部電圧入力パッド部に接続されている構成としたものである。
【0013】
ここで、ヘッド部はノズルが連通する液流路の壁面を形成する振動板と、この振動板との間で静電力を生じさせる電極とを有する構成、或いは、液体の熱膨張又は液体の沸騰を生じさせる電気熱変換素子を有する構成であることが好ましい。
【0014】
また、外部電圧入力パッド部は千鳥状に配置されていることが好ましい。さらに、各ヘッドに対応する外部電圧入力パッド部は略同一平面に形成されていることが好ましい。さらにまた、駆動電圧を供給するための配線及び/又は駆動電極と略同一の平面には平坦性を確保するためのパターニングされた層が形成されていることが好ましい。また、各ヘッド部は同一基板内に形成されていることが好ましい。
【0015】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを備えたものである。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。先ず、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第1実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの平面説明図、図2は同ヘッドの図1のA領域の断面説明図、図3は同ヘッドの図1のB領域の断面説明図である。
【0017】
このインクジェットヘッドは、4種類の異なるインク滴、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色のインク滴を吐出するための第1、第2、第3、第4ヘッド部(ヘッド列)1、2、3、4をシリコン基板等の支持基板5上に配置した多列型液滴吐出ヘッドである。なお、ヘッド部1、2、3、4は機能的な区分であって物理的に分離されたものではなく、また、4種類以上の異なる液滴を吐出する場合は、その種類分のヘッド部を多列化すればよい。このように、同一の基板内に各ヘッド部を設けることによって各ヘッド部間のアライメントのずれが発生することがなくなり、画質の低下を防止できる。
【0018】
ここで、第1、第2、第3、第4ヘッド部1、2、3、4に共通のノズル板6には各ヘッド部1、2、3、4に対応して液滴であるインク滴を吐出するためのノズル11、21、31、41を形成している。ノズル板6は、例えばSUS板やNi板、樹脂板、金属層と樹脂層の積層部材などを用いて形成することができる。
【0019】
また、第1、第2、第3、第4ヘッド部1、2、3、4は、ノズル板6のノズル11、21、31、41がそれぞれ連通する液室(インク流路)及びこのインク流路内のインクを加圧するエネルギーを発生するエネルギー発生手段の少なくとも一部を含む液室/アクチュエータ部12、22、32、42と、液滴吐出のための駆動電圧が印加される駆動電極13、23、33、34とを備えている。なお、エネルギー発生手段としては静電引力を利用した静電駆動部や液の膨張を利用したサーマル駆動部、圧電素子等を用いることができる。
【0020】
そして、図2に示すように、第1ヘッド部1の駆動電極13には駆動電圧を供給するための配線13aを一体形成して接続し、また第2ヘッド部2の駆動電極23には駆動電圧を供給するための配線23aを接続している。
【0021】
ここでは、支持基板5上に酸化シリコン膜、ポリイミド膜などの絶縁膜51を介して配線23aを形成し、更にこの配線23a上を含めて絶縁膜51上に形成した酸化シリコン膜、ポリイミド膜などの絶縁膜52上に駆動電極13を形成することにより、第2ヘッド部2の駆動電極23に駆動電圧を供給するための配線23aと他のヘッド部である第1ヘッド部1の駆動電極13とは絶縁膜52を介した積層構造としている。
【0022】
そして、第1ヘッド部1の駆動電極13に接続した配線13aの一端部及び第2ヘッド部2の駆動電極23に接続した配線23aの一端部は、それぞれ支持基板5の一端部側に設けた外部電圧入力パッド14、24に接続している。これらの外部電圧入力パッド14、24には外部から駆動電圧を供給するための接続手段である例えばワイヤーボンディングやFPC(フレキシブル・プリント・サーキット)等のケーブル61が接続され、このケーブル61には図示しない駆動回路(ドライバIC)からの駆動電圧が与えられる。
【0023】
ここで、外部電圧入力パッド14と24とは実装が可能な程度の同一平面、即ち略同一平面に形成されることが好ましい。外部電圧入力パッド14と24を略同一平面に形成することでケーブル61などの接続手段の実装が容易になり、歩留まりが向上する。また、外部電圧入力パッド14と24とは千鳥状に配置している。これにより、ケーブル61などの接続手段の実装が容易になり、歩留まりが向上するとともに、実装面積が小さくなり、コストを低減できる。
【0024】
また、図3に示すように、第4ヘッド部4の駆動電極43には駆動電圧を供給するための配線43aを一体形成して接続し、また第3ヘッド部3の駆動電極33には駆動電圧を供給するための配線33aを接続している。
【0025】
ここで、前述したと同様に、支持基板5上に酸化シリコン膜、ポリイミド膜などの絶縁膜51を介して配線33aを形成し、更にこの配線33a上を含めて絶縁膜51上に形成した酸化シリコン膜、ポリイミド膜などの絶縁膜52上に駆動電極43を形成することにより、第3ヘッド部3の駆動電極33に駆動電圧を供給するための配線33aと他のヘッド部である第4ヘッド部4の駆動電極43とは絶縁膜52を介した積層構造としている。
【0026】
そして、第4ヘッド部4の駆動電極43に接続した配線43aの一端部及び第3ヘッド部3の駆動電極33に接続した配線33aの一端部は、それぞれ支持基板5の他端部側に設けた外部電圧入力パッド44、34に接続している。これらの外部電圧入力パッド44、34には外部から駆動電圧を供給するための接続手段である例えばワイヤーボンディングやFPC(フレキシブル・プリント・サーキット)等のケーブル62が接続され、このケーブル62には図示しない駆動回路(ドライバIC)からの駆動電圧が与えられる。
【0027】
ここでも、外部電圧入力パッド44と34とは実装が可能な程度の同一平面、即ち略同一平面に形成されることが好ましい。外部電圧入力パッド44と34を略同一平面に形成することでケーブル62などの接続手段の実装が容易になり、歩留まりが向上する。また、外部電圧入力パッド44と34とは千鳥状に配置している。これにより、ケーブル62などの接続手段の実装が容易になり、歩留まりが向上するとともに、実装面積が小さくなり、コストを低減できる。
【0028】
さらに、第2ヘッド部2に駆動電圧を供給するための配線23aは図2において駆動電極23の下方まで延設して配線パターン形状にパターニングした層(パターン層)71を一体的に形成し、同様に、第3ヘッド部3に駆動電圧を供給するための配線33aは図3において駆動電極33の下方まで延設して配線パターン形状にパターニングした層(パターン層)72を一体的に形成することで、各ヘッド部1〜4の電極及び配線の積層構造を略同じ構造にして絶縁膜52表面の平坦性を確保している。
【0029】
また、絶縁膜51上には、第2ヘッド部2に駆動電圧を供給するための配線23aに一体形成したパターン層71と第3ヘッド部3に駆動電圧を供給するための配線33aに一体形成したパターン層72との間に、所定の形状、例えば配線形状にパターニングした層(パターン層)73を設け、さらに、配線23a、33aの支持基板5の端部側にも、所定の形状、例えば配線形状にパターニングした層(パターン層)74、75を設けている。これらの配線23a、33aと略同一平面に形成したパターン層73〜75を設けることで絶縁層52表面の平坦性を確保している。なお、パターン層73〜75は配線材料と同じ材料で形成することで製造工程の簡略化を図れる。
【0030】
このように、配線23a、33aと略同一平面に平坦性を確保するためのパターン層71〜75を形成することによって、絶縁層52上の段差の発生が解消するため、上層に形成するヘッド部間での駆動電極の段差の発生を解消することができ、更に駆動電極13、23、33、43上に形成する絶縁膜53の表面平坦性を確保できるようになり、液室/アクチュエータ部12、22、32、42を平坦な面に設けることができるようになる。
【0031】
さらに、第1ヘッド部1の駆動電極13と第2ヘッド部2の駆動電極23との間には、これらの電極13、23と略同一平面になる絶縁膜52上に、絶縁層53表面の平坦性を確保するための、絶縁層53で絶縁分離され、所定の形状、例えば電極形状にパターニングした層(パターン層)76を形成している。第2ヘッド部2の駆動電極23と第3ヘッド部3の駆動電極33との間には、これらの電極23、33と略同一平面になる絶縁膜52上に、絶縁層53表面の平坦性を確保するための、絶縁層53で絶縁分離され、所定の形状、例えば電極形状にパターニングした層(パターン層)76を形成している。第3ヘッド部3の駆動電極33と第4ヘッド部4の駆動電極43との間にも、これらの電極33、43と略同一平面になる絶縁膜52上に、絶縁層53表面の平坦性を確保するための、絶縁層53で絶縁分離され、所定の形状、例えば電極形状にパターニングした層(パターン層)78を形成している。なお、パターン層76〜78は電極材料や配線材料と同じ材料で形成することで製造工程の簡略化を図れる。
【0032】
このように、駆動電極間に段差を解消するパターン層を形成することにより、更に上層に形成されるアクチュエータ部を平坦な面に形成することができ、信頼性の向上を図れる。
【0033】
そして、滴吐出のための駆動電圧を供給するための各配線が隣り合うヘッド部の駆動電極と絶縁層を介して積層されて形成されているので、駆動電圧入力パッド部までの配線のレイアウトの自由度が増すことができ、また、これにより、パッド部のレイアウトも実装のマージンのある設計が可能となり、歩留まり向上、コストダウンを図ることができる。
【0034】
また、上記実施形態ではヘッド部単位で多層配線する例で説明したが、特にヘッド部単位で多層配線にする必要はなく、例えば液滴を吐出するビット単位(ノズル単位)で多層配線を行なってもよく、設計に合わせて適宜決定すればよい。
【0035】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第2実施形態について図4ないし図6を参照して説明する。なお、図3は同ヘッドの平面説明図、図4は同ヘッドの図3のC領域の断面説明図、図6は同ヘッドの図3のD領域の断面説明図である。なお、図1ないし図3と対応する部分には同一符号を付している。
【0036】
このインクジェットヘッドは第1、第2、第3、第4ヘッド部1、2、3、4を静電型ヘッド部で構成したものである。すなわち、液室/アクチュエータ部12、22、32、42は、単結晶シリコン基板などで形成した流路基板81とノズル板6を接合することでノズル11、21、31、41が連通する液室111、121、131、141、液室111、121、131、141に流体抵抗部112、122、132、142を介してインクを供給するための共通液室113、123、133、143を形成し、また、液室111、121、131、141の底面にはシリコン振動板114、124、134、144をそれぞれ形成している。
【0037】
なお、流路基板81はシリコン基板の異方性エッチングによって液室111、121、131、141、流体抵抗部112、122、132、142、共通液室113、123、133、143となる凹部を形成したものであり、またシリコン振動板114、124、134、144は流路基板81となるシリコン基板に高濃度ボロン拡散層などを形成して異方性エッチングに対するエッチストップ技術を用いて形成したものである。
【0038】
そして、これらのシリコン振動板114、124、134、144にシリコン酸化膜などの絶縁膜からなるギャップスペーサ82を介して所定のギャップ115、125、135、145を介して対向する対向電極(駆動電極)116、126、136、146を設け、これらの振動板114、124、134、144と対向電極116、126、136、146とで、振動板114、124、134、144を静電力で変形変位させるための静電型アクチュエータ部を構成している。
【0039】
これらの駆動電極116、126、136、146上に形成した絶縁膜53は振動板114、124、134、144と対向電極116、126、136、146の電気的接触を防止して電極を保護するための電極保護膜を兼ねており、また、ギャップスペーサ82と絶縁膜53とは例えば酸化シリコン膜で形成して、この酸化シリコン膜にギャップ115、125、135、145を形成するための凹部を彫り込むことによって、ギャップスペーサ82と絶縁膜53とを同一の酸化シリコン膜から形成することができる。
【0040】
また、第1実施形態と同様に、駆動電極116、126、136、146にはそれぞれ駆動電圧を供給するための配線116a、126a、136a、146aを接続(一体形成を含む)して、駆動電極116と配線126a、駆動電極146と配線136aは絶縁膜52を介して積層した構造としている。なお、その他の構成は前記第1実施形態と同様であるので、同一符号を付してその部分の説明は省略する。
【0041】
静電型ヘッドの動作について説明すると、振動板114、124、134、135を電気的に接地し、外部電圧入力パッド部14、24、34、44にパルス状の駆動電圧を印加することで駆動電極116、126、136、146にパルス状の駆動電圧が供給されるので、振動板114、124、134、135と駆動電極116、126、136、146間には静電引力が作用して、振動板114、124、134、135が駆動電極116、126、136、146に変形変位し、液室111、121、131、141にそれぞれ共通液室113、123、133、143からインクが供給され、この状態で電圧の印加がなくなると、振動板114、124、134、135と駆動電極116、126、136、146間の静電引力が消失して、振動板114、124、134、135が元の状態に復元変形して、液室111、121、131、141の内容積が減少してインクが加圧されるので、ノズル11、21、31、41からインク滴が吐出される。
【0042】
静電型ヘッドとすることで、駆動時には振動板と個別駆動電極間の充放電電流のみの消費電力となるため低消費電力の多列型液滴吐出ヘッドを実現でき、また電極が液に接しないために吐出できるインクの種類が限定されない。
【0043】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第3実施形態について図7ないし図9を参照して説明する。なお、図7は同ヘッドの平面説明図、図8は同ヘッドの図7のE領域の断面説明図、図9は同ヘッドの図7のF領域の断面説明図である。なお、図1ないし図3と対応する部分には同一符号を付している。
【0044】
このインクジェットヘッドは第1、第2、第3、第4ヘッド部1、2、3、4をサーマル型ヘッド部で構成したものである。すなわち、液室/アクチュエータ部12、22、32、42は、単結晶シリコン基板の異方性エッチングなどで貫通部を形成した流路基板91とノズル板6と絶縁層53とを接合することで、ノズル11、21、31、41が連通する液室151、161、171、181、液室151、161、171、181に流体抵抗部152、162、172、172を介してインクを供給するための共通液室153、163、173、183を形成している。
【0045】
そして、液室151、161、171、181に臨む絶縁層53の壁面には電気熱変換素子(加熱ヒータ)155、165、175、185をそれぞれ設け、これらの加熱ヒータ155、165、175、185には前述した第1実施形態の駆動電極13、23、33、43をそれぞれ接続している。。なお、その他の構成は前記第1実施形態と同様であるので、同一符号を付してその部分の説明は省略する。
【0046】
サーマル型ヘッドの動作について説明すると、外部電圧入力パッド部14、24、34、44にパルス状の駆動電圧を印加することで駆動電極13、23、33、43を介して加熱ヒータ155、165、175、185にパルス状の駆動電圧が供給されるので、インクが加熱沸騰して気泡が発生し、この気泡により液室151、161、171、181内のインクが加圧されてノズル11、21、31、41からインク滴が吐出され、駆動電圧の印加が終了することで気泡が消失し、液室151、161、171、181内が引圧になり、共通液室153、163、173、183からインクが液室151、161、171、181内に補充される。
【0047】
サーマル型ヘッド部は、インクに接するヒータ(電気熱変換素子)によってインクの熱膨張、或いはインク中に発生する気泡でインク滴を吐出するので、滴量の制御性に優れ小滴から大滴まで広いレンジの液滴を吐出することができる。
【0048】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを備えたヘッド一体型インクカートリッジについて図10の斜視説明図を参照して説明する。このインクカートリッジ210は、ノズル211等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド212と、このインクジェットヘッド212に対してインクを供給するインクタンク213とを一体化したものである。
【0049】
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドのコストはインクカートリッジ全体のコストに反映されるが、本発明に係るインクジェットヘッドを用いることで、歩留まりの向上による低コストが可能となるので、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図ることができる。
【0050】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図11及び図12を参照して説明する。なお、図11は同記録装置の斜視説明図、図12は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【0051】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体281の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部282等を収納し、装置本体281の下方部には前方側から多数枚の用紙283を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい。)284を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙283を手差しで給紙するための手差しトレイ285を開倒することができ、給紙カセット284或いは手差しトレイ285から給送される用紙(インク滴が付着するものの意味であり、紙に限定されるものではない。)283を取り込み、印字機構部282によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ286に排紙する。
【0052】
印字機構部282は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド291と従ガイドロッド292とでキャリッジ293を主走査方向(図12で紙面垂直方向)に摺動自在に保持し、このキャリッジ293にはイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド294を複数のインク吐出口(ノズル)を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ293にはヘッド294の各ヘッド部に各色のインクを供給するための各インクタンク295を交換可能に装着している。なお、ヘッド一体型インクカートリッジを用いることもできる。
【0053】
インクタンク295は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【0054】
ここで、キャリッジ293は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド291に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド292に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ293を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ297で回転駆動される駆動プーリ298と従動プーリ299との間にタイミングベルト300を張装し、このタイミングベルト300をキャリッジ293に固定しており、主走査モーター297の正逆回転によりキャリッジ293が往復駆動される。
【0055】
一方、給紙カセット284にセットした用紙283をヘッド294の下方側に搬送するために、給紙カセット284から用紙283を分離給装する給紙ローラ301及びフリクションパッド302と、用紙283を案内するガイド部材303と、給紙された用紙283を反転させて搬送する搬送ローラ304と、この搬送ローラ304の周面に押し付けられる搬送コロ305及び搬送ローラ304からの用紙283の送り出し角度を規定する先端コロ306とを設けている。搬送ローラ304は副走査モータ307によってギヤ列を介して回転駆動される。
【0056】
そして、キャリッジ293の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ304から送り出された用紙283を記録ヘッド294の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材309を設けている。この印写受け部材309の用紙搬送方向下流側には、用紙283を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ311、拍車312を設け、さらに用紙283を排紙トレイ286に送り出す排紙ローラ313及び拍車314と、排紙経路を形成するガイド部材315,316とを配設している。
【0057】
記録時には、キャリッジ293を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド294を駆動することにより、停止している用紙283にインクを吐出して1行分を記録し、用紙283を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙283の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙283を排紙する。
【0058】
また、キャリッジ293の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド294の吐出不良を回復するための回復装置317を配置している。回復装置317はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ293は印字待機中にはこの回復装置317側に移動されてキャッピング手段でヘッド294をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【0059】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド294の吐出口(ノズル)を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜(不図示)に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【0060】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施した液滴吐出ヘッドである低コストのインクジェットヘッドを搭載しているので、記録装置全体の低コスト化を図れる。
【0061】
なお、上記実施形態においては、液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドとして、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、DNAの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。
【0062】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、液滴を吐出する複数のノズルを有する複数のヘッド部を同一平面内に多列配置した多列型液滴吐出ヘッドにおいて、ヘッド部又はヘッド部のビットの駆動電極に駆動電圧を供給するための配線が他のヘッド部又はヘッド部のビットの駆動電極と絶縁層を介して積層され、各配線の一端部は外部から駆動電圧を供給する接続手段を接続するための外部電圧入力パッド部に接続されている構成としたので、歩留まりの向上による低コスト化を図れる。
【0063】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドを本発明に係る液滴吐出ヘッドで構成したので、装置全体手の低コスト化を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドの第1実施形態の説明に供する平面説明図
【図2】同ヘッドの図1のA領域の断面説明図
【図3】同ヘッドの図1のB領域の断面説明図
【図4】同じく第2実施形態の説明に供する平面説明図
【図5】同ヘッドの図4のC領域の断面説明図
【図6】同ヘッドの図4のD領域の断面説明図
【図7】同じく第3実施形態の説明に供する平面説明図
【図8】同ヘッドの図7のE領域の断面説明図
【図9】同ヘッドの図7のF領域の断面説明図
【図10】本発明に係る液滴吐出ヘッドを含むヘッド一体型インクカートリッジの斜視説明図
【図11】本発明に係るインクジェット記録装置の機構部を説明する斜視説明図
【図12】同記録装置の側面説明図
【符号の説明】
1…第1ヘッド部、2…第2ヘッド部、3…第3ヘッド部、4…第4ヘッド部、5…支持基板、6…ノズル板、11、21、31、41…ノズル、12、22、32、42…液室/アクチュエータ部、13、23、33、43…駆動電極、13a、23a、33a、43a…配線、14、24、34、44…外部電圧入力パッド部。
Claims (8)
- 液滴を吐出する複数のノズルを有する複数のヘッド部を同一平面内に多列配置した多列型液滴吐出ヘッドにおいて、前記ヘッド部又はヘッド部のビットの駆動電極に駆動電圧を供給するための配線が他のヘッド部又はヘッド部のビットの駆動電極と絶縁層を介して積層され、各配線の一端部は外部から駆動電圧を供給する接続手段を接続するための外部電圧入力パッド部に接続されていることを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- 請求項1に記載の多列型液滴吐出ヘッドにおいて、前記ヘッド部が前記ノズルが連通する液流路の壁面を形成する振動板と、この振動板との間で静電力を生じさせる電極とを有することを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- 請求項1に記載の多列型液滴吐出ヘッドにおいて、液体の熱膨張又は液体の沸騰を生じさせる電気熱変換素子を有することを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の多列型液滴吐出ヘッドにおいて、前記外部電圧入力パッド部は千鳥状に配置されていることを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の多列型液滴吐出ヘッドにおいて、各ヘッドに対応する前記外部電圧入力パッド部は略同一平面に形成されていることを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の多列型液滴吐出ヘッドにおいて、前記駆動電圧を供給するための配線及び/又は前記駆動電極と略同一の平面には平坦性を確保するためのパターニングされた層が形成されていることを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の多列型液滴吐出ヘッドにおいて、前記各ヘッド部は同一基板内に形成されていることを特徴とする多列型液滴吐出ヘッド。
- インク滴を吐出するインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項1ないし7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
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JP2007030361A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Fujifilm Holdings Corp | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
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- 2002-07-25 JP JP2002216028A patent/JP2004058288A/ja active Pending
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