JP2004056146A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板31の上にGaN層33とAlGaN層37とを形成し、AlGaN層37の上にシリコンからなる酸化保護膜38を選択的に形成する。次に温度が約1000℃の酸化性雰囲気に投入して、1時間〜2時間程度にわたって熱処理を施す。このとき、酸化保護膜38で覆われていない領域では、GaN層33及びAlGaN層37が表面側から酸化されてAlGaNとGaNの酸化物からなる素子分離絶縁膜39が形成される。また、熱処理によってAlGaN層37の表面にシリコンの添加されたシリコン含有AlGaN層36Aが形成される。
【選択図】 図3
Description
正戸(H.Masato)他、アイイーディーエム・テクニカル・ダイジェスト(IEDM Technical Digest)、2000年、第377ページ〜第380ページ シー・エフ・リン(C.F.Lin)他、アプライド・フィジックス・レターズ(Applied Phisics Letters)、2000年、第76巻、第1878ページ〜第1880ページ
以下に、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。
以下に、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。
12 AlGaN層(第1の半導体層)
12A シリコン含有AlGaN層
13 酸化保護膜(保護膜)
13A シリコン酸化膜
14 絶縁膜
21 キャップ層
21A シリコン含有キャップ層
31 基板
32 AlN層
33 GaN層
34 第1のアンドープAlGaN層
35 n型AlGaN層
36 第2のアンドープAlGaN層
36A シリコン含有AlGaN層
37 AlGaN層(第1の半導体層)
38 酸化保護膜(保護膜)
38A シリコン酸化膜
39 素子分離絶縁層
40 ゲート電極
41 ソース電極
42 ドレイン電極
51 第1のシリコン膜(シリコン供給層)
52 シリコン化合物膜
53 第2のシリコン膜
54 素子分離絶縁膜
55 ゲート電極
56 ソース電極
57 ドレイン電極
Claims (7)
- 窒化アルミニウムガリウムからなる第1の半導体層の上に、開口部を有し且つシリコンを含む保護膜を形成する工程と、
前記第1の半導体層に対して、温度が950℃以上且つ1050℃以下の範囲に調整された酸化性雰囲気において熱処理を行う工程とを備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記熱処理を行う工程は、前記第1の半導体層における前記保護膜の前記開口部の下側部分を酸化する工程と、前記保護膜から下側にシリコンを拡散する工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保護膜を形成する工程よりも前に、前記第1の半導体層の上に、窒化ガリウムを主成分とする第2の半導体層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保護膜を形成する工程は、前記第1の半導体層の上にシリコンを含むシリコン供給層を形成する工程と、前記シリコン供給層の上に酸化保護層を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン供給層を形成する工程において、前記第1の半導体層の活性領域におけるゲート形成領域を除く部分の上に前記シリコン供給層を形成し、
前記酸化保護層を形成する工程において、前記第1の半導体層の活性領域の上に前記シリコン供給層の上を含むように前記酸化保護層を形成することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記酸化保護層は酸化シリコン又は窒化シリコンからなることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化保護層は、シリコン酸化膜と、シリコン膜又はシリコン窒化膜とが順次積層された積層膜であることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003275858A JP4546051B2 (ja) | 2002-07-17 | 2003-07-17 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
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JP2002208389 | 2002-07-17 | ||
JP2003275858A JP4546051B2 (ja) | 2002-07-17 | 2003-07-17 | 半導体装置の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2004056146A true JP2004056146A (ja) | 2004-02-19 |
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JP (1) | JP4546051B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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