JP2004051785A5 - - Google Patents
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- 請求項1または2記載の構成単位から選ばれる1種又は2種以上と下記式(A)〜(C)
で表される構成単位から選ばれる1種又は2種以上を構成単位として含有することを特徴とする重合体。 - 質量平均分子量が1,000〜100,000であることを特徴とする請求項1〜4記載の重合体。
- 請求項1〜4記載の重合体を含有することを特徴とするレジスト組成物。
- 請求項1〜4記載の重合体及び光酸発生剤を含有することを特徴とするレジスト組成物。
- 請求項6または7に記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、250nm以下の波長の光で露光する工程と、必要に応じて加熱処理した後現像液を用いて現像する工程とを含むパターン形成方法。
- 請求項6または7に記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、電子線で露光する工程と、必要に応じて加熱処理した後現像液を用いて現像する工程とを含むパターン形成方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2002211343A JP4236423B2 (ja) | 2002-07-19 | 2002-07-19 | 重合体、レジスト組成物、およびパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002211343A JP4236423B2 (ja) | 2002-07-19 | 2002-07-19 | 重合体、レジスト組成物、およびパターン形成方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004051785A JP2004051785A (ja) | 2004-02-19 |
JP2004051785A5 true JP2004051785A5 (ja) | 2005-10-27 |
JP4236423B2 JP4236423B2 (ja) | 2009-03-11 |
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ID=31934610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002211343A Expired - Lifetime JP4236423B2 (ja) | 2002-07-19 | 2002-07-19 | 重合体、レジスト組成物、およびパターン形成方法 |
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