JP2004047587A - 配線回路基板の製造方法および配線回路基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】ビア上にはんだバンプを形成でき、しかもファインな配線パターンを形成できる配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】3層金属シート10の第1の導体層12をエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層11上に形成するエッチング工程と、露出した部位のエッチングバリア層11を除去する工程と、貫通孔15が形成された樹脂基材16を3層金属シート10に配置すると共に、第3の導体層17を積層する積層工程と、3層金属シート10、樹脂基材16、第3の導体層17を接合する加熱プレス工程と、第3の導体層17に孔明けする孔明け工程と、第2の導体層13、第3の導体層17および孔内にめっき皮膜を形成するめっき工程と、該めっき皮膜および導体層をエッチング加工して、樹脂基材16の両側に突起状の導体14により電気的に接続する配線パターン22を形成する工程を含むことを特徴とする。
【選択図】図11
【解決手段】3層金属シート10の第1の導体層12をエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層11上に形成するエッチング工程と、露出した部位のエッチングバリア層11を除去する工程と、貫通孔15が形成された樹脂基材16を3層金属シート10に配置すると共に、第3の導体層17を積層する積層工程と、3層金属シート10、樹脂基材16、第3の導体層17を接合する加熱プレス工程と、第3の導体層17に孔明けする孔明け工程と、第2の導体層13、第3の導体層17および孔内にめっき皮膜を形成するめっき工程と、該めっき皮膜および導体層をエッチング加工して、樹脂基材16の両側に突起状の導体14により電気的に接続する配線パターン22を形成する工程を含むことを特徴とする。
【選択図】図11
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は配線回路基板の製造方法および配線回路基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
図12は、従来の配線回路基板30のはんだボール形成箇所を示す説明図である。
両面銅貼り樹脂基材31にスルーホール32を形成し、無電解銅めっき、次いで電解銅めっきを行って後、エッチング加工により表裏に配線パターン33、34を形成する。
配線パターン33、34の、はんだボール接合箇所以外の樹脂基材上にソルダーレジスト層35aを形成する。
【0003】
図13は、図12のものにおいて、スルーホール32内に孔埋め用樹脂35を充填し、さらに孔埋め用樹脂35を覆うようにしてさらにもう1層のめっき皮膜を形成して後、配線パターン33、34を形成するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
図12に示すものにあっては、はんだボールを形成する箇所は、スルーホール32の直上ではなく、スルーホール32から横に外れた位置に、いわゆるランド部を形成して、このランド部上にはんだボールが形成されるタイプのものである。このようにランド部を設けるのは、導電性樹脂35上には直接はんだボールを形成できないからである。
しかし、このランド部を形成するものにあっては、それだけ配線パターンを形成するエリアが狭くなり、配線密度を高められないという課題がある。
【0005】
この点、図13に示すものにあっては、孔埋め用樹脂35上にもう1層めっき層が形成されるから、スルーホール32の直上にはんだボールを形成するようにすることができる。
しかし、図13に明確なように、銅層が3層となって厚くなるので、この点からファインな配線パターンを形成することができないという課題がある。
【0006】
その他、例えば、スルーホールの片側に銅がある袋穴状のビアホール内にビアフィルめっきを施してビアホール内を埋めることによって、ビアホール直上にはんだボールを形成するようにするものもある。
しかし、ビアホール内を完全にめっき皮膜で埋めるようにするには、めっき液の管理、めっき条件の厳密な管理を要するという課題があり、しかも基板が厚い場合には完全なビアフィルを行うと基板表面の銅が厚くなり、ファインパターンを形成できないという課題がある。
【0007】
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ビア上にはんだボールを接合することができ、しかもファインな配線パターンを形成できる配線回路基板の製造方法、並びに配線回路基板を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、本発明に係る配線回路基板の製造方法では、エッチングバリア層の第1の面側に第1の導体層が形成され、該第1の面と反対側の第2の面に第2の導体層が形成された3層金属シートの前記第1の導体層をエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層上に形成するエッチング工程と、露出した部位の前記エッチングバリア層を除去する工程と、前記ビアパターンと同一の配列で貫通孔が形成された樹脂基材を、該貫通孔内に前記ビアパターンの対応する突起状の導体が進入するように該樹脂基材を前記3層金属シートのエッチングバリア層の第1の面側に配置すると共に、該樹脂基材の露出している表面側に第3の導体層を積層する積層工程と、加圧、加熱して、前記3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を接合する加熱プレス工程と、前記第3の導体層に孔明けして、前記ビアを露出させる孔明け工程と、前記第2の導体層、第3の導体層および前記孔内にめっき皮膜を形成するめっき工程と、該めっき皮膜および導体層をエッチング加工して、前記樹脂基材の両側に前記ビアにより電気的に接続する配線パターンを形成する工程を含むことを特徴とする。
【0009】
また、前記樹脂基材両面の、はんだボールが接合される配線パターンの部位を除く面上にソルダーレジスト層を形成する工程を含むことを特徴とする。
さらに、はんだボールが接合される部位の配線パターン上に保護めっき層を形成するめっき工程を含むことを特徴とする。
また、前記樹脂基材に、前記突起状の導体の高さより若干厚さの大きい基材を用いて、前記積層工程で、突起状の導体の表面と前記第3の導体層との間に隙間が生じるようにし、前記加熱プレス工程で、該隙間に前記樹脂基材の樹脂を充填するようにし、前記孔明け工程で、第3の導体層と共に、上記充填樹脂層を所要の径で孔明けして前記突起状の導体を露出させることを特徴とする。
また、本発明に係る配線回路基板は上記いずれかの製造方法によって製造されたものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、3層金属シート10を示す。この3層金属シート10は、エッチングバリア層11の第1の面側に第1の導体層12が形成され、該第1の面と反対側の第2の面に第2の導体層13が形成されたものである。エッチングバリア層11はニッケル層が好適であるがこれに限定されない。エッチングバリア層11は、第1の導体層12や第2の導体層13をエッチングするエッチング液によってはエッチングされない金属であればよい。第1および第2の導体層12、13は銅箔が好ましい。第1の導体層12の厚さは、基材の厚さと同一か、若干低い厚さのものとする。
【0011】
図2に示すように、この3層金属シート10の第1の導体層12をフォトリソグラフ法によりエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層11上に形成する。図2では1個の突起状の導体14のみを示す。次いで、第1の導体層12をエッチングするのとは別のエッチング液を用いて、露出している部位のエッチングバリア層11を除去する(図2)。
【0012】
図3に示すように、前記ビアパターンと同一の配列で貫通孔15が形成された樹脂基材16を別途形成する。貫通孔15はプレス加工やレーザー加工等によって形成できる。樹脂基材16は熱硬化性樹脂のプリプレグを用いるとよい。
そして図4に示すように、貫通孔16内に前記ビアパターンの対応する突起状の導体14が進入するように樹脂基材16を3層金属シート10のエッチングバリア層11の第1の面側に配置すると共に、樹脂基材16の露出している表面側に第3の導体層17を積層する。第3の導体層も銅箔を用いるのが好ましい。
上記の例では、樹脂基材16に、突起状の導体14の高さより若干厚さの大きい基材を用いて、上記各部材を積層した際に、バンプ14の表面と第3の導体層17との間に隙間18が生じるようにした。なお、樹脂基材16を突起状の導体14の高さと同じ厚さのものを用いて、隙間18が形成されないようにしてもよい。
【0013】
次いで加圧、加熱して、3層金属シート10、樹脂基材16、第3の導体層17を接合して一体化する。
その際、溶融した樹脂が流れ出して、隙間18を充填する(図5)。
次に図6に示すように、第2の導体層13と第3の導体層17とを所要厚さに減じるようにハーフエッチングする。これは、導体層を薄くして、ファインな配線パターンを形成しうるようにするためである。
第2、第3の導体層13、17が十分に薄いときはこのハーフエッチング加工を行わなくともよい。
【0014】
次に図7に示すように、第3の導体層17および隙間18を埋めた樹脂層18aにレーザー加工によって所要径、例えば直径50μmの孔20を明け、突起状の導体14を露出させる。
樹脂層18aは10〜20μm程度の深さであるので、孔20は浅い穴となる。
なお、樹脂基材16に、突起状の導体14の高さと同じ厚さのものを用いた場合には、隙間18は生じないが、加熱、加圧の際に、溶融樹脂が突起状の導体14表面と第3の導体層17との間に薄くバリ状に入り込む可能性があるので、孔20を明ける際には、この薄い樹脂バリも除去するように行う。
【0015】
次に図8に示すように、無電解銅めっき、次いで電解銅めっきを行って、第2の導体層13、第3の導体層17および孔20内にめっき皮膜21を形成する。次に、図9に示すように、めっき皮膜21および導体層13、17をフォトリソグラフ法によりエッチング加工して、樹脂基材16の両側に突起状の導体14により電気的に接続する配線パターン22を形成して、配線回路基板24に完成する。
【0016】
図10に示すように、樹脂基材16両面の、はんだボールが接合される配線パターン22の部位を除く面上にソルダーレジスト層25を形成するようにしてもよい。
また、上記はんだボールが接合される配線パターンの部位に、ニッケルめっき、次いで金めっきなどを施して、必要な保護めっき層26を形成するようにするとよい(図11)。
また、上記はんだボール接合部位にはんだボール(図示せず)を形成して、はんだボール付き基板として流通させるようにしてもよい。
【0017】
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【0018】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ビア上にはんだボールを形成でき、しかもファインな配線パターンを形成できる配線回路基板の製造法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】3層金属シートの説明図である。
【図2】ビアパターンを形成した状態の説明図である。
【図3】貫通孔を形成した樹脂基材の説明図である。
【図4】3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を積層した状態の説明図である。
【図5】3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を加圧、加熱して一体化した状態の説明図である。
【図6】上下の導体層をハーフエッチングした状態の説明図である。
【図7】孔明け加工した状態の説明図である。
【図8】めっき皮膜を形成した状態の説明図である。
【図9】配線パターンを形成した状態の説明図である。
【図10】ソルダーレジスト層を形成した状態の説明図である。
【図11】保護めっき層を形成した状態の説明図である。
【図12】従来の配線回路基板の一例を示す断面図である。
【図13】従来の配線回路基板の他の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
10 3層金属シート
11 エッチングバリア層
12 第1の導体層
13 第2の導体層
14 突起状の導体
15 貫通孔
16 樹脂基材
17 第3の導体層
18 隙間
20 孔
21 めっき皮膜
22 配線パターン
24 配線回路基板
25 ソルダーレジスト層
26 保護めっき層
【発明の属する技術分野】
本発明は配線回路基板の製造方法および配線回路基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
図12は、従来の配線回路基板30のはんだボール形成箇所を示す説明図である。
両面銅貼り樹脂基材31にスルーホール32を形成し、無電解銅めっき、次いで電解銅めっきを行って後、エッチング加工により表裏に配線パターン33、34を形成する。
配線パターン33、34の、はんだボール接合箇所以外の樹脂基材上にソルダーレジスト層35aを形成する。
【0003】
図13は、図12のものにおいて、スルーホール32内に孔埋め用樹脂35を充填し、さらに孔埋め用樹脂35を覆うようにしてさらにもう1層のめっき皮膜を形成して後、配線パターン33、34を形成するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
図12に示すものにあっては、はんだボールを形成する箇所は、スルーホール32の直上ではなく、スルーホール32から横に外れた位置に、いわゆるランド部を形成して、このランド部上にはんだボールが形成されるタイプのものである。このようにランド部を設けるのは、導電性樹脂35上には直接はんだボールを形成できないからである。
しかし、このランド部を形成するものにあっては、それだけ配線パターンを形成するエリアが狭くなり、配線密度を高められないという課題がある。
【0005】
この点、図13に示すものにあっては、孔埋め用樹脂35上にもう1層めっき層が形成されるから、スルーホール32の直上にはんだボールを形成するようにすることができる。
しかし、図13に明確なように、銅層が3層となって厚くなるので、この点からファインな配線パターンを形成することができないという課題がある。
【0006】
その他、例えば、スルーホールの片側に銅がある袋穴状のビアホール内にビアフィルめっきを施してビアホール内を埋めることによって、ビアホール直上にはんだボールを形成するようにするものもある。
しかし、ビアホール内を完全にめっき皮膜で埋めるようにするには、めっき液の管理、めっき条件の厳密な管理を要するという課題があり、しかも基板が厚い場合には完全なビアフィルを行うと基板表面の銅が厚くなり、ファインパターンを形成できないという課題がある。
【0007】
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ビア上にはんだボールを接合することができ、しかもファインな配線パターンを形成できる配線回路基板の製造方法、並びに配線回路基板を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、本発明に係る配線回路基板の製造方法では、エッチングバリア層の第1の面側に第1の導体層が形成され、該第1の面と反対側の第2の面に第2の導体層が形成された3層金属シートの前記第1の導体層をエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層上に形成するエッチング工程と、露出した部位の前記エッチングバリア層を除去する工程と、前記ビアパターンと同一の配列で貫通孔が形成された樹脂基材を、該貫通孔内に前記ビアパターンの対応する突起状の導体が進入するように該樹脂基材を前記3層金属シートのエッチングバリア層の第1の面側に配置すると共に、該樹脂基材の露出している表面側に第3の導体層を積層する積層工程と、加圧、加熱して、前記3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を接合する加熱プレス工程と、前記第3の導体層に孔明けして、前記ビアを露出させる孔明け工程と、前記第2の導体層、第3の導体層および前記孔内にめっき皮膜を形成するめっき工程と、該めっき皮膜および導体層をエッチング加工して、前記樹脂基材の両側に前記ビアにより電気的に接続する配線パターンを形成する工程を含むことを特徴とする。
【0009】
また、前記樹脂基材両面の、はんだボールが接合される配線パターンの部位を除く面上にソルダーレジスト層を形成する工程を含むことを特徴とする。
さらに、はんだボールが接合される部位の配線パターン上に保護めっき層を形成するめっき工程を含むことを特徴とする。
また、前記樹脂基材に、前記突起状の導体の高さより若干厚さの大きい基材を用いて、前記積層工程で、突起状の導体の表面と前記第3の導体層との間に隙間が生じるようにし、前記加熱プレス工程で、該隙間に前記樹脂基材の樹脂を充填するようにし、前記孔明け工程で、第3の導体層と共に、上記充填樹脂層を所要の径で孔明けして前記突起状の導体を露出させることを特徴とする。
また、本発明に係る配線回路基板は上記いずれかの製造方法によって製造されたものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、3層金属シート10を示す。この3層金属シート10は、エッチングバリア層11の第1の面側に第1の導体層12が形成され、該第1の面と反対側の第2の面に第2の導体層13が形成されたものである。エッチングバリア層11はニッケル層が好適であるがこれに限定されない。エッチングバリア層11は、第1の導体層12や第2の導体層13をエッチングするエッチング液によってはエッチングされない金属であればよい。第1および第2の導体層12、13は銅箔が好ましい。第1の導体層12の厚さは、基材の厚さと同一か、若干低い厚さのものとする。
【0011】
図2に示すように、この3層金属シート10の第1の導体層12をフォトリソグラフ法によりエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層11上に形成する。図2では1個の突起状の導体14のみを示す。次いで、第1の導体層12をエッチングするのとは別のエッチング液を用いて、露出している部位のエッチングバリア層11を除去する(図2)。
【0012】
図3に示すように、前記ビアパターンと同一の配列で貫通孔15が形成された樹脂基材16を別途形成する。貫通孔15はプレス加工やレーザー加工等によって形成できる。樹脂基材16は熱硬化性樹脂のプリプレグを用いるとよい。
そして図4に示すように、貫通孔16内に前記ビアパターンの対応する突起状の導体14が進入するように樹脂基材16を3層金属シート10のエッチングバリア層11の第1の面側に配置すると共に、樹脂基材16の露出している表面側に第3の導体層17を積層する。第3の導体層も銅箔を用いるのが好ましい。
上記の例では、樹脂基材16に、突起状の導体14の高さより若干厚さの大きい基材を用いて、上記各部材を積層した際に、バンプ14の表面と第3の導体層17との間に隙間18が生じるようにした。なお、樹脂基材16を突起状の導体14の高さと同じ厚さのものを用いて、隙間18が形成されないようにしてもよい。
【0013】
次いで加圧、加熱して、3層金属シート10、樹脂基材16、第3の導体層17を接合して一体化する。
その際、溶融した樹脂が流れ出して、隙間18を充填する(図5)。
次に図6に示すように、第2の導体層13と第3の導体層17とを所要厚さに減じるようにハーフエッチングする。これは、導体層を薄くして、ファインな配線パターンを形成しうるようにするためである。
第2、第3の導体層13、17が十分に薄いときはこのハーフエッチング加工を行わなくともよい。
【0014】
次に図7に示すように、第3の導体層17および隙間18を埋めた樹脂層18aにレーザー加工によって所要径、例えば直径50μmの孔20を明け、突起状の導体14を露出させる。
樹脂層18aは10〜20μm程度の深さであるので、孔20は浅い穴となる。
なお、樹脂基材16に、突起状の導体14の高さと同じ厚さのものを用いた場合には、隙間18は生じないが、加熱、加圧の際に、溶融樹脂が突起状の導体14表面と第3の導体層17との間に薄くバリ状に入り込む可能性があるので、孔20を明ける際には、この薄い樹脂バリも除去するように行う。
【0015】
次に図8に示すように、無電解銅めっき、次いで電解銅めっきを行って、第2の導体層13、第3の導体層17および孔20内にめっき皮膜21を形成する。次に、図9に示すように、めっき皮膜21および導体層13、17をフォトリソグラフ法によりエッチング加工して、樹脂基材16の両側に突起状の導体14により電気的に接続する配線パターン22を形成して、配線回路基板24に完成する。
【0016】
図10に示すように、樹脂基材16両面の、はんだボールが接合される配線パターン22の部位を除く面上にソルダーレジスト層25を形成するようにしてもよい。
また、上記はんだボールが接合される配線パターンの部位に、ニッケルめっき、次いで金めっきなどを施して、必要な保護めっき層26を形成するようにするとよい(図11)。
また、上記はんだボール接合部位にはんだボール(図示せず)を形成して、はんだボール付き基板として流通させるようにしてもよい。
【0017】
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【0018】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ビア上にはんだボールを形成でき、しかもファインな配線パターンを形成できる配線回路基板の製造法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】3層金属シートの説明図である。
【図2】ビアパターンを形成した状態の説明図である。
【図3】貫通孔を形成した樹脂基材の説明図である。
【図4】3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を積層した状態の説明図である。
【図5】3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を加圧、加熱して一体化した状態の説明図である。
【図6】上下の導体層をハーフエッチングした状態の説明図である。
【図7】孔明け加工した状態の説明図である。
【図8】めっき皮膜を形成した状態の説明図である。
【図9】配線パターンを形成した状態の説明図である。
【図10】ソルダーレジスト層を形成した状態の説明図である。
【図11】保護めっき層を形成した状態の説明図である。
【図12】従来の配線回路基板の一例を示す断面図である。
【図13】従来の配線回路基板の他の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
10 3層金属シート
11 エッチングバリア層
12 第1の導体層
13 第2の導体層
14 突起状の導体
15 貫通孔
16 樹脂基材
17 第3の導体層
18 隙間
20 孔
21 めっき皮膜
22 配線パターン
24 配線回路基板
25 ソルダーレジスト層
26 保護めっき層
Claims (5)
- エッチングバリア層の第1の面側に第1の導体層が形成され、該第1の面と反対側の第2の面に第2の導体層が形成された3層金属シートの前記第1の導体層をエッチングして、所要のビアパターンをエッチングバリア層上に形成するエッチング工程と、
露出した部位の前記エッチングバリア層を除去する工程と、
前記ビアパターンと同一の配列で貫通孔が形成された樹脂基材を、該貫通孔内に前記ビアパターンの対応する突起状の導体が進入するように該樹脂基材を前記3層金属シートのエッチングバリア層の第1の面側に配置すると共に、該樹脂基材の露出している表面側に第3の導体層を積層する積層工程と、
加圧、加熱して、前記3層金属シート、樹脂基材、第3の導体層を接合する加熱プレス工程と、
前記第3の導体層に孔明けして、前記突起状の導体を露出させる孔明け工程と、
前記第2の導体層、第3の導体層および前記孔内にめっき皮膜を形成するめっき工程と、
該めっき皮膜および導体層をエッチング加工して、前記樹脂基材の両側に前記突起状の導体により電気的に接続する配線パターンを形成する工程を含むことを特徴とする配線回路基板の製造方法。 - 前記樹脂基材両面の、はんだボールが接合される配線パターンの部位を除く面上にソルダーレジスト層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の配線回路基板の製造方法。
- はんだボールが接合される部位の配線パターン上に保護めっき層を形成するめっき工程を含むことを特徴とする請求項2記載の配線回路基板の製造方法。
- 前記樹脂基材に、前記突起状の導体の高さより若干厚さの大きい基材を用いて、前記積層工程で、突起状の導体の表面と前記第3の導体層との間に隙間が生じるようにし、
前記加熱プレス工程で、該隙間に前記樹脂基材の樹脂を充填するようにし、
前記孔明け工程で、第3の導体層と共に、上記充填樹脂層を所要の径で孔明けして前記突起状の導体を露出させることを特徴とする請求項1、2または3記載の配線回路基板の製造方法。 - 請求項1〜4いずれか1項記載の配線回路基板の製造方法により製造された配線回路基板。
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