JP2004043965A5 - 蒸着装置、及び発光装置の作製方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する機能を有する台を備えた設置室と、
前記設置室を減圧状態とする手段と、
前記設置室に接して設けられた成膜室と、
前記設置室から前記成膜室へ蒸着源ホルダを移動する手段とを有する蒸着装置であって、
前記成膜室は、前記蒸着源ホルダをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる手段を有し、
前記設置室は、前記複数の容器を前記蒸着源ホルダに設置する手段を有し、
前記Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動させる手段は、前記蒸着源ホルダの蒸着範囲が重なるように移動する機能を有し、
前記蒸着源ホルダは、前記複数の容器を加熱する手段、及び前記設置された複数の容器上にそれぞれシャッターを有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
回転する機能を有する台を備えた設置室と、
前記設置室を減圧状態とする手段と、
前記設置室に接して設けられた成膜室と、
前記設置室から前記成膜室へ蒸着源ホルダを移動する手段とを有する蒸着装置であって、
前記成膜室は、前記蒸着源ホルダをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる手段を有し、
前記設置室は、前記複数の第１の容器がそれぞれ封入された第２の容器を前記蒸着源ホルダに設置する手段を有し、
前記Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動させる手段は、前記蒸着源ホルダの蒸着範囲が重なるように移動する機能を有し、
前記蒸着源ホルダは、前記複数の第１の容器を加熱する手段、及び前記設置された前記複数の第１の容器上にそれぞれシャッターを有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第２の容器は、上部容器と、下部容器と、を有し、
前記上部容器と、前記下部容器とが密閉されるとき容器内を減圧に保持する手段を有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記成膜室は、電圧を印加する電極が接続されたマスク保持手段を有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記蒸着源ホルダをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる手段は、
前記加熱する手段により前記蒸着材料を昇華させながら、前記蒸着源ホルダを被蒸着物のＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させ、
前記Ｘ軸方向及びＹ軸方向の移動は、前記被蒸着物のＸ軸方向の蒸着が終了した後、前記被蒸着物のＹ軸方向の蒸着を開始することを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
基板上に第１乃至第３の発光色を呈する発光層を形成する発光装置の作製方法であって、
第１成膜室で、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に第１の発光色を呈する発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第１成膜室から第２成膜室へ移動させ、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に第２の発光色を呈する発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を第２成膜室から第３成膜室へ移動させ、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に第３の発光層を呈する発光層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項７】
基板上に第１乃至第３の発光層を呈する発光層を形成する発光装置の作製方法であって、
第１成膜室で、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に第１の発光層を呈する発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第１成膜室から第２成膜室へ移動させ、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に第２の発光層を呈する発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を第２成膜室から第３成膜室へ移動させ、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に第３の発光層を呈する発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第３成膜室から第４成膜室へ移動させ、前記第１乃至第３の発光層上に導電膜を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を第４成膜室から第５成膜室へ移動させ、前記基板と封止基板とを張り合わせることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項８】
基板上に形成された単色発光色を呈する発光層を有する発光装置の作製方法において、
第１成膜室において、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に前記発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第１成膜室から第２成膜室へ移動させ、前記発光層上に導電膜を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第２成膜室から第３成膜室へ移動させ、前記基板と色変換層が形成された封止基板とを張り合わせることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項９】
基板上に形成された単色発光色を呈する発光層を有する発光装置の作製方法において、
第１成膜室において、複数の容器が設置された蒸着源ホルダを用いて前記基板上に前記発光層を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第１成膜室から第２成膜室へ移動させ、前記発光層上に導電膜を形成し、
大気に曝すことなく、前記基板を前記第２成膜室から第３成膜室へ移動させ、前記基板とカラーフィルターが形成された封止基板とを張り合わせることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１０】
請求項６乃至請求項９のいずれか一において、前記発光層を形成する成膜室は複数設けられ、並列処理できることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１１】
請求項６及び請求項１０のいずれか一において、前記封止基板に設けられたシール剤を有することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１２】
請求項６及び請求項１１のいずれか一において、前記基板に設けられたシール剤を有することを特徴とする発光装置の作製方法。