JP2002060926A5 - 発光装置の作製方法 - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜室に設けられた基板に有機ＥＬ材料を蒸着し、前記成膜室より前記基板を取り出した後、
前記成膜室に設けられた部品に対して赤外光、紫外光もしくは可視光を照射することにより該部品に付着した蒸着材料を昇華させ、排気することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２】
請求項１において、前記蒸着材料を昇華させる際、前記成膜室内にハロゲン族元素を含むガスを流すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、前記昇華された蒸着材料は排気中にプラズマに晒されることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項４】
請求項３において、前記プラズマは酸素プラズマであることを特徴とする発光装置の作製方法。
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